專利名稱：器件測(cè)試設(shè)備和測(cè)試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試待測(cè)器件例如象大規(guī)模集成電路(LSI)晶片那樣的半導(dǎo)體集成電路的設(shè)備和方法，尤其是涉及一種能夠同時(shí)對(duì)很多待測(cè)器件執(zhí)行獨(dú)立測(cè)試的測(cè)試設(shè)備和測(cè)試方法。
背景技術(shù)：
按照慣例，同時(shí)對(duì)多個(gè)待測(cè)器件進(jìn)行獨(dú)立的測(cè)試(例如，日本實(shí)用新型申請(qǐng)公開No.64-47148/1989)。圖1是日本實(shí)用新型申請(qǐng)公開No.64-47148/1989中公開的常規(guī)測(cè)試設(shè)備的框圖。該測(cè)試設(shè)備包括由存儲(chǔ)了獨(dú)自運(yùn)行的測(cè)試程序的微處理器控制的多個(gè)測(cè)試單元31-33；具有用于監(jiān)控各個(gè)測(cè)試單元31-33的操作狀況的監(jiān)控功能和人機(jī)接口功能的處理器單元1；以及用于控制各個(gè)測(cè)試單元31-33與處理器單元1之間的通信路徑的接口控制單元2。測(cè)試單元31-33與待測(cè)器件41-43一對(duì)一地連接。測(cè)試單元31-33具有相同的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，且包括用于控制內(nèi)部操作的微處理器51-53；用于測(cè)試相應(yīng)的待測(cè)器件41-43的測(cè)試電路61-63；以及用于與接口控制單元2通信的接口71-73。
當(dāng)通過這種結(jié)構(gòu)測(cè)試多個(gè)待測(cè)器件時(shí)，首先，處理器單元1通過接口控制單元2向測(cè)試單元31輸出通信請(qǐng)求。在接口控制單元2認(rèn)可通信請(qǐng)求之后，接口控制單元2確保到測(cè)試單元31的通信路徑，并且通過測(cè)試單元31中的接口71將來自處理器單元1的通信請(qǐng)求發(fā)送給微處理器51。微處理器51根據(jù)情況通過接口71和接口控制單元2發(fā)回一條通知給處理器單元1。尤其是，如果通信可行，微處理器51發(fā)送一條指示通信可行的通知，以及如果通信不可行，微處理器51發(fā)送一條指示通信不可行的通知。
如果發(fā)自微處理器51的通知指出通信可行，處理器單元1通過接口控制單元2和接口71將開始測(cè)試請(qǐng)求發(fā)送給微處理器51。在微處理器51認(rèn)可開始測(cè)試請(qǐng)求之后，微處理器51執(zhí)行測(cè)試程序，并操作測(cè)試電路61以便啟動(dòng)對(duì)待測(cè)器件41的測(cè)試。類似，處理器單元1一個(gè)接一個(gè)地對(duì)測(cè)試單元32和33執(zhí)行該操作，啟動(dòng)對(duì)待測(cè)器件42和43的測(cè)試。而且，處理器單元1能夠通過經(jīng)由接口控制單元2輪詢測(cè)試單元31-33的操作狀況，來響應(yīng)來自各個(gè)測(cè)試單元31-33的請(qǐng)求。
當(dāng)從測(cè)試單元31傳送指示測(cè)試完成的數(shù)據(jù)時(shí)，首先，微處理器51通過測(cè)試單元31中的接口71向接口控制單元2發(fā)送傳送請(qǐng)求。在接口控制單元2認(rèn)可傳送請(qǐng)求之后，接口控制單元2向處理器單元1輸出傳送請(qǐng)求，并確保處理器單元1與微處理器51之間的通信路徑。當(dāng)處理器單元1通過輪詢認(rèn)可來自微處理器51的傳送請(qǐng)求時(shí)，處理器單元1通過接口控制單元2和接口71將一條指示數(shù)據(jù)傳送可行的通知發(fā)回給微處理器51。微處理器51認(rèn)可數(shù)據(jù)傳送可行，并將指示測(cè)試完成的數(shù)據(jù)傳送給處理器單元1。
此后，處理器單元1斷開在接口控制單元2中的處理器單元1與微處理器51之間的通信路徑，并處理發(fā)自微處理器51的數(shù)據(jù)，然后通過輪詢來監(jiān)控是否有來自其它測(cè)試單元32或33的、指示測(cè)試完成的數(shù)據(jù)的傳送請(qǐng)求。處理器單元1重復(fù)該操作，當(dāng)所有的測(cè)試單元31-33都傳送了指示測(cè)試完成的數(shù)據(jù)時(shí)，測(cè)試完成。
此外，在包含測(cè)定數(shù)據(jù)的測(cè)試結(jié)果從各個(gè)測(cè)試單元31-33被傳送給處理器單元1的情況下，與指示測(cè)試完成的數(shù)據(jù)的傳送相似，處理器單元1一個(gè)接一個(gè)地與微處理器51-53通信，各個(gè)微處理器51-53傳送測(cè)試結(jié)果，以及發(fā)送的數(shù)據(jù)在處理器單元1中被處理。
近些年來，為了提高測(cè)試多個(gè)待測(cè)器件的效率，已開始使用晶片批量測(cè)試。在通過上述的如晶片批量測(cè)試中那樣的常規(guī)技術(shù)的結(jié)構(gòu)和測(cè)試方法同時(shí)對(duì)許多待測(cè)器件執(zhí)行獨(dú)立測(cè)試的情況下，因?yàn)闇y(cè)試單元一對(duì)一地連接到各個(gè)待測(cè)器件，因此要同時(shí)提供與要測(cè)試的待測(cè)器件相同數(shù)目的測(cè)試單元和測(cè)試單元中的微處理器，并且必須通過經(jīng)由接口控制單元一個(gè)接一個(gè)地與各個(gè)測(cè)試單元中的許多微處理器順序地通信，來從一個(gè)處理器單元輸出測(cè)試開始請(qǐng)求。而且，一個(gè)處理器單元需要響應(yīng)來自許多微處理器的指示測(cè)試完成的數(shù)據(jù)的傳送請(qǐng)求和測(cè)試結(jié)果的傳送請(qǐng)求。
換句話說，由于一個(gè)處理器單元需要對(duì)所有微處理器執(zhí)行控制(請(qǐng)求開始測(cè)試等等)以及執(zhí)行管理(例如來自各個(gè)微處理器的測(cè)試完成請(qǐng)求，測(cè)試結(jié)果的傳送請(qǐng)求，以及傳送的測(cè)試結(jié)果的處理)，處理器單元與每個(gè)微處理器之間的通信時(shí)間和微處理器中的處理時(shí)間隨著要同時(shí)測(cè)試的待測(cè)器件的數(shù)目的增大而增加。而且，由于受通信時(shí)間和處理時(shí)間增加的影響，使得在各個(gè)測(cè)試單元中獲得的測(cè)試結(jié)果的傳送時(shí)間和直到測(cè)試結(jié)果被傳送出去為止的等待時(shí)間增加了。結(jié)果，存在著測(cè)試效率降低的問題，從而影響了大規(guī)模生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題提出了本發(fā)明，本發(fā)明的目的是提供一種能夠同時(shí)對(duì)很多待測(cè)器件執(zhí)行獨(dú)立的測(cè)試且大大提高測(cè)試效率的測(cè)試設(shè)備和測(cè)試方法。
本發(fā)明的測(cè)試設(shè)備是對(duì)多個(gè)待測(cè)器件的每一個(gè)進(jìn)行獨(dú)立測(cè)試的測(cè)試設(shè)備，并包括控制器，用于為待測(cè)器件發(fā)送測(cè)試請(qǐng)求和接收待測(cè)器件的測(cè)試結(jié)果；多個(gè)測(cè)試單元，用于分別對(duì)待測(cè)器件執(zhí)行測(cè)試并接收測(cè)試結(jié)果；以及一個(gè)或多個(gè)控制單元，所述一個(gè)或多個(gè)控制單元被提供在控制器與測(cè)試單元之間，用于根據(jù)來自控制器的測(cè)試請(qǐng)求控制各個(gè)測(cè)試單元中的測(cè)試過程，并把在測(cè)試單元中獲得的測(cè)試結(jié)果傳送給控制器。
根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試設(shè)備，除上述結(jié)構(gòu)之外，控制單元包括選擇裝置，用于產(chǎn)生從連接到所述選擇裝置的多個(gè)測(cè)試單元當(dāng)中選擇一個(gè)測(cè)試單元的選擇信號(hào)；用于從多個(gè)測(cè)試單元獲得測(cè)試結(jié)果并逐個(gè)測(cè)試單元地存儲(chǔ)測(cè)試結(jié)果的裝置；命令裝置，用于產(chǎn)生命令給與來自控制器的測(cè)試請(qǐng)求相對(duì)應(yīng)的測(cè)試單元；用于存儲(chǔ)用來識(shí)別測(cè)試單元中的測(cè)試過程是否已完成的識(shí)別數(shù)據(jù)的裝置；以及用于存儲(chǔ)要被加載到每個(gè)測(cè)試板中的測(cè)試程序的裝置。
根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試設(shè)備，除上述結(jié)構(gòu)之外，測(cè)試單元的每一個(gè)包括用于響應(yīng)由選擇裝置產(chǎn)生的選擇信號(hào)來使能(enable)其自身的裝置；認(rèn)可裝置，用于認(rèn)可由命令裝置產(chǎn)生的命令；以及測(cè)試裝置，用于根據(jù)命令對(duì)相應(yīng)的待測(cè)器件執(zhí)行測(cè)試。
根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試設(shè)備，除上述結(jié)構(gòu)之外，測(cè)試單元每一個(gè)還包括第一存儲(chǔ)裝置，用于存儲(chǔ)在測(cè)試裝置中獲得的測(cè)試結(jié)果；第二存儲(chǔ)裝置，用于存儲(chǔ)從控制單元加載的測(cè)試程序；以及用于根據(jù)來自控制單元的指令使能(enable)認(rèn)可裝置、第一存儲(chǔ)裝置和第二存儲(chǔ)裝置之一的裝置。
本發(fā)明的測(cè)試方法是對(duì)多個(gè)待測(cè)器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試方法，并包括提供控制器，用于為待測(cè)器件發(fā)送測(cè)試請(qǐng)求和接收待測(cè)器件的測(cè)試結(jié)果；為多個(gè)待測(cè)器件每一個(gè)提供一個(gè)測(cè)試單元，用于對(duì)待測(cè)器件每一個(gè)執(zhí)行測(cè)試；提供控制單元，用于管理多個(gè)待測(cè)器件；以及并行地操作由控制單元管理的多個(gè)測(cè)試單元，以便同時(shí)對(duì)各個(gè)待測(cè)器件執(zhí)行獨(dú)立的測(cè)試。
根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試方法，在上述方法中，還提供多個(gè)控制單元，以及并行地操作多個(gè)控制單元以便管理測(cè)試單元。
本發(fā)明的測(cè)試設(shè)備和測(cè)試方法在控制器與多個(gè)測(cè)試板之間提供多測(cè)試板控制單元，所述多測(cè)試板控制單元用于認(rèn)可來自控制器的請(qǐng)求并將通過控制和管理各個(gè)測(cè)試板分類的測(cè)試結(jié)果傳送給控制器，并且各個(gè)測(cè)試板并行地測(cè)試相應(yīng)的待測(cè)器件。因此，有可能同時(shí)對(duì)很多待測(cè)器件如半導(dǎo)體集成電路執(zhí)行獨(dú)立的測(cè)試，并且測(cè)試效率極高。注意，當(dāng)多個(gè)這種多測(cè)試板控制單元被提供且并行操作時(shí)，有可能同時(shí)對(duì)更多待測(cè)器件執(zhí)行獨(dú)立的測(cè)試，并且測(cè)試效率進(jìn)一步提高。
由以下連同附圖的詳細(xì)說明，本發(fā)明的以上及進(jìn)一步目的和特征將變得更明顯。


圖1顯示了常規(guī)測(cè)試設(shè)備的結(jié)構(gòu)的例子；圖2顯示了根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路測(cè)試設(shè)備的整個(gè)結(jié)構(gòu)；圖3顯示了多測(cè)試板控制器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)；圖4顯示了測(cè)試板的內(nèi)部結(jié)構(gòu)；以及圖5A和圖5B顯示了多測(cè)試板控制器與測(cè)試板的連接狀態(tài)。
具體實(shí)施例方式
以下將參照?qǐng)D解說明了本發(fā)明實(shí)施例的附圖，來詳細(xì)說明本發(fā)明。圖2至圖5B說明了根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試設(shè)備，尤其是，圖2顯示了本發(fā)明的整個(gè)結(jié)構(gòu)，圖3顯示了圖2所示的多測(cè)試板控制器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，圖4顯示了圖2所示的測(cè)試板的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，以及圖5A和圖5B顯示了多測(cè)試板控制器與測(cè)試板的連接狀態(tài)。
如圖2所示，本發(fā)明的用于待測(cè)器件例如半導(dǎo)體集成電路的測(cè)試設(shè)備包括一個(gè)控制器1101；作為控制單元的多個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203；以及作為測(cè)試單元連接到各自多測(cè)試板控制器1201-1203的多個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503?？刂破?101是個(gè)處理器，其具有控制和管理各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203的功能，以及人機(jī)接口功能。
控制器1101與各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203利用以太網(wǎng)1102連接，而各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203與各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503利用測(cè)試板控制總線1901-1903連接，從而多測(cè)試板控制器1201、1202和1203響應(yīng)來自控制器1101的請(qǐng)求并行地操作，并且并行地控制和管理各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503。為每個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503提供一個(gè)作為待測(cè)試對(duì)象的待測(cè)器件(以下被稱為DUT)1601-1603、1701-1703、1801-1803，例如半導(dǎo)體集成電路。
如圖3和圖5A所示，多測(cè)試板控制器1201包括通信部分2201，控制部分2203，測(cè)試程序加載器部分2204，測(cè)試板選擇部分2205，數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)部分2206，命令產(chǎn)生部分2207，測(cè)試完成認(rèn)可部分2208，以及控制接口2209。
通信部分2201控制通過以太網(wǎng)1102與控制器1101的通信?？刂撇糠?203控制整個(gè)多測(cè)試板控制器1201。測(cè)試程序加載器部分2204存儲(chǔ)要被加載到測(cè)試板1301-1303每一個(gè)中的測(cè)試程序的數(shù)據(jù)。測(cè)試板選擇部分2205產(chǎn)生用于選擇測(cè)試板1301-1303之一的測(cè)試板選擇信號(hào)，以及用于選擇測(cè)試板1301、1302和1303上的命令認(rèn)可部分2405、2505、2605、上傳存儲(chǔ)器2404、2504、2604和下載存儲(chǔ)器2410、2510、2610之一的測(cè)試板內(nèi)選擇信號(hào)。
數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)部分2206從各個(gè)測(cè)試板1301-1303中的上傳存儲(chǔ)器2404、2504和2604中檢索包含測(cè)定數(shù)據(jù)的測(cè)試結(jié)果，并通過根據(jù)測(cè)試板1301-1303對(duì)結(jié)果分類，來存儲(chǔ)結(jié)果。命令產(chǎn)生部分2207產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于控制器1101的請(qǐng)求的命令。測(cè)試完成認(rèn)可部分2208認(rèn)可哪個(gè)測(cè)試板已完成測(cè)試，或者是否所有測(cè)試板1301-1303都完成測(cè)試?？刂平涌?209是到各個(gè)測(cè)試板1301-1303的接口，并控制與測(cè)試板1301-1303每一個(gè)的通信。
利用上述結(jié)構(gòu)，多測(cè)試板控制器1201能夠認(rèn)可來自控制器1101的請(qǐng)求，根據(jù)請(qǐng)求控制和管理各個(gè)測(cè)試板1301-1303，以及將包括根據(jù)測(cè)試板1301-1303分類的測(cè)試結(jié)果的數(shù)據(jù)傳送給控制器1101。
注意，雖然圖3和圖5A只說明了多測(cè)試板控制器1201的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，但是其它的多測(cè)試板控制器1202和1203具有與多測(cè)試板控制器1201相同的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。由于組成元件的功能相同，因此省略了對(duì)多測(cè)試板控制器1202和1203的圖解與說明。
還有，如圖4和圖5B所示，各個(gè)測(cè)試板1301-1303具有控制接口2402、2502、2602，測(cè)試板使能認(rèn)可部分2403、2503、2603，上傳存儲(chǔ)器2402、2504、2604，命令認(rèn)可部分2405、2505、2605，微處理器2407、2507、2607，測(cè)試程序存儲(chǔ)部分2408、2508、2608，測(cè)試電路2409、2509、2609，下載存儲(chǔ)器2410、2510、2610，以及中央處理器(CPU)總線2411。
控制接口2402、2502和2602每一個(gè)都是通過測(cè)試板控制總線1901到多測(cè)試板控制器1201的接口。測(cè)試板使能認(rèn)可部分2403、2503和2603根據(jù)通過多測(cè)試板控制器1201的測(cè)試板選擇部分2205產(chǎn)生的測(cè)試板選擇信號(hào)，使能相應(yīng)的測(cè)試板或所有的測(cè)試板1301-1303，以及根據(jù)測(cè)試板內(nèi)的選擇信號(hào)使能命令認(rèn)可部分2405、2505、2605、上傳存儲(chǔ)器2404、2504、2604和下載存儲(chǔ)器2410、2510、2610之一。
測(cè)試電路2409、2509和2609對(duì)相應(yīng)的DUT 1601、1602、1603執(zhí)行測(cè)試。微處理器2407、2507和2607分別控制測(cè)試電路2409、2509和2609。
下載存儲(chǔ)器2410、2510和2610每一個(gè)臨時(shí)存儲(chǔ)發(fā)自多測(cè)試板控制器1201的測(cè)試程序加載器部分2204的測(cè)試程序的數(shù)據(jù)。上傳存儲(chǔ)器2404、2504和2604分別臨時(shí)存儲(chǔ)在測(cè)試板1301、1302和1303中獲得的測(cè)試結(jié)果。測(cè)試程序存儲(chǔ)部分2408、2508和2608存儲(chǔ)測(cè)試程序的數(shù)據(jù)。一旦測(cè)試程序數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在下載存儲(chǔ)器2410、2510、2610之后，測(cè)試程序數(shù)據(jù)就被傳送給并存儲(chǔ)在測(cè)試程序存儲(chǔ)部分2408、2508、2608中。然后，在微處理器2407、2507和2607的控制下，根據(jù)測(cè)試程序存儲(chǔ)部分2408、2508和2608中的測(cè)試程序執(zhí)行測(cè)試。
利用這種結(jié)構(gòu)，有可能從多測(cè)試板控制器1201控制和管理各個(gè)測(cè)試板1301-1303，以及檢索在各個(gè)測(cè)試板1301-1303中獲得的測(cè)試結(jié)果。
注意，雖然圖4和圖5B只示出了連接到多測(cè)試板控制器1201的測(cè)試板1301-1303的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，但是連接到其它多測(cè)試板控制器1202、1203的測(cè)試板1401-1403、1501-1503也具有與測(cè)試板1301-1303相同的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。由于組成元件的功能相同，因此省略了對(duì)測(cè)試板1401-1403和1501-1503的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖解和說明。
響應(yīng)控制器1101的請(qǐng)求，各個(gè)多測(cè)試板控制器1201、1202和1203并行地操作，并且并行地控制和管理各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503。由于控制器1101只需控制和管理適當(dāng)數(shù)目的多測(cè)試板控制器1201、1202和1203，因此通信時(shí)間變短了。而且，由于多測(cè)試板控制器1201、1202和1203對(duì)來自各自測(cè)試板1301-1303、1401-1403和1501-1503的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分類，并將分類的測(cè)試結(jié)果傳送給控制器1101，因此控制器1101中的處理時(shí)間變短了。因此，由于通信所花的時(shí)間變短了，并且控制器1101中的處理時(shí)間變短了，從而即使象在晶片批量測(cè)試中那樣對(duì)許多DUT(例如半導(dǎo)體集成電路之類的DUT)同時(shí)執(zhí)行獨(dú)立的測(cè)試，測(cè)試效率也不會(huì)降低。
接下來，將說明根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試過程的實(shí)際操作。首先，下面將說明以下操作從把來自控制器1101的測(cè)試開始請(qǐng)求發(fā)送給各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503的操作，直到通過各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403和1501-1503同時(shí)啟動(dòng)測(cè)試的操作。
首先，控制器1101一個(gè)接一個(gè)地與各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203通信，并將控制器1101中的測(cè)試程序數(shù)據(jù)一個(gè)接一個(gè)地傳送給各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203。多測(cè)試板控制器1201-1203每一個(gè)將發(fā)自控制器1101的測(cè)試程序數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到測(cè)試程序加載器部分2204中，并向控制器1101通知存儲(chǔ)已完成。
接下來，控制器1101控制多測(cè)試板控制器1201-1203每一個(gè)的控制部分2203，去從測(cè)試板選擇部分2205發(fā)送測(cè)試板選擇信號(hào)和測(cè)試板內(nèi)選擇信號(hào)給測(cè)試板1301-1303、1401-1403和1501-1503，以及選擇相應(yīng)的測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503和下載存儲(chǔ)器2410-2610。當(dāng)各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403和1501-1503的測(cè)試程序相同時(shí)，所有的測(cè)試板1301-1303、1401-1403和1501-1503都被選中，并且測(cè)試程序從多測(cè)試板控制器1201-1203被寫進(jìn)所有測(cè)試板1301-1303、1401-1403和1501-1503的下載存儲(chǔ)器2410-2610中。當(dāng)各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403和1501-1503的測(cè)試程序不同時(shí)，相應(yīng)的測(cè)試程序一個(gè)接一個(gè)地被寫進(jìn)各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403和1501-1503的下載存儲(chǔ)器2410-2610中。當(dāng)測(cè)試程序數(shù)據(jù)改變時(shí)，執(zhí)行這些操作，并且如果數(shù)據(jù)沒有變化，不執(zhí)行這些操作。
接下來，控制器1101一個(gè)接一個(gè)地與各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203通信，并且一個(gè)接一個(gè)地將測(cè)試開始請(qǐng)求發(fā)送給各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203。
注意，雖然以多測(cè)試板控制器1201為例子來提供以下的說明，但是在認(rèn)可來自控制器1101的測(cè)試開始請(qǐng)求之后，各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203并行地操作，并且各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503也并行地操作。
在認(rèn)可來自控制器1101的測(cè)試開始請(qǐng)求之后，多測(cè)試板控制器1201從測(cè)試板選擇部分2205產(chǎn)生用于選擇所有測(cè)試板1301-1303的信號(hào)，以及用于選擇命令認(rèn)可部分2405、2505、2605的信號(hào)，并從命令產(chǎn)生部分2207產(chǎn)生測(cè)試開始的命令信號(hào)。這些信號(hào)通過控制接口2209和測(cè)試板控制總線1901輸入到各個(gè)測(cè)試板1301-1303的測(cè)試板使能認(rèn)可部分2403、2503、2603，并且測(cè)試板使能認(rèn)可部分2403、2503、2603驗(yàn)證命令認(rèn)可部分2405、2505、2605。
同時(shí)，因?yàn)槲⑻幚砥?407、2507和2607分別監(jiān)控命令認(rèn)可部分2405、2505和2605，因此微處理器2407、2507和2607認(rèn)為該驗(yàn)證是測(cè)試開始請(qǐng)求，并根據(jù)存儲(chǔ)在各個(gè)測(cè)試程序存儲(chǔ)部分2408、2508、2608中的測(cè)試程序控制各個(gè)測(cè)試電路2409、2509、2609，以及同時(shí)且獨(dú)立地開始對(duì)各個(gè)DUT 1601-1603進(jìn)行測(cè)試。
接下來，下面將說明以下操作把在各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503中執(zhí)行的測(cè)試的結(jié)果存儲(chǔ)到控制器1101中的操作；以及直到控制器1101認(rèn)可所有測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503的測(cè)試完成為止被執(zhí)行的操作。注意，雖然是以多測(cè)試板控制器1201和連接到多測(cè)試板控制器1201的測(cè)試板1301-1303為例子來提供以下說明，但是各個(gè)多測(cè)試板控制器1201-1203并行地操作，且各個(gè)測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503也并行地操作。
各個(gè)測(cè)試板1301-1303將所獲得的測(cè)試結(jié)果一個(gè)接一個(gè)地存儲(chǔ)到各自上傳存儲(chǔ)器2404、2504、2604中，并且將用于當(dāng)測(cè)試完成時(shí)確定測(cè)試完成的完成確定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到各自上傳存儲(chǔ)器2404、2504、2604中。
另一方面，多測(cè)試板控制器1201從測(cè)試板選擇部分2205產(chǎn)生用于選擇一個(gè)測(cè)試板1301的測(cè)試板選擇信號(hào)和用于選擇上傳存儲(chǔ)器2404的測(cè)試板內(nèi)選擇信號(hào)。這些信號(hào)通過控制接口2209和測(cè)試板控制總線1901輸入到測(cè)試板1301中。因此，測(cè)試板1301被使能，上傳存儲(chǔ)器2404被選中且可存取。
此時(shí)，多測(cè)試板控制器1201檢索被存儲(chǔ)在上傳存儲(chǔ)器2404中的測(cè)試結(jié)果，確認(rèn)在檢索的數(shù)據(jù)中是否有用于確定測(cè)試完成的完成確定數(shù)據(jù)，并將檢索的測(cè)試結(jié)果存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)部分2206的預(yù)定區(qū)域中。數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)部分2206的存儲(chǔ)區(qū)域被分為對(duì)應(yīng)于各個(gè)測(cè)試板1301-1303的多個(gè)部分，來自測(cè)試板1301的結(jié)果被存儲(chǔ)在分配給測(cè)試板1301的區(qū)域中。而且，如果在檢索的數(shù)據(jù)中有用于確定測(cè)試完成的完成確定數(shù)據(jù)，則指示測(cè)試板1301的測(cè)試已完成的結(jié)果被存儲(chǔ)在測(cè)試完成認(rèn)可部分2208中。
從而，多測(cè)試板控制器1201一個(gè)接一個(gè)地選擇各個(gè)測(cè)試板1301-1303，檢索被存儲(chǔ)在各個(gè)上傳存儲(chǔ)器2404、2504、2604中的測(cè)試結(jié)果，確認(rèn)在檢索的數(shù)據(jù)中是否有用于確定測(cè)試完成的完成確定數(shù)據(jù)，將檢索的測(cè)試結(jié)果存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)記錄存存儲(chǔ)部分2206的預(yù)定區(qū)域中，以及如果在檢索的數(shù)據(jù)中有用于確定測(cè)試完成的完成確定數(shù)據(jù)，重復(fù)將指示測(cè)試完成的結(jié)果存儲(chǔ)在測(cè)試完成認(rèn)可部分2208中的操作。
當(dāng)一些或更多數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)部分2206中時(shí)，通過與控制器1101通信，將存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)部分2206中的數(shù)據(jù)傳送給控制器1101。
當(dāng)在測(cè)試完成認(rèn)可部分2208中認(rèn)可了所有測(cè)試板1301-1303的測(cè)試完成時(shí)，通過與控制器1101通信，發(fā)出指示所有測(cè)試板1301-1303測(cè)試完成的通知。
從而，當(dāng)控制器1101已從所有的多測(cè)試板控制器1201-1203收到指示測(cè)試完成的通知時(shí)，控制器1101認(rèn)可所有測(cè)試板1301-1303、1401-1403、1501-1503的測(cè)試完成，并結(jié)束過程。
注意，當(dāng)把測(cè)試結(jié)果從每個(gè)測(cè)試板的上傳存儲(chǔ)器傳送給多測(cè)試板控制器的數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)部分時(shí)，有可能從測(cè)試開始直到測(cè)試結(jié)束從每個(gè)測(cè)試板一起傳送數(shù)據(jù)，或者有可能將測(cè)試結(jié)果分為一些數(shù)據(jù)塊，并一個(gè)接一個(gè)地傳送數(shù)據(jù)塊。由于傳送的測(cè)試結(jié)果被存儲(chǔ)和寫進(jìn)數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)部分中預(yù)先分配的區(qū)域中，因此本發(fā)明能夠容易地同時(shí)滿足一起傳送數(shù)據(jù)和分開傳送數(shù)據(jù)這兩種情況。
而且，當(dāng)從一個(gè)測(cè)試板的所有或分開的測(cè)試結(jié)果的傳送完成，且過程轉(zhuǎn)到從另一個(gè)測(cè)試板傳送數(shù)據(jù)給多測(cè)試板控制器時(shí)，完成傳送的測(cè)試板能夠根據(jù)下一個(gè)測(cè)試程序操作測(cè)試電路，并對(duì)DUT執(zhí)行測(cè)試。此外，沒有執(zhí)行傳送的測(cè)試板也能夠執(zhí)行測(cè)試。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路測(cè)試設(shè)備和測(cè)試方法，在控制器與多個(gè)測(cè)試板之間提供了能夠認(rèn)可控制器的請(qǐng)求、控制和管理各個(gè)測(cè)試板以及傳送分類的測(cè)試結(jié)果給控制器的多測(cè)試板控制器，并在每個(gè)測(cè)試板上提供了用于執(zhí)行來自多測(cè)試板控制器的控制和管理的裝置。因此，可以象晶片批量測(cè)試一樣同時(shí)對(duì)極多數(shù)目的待測(cè)器件進(jìn)行獨(dú)立地測(cè)試，并且可提高生產(chǎn)效率和生產(chǎn)率。
另外，因?yàn)樵诿總€(gè)測(cè)試板上提供了測(cè)試板使能認(rèn)可部分和上傳存儲(chǔ)器，因此多測(cè)試板控制器可以不用與各個(gè)微處理器通信就能夠檢索在各個(gè)測(cè)試板中獲得的測(cè)試結(jié)果。因此，多測(cè)試板控制器的負(fù)擔(dān)減輕了，并且有可能增加能夠連接到多測(cè)試板控制器的測(cè)試板的數(shù)目。
而且，在象晶片批量測(cè)試一樣同時(shí)對(duì)很多待測(cè)器件進(jìn)行獨(dú)立測(cè)試的情況下，由于需要與待測(cè)器件一樣多的測(cè)試板，因此測(cè)試板必須小而便宜。另一方面，在本發(fā)明中，由于微處理器不需要與多測(cè)試板控制器通信，因此不要求微處理器具有高性能，由此處理器周圍的器件的數(shù)目減少了，且測(cè)試板的尺寸也減小了。結(jié)果，可提供便宜的測(cè)試設(shè)備。
因?yàn)榭梢栽诓槐畴x本發(fā)明的本質(zhì)特征的精神的情況下以多種形式實(shí)施本發(fā)明，因此本實(shí)施例是說明性而非限制性的，既然本發(fā)明的范圍是由權(quán)利要求而非權(quán)利要求之前的說明限定的，因此落入權(quán)利要求的界限和范圍之內(nèi)的所有改變或權(quán)利要求界限和范圍的等效界限和范圍都被權(quán)利要求所包含。
權(quán)利要求
1.一種用于獨(dú)立地測(cè)試多個(gè)待測(cè)器件的每一個(gè)的測(cè)試設(shè)備，包括控制器，用于為待測(cè)器件發(fā)送測(cè)試請(qǐng)求并接收待測(cè)器件的測(cè)試結(jié)果；多個(gè)測(cè)試單元，用于分別對(duì)待測(cè)器件執(zhí)行測(cè)試，并接收測(cè)試結(jié)果；以及一個(gè)或多個(gè)控制單元，所述一個(gè)或多個(gè)控制單元被提供在所述控制器與所述測(cè)試單元之間，用于根據(jù)來自所述控制器的測(cè)試請(qǐng)求控制各個(gè)測(cè)試單元中的測(cè)試過程，并且把在所述測(cè)試單元中獲得的測(cè)試結(jié)果傳送給所述控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于所述控制單元包括選擇裝置，用于產(chǎn)生用來從連接到所述選擇裝置的多個(gè)測(cè)試單元當(dāng)中選擇一個(gè)測(cè)試單元的選擇信號(hào)；用于從多個(gè)測(cè)試單元獲得測(cè)試結(jié)果并逐個(gè)測(cè)試單元地存儲(chǔ)測(cè)試結(jié)果的裝置；命令裝置，用于產(chǎn)生命令給與來自所述控制器的測(cè)試請(qǐng)求相對(duì)應(yīng)的測(cè)試單元；用于存儲(chǔ)用來識(shí)別測(cè)試單元中的測(cè)試過程是否已完成的識(shí)別數(shù)據(jù)的裝置；以及用于存儲(chǔ)要被加載到每個(gè)測(cè)試板中的測(cè)試程序的裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于所述測(cè)試單元的每一個(gè)包括用于響應(yīng)由所述選擇裝置產(chǎn)生的選擇信號(hào)來使能其自身的裝置；認(rèn)可裝置，用于認(rèn)可由所述命令裝置產(chǎn)生的命令；以及測(cè)試裝置，用于根據(jù)命令對(duì)相應(yīng)的待測(cè)器件執(zhí)行測(cè)試。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于所述測(cè)試單元的每一個(gè)還包括第一存儲(chǔ)裝置，用于存儲(chǔ)在所述測(cè)試裝置中獲得的測(cè)試結(jié)果；第二存儲(chǔ)裝置，用于存儲(chǔ)從所述控制單元加載的測(cè)試程序；以及用于根據(jù)來自所述控制單元的指令使能所述認(rèn)可裝置、所述第一存儲(chǔ)裝置和所述第二存儲(chǔ)裝置之一的裝置。
5.一種測(cè)試多個(gè)待測(cè)器件的測(cè)試方法，包括以下步驟提供控制器，用于為待測(cè)器件發(fā)送測(cè)試請(qǐng)求和接收待測(cè)器件的測(cè)試結(jié)果；為多個(gè)待測(cè)器件的每一個(gè)提供一個(gè)測(cè)試單元，用于對(duì)待測(cè)器件每一個(gè)執(zhí)行測(cè)試；提供控制單元，用于管理多個(gè)測(cè)試單元；以及并行地操作由所述控制單元管理的多個(gè)測(cè)試單元，以便同時(shí)對(duì)各個(gè)待測(cè)器件執(zhí)行獨(dú)立的測(cè)試。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試方法，其特征在于提供多個(gè)控制單元，以及并行地操作多個(gè)控制單元以管理測(cè)試單元。
全文摘要
一種用于執(zhí)行測(cè)試的測(cè)試板，為多個(gè)待測(cè)器件(DUT)如半導(dǎo)體集成電路的每一個(gè)提供一個(gè)這種測(cè)試板，提供了用于管理這些測(cè)試板的多測(cè)試板控制器，以及并行地操作由每個(gè)多測(cè)試板控制器管理的多個(gè)測(cè)試板，以便同時(shí)對(duì)各個(gè)DUT執(zhí)行獨(dú)立的測(cè)試。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1574268SQ20041004643
公開日2005年2月2日 申請(qǐng)日期2004年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月30日
發(fā)明者松本享三 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社