一種閥門(mén)控制裝置和真空閥門(mén)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及閥門(mén)技術(shù)，尤其涉及一種閥門(mén)控制裝置和具有該閥門(mén)控制裝置的真空閥門(mén)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的真空閥門(mén)系統(tǒng)中的閥門(mén)控制裝置一般通過(guò)滾軸凸輪(roller cam)和位于滾軸凸輪中的滾軸(roller)進(jìn)行閥門(mén)的開(kāi)啟和閉合。滾軸凸輪是現(xiàn)有的真空閥門(mén)系統(tǒng)中控制閥門(mén)啟閉的關(guān)鍵部件之一。
[0003]如圖1a所示，為現(xiàn)有技術(shù)提供的閥門(mén)控制裝置的正面剖視圖，如圖1b所示為圖1a沿A-A’方向的側(cè)面剖視圖。如圖所示，該閥門(mén)控制裝置包括:閥片10、閥桿11、上基座12、下基座13、殼體14、3組升降氣缸15、適配器16、彈簧17、滾軸凸輪18、第一滾軸19和第二滾軸20。其中，殼體14用于封裝閥門(mén)。閥片10安裝在閥桿11上，閥桿11連接在適配器16上，上基座12限制了適配器16的上升高度，3組升降氣缸15的導(dǎo)桿固定在下基座13上以帶動(dòng)下基座13上升，彈簧17和滾軸凸輪18固定在下基座13上，第一滾軸19和第二滾軸20固定在適配器16上，第一滾軸19鉸接在滾軸凸輪18上，第二滾軸20卡合在升降氣缸15的側(cè)邊。滾軸凸輪18具有多圓組合形成的傾斜軌道，其內(nèi)部鏤空，該傾斜軌道的上部和下部還分別設(shè)置有限位節(jié)點(diǎn)，第一滾軸19可以沿著傾斜軌道的方向運(yùn)動(dòng)，并在節(jié)點(diǎn)處被限位。
[0004]閥門(mén)控制裝置的具體工作過(guò)程為:氣體推動(dòng)升降氣缸15向上運(yùn)動(dòng)，升降氣缸15的導(dǎo)桿帶動(dòng)下基座13、以及還帶動(dòng)了位于下基座13上的彈簧17和滾軸凸輪18向上傳動(dòng)。同時(shí)，隨著下基座13的向上傳動(dòng)，滾軸凸輪18帶動(dòng)適配器16、以及與適配器16 —體的第一滾軸19和第二滾軸20向上傳動(dòng)。此時(shí)彈簧17未被壓縮。
[0005]當(dāng)閥片10到達(dá)最高位置后，適配器16定位不作動(dòng)，升降氣缸15持續(xù)上升，此時(shí)升降氣缸15的導(dǎo)桿帶動(dòng)下基座13、以及下基座13上的彈簧17和滾軸凸輪18向上傳動(dòng)，彈簧17被壓縮。下基座13繼續(xù)上升以帶動(dòng)滾軸凸輪18上升，配置在適配器16上且位于滾軸凸輪18軌道內(nèi)的第一滾軸19沿著滾軸凸輪18的軌道運(yùn)動(dòng)，使得第一滾軸19突破滾軸凸輪18上部限位節(jié)點(diǎn)的限制而沿滾軸凸輪18的傾斜軌跡運(yùn)動(dòng)直至被滾軸凸輪18下部限位節(jié)點(diǎn)限制，在此設(shè)置第一滾軸19的運(yùn)動(dòng)方向?yàn)?X。因此適配器16以第二滾軸20為圓心向-X方向運(yùn)動(dòng)傾斜，則適配器16有個(gè)帶動(dòng)閥桿11與閥片10向+X方向傾斜的作用，閥桿11傾斜使得閥片10向著+X的方向傾斜，閥片10的橫向位移使其與閥門(mén)框密閉，達(dá)到閉合的效果。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)中，因閥門(mén)需求達(dá)到所需高度后使閥片10產(chǎn)生橫向位移以與閥門(mén)框密閉，為了防止第一滾軸19在閥片10與閥門(mén)框密閉后移動(dòng)，滾軸凸輪18的上部和下部設(shè)置有限位節(jié)點(diǎn)。然而限位節(jié)點(diǎn)要求的限位作用無(wú)法取消或用軟性材質(zhì)替代，限位節(jié)點(diǎn)處與第一滾軸19同為金屬材質(zhì)，因此在多次限位過(guò)程中，限位節(jié)點(diǎn)與第一滾軸19之間易磨損，造成閥片10無(wú)法與閥門(mén)框密閉的后果?！緦?shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型提供一種閥門(mén)控制裝置和真空閥門(mén)系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中滾軸易磨損滾軸凸輪導(dǎo)致閥片無(wú)法與閥門(mén)框密閉的問(wèn)題。
[0008]第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種閥門(mén)控制裝置，包括:閥門(mén)本體；
[0009]與所述閥門(mén)本體連接的升降氣缸，所述升降氣缸用于控制所述閥門(mén)本體在第一方向升降，并控制所述閥門(mén)本體上升至預(yù)定高度或下降至預(yù)定高度；
[0010]與所述閥門(mén)本體連接的位移氣缸，所述位移氣缸用于在所述升降氣缸控制所述閥門(mén)本體上升至預(yù)定高度時(shí)，控制所述閥門(mén)本體在第二方向位移并控制所述閥門(mén)本體位移至預(yù)定位置。
[0011]進(jìn)一步地，所述位移氣缸為單動(dòng)常入性氣缸。
[0012]進(jìn)一步地，所述第二方向與所述第一方向垂直。
[0013]進(jìn)一步地，所述閥門(mén)控制裝置還包括:傳感器，所述傳感器設(shè)置在所述升降氣缸上;
[0014]所述傳感器用于感測(cè)所述升降氣缸的升降高度，并在所述升降氣缸控制所述閥門(mén)本體上升至預(yù)定高度時(shí)向所述位移氣缸傳輸感應(yīng)信號(hào)。
[0015]進(jìn)一步地，所述閥門(mén)控制裝置還包括:傳感器，所述傳感器設(shè)置在所述閥門(mén)本體上;
[0016]所述傳感器用于感測(cè)所述閥門(mén)本體的升降高度，并在所述閥門(mén)本體上升至預(yù)定高度時(shí)向所述位移氣缸傳輸感應(yīng)信號(hào)。
[0017]進(jìn)一步地，所述閥門(mén)控制裝置還包括:電磁閥，所述電磁閥與所述位移氣缸連接；
[0018]所述電磁閥用于在所述升降氣缸控制所述閥門(mén)本體上升至預(yù)定高度時(shí)，控制所述位移氣缸在所述第二方向上位移并位移至預(yù)定位置。
[0019]進(jìn)一步地，所述閥門(mén)本體包括閥片、閥桿、適配器、第一滾軸、下基座；
[0020]其中，所述閥桿的第一端與所述閥片連接、第二端與所述適配器連接，所述適配器上配置有與所述升降氣缸卡合的所述第一滾軸，所述下基座上設(shè)置有所述位移氣缸且所述下基座還與所述升降氣缸的導(dǎo)桿連接。
[0021]進(jìn)一步地，所述閥門(mén)本體還包括與所述位移氣缸卡合的第二滾軸、上基座和殼體。
[0022]進(jìn)一步地，所述閥門(mén)控制裝置還包括:傳感器，所述傳感器設(shè)置在所述適配器上；
[0023]所述傳感器用于感測(cè)所述閥門(mén)本體的升降高度，并在所述閥門(mén)本體上升至預(yù)定高度使得所述適配器定位時(shí)，向所述位移氣缸傳輸感應(yīng)信號(hào)。
[0024]第二方面，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種真空閥門(mén)系統(tǒng)，包括如第一方面所述的閥門(mén)控制裝置和具有閥門(mén)框的真空腔；
[0025]所述閥門(mén)控制裝置控制所述閥門(mén)本體位移并與所述真空腔的閥門(mén)框閉合，以密閉所述真空腔；或者，所述閥門(mén)控制裝置控制所述閥門(mén)本體位移并與所述真空腔的閥門(mén)框分離，以打開(kāi)所述真空腔。
[0026]本實(shí)用新型提供的閥門(mén)控制裝置和真空閥門(mén)系統(tǒng)中，升降氣缸用于控制閥門(mén)本體在第一方向升降，并控制閥門(mén)本體上升至預(yù)定高度或下降至預(yù)定高度；位移氣缸用于在升降氣缸控制閥門(mén)本體上升至預(yù)定高度時(shí)，控制閥門(mén)本體在第二方向位移并控制閥門(mén)本體位移至預(yù)定位置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的閥門(mén)控制裝置中，沒(méi)有設(shè)置滾軸凸輪，因此不會(huì)產(chǎn)生滾軸在滾軸凸輪軌道中運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致磨損滾軸凸輪造成閥片無(wú)法與閥門(mén)框密閉的后果。本實(shí)用新型的閥門(mén)控制裝置中，通過(guò)位移氣缸取代滾軸凸輪，用于控制閥門(mén)本體在第二方向上位移，以達(dá)到閉合或打開(kāi)的效果，避免了金屬間的硬性接觸，消除了現(xiàn)有技術(shù)中滾軸凸輪與滾軸間的磨損。
【附圖說(shuō)明】
[0027]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖做一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0028]圖1a為現(xiàn)有技術(shù)提供的閥門(mén)控制裝置的正面剖視圖；
[0029]圖1b為圖1a沿A-A’方向的側(cè)面剖視圖；
[0030]圖2a為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的閥門(mén)控制裝置的正面剖視圖；
[0031]圖2b為圖2a沿B-B’方向的側(cè)面剖視圖；
[0032]圖3a為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的閥門(mén)控制裝置的正面剖視圖；
[0033]圖3b為圖3a沿C_C’方向的側(cè)面剖視圖；
[0034]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的一種真空閥門(mén)系統(tǒng)的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型提出的閥門(mén)控制裝置和真空閥門(mén)系統(tǒng)的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。
[0036]實(shí)施例一
[0037]如圖2a所示為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的閥門(mén)控制裝置的正面剖視圖，如圖2b所示為圖2a沿B-B’方向的側(cè)面剖視圖。本實(shí)用新型實(shí)施例一提供一種閥門(mén)控制裝置，包括:
[0038]閥門(mén)本體100 ;與閥門(mén)本體100連接的升降氣缸110，升降氣缸110用于控制閥門(mén)本體100在第一方向升降，并控制閥門(mén)本體100上升至預(yù)定高度或下降至預(yù)定高度；與閥門(mén)本體100連接的位移氣缸120，位移氣缸120用于在升降氣缸110控制閥門(mén)本體100上升至預(yù)定高度時(shí)，控制閥門(mén)本體100在第二方向位移并控制閥門(mén)本體100位移至預(yù)定位置。其中，可選第二方向與第一方向垂直。在此設(shè)置第一方向?yàn)閅方向，第二方向?yàn)閄方向，并且升降氣缸110向+Y方向以及位移氣缸120向-X方向的移動(dòng)可使閥門(mén)本體100達(dá)到閉合的效果。
[0039]升降氣缸110和位移氣缸120控制閥門(mén)本體100具有初始狀態(tài)，初始狀態(tài)下閥門(mén)本體100保持打開(kāi)的效果。當(dāng)閥門(mén)本體100中的閥片101需要達(dá)到閉合的效果時(shí)，升降氣缸110控制閥門(mén)本體100在第一方向上從初始狀態(tài)上升至預(yù)定高度，使得閥門(mén)本體100的閥片101與閥門(mén)框保持同一高度，隨后位移氣缸120控制閥門(mén)本體100在第二方向上從初始狀態(tài)位移至預(yù)定位置以使同一高度的閥片101與閥門(mén)框閉合。當(dāng)閥門(mén)本體100中的閥片101需要達(dá)到打開(kāi)的效果時(shí)，位移氣缸120控制閥門(mén)本體100在第二方向上從預(yù)定位置位移至初始狀態(tài)，使得閥門(mén)本體100的閥片101與閥門(mén)框分離且保持同一高度，隨后升降氣缸110控制閥門(mén)本體100在第一方向上從預(yù)定高度下降至初始狀態(tài)以使閥片101高度下降。
[0040]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的閥門(mén)控制裝置的工作原理是:升降氣缸110控制閥門(mén)本體100在第一方向上的升降位置，當(dāng)閥門(mén)本體100中的閥片101上升至所屬高度時(shí)，位移氣缸120帶動(dòng)閥門(mén)本體100在第二方向上產(chǎn)生位移，達(dá)到滾軸凸輪的效果。
[0041]可選位移氣缸120為單動(dòng)常入性氣缸。單動(dòng)氣缸通過(guò)彈簧復(fù)位，用電磁閥控制，具有使用范圍廣、備料維修方便、氣缸行程短、耗損低等優(yōu)勢(shì)。
[0042]可選地閥門(mén)本體100包括閥片101、閥桿102、適配器103、與升降氣缸110卡合的第一滾軸104、下基座105 ;其中，閥桿102的第一端與閥片101連接、第二端與適配器103連接，適配器103上配置有與升降氣缸110卡合的第一滾軸104，下基座105上設(shè)置有位移氣缸120且下基座105還與升降氣缸110的導(dǎo)桿連接。閥門(mén)本體100還包括與位移氣缸120卡合的第二滾軸106、上基座107和殼體108。殼體108用于封裝除閥片101和閥桿102之外的閥門(mén)控制裝置，閥片101安裝在閥桿102上，閥桿102連接在適配器103上，上基座107限制了適配器103的上升高度，3組升降氣缸110 (升降氣缸1、2、3)的導(dǎo)桿固定在下基座105的底板上以帶動(dòng)下基座105上升，適配器103上配置有第一滾軸104且卡合在升降氣缸110的側(cè)邊以隨著升降氣缸110的升降而相應(yīng)升降，位移氣缸120固定在下基座105的側(cè)擋