用于運(yùn)行閥的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于運(yùn)行閥、尤其真空閥的方法，該閥將至少兩個(gè)腔室的開(kāi)口相互連接并且為了關(guān)閉所述腔室中每個(gè)腔室的開(kāi)口具有至少一個(gè)自身的封閉機(jī)構(gòu)，其中所述封閉機(jī)構(gòu)為了在關(guān)閉位置中封閉開(kāi)口在所述閥的閥殼體內(nèi)腔中由閥的至少一個(gè)縱向驅(qū)動(dòng)裝置壓到分別配屬于開(kāi)口的閥座上。
【背景技術(shù)】
[0002]在上述類型的方法中所使用的閥布置在至少兩個(gè)腔室之間，從而能夠封閉腔室中的開(kāi)口。在所述開(kāi)口的打開(kāi)狀態(tài)下能夠經(jīng)由閥將工件、構(gòu)件以及類似器件插入到腔室內(nèi)部或者在兩個(gè)腔室之間轉(zhuǎn)移。所述腔室能夠是過(guò)程腔室，其中工件、構(gòu)件或者類似器件經(jīng)受處理、凈化或者制造過(guò)程或者類似過(guò)程。然而所述腔室也能夠是所謂的轉(zhuǎn)移腔室，所述轉(zhuǎn)移腔室基本上用作過(guò)程腔室之間的連接或者用作用于過(guò)程腔室的前腔室。上述類型的閥首先也用在所謂的真空技術(shù)中，其中考慮到工件、構(gòu)件或者其他物體在所述腔室內(nèi)部在特定的大氣壓中并且/或者在特定的壓力條件下經(jīng)受專門的處理。在所述閥中還有在所述腔室中，由于相應(yīng)的氣體成分和/或處理步驟通過(guò)一定的處理會(huì)出現(xiàn)過(guò)程殘?jiān)约邦愃莆锏某练e。此外，大多數(shù)輪流需要所述閥經(jīng)受維護(hù)。
[0003]例如在準(zhǔn)備這種維護(hù)或者凈化過(guò)程中經(jīng)常需要首先在至少一個(gè)所述腔室與閥殼體內(nèi)腔之間實(shí)施一次壓力平衡。
[0004]由KR 10-1771990 BI公開(kāi)了這種經(jīng)由額外的旁通管道實(shí)現(xiàn)的壓力平衡，這些旁通管道設(shè)置在所述腔室與閥殼體內(nèi)腔之間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的任務(wù)在于，在所述類型的方法中提供一種用于實(shí)施壓力平衡的替代方案。
[0006]為此，根據(jù)本發(fā)明提出，為了打開(kāi)所述開(kāi)口之一，在配屬于該開(kāi)口的腔室中產(chǎn)生超壓，該超壓高于閥殼體內(nèi)腔中的瞬時(shí)壓力，其中通過(guò)該超壓將配屬于所述開(kāi)口的封閉機(jī)構(gòu)從配屬于該開(kāi)口的閥座上取下并且隨后穿過(guò)該開(kāi)口在配屬于該開(kāi)口的腔室與閥殼體內(nèi)腔之間實(shí)施壓力平衡。
[0007]與所述現(xiàn)有技術(shù)相比，在本發(fā)明中提出不再經(jīng)由單獨(dú)的旁通管道、而是直接通過(guò)腔室中的開(kāi)口實(shí)現(xiàn)壓力平衡，其方式為在所述腔室之一中產(chǎn)生超壓，該超壓如此之大，使得配屬于該開(kāi)口的封閉機(jī)構(gòu)從配屬于該開(kāi)口的閥座上取下。穿過(guò)如此實(shí)現(xiàn)的、形式為腔室的打開(kāi)的開(kāi)口的溢流孔能夠?qū)崿F(xiàn)壓力平衡。與上述現(xiàn)有技術(shù)相比，由此在本發(fā)明中不再需要旁通管道，因?yàn)榍皇抑械某瑝河糜趬壕o封閉機(jī)構(gòu)，從而由此實(shí)現(xiàn)壓力平衡。
[0008]能夠用按本發(fā)明的方法運(yùn)行的閥能夠?qū)⒉煌瑪?shù)量的開(kāi)口與不同數(shù)量的腔室相互連接起來(lái)并且分別具有相應(yīng)數(shù)量的封閉機(jī)構(gòu)。有利的是，對(duì)每個(gè)腔室以及腔室中每個(gè)開(kāi)口來(lái)說(shuō)分別存在一封閉機(jī)構(gòu)。由此，為了封閉所述腔室中每個(gè)腔室的開(kāi)口，所述閥有利地包括至少一個(gè)自身的封閉機(jī)構(gòu)。在最小變型方案中，所述閥設(shè)計(jì)用于將腔室中的開(kāi)口與其他腔室中的其他開(kāi)口連接起來(lái)。在這種情況下，閥對(duì)每個(gè)開(kāi)口來(lái)說(shuō)都具有自身的封閉機(jī)構(gòu)，也就是兩個(gè)封閉機(jī)構(gòu)。每個(gè)封閉機(jī)構(gòu)則用于封閉所述開(kāi)口之一。因?yàn)殚y在這種情況下具有兩個(gè)封閉機(jī)構(gòu)，所以其在該配置中也能夠稱作雙桶。
[0009]然而按本發(fā)明的方法也能夠用于運(yùn)行其他配置的閥。例如能夠考慮所述閥將多于兩個(gè)的腔室與相應(yīng)的開(kāi)口相互連接起來(lái)并且隨后剛好根據(jù)開(kāi)口的數(shù)量也具有相應(yīng)數(shù)量的封閉機(jī)構(gòu)。此外，腔室當(dāng)然也能夠具有多個(gè)開(kāi)口，其中對(duì)每個(gè)開(kāi)口或者每個(gè)腔室來(lái)說(shuō)能夠設(shè)置至少一個(gè)封閉機(jī)構(gòu)。
[0010]配屬于所述腔室中相應(yīng)開(kāi)口的閥座能夠直接包圍所述腔室中相應(yīng)的開(kāi)口，或者然而也能夠在閥的包圍閥殼體內(nèi)腔的閥殼體中的開(kāi)口上實(shí)現(xiàn)，其中閥殼體中的開(kāi)口在裝配好的狀態(tài)下與腔室的相應(yīng)的開(kāi)口一致或者說(shuō)裝配在其上。有利的是，腔室中的開(kāi)口還有必要時(shí)閥殼體中的開(kāi)口是所謂的用于穿過(guò)有待處理的構(gòu)件的轉(zhuǎn)移開(kāi)口。該開(kāi)口的開(kāi)口橫截面原則上根據(jù)穿過(guò)其有待輸送的構(gòu)件或工件的尺寸進(jìn)行校正。所述開(kāi)口的開(kāi)口橫截面例如能夠在90cm2 (平方厘米)到25000cm2的范圍內(nèi)、優(yōu)選在3000 cm2到10000 cm2的范圍內(nèi)。適合于此的封閉機(jī)構(gòu)例如能夠構(gòu)造成閥板(Ventilplatten)的形式。在關(guān)閉位置中有利地借助于封閉機(jī)構(gòu)在所述腔室或者說(shuō)其內(nèi)腔與閥殼體內(nèi)腔之間形成封閉。必要時(shí)為此所需的封閉件不僅能夠布置在封閉機(jī)構(gòu)上，而且也能夠布置在閥座上。根據(jù)應(yīng)用情況以及存在的壓力比，能夠使用現(xiàn)有技術(shù)中合適的封閉件，在此不必對(duì)此進(jìn)行一次詳細(xì)探討。用按本發(fā)明的方法運(yùn)行的閥也能夠稱作封閉裝置。
[0011]如開(kāi)頭已經(jīng)說(shuō)明的那樣，按本發(fā)明的方法優(yōu)選用在所謂的真空技術(shù)中。所述閥由于其用在真空技術(shù)中，也能夠稱作真空閥。人們通常在至少暫時(shí)實(shí)現(xiàn)具有小于或等于0.001毫巴或者說(shuō)0.1帕斯卡的壓力的運(yùn)行狀態(tài)時(shí)談及真空技術(shù)。
[0012]在按本發(fā)明的方法的優(yōu)選的設(shè)計(jì)方式中提出，為了用超壓將配屬于所述開(kāi)口的封閉機(jī)構(gòu)從包圍該開(kāi)口的閥座中取下，克服了由縱向驅(qū)動(dòng)裝置并且由閥殼體內(nèi)腔中的瞬時(shí)壓力朝向關(guān)閉位置施加到封閉機(jī)構(gòu)上的力。
[0013]尤其當(dāng)考慮到在真空技術(shù)中將按本發(fā)明的方法用于真空閥的維護(hù)、更換和/或清潔的準(zhǔn)備工作時(shí)，有利的是，在配屬于所述開(kāi)口的腔室以及閥殼體內(nèi)腔中產(chǎn)生超壓之前，相應(yīng)地存在一種壓力，所述壓力小于大氣壓力并且為了在配屬于所述開(kāi)口的腔室中產(chǎn)生超壓而形成大氣壓力。大氣壓力在這種情況下理解為存在于地球表面的環(huán)境壓力。
[0014]尤其如果要不應(yīng)影響在按本發(fā)明的打開(kāi)過(guò)程期間和之后其他腔室中的氣體成分以及壓力比，有利地提出，在打開(kāi)所述開(kāi)口之一時(shí)封閉至少一個(gè)其他腔室的至少一個(gè)其他開(kāi)口的封閉機(jī)構(gòu)由縱向驅(qū)動(dòng)裝置和/或由在閥殼體內(nèi)腔中形成的壓力壓到配屬于其他開(kāi)口的閥座上。
[0015]為了所述封閉機(jī)構(gòu)在最大的打開(kāi)位置中盡可能不怎么妨礙穿過(guò)有待處理的物品、工件或類似器件，按本發(fā)明的方法提出，所述封閉機(jī)構(gòu)能夠由至少一個(gè)縱向驅(qū)動(dòng)裝置在相應(yīng)的關(guān)閉位置和相應(yīng)的中間位置之間運(yùn)動(dòng)，并且能夠由至少一個(gè)橫向驅(qū)動(dòng)裝置在所述相應(yīng)的中間位置和相應(yīng)的最大打開(kāi)位置之間運(yùn)動(dòng)，其中所述封閉機(jī)構(gòu)在所述相應(yīng)的中間位置中從相應(yīng)的閥座上取下但還布置在所述開(kāi)口之間的區(qū)域內(nèi)并且在相應(yīng)最大的打開(kāi)位置中優(yōu)選完全地從所述開(kāi)口之間的區(qū)域內(nèi)運(yùn)動(dòng)出來(lái)。其中有封閉機(jī)構(gòu)實(shí)施這種運(yùn)動(dòng)的閥也經(jīng)常稱作所謂的L閥。縱向驅(qū)動(dòng)裝置的運(yùn)動(dòng)方向有利地沿著穿過(guò)開(kāi)口的輸送方向。所述橫向驅(qū)動(dòng)裝置的運(yùn)動(dòng)方向?yàn)榇擞欣貜澢?yōu)選正交地布置。
[0016]在按本發(fā)明的方法中特別優(yōu)選地提出，配屬于所述開(kāi)口的封閉機(jī)構(gòu)通過(guò)超壓在從配屬于該開(kāi)口的閥座上取下時(shí)從關(guān)閉位置被置入到中間位置中。這足以實(shí)現(xiàn)配屬于該開(kāi)口的腔室與閥殼體內(nèi)腔之間的壓力平衡。
[0017]所述封閉機(jī)構(gòu)以及開(kāi)口以有利的方式相互對(duì)置地布置。特別優(yōu)選的是，所述至少一個(gè)縱向驅(qū)動(dòng)裝置能夠使封閉機(jī)構(gòu)朝向彼此和遠(yuǎn)離彼此運(yùn)動(dòng)。特別優(yōu)選地提出，所述封閉機(jī)構(gòu)能夠通過(guò)至少一個(gè)縱向驅(qū)動(dòng)裝置或者多個(gè)縱向驅(qū)動(dòng)裝置相互獨(dú)立地運(yùn)動(dòng)。例如能夠?yàn)槊總€(gè)封閉機(jī)構(gòu)分配自身的縱向驅(qū)動(dòng)裝置。然而在這種情況下有利的是，所述縱向驅(qū)動(dòng)裝置布置在共同的縱向驅(qū)動(dòng)裝置載體上。所述共同的縱向驅(qū)動(dòng)裝置載體能夠連同縱向驅(qū)動(dòng)裝置例如通過(guò)橫向驅(qū)動(dòng)裝置運(yùn)動(dòng)。由此，在這種情況下為所述縱向驅(qū)動(dòng)裝置分配共同的橫向驅(qū)動(dòng)裝置。
【附圖說(shuō)明】
[0018]根據(jù)下面的【附圖說(shuō)明】解釋按本發(fā)明的方法的優(yōu)選實(shí)施方式的其他特征以及細(xì)節(jié)。附圖中:
圖1示出兩個(gè)借助于閥連接的腔室的示意圖；
圖2到5示出用在圖1中的閥的示意性的細(xì)節(jié)圖；
圖6示出多個(gè)相互前后排列布置的腔室的示意圖，所述腔室分別借助于閥相互連接； 圖7示出沿著圖6中剖切線A-A的縱剖圖；
圖8示出多個(gè)十字形布置的腔室，所述腔室借助于閥以及中間的轉(zhuǎn)移腔室相互連接；
并且
圖9示出關(guān)于圖8中剖切線B-B的剖視圖。
[0019]附圖標(biāo)記列表
I閥
2、2，、2，，開(kāi)口
3、3，、3，，開(kāi)口
4腔室
5腔室
6封閉機(jī)構(gòu)
7封閉機(jī)構(gòu)
8閥殼體內(nèi)腔
9縱向驅(qū)動(dòng)裝置
10閥座
II閥座
12縱向驅(qū)動(dòng)裝置載體
13橫向驅(qū)動(dòng)裝置
14區(qū)域
15閥殼體 16輸送方向
17桿
18封閉件
19泵
20通氣閥
21分配閥。
【具體實(shí)施方式】
[0020]在圖1中在此非常示意性地示出了兩個(gè)腔室4和5，所述腔室借助于閥I相互連接。兩個(gè)腔室4和5具有開(kāi)口 2和3。所述閥I用于在閥I的打開(kāi)的狀態(tài)下將腔室4和5或者說(shuō)腔室容積4和5相互連接，從而能夠?qū)?gòu)件、工件以及類似件穿過(guò)開(kāi)口 2和3以及閥殼體內(nèi)腔8從腔室4置于腔室5中或者相反安置。在關(guān)閉狀態(tài)下，所述閥I負(fù)責(zé)封閉并且密封所述開(kāi)口 2和3中單個(gè)或者兩個(gè)。為每個(gè)開(kāi)口 2和3分別設(shè)置了自身的封閉機(jī)構(gòu)6和7ο該封閉機(jī)構(gòu)在此構(gòu)造成板或者說(shuō)板狀的，從而封閉或者釋放分別配屬于其的開(kāi)口 2和3。在此，經(jīng)由示意性描繪的封閉件18實(shí)現(xiàn)封閉，用該封閉件使得相應(yīng)的封閉機(jī)構(gòu)6和7抵靠在各自的閥座10和11上。在這里所示的實(shí)施例中，配屬于腔室4的開(kāi)口 2的閥座10構(gòu)造在閥I的閥殼體15上。配屬于腔室5的開(kāi)口 3的閥座11同樣布置在閥殼體15上。該閥座10包圍閥殼體15中的開(kāi)口 2’。該開(kāi)口 2’與腔室4的開(kāi)口 2—致。所述閥座11包圍閥殼體15中的開(kāi)口 3’。該開(kāi)口 3’與腔室5的開(kāi)口 3—致。當(dāng)然，配屬于開(kāi)口 2的閥座10也能夠直接構(gòu)造在腔室4的相應(yīng)的壁上并且直接包圍所述開(kāi)口 2。同樣適用于閥座11和開(kāi)口 3。也就是該閥座11也能夠直接構(gòu)造在腔室5的壁上并且包圍開(kāi)口 3。
[0021]在此實(shí)現(xiàn)的縱向驅(qū)動(dòng)裝置9用于使封閉機(jī)構(gòu)在關(guān)閉位置和中間位置之間來(lái)回運(yùn)動(dòng)。平行于輸送方向16實(shí)現(xiàn)該運(yùn)動(dòng)。在相應(yīng)程度打開(kāi)的閥I中，物體以及氣體能夠沿著輸送方向16穿過(guò)閥殼體內(nèi)腔8從一個(gè)腔室4或5輸向另一個(gè)腔室4或5。所述縱向驅(qū)動(dòng)裝置9在此在共同的縱向驅(qū)動(dòng)裝置載體12中實(shí)現(xiàn)。所述封閉機(jī)構(gòu)6和7連同縱向驅(qū)動(dòng)裝置9和縱向驅(qū)動(dòng)裝置載體12在該實(shí)施例中通過(guò)橫向驅(qū)動(dòng)裝置13垂直于輸送方向16在中間位置與最大打開(kāi)的位置之間運(yùn)動(dòng)。圖3、4和5示出了閥I的縱剖圖，其中所述縱向驅(qū)動(dòng)裝置9和橫向驅(qū)動(dòng)裝置13雖然還是示意性的，但是卻更精確地示出。如在那里能夠看到的那樣，不僅所述縱向驅(qū)動(dòng)裝置9而且所述橫向驅(qū)動(dòng)裝置13能夠構(gòu)造成液壓或者氣動(dòng)的活塞氣