本發(fā)明涉及開關(guān)結(jié)構(gòu),更具體地說,特別涉及一種mo源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
1、隨著mocvd?設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛應(yīng)用,作為配套設(shè)施之一的mo源瓶溫控裝置也越來越重要。mo源瓶是mo(metalorganic?source)源的專用包裝容器。
2、mocvd已經(jīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體材料和器件的關(guān)鍵設(shè)備和工藝,在開啟mo源瓶時(shí),源瓶內(nèi)外的壓力不同,容易造成原料液體倒灌到流量控制器或者壓強(qiáng)控制器里面去,這樣就容易損壞流量控制器和壓強(qiáng)控制器,這兩種儀器只能接觸氣體介質(zhì)而不是液體介質(zhì),一旦接觸到液體介質(zhì)就容易損壞流量控制器和壓強(qiáng)控制器。
3、于是,有鑒于此,針對(duì)現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)及缺失予以研究改良,提供一種mo源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu),以期達(dá)到更具有更加適應(yīng)實(shí)際應(yīng)用場景的目的。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供一種mo源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu),以解決以上的問題。
2、本發(fā)明一種mo源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu),由以下具體技術(shù)手段所達(dá)成:
3、一種mo源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu),包括mo源瓶,所述mo源瓶的上端固定安裝有控制組件,所述控制組件的上端安裝有出氣管和進(jìn)氣管,所述控制組件的下端安裝有短管和長管,
4、所述控制組件包括與mo源瓶固定連接的安裝殼,所述安裝殼的內(nèi)部滑動(dòng)安裝有第一安裝塊和第二安裝塊,所述第一安裝塊與安裝殼之間通過螺栓安裝,所述安裝殼上端和下端分別開設(shè)有配合導(dǎo)氣槽組使用的連接氣槽組,所述安裝殼的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有配合第一閥組、第二閥組和第三閥組使用的旋轉(zhuǎn)盤,所述旋轉(zhuǎn)盤的側(cè)壁安裝有旋鈕組件;
5、通過所述?mo?源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu)開啟mo?源瓶的順序如下,先轉(zhuǎn)動(dòng)第三閥組,再轉(zhuǎn)動(dòng)第一閥組,最后轉(zhuǎn)動(dòng)第二閥組,關(guān)閉源瓶的順序如下,先轉(zhuǎn)動(dòng)第二閥組,再轉(zhuǎn)動(dòng)第一閥組,最后轉(zhuǎn)動(dòng)第三閥組,以上每一步時(shí)間間隔2秒至20秒之間;
6、在開啟之前狀態(tài):第一閥組和第三閥組中的導(dǎo)氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽垂直設(shè)置,而第二閥組中的導(dǎo)氣孔與橫槽平行設(shè)置;
7、開啟狀態(tài):先旋轉(zhuǎn)第三閥組,由于短管與液體沒有接觸,即使源瓶內(nèi)外有壓強(qiáng)不一致,只要旋轉(zhuǎn)第三閥組并延時(shí)一段時(shí)間,第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部壓強(qiáng)都一致,此時(shí)再旋轉(zhuǎn)第一閥組,mo源瓶中的液體就不可能在壓力下逆流到上面去,這就避免了mo源瓶開啟時(shí)的液體逆流和倒灌;
8、關(guān)閉前狀態(tài):第一閥組、第三閥組中的導(dǎo)氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽平行設(shè)置,而第二閥組中的導(dǎo)氣孔與橫槽垂直設(shè)置;
9、關(guān)閉狀態(tài):先旋轉(zhuǎn)第二閥組,這樣第一豎槽、第二豎槽和橫槽相互連通,第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部壓強(qiáng)都一致了,然后先旋轉(zhuǎn)第一閥組,最后在旋轉(zhuǎn)第三閥組,也同樣不會(huì)造成液體逆流和倒灌。
10、進(jìn)一步的,所述導(dǎo)氣槽組包括開設(shè)于第一安裝塊外壁的第一豎槽、第二豎槽和橫槽,所述第三閥組安裝于第一豎槽的中間位置,所述第二閥組安裝于橫槽的中間位置,所述第一閥組安裝于第二豎槽的中間位置,所述第二安裝塊的外壁開設(shè)的導(dǎo)氣槽組與第一安裝塊外壁的外壁的導(dǎo)氣槽組相同,所述連接氣槽組分別由開設(shè)于安裝殼上端一側(cè)與進(jìn)氣管和第二豎槽連接的第一連接孔、開設(shè)于安裝殼上端另一側(cè)與出氣管和第一豎槽連接的第二連接孔、開設(shè)于安裝殼下端一側(cè)與長管和第二豎槽連接的第三連接孔以及開設(shè)于安裝殼下端另一側(cè)與短管和第一豎槽連接的第四連接孔組成;
11、所述第三閥組包括與第一安裝塊和第二安裝塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接的密封盤,所述密封盤的中間位置開設(shè)有第一導(dǎo)氣孔,所述密封盤的一端中間位置固定連接有連接桿,所述連接桿貫穿第二安裝塊并與之轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述連接桿的末端固定安裝有第一齒輪,所述第一閥組和第二閥組的結(jié)構(gòu)相同第三閥組,其中第二閥組中的第二導(dǎo)氣孔與第三閥組中的第一導(dǎo)氣孔相垂直;
12、在實(shí)際應(yīng)用中,通過可以相互可以連通的第一豎槽、第二豎槽和橫槽與第一閥組、第二閥組和第三閥組之間的相互配合使用,從而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽的通斷,從而避免第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部氣壓不平衡,而導(dǎo)致液體從長管中流出,具體為,旋鈕組件旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)盤中的一段齒牙組帶動(dòng)第一齒輪旋轉(zhuǎn),第一齒輪帶動(dòng),第一齒輪帶動(dòng)密封盤旋轉(zhuǎn)90度,從而使第一導(dǎo)氣孔與第一豎槽連通或者關(guān)閉,同理第一閥組和第二閥組控制第二豎槽和橫槽的連通或者關(guān)閉,進(jìn)而在打開時(shí),保障第一豎槽、第二豎槽和橫槽之間的壓力平衡,避免液體從長管中流出而損壞流量控制器或者壓強(qiáng)控制器。
13、進(jìn)一步的,所述旋鈕組件包括與旋轉(zhuǎn)盤固定連接的旋轉(zhuǎn)體,所述旋轉(zhuǎn)體的內(nèi)部為空心設(shè)置,所述旋轉(zhuǎn)體的內(nèi)部滑動(dòng)安裝有滑塊,所述滑塊的一端設(shè)置有復(fù)位彈簧,所述滑塊的一端固定設(shè)置有固定桿,所述固定桿貫穿旋轉(zhuǎn)體并與之滑動(dòng)連接,所述安裝殼的外壁開設(shè)有配合固定桿使用的弧形槽,所述弧形槽的內(nèi)部粘貼有橡膠片;
14、在實(shí)際應(yīng)用中,本旋鈕組件設(shè)置有固定桿和與之配合使用的弧形槽,當(dāng)工作人員在旋轉(zhuǎn)旋鈕組件的時(shí)候,當(dāng)?shù)谝婚y組、第二閥組和第三閥組發(fā)生旋轉(zhuǎn)的時(shí)候,固定桿就會(huì)進(jìn)入弧形槽內(nèi)部,固定桿與橡膠片之間會(huì)增加摩擦力,從而為工作人員提供一種輕微的阻力,進(jìn)而提醒工作人員旋轉(zhuǎn)速90度,避免旋轉(zhuǎn)速90度過快,導(dǎo)致第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部氣壓還未完成平衡就打開,進(jìn)而導(dǎo)致液體從長管中流出。
15、進(jìn)一步的,旋轉(zhuǎn)盤的內(nèi)壁固定設(shè)置有多組配合第一閥組、第二閥組和第三閥組使用的齒牙組,每組所述齒牙能帶動(dòng)第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉(zhuǎn)90度,所述第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯(cuò)位設(shè)置;
16、在實(shí)際應(yīng)用中,齒牙組可以根據(jù)實(shí)際使用做出相對(duì)應(yīng)的改變,由于第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯(cuò)位設(shè)置,因此當(dāng)工作人員在旋轉(zhuǎn)旋鈕組件的時(shí)候,旋鈕組件帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)部的不同齒牙組分別帶動(dòng)相對(duì)應(yīng)的第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉(zhuǎn)90度,進(jìn)而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部連通,從而有效的避免新人在操作中,因?yàn)樾o打開順序出錯(cuò),導(dǎo)致mo源瓶內(nèi)部的液體從長管內(nèi)部進(jìn)入控制組件、進(jìn)氣管和出氣管中,進(jìn)而避免液體進(jìn)入流量控制器或者壓強(qiáng)控制器內(nèi)部,導(dǎo)致流量控制器或者壓強(qiáng)控制器損壞。
17、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下有益效果:
18、1、在開啟之前狀態(tài):第一閥組和第三閥組中的導(dǎo)氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽垂直設(shè)置,而第二閥組中的導(dǎo)氣孔與橫槽平行設(shè)置;
19、開啟狀態(tài):先旋轉(zhuǎn)第三閥組,由于短管與液體沒有接觸,即使源瓶內(nèi)外有壓強(qiáng)不一致,只要旋轉(zhuǎn)第三閥組并延時(shí)一段時(shí)間,第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部壓強(qiáng)都一致,此時(shí)再旋轉(zhuǎn)第一閥組,mo源瓶中的液體就不可能在壓力下逆流到上面去,這就避免了mo源瓶開啟時(shí)的液體逆流和倒灌;
20、關(guān)閉前狀態(tài):第一閥組、第三閥組中的導(dǎo)氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽平行設(shè)置,而第二閥組中的導(dǎo)氣孔與橫槽垂直設(shè)置;
21、關(guān)閉狀態(tài):先旋轉(zhuǎn)第二閥組,這樣第一豎槽、第二豎槽和橫槽相互連通,第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部壓強(qiáng)都一致了,然后先旋轉(zhuǎn)第一閥組,最后在旋轉(zhuǎn)第三閥組,也同樣不會(huì)造成液體逆流和倒灌。
22、2、本旋鈕組件設(shè)置有固定桿和與之配合使用的弧形槽,當(dāng)工作人員在旋轉(zhuǎn)旋鈕組件的時(shí)候,當(dāng)?shù)谝婚y組、第二閥組和第三閥組發(fā)生旋轉(zhuǎn)的時(shí)候,固定桿就會(huì)進(jìn)入弧形槽內(nèi)部,固定桿與橡膠片之間會(huì)增加摩擦力,從而為工作人員提供一種輕微的阻力,進(jìn)而提醒工作人員旋轉(zhuǎn)速90度,避免旋轉(zhuǎn)速度過快,導(dǎo)致第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部氣壓還未完成平衡就打開,進(jìn)而導(dǎo)致液體從長管中流出。
23、3、齒牙組可以根據(jù)實(shí)際使用做出相對(duì)應(yīng)的改變,由于第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯(cuò)位設(shè)置,因此當(dāng)工作人員在旋轉(zhuǎn)旋鈕組件的時(shí)候,旋鈕組件帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)盤內(nèi)部的不同齒牙組分別帶動(dòng)相對(duì)應(yīng)的第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉(zhuǎn)90度,進(jìn)而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽內(nèi)部連通,從而有效的避免新人在操作中,因?yàn)樾o打開順序出錯(cuò),導(dǎo)致mo源瓶內(nèi)部的液體從長管內(nèi)部進(jìn)入控制組件、進(jìn)氣管和出氣管中,進(jìn)而避免液體進(jìn)入流量控制器或者壓強(qiáng)控制器內(nèi)部,導(dǎo)致流量控制器或者壓強(qiáng)控制器損壞。
24、本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)、目標(biāo)和特征將部分通過下面的說明體現(xiàn),部分還將通過對(duì)本發(fā)明的研究和實(shí)踐而為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所理解。