本發(fā)明屬于精密運(yùn)動(dòng)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，涉及一種調(diào)節(jié)效率高且調(diào)節(jié)精度高的基于直線步進(jìn)電機(jī)的角位移平臺(tái)裝置。

背景技術(shù)：

隨著光纖通信和光纖傳感技術(shù)的發(fā)展，光電子器件的制備成為了光信息技術(shù)進(jìn)一步發(fā)展的關(guān)鍵。光電子集成器件的封裝技術(shù)影響著光電子器件的可靠性，關(guān)鍵的封裝工藝與封裝設(shè)備可以大幅度的提高生產(chǎn)效率、保證器件的質(zhì)量;目前光電子封裝企業(yè)主要依靠手動(dòng)耦合為主。

如中國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn) CN103559916B公開(kāi)了一種手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，包括底座、臺(tái)面、固定臺(tái)、連接臺(tái)、分厘卡、角度傾斜板和鉸接鋼片，所述底座包括Z向底座和XY向底座；所述固定臺(tái)包括Z向固定臺(tái)和XY向固定臺(tái)，所述Z向固定臺(tái)安裝在Z向底座上，所述XY向固定臺(tái)安裝在 XY向底座上；所述連接臺(tái)包括第一連接臺(tái)與第二連接臺(tái)；上述專(zhuān)利文獻(xiàn)所述的手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)利用鋼片支撐、分厘卡微調(diào)的方式達(dá)到平臺(tái)在X軸、Y軸和Z軸的微動(dòng)角位移。

但是，上述專(zhuān)利文獻(xiàn)所述的手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的三自由度微動(dòng)角位臺(tái)，至少存在以下不足之處：采用手動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)準(zhǔn)，在實(shí)際操作過(guò)程中，需要作業(yè)人員的操作熟練且操作動(dòng)作幅度小，否則不僅操作效率低，而且其完成質(zhì)量差、難以達(dá)到高精確度要求，更難以滿足具有精度要求高的新一代芯片的耦合對(duì)準(zhǔn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為此，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于現(xiàn)有技術(shù)中的微動(dòng)角位臺(tái)采用手動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)準(zhǔn)，器操作效率低、完成質(zhì)量差；進(jìn)而提供一種調(diào)節(jié)效率高且調(diào)節(jié)精度高的基于直線步進(jìn)電機(jī)的角位移平臺(tái)裝置。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的基于直線步進(jìn)電機(jī)的角位移平臺(tái)裝置，其包括至少一個(gè)角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)，所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)包括底座、臺(tái)面以及中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)；所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)還包括角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)和直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)，所述中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)在所述直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)的帶動(dòng)下使所述臺(tái)面在所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向下發(fā)生角位移；

所述中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)包括限位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，限制所述直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)的輸出桿的轉(zhuǎn)動(dòng)并對(duì)其滑動(dòng)進(jìn)行導(dǎo)向；以及中間組件，與所述輸出桿連接并在所述輸出桿的作用下帶動(dòng)所述臺(tái)面沿所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)發(fā)生角位移；

所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括第一弧形導(dǎo)向部件，設(shè)于所述底座/所述臺(tái)面上；以及第二弧形導(dǎo)向部件，設(shè)于所述臺(tái)面/所述底座上，所述第二弧形導(dǎo)向部件與所述第一導(dǎo)向部件相配合對(duì)所述臺(tái)面的角位移進(jìn)行導(dǎo)向。

所述中間組件包括推動(dòng)件，與所述輸出桿固定連接；以及被推動(dòng)件，固定設(shè)置在所述臺(tái)面的下端面上且朝向所述底座方向進(jìn)行延伸，所述被推動(dòng)件與所述推動(dòng)件貼合。

所述推動(dòng)件包括與所述輸出桿固定連接的鐵塊，所述被推動(dòng)件包括通過(guò)固定座固定安裝在所述臺(tái)面的下端面上的磁鐵，所述鐵塊與所述磁鐵相吸并貼合。

所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)還包括對(duì)所述輸出桿進(jìn)行限位導(dǎo)向的限位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，所述限位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括限位結(jié)構(gòu)和導(dǎo)向結(jié)構(gòu)；所述限位結(jié)構(gòu)包括與所述輸出桿的端部固定連接的U型限位塊，所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述底座內(nèi)的滑槽以及滑動(dòng)安裝在所述滑槽內(nèi)的滑塊，所述滑塊與所述U型限位塊固定連接。

所述鐵塊通過(guò)轉(zhuǎn)接座與所述滑塊固定連接。

所述第一弧形導(dǎo)向部件包括間隔設(shè)置在所述臺(tái)面的下端面上的兩個(gè)弧形導(dǎo)軌；

所述第二弧形導(dǎo)向部件包括對(duì)應(yīng)于所述弧形導(dǎo)軌設(shè)置的兩組軸承組件，每一組所述軸承組件包括若干間隔設(shè)置的多個(gè)軸承，所述軸承組件的所有軸承形成弧形結(jié)構(gòu)，所述弧形結(jié)構(gòu)的弧度與所述弧形導(dǎo)軌的一致；

其中，兩個(gè)所述弧形導(dǎo)軌與兩組所述軸承組件一一配合，對(duì)所述臺(tái)面的角位移進(jìn)行導(dǎo)向。

所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)還包括用于使得所述臺(tái)面和所述底座緊密配合的拉緊結(jié)構(gòu)。

所述角位移平臺(tái)還包括磁性拉緊組件；所述磁性拉緊組件包括設(shè)于所述底座內(nèi)的第一磁塊，設(shè)于所述臺(tái)面的下端面上的且與所述第一磁塊相吸的第二磁塊。

所述角位移平臺(tái)還包括彈性拉緊組件，所述彈性拉緊組件包括一端與所述底座固定連接且另一端與所述臺(tái)面固定連接的拉簧。

所述角位移平臺(tái)還包括對(duì)所述臺(tái)面的角位移進(jìn)行限位的限位結(jié)構(gòu)。

所述角位移平臺(tái)設(shè)為兩個(gè)，兩個(gè)所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)為相互疊加設(shè)置的上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)和下角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)，所述上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)的底座與所述下角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)的臺(tái)面固定連接；其中，所述上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)的所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的球心與所述所述下角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)的所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的球心重合，且兩個(gè)所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸相交并垂直。

本發(fā)明的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

在本發(fā)明中，啟動(dòng)所述直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)，套設(shè)在所述驅(qū)動(dòng)軸上的所述輸出桿在所述限位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的作用下發(fā)生滑動(dòng)，并通過(guò)所述中間組件帶動(dòng)所述臺(tái)面在所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向下發(fā)生角位移，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述臺(tái)面的角位移調(diào)節(jié)，其無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)校準(zhǔn)，只需直接控制所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)即可對(duì)所述臺(tái)面進(jìn)行角位移調(diào)節(jié)，其調(diào)節(jié)效率高且調(diào)節(jié)精準(zhǔn)度高。

附圖說(shuō)明

為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，其中

圖1是本發(fā)明所述的角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明所述的角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)部分結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明所述的角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)截面示意圖；

圖4是本發(fā)明所述的基于直線步進(jìn)電機(jī)的角位移平臺(tái)裝置示意圖；

圖中附圖標(biāo)記表示為：1-上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)；2-下角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)；3-底座；4-臺(tái)面；5-輸出桿；6-鐵塊；7-磁鐵；8-固定座；9-U型限位塊；10-滑槽；11-滑塊；12-轉(zhuǎn)接座；13-弧形導(dǎo)軌；14-軸承；15-第一磁塊；16-第二磁塊；17-拉簧；18-直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)；20-電機(jī)外殼；21-電機(jī)定子；22-電機(jī)轉(zhuǎn)子；23-限位片；24-弧形限位槽；25-限位件；26-電機(jī)軸承。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

如圖1、2、3和4所示，本實(shí)施例的基于直線步進(jìn)電機(jī)的角位移平臺(tái)裝置，其包括至少一個(gè)角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)，所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)包括底座3、臺(tái)面4以及中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)；所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)還包括角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)和直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)，所述中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)在所述直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)的帶動(dòng)下使所述臺(tái)面4在所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向下發(fā)生角位移；

所述中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)包括限位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，限制所述直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)的輸出桿5的轉(zhuǎn)動(dòng)并對(duì)其滑動(dòng)進(jìn)行導(dǎo)向；以及中間組件，與所述輸出桿5連接并在所述輸出桿5的作用下帶動(dòng)所述臺(tái)面4沿所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)發(fā)生角位移；

所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括第一弧形導(dǎo)向部件，設(shè)于所述底座3/所述臺(tái)面4上；以及第二弧形導(dǎo)向部件，設(shè)于所述臺(tái)面4/所述底座3上，所述第二弧形導(dǎo)向部件與所述第一導(dǎo)向部件相配合對(duì)所述臺(tái)面4的角位移進(jìn)行導(dǎo)向。

具體地，如圖3所示，所述直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)18包括電機(jī)外殼20、電機(jī)定子21、電機(jī)轉(zhuǎn)子22、電機(jī)軸承26以及輸出桿5，所述電機(jī)轉(zhuǎn)子22與所述輸出桿5之間為螺紋副連接。

在本實(shí)施例中，啟動(dòng)所述直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)18，所述電機(jī)轉(zhuǎn)子22轉(zhuǎn)動(dòng)，所述輸出桿5在所述螺紋副和所述限位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的相互配合下，不會(huì)發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)而是沿所述電機(jī)轉(zhuǎn)子22的長(zhǎng)度發(fā)生滑動(dòng)，并通過(guò)所述中間組件帶動(dòng)所述臺(tái)面4發(fā)生運(yùn)動(dòng)，所述臺(tái)面4在所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的導(dǎo)向配合發(fā)生角位移，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述臺(tái)面4的角位移的調(diào)節(jié)；在實(shí)際使用過(guò)，通過(guò)控制所述直線步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)18的旋轉(zhuǎn)速度和旋轉(zhuǎn)圈數(shù)，來(lái)控制所述臺(tái)面4具體的角位移值和角位移速度，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)能夠準(zhǔn)確無(wú)誤的根據(jù)設(shè)定的值進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使得所述臺(tái)面4能夠準(zhǔn)確發(fā)生預(yù)設(shè)的角位移，其無(wú)需人工手動(dòng)來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)校準(zhǔn)；因此，該角度調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)效率高且調(diào)節(jié)精準(zhǔn)度高。

在本實(shí)施例中，所述中間組件包括推動(dòng)件，與所述輸出桿5固定連接；以及被推動(dòng)件，固定設(shè)置在所述臺(tái)面4的下端面上且朝向所述底座3方向進(jìn)行延伸，所述被推動(dòng)件與所述推動(dòng)件貼合。

如圖1和2所示，具體地，所述推動(dòng)件包括與所述輸出桿5固定連接的鐵塊6，所述被推動(dòng)件包括通過(guò)固定座8固定安裝在所述臺(tái)面4的下端面上的磁鐵7，所述鐵塊6與所述磁鐵7相吸并貼合；所述磁鐵7通過(guò)所述固定座8安裝在所述臺(tái)面4的下端面上并朝向所述底座3延伸至與所述鐵塊6處，且所述磁鐵7的一側(cè)壁與所述鐵塊6的前端相抵且二者始終相互吸合；當(dāng)所述輸出桿5發(fā)生滑動(dòng)時(shí)，與所述輸出桿5固定連接的所述鐵塊6也發(fā)生滑動(dòng)，并帶動(dòng)所述磁鐵7滑動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述臺(tái)面4運(yùn)動(dòng)，所述臺(tái)面4在所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的作用下發(fā)生角位移。在本實(shí)施例中，作為優(yōu)選的實(shí)施方式，所述鐵塊6設(shè)為半球形鐵塊6，所述磁鐵7與所述半球形鐵塊6的貼合面設(shè)有弧形凹槽，當(dāng)所述磁鐵7與所述半球形鐵塊6貼合時(shí)，所述磁鐵7的弧形凹槽與所述半球形鐵塊6的前端貼合。

在本實(shí)施例中，所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)還包括對(duì)所述輸出桿5進(jìn)行限位導(dǎo)向的限位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，所述限位導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括限位結(jié)構(gòu)和導(dǎo)向結(jié)構(gòu)；所述限位結(jié)構(gòu)包括與所述輸出桿5的端部固定連接的U型限位塊9，所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述底座3內(nèi)的滑槽10以及滑動(dòng)安裝在所述滑槽10內(nèi)的滑塊11，所述滑塊11與所述U型限位塊9固定連接；在本實(shí)施例中，因?yàn)樗鯱型限位塊9與所述輸出桿5的端部固定連接，所以當(dāng)所述電機(jī)轉(zhuǎn)子22轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，與所述電機(jī)轉(zhuǎn)子22螺紋連接的所述輸出桿5無(wú)法發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而在所述電機(jī)轉(zhuǎn)子22的作用下將轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為滑動(dòng)，并在所述滑塊11和所述滑槽10的相互配合下沿所述滑槽10發(fā)生往復(fù)滑動(dòng)；作為優(yōu)選的實(shí)施方式，所述鐵塊6通過(guò)轉(zhuǎn)接座12與所述滑塊11固定連接；當(dāng)所述電機(jī)轉(zhuǎn)子22使得所述輸出桿5滑動(dòng)時(shí)，所述鐵塊6在所述滑塊11和所述轉(zhuǎn)接座12的作用下帶動(dòng)所述磁鐵7滑動(dòng)，進(jìn)而使得所述臺(tái)面4沿所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)發(fā)生弧形滑動(dòng)，從而發(fā)生角位移。

在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)施例的所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的所述第一弧形導(dǎo)向部件包括間隔設(shè)置在所述臺(tái)面4的下端面上的兩個(gè)弧形導(dǎo)軌13；

所述第二弧形導(dǎo)向部件包括對(duì)應(yīng)于所述弧形導(dǎo)軌13設(shè)置的兩組軸承14組件，每一組所述軸承14組件包括若干間隔設(shè)置的多個(gè)軸承14，所述軸承14組件的所有軸承14形成弧形結(jié)構(gòu)，所述弧形結(jié)構(gòu)的弧度與所述弧形導(dǎo)軌13的一致；

其中，兩個(gè)所述弧形導(dǎo)軌13與兩組所述軸承組件一一配合，對(duì)所述臺(tái)面4的角位移進(jìn)行導(dǎo)向。

本實(shí)施例中，在所述臺(tái)面4的下端面上間隔設(shè)置兩個(gè)所述弧形導(dǎo)軌13，所述弧形導(dǎo)軌13包括導(dǎo)向部和肩部，所述導(dǎo)向部與所述肩部之間形成“7”字型結(jié)構(gòu)；在所述底座3的兩個(gè)側(cè)壁上設(shè)置多個(gè)所述軸承14，每側(cè)的多個(gè)軸承14呈弧形設(shè)置且該弧度與所述弧形導(dǎo)軌13的弧度一致；本實(shí)施優(yōu)選在所述底座3的每個(gè)所述側(cè)壁上設(shè)置三個(gè)所述軸承14，三個(gè)所述軸承14相互間隔設(shè)置且形成與所述弧形導(dǎo)軌13一致的弧度；當(dāng)所述臺(tái)面4和所述底座3組合后，所述弧形導(dǎo)軌13的導(dǎo)向部和所述軸承14貼合，兩個(gè)所述弧形導(dǎo)軌13的所述肩部之間的間距和厚度之和正好等于兩個(gè)側(cè)壁上的相應(yīng)的兩個(gè)所述軸承14之間的間距，從而防止所述臺(tái)面4在所述軸承14的軸線方向上發(fā)生偏移；當(dāng)所述磁鐵7在所述鐵塊6的作用下發(fā)生滑動(dòng)時(shí)，所述臺(tái)面4在所述弧度導(dǎo)軌的配合下發(fā)生角位移，所述軸承14的設(shè)置便于所述臺(tái)面4的角位移發(fā)生。

為了保證滑動(dòng)過(guò)程中，所述弧形導(dǎo)軌13能夠與所述軸承14貼合，所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)還包括用于使得所述臺(tái)面4和所述底座3緊密配合的磁性拉緊組件；所述磁性拉緊組件包括設(shè)于所述底座3內(nèi)的第一磁塊15，設(shè)于所述臺(tái)面4的下端面上的且與所述第一磁塊15相吸的第二磁塊16；所述臺(tái)面4和所述底座3在所述第一磁塊15和所述第二磁塊16的作用下始終相互貼合，所述推出桿作用時(shí)，所述臺(tái)面4在所述鐵塊6的作用下克服所述第一磁塊15與所述第二磁塊16之間的吸合力發(fā)生角位移。作為優(yōu)選的實(shí)施方式，所述第一磁塊15和所述第二磁塊16的相互配合面設(shè)為弧面，其弧度與所述弧形導(dǎo)軌13的弧度一致。

進(jìn)一步地，本實(shí)施例的所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)還包括彈性拉緊組件，所述彈性拉緊組件包括一端與所述底座3固定連接且另一端與所述臺(tái)面4固定連接的拉簧17，從而保證所述臺(tái)面4和所述底座3在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中始終處于無(wú)間隙扣合狀態(tài)，防止所述臺(tái)面4與所述底座發(fā)生分離。

所述角位移平臺(tái)還包括對(duì)所述臺(tái)面4的角位移進(jìn)行限位的限位結(jié)構(gòu)；如圖所示，所述限位結(jié)構(gòu)包括安裝在所述底座3/所述臺(tái)面4的外側(cè)壁上的限位片23以及安裝在所述臺(tái)面4/所述底座3的外側(cè)壁上的限位件25，其中，所述限位片23上成型有弧形限位槽24，所述弧形限位槽24的弧度與所述臺(tái)面4的預(yù)設(shè)角位移的弧度一致，所述限位件25嵌入所述弧形限位槽24中對(duì)所述臺(tái)面4的滑動(dòng)進(jìn)行限位，防止所述臺(tái)面4在滑動(dòng)/角位移過(guò)程中脫離預(yù)設(shè)行程，不出現(xiàn)超越預(yù)設(shè)行程的現(xiàn)象；在本實(shí)施例中，優(yōu)選將所述限位片23設(shè)置在所述底座3上，所述限位件25設(shè)為安裝在所述臺(tái)面4上的限位螺絲。

如圖4所示，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)施例的所述角位移平臺(tái)設(shè)為兩個(gè)，兩個(gè)所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)為相互疊加設(shè)置的上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)1和下角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)2，所述上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)1的底座3與所述下角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)2的臺(tái)面4固定連接；其中，所述上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)1的所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的球心與所述所述下角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)2的所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的球心重合，且兩個(gè)所述角位移導(dǎo)向結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸垂直相交。

在本實(shí)施例中，所述上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)1的底座3通過(guò)螺釘與所述下角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)2的臺(tái)面4固定連接成一體，本實(shí)施例的基于直線步進(jìn)電機(jī)的角位移平臺(tái)裝置通過(guò)兩個(gè)所述角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)對(duì)安裝在所述上角位移調(diào)節(jié)平臺(tái)1的臺(tái)面4的多維度調(diào)節(jié)。

顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見(jiàn)的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。