用于提高旋轉(zhuǎn)精密度的磁軸承控制裝置及控制方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于提高旋轉(zhuǎn)精密度的磁軸承控制裝置及控制方法。本發(fā)明的磁軸承控制裝置包括：被控制區(qū)域誤差接收部，用于接收從諸如輥筒等回轉(zhuǎn)體的被控制區(qū)域檢測出的位移誤差相關(guān)的信號；控制對象區(qū)域誤差接收部，用于接收從控制對象區(qū)域檢測出的誤差相關(guān)的信號；多個加權(quán)值濾波器部，對于各個誤差信號使用預先設(shè)定的加權(quán)值；以及，加算部，將通過各個加權(quán)值濾波器部的信號進行加算，以生成對于磁軸承的輸入信號。利用本發(fā)明的磁軸承控制裝置，能夠較大程度地減小控制對象區(qū)域的振動。
【專利說明】用于提高旋轉(zhuǎn)精密度的磁軸承控制裝置及控制方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于提高支撐旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)精密度的磁軸承控制裝置及控制方法，更具體說是涉及一種在控制輥筒等旋轉(zhuǎn)體時，不僅只考慮到由磁軸承支撐的旋轉(zhuǎn)軸的位移，而且還考慮到輥筒面的位移來控制磁軸承，能夠更加精密地控制旋轉(zhuǎn)體動作的方法及用于實現(xiàn)該方法的裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]最近，在許多領(lǐng)域呈現(xiàn)出使用磁軸承的情況增多的趨勢。特別地，在具有高速旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)體，或是在利用于不宜產(chǎn)生因軸承和旋轉(zhuǎn)體的摩擦等引起塵埃的領(lǐng)域裝置中的使用情況增多。例如，在以卷對卷方式制造平板面板時用于支撐輥筒的情況，在工作機器支撐銑刀等切削工具的心軸的情況，在半導體制造設(shè)備中支撐作為真空泵的一種渦輪分子泵的旋轉(zhuǎn)軸的情況等多種領(lǐng)域中使用。
[0003]在這種裝置中，在使用相應(yīng)裝置的工程的特征上，要求所產(chǎn)生的振動要小的情況較多。且不論是作為半導體制造設(shè)備利用的真空泵的情況，在以卷對卷方式制造平板面板的情況下，與以往的輥印新聞、書冊等的情況比較，要求有非常高的精密度，在需要精密的機械加工的工作機器等中，也被要求與以往不同程度的精密度。但是，一般對于旋轉(zhuǎn)體的支撐來說，在設(shè)計上以支撐相應(yīng)旋轉(zhuǎn)體的兩末端或設(shè)置于某一側(cè)端部的旋轉(zhuǎn)軸的方式來實現(xiàn)的情況較多，因此，在旋轉(zhuǎn)體進行旋轉(zhuǎn)的情況下，可能會較難實現(xiàn)對于需要保持高的旋轉(zhuǎn)精密度部分的充分精密控制。這是因為在旋轉(zhuǎn)軸支撐部和要求有高的旋轉(zhuǎn)精密度部分之間的旋轉(zhuǎn)體的制作上，存在有不可避免地產(chǎn)生的同心度誤差，并且外部外力導致軸的下垂等會引起旋轉(zhuǎn)導致的基本精密度降低。而且，在旋轉(zhuǎn)體高速旋轉(zhuǎn)的情況下，在相應(yīng)旋轉(zhuǎn)體的運行旋轉(zhuǎn)速度范圍內(nèi)，除了剛體模態(tài)以外還包含有彎曲模態(tài)的固有振動數(shù)的可能性較高，在此情況下，如果僅基于由磁軸承支撐的旋轉(zhuǎn)軸的位移進行控制，將可能無法對實際控制對象，即對輥筒的輥筒面、銑刀的切削面、由真空泵支撐的部分等的位移進行充分控制。根據(jù)不同的情況，由磁軸承支撐的旋轉(zhuǎn)軸的位移和控制對象區(qū)域的位移的方向可能會相互不同，即兩者的相位可能會相反。
[0004]圖1中示出在輥筒的運行旋轉(zhuǎn)速度范圍內(nèi)包含有彎曲模態(tài)的情況。在圖1中，DB是由磁軸承支撐的旋轉(zhuǎn)軸的位移矢量，DR是作為控制對象區(qū)域的輥筒面的位移矢量。如圖1所示可知，作為被控制區(qū)域的旋轉(zhuǎn)軸的位移和作為控制對象區(qū)域的輥筒面的位移的相位相反。如果在這種裝置中僅基于被控制區(qū)域，即基于旋轉(zhuǎn)軸的位移控制磁軸承，將無法以充分地抑制作為控制對象區(qū)域的輥筒面的振動。
[0005]與此相關(guān)，提示出用于抑制控制對象區(qū)域的振動的幾種控制方法。
[0006]日本公開專利特開2002-147454號(專利文獻I)中揭示了在具有能動型磁軸承的旋轉(zhuǎn)機器中，用于減小距離磁軸承某種程度的地點的振動的方法。根據(jù)該方法，根據(jù)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)機器及利用其真空泵連接部的振動傳感器的振動信號來產(chǎn)生位置補正指令信號，將該補正指令信號用于磁軸承的反饋控制，從而減小距離磁軸承某種程度的地點的振動。
[0007]在日本專利第4914165號(專利文獻2)中揭示了在利用磁軸承的真空泵中還能夠抑制高次的振動模態(tài)，從而用于提高半導體制造裝置的精密度的方法及裝置。在該裝置中，在從相互隔開指定距離設(shè)置的多個振動傳感器檢測出的振動信號中，分離出第一次彎曲模態(tài)的振動成分和第二次彎曲模態(tài)的振動成分，并給予分離出的各振動成分產(chǎn)生用于控制磁軸承的前饋控制信號，從而抑制由振動泵產(chǎn)生的振動。
[0008]【在先技術(shù)文獻】
[0009](專利文獻I) JP2002-147454A
[0010](專利文獻2) JP4914165B


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]技術(shù)課題
[0012]但是，在專利文獻I中僅記載了利用設(shè)置于從磁軸承隔開的地點的振動傳感器的檢測信號來產(chǎn)生位置補正指令信號，并未揭示有具體以何種方法計算位置補正指令。
[0013]在專利文獻2中雖然分離出第一次及第二次的兩個彎曲模態(tài)振動信號后，利用其來衰減振動，但是在旋轉(zhuǎn)體的運行旋轉(zhuǎn)速度范圍中包含有多個彎曲模態(tài)的情況下，將會存在控制電路變得復雜且裝置的制作費用上升的問題。
[0014]本發(fā)明用于解決如上所述的現(xiàn)有問題，本發(fā)明的目的在于提供一種無需區(qū)分旋轉(zhuǎn)體的運行旋轉(zhuǎn)速度范圍中包含的彎曲模態(tài)的振動成分，就能夠較大程度地減小控制對象區(qū)域的振動的磁軸承控制方法及用于實現(xiàn)其方法的裝置。
[0015]技術(shù)方案
[0016]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的磁軸承控制裝置，包括:被控制區(qū)域誤差接收部，用于接收從旋轉(zhuǎn)體的由磁軸承支撐的被控制區(qū)域的至少一個地點檢測出的位移誤差相關(guān)的信號(以下，稱為“被控制區(qū)域誤差信號”)；控制對象區(qū)域誤差接收部，用于接收從實際控制對象區(qū)域的至少一個地點檢測出的誤差相關(guān)的信號(以下，稱為“控制對象區(qū)域誤差信號”)，所述實際控制對象區(qū)域與所述旋轉(zhuǎn)體相關(guān)；多個加權(quán)值濾波器部，對于通過所述被控制區(qū)域誤差接收部接收的各個被控制區(qū)域誤差信號，以及通過所述控制對象區(qū)域誤差接收部接收的各個控制對象區(qū)域誤差信號，使用預先設(shè)定的加權(quán)值；以及加算部，將通過各個所述加權(quán)值濾波器部的信號進行加算，以生成對于磁軸承的輸入信號。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的另一形態(tài)，本發(fā)明的磁軸承的控制方法，包括:(a)接收從所述旋轉(zhuǎn)體的由磁軸承支撐的被控制區(qū)域的至少一個地點檢測出的位移誤差相關(guān)的信號(以下，稱為“被控制區(qū)域誤差信號”)的步驟；(b)接收從實際控制對象區(qū)域的至少一個地點檢測出的誤差相關(guān)的信號(以下，稱為“控制對象區(qū)域誤差信號”)的步驟，所述實際控制對象區(qū)域與所述旋轉(zhuǎn)體相關(guān)；(C)對于各個所述被控制區(qū)域誤差信號及各個所述控制對象區(qū)域誤差信號使用預先設(shè)定的加權(quán)值的步驟；以及(d)將所述步驟(C)中使用加權(quán)值的各個信號進行加算，以生成對于磁軸承的輸入信號的步驟。
[0018]技術(shù)效果
[0019]實施本發(fā)明的用于提高旋轉(zhuǎn)精密度的磁軸承控制裝置及控制方法，無需利用復雜的電路，就能夠較大程度地減小控制對象區(qū)域的振動。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0021]圖1是示出基于輥筒的彎曲模態(tài)的被控制區(qū)域和控制對象區(qū)域的位移示意圖；
[0022]圖2是概略地示出本發(fā)明的磁軸承控制裝置的方框圖；
[0023]圖3是示出圖2示出的裝置中的位移信號發(fā)生部技術(shù)結(jié)構(gòu)的方框圖；
[0024]圖4是示出圖3示出的位移信號發(fā)生部中的各加權(quán)值形態(tài)的示意圖；
[0025]圖5是示出用于實現(xiàn)本發(fā)明的磁軸承控制方法而制作的試驗用輥筒裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，其中示出第二位移傳感器的設(shè)置位置；
[0026]圖6是示出基于圖5示出的試驗用輥筒裝置執(zhí)行的試驗結(jié)果的圖。
[0027]附圖標記:
[0028]10:第一位移傳感器
[0029]20:第二位移傳感器
[0030]30:位移信號發(fā)生部
[0031]31:第一加權(quán)值應(yīng)用部
[0032]32:第二加權(quán)值應(yīng)用部
[0033]40:軸承控制信號生成部
[0034]50:磁軸承

【具體實施方式】
[0035]以下參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行詳細的說明。本說明書及權(quán)利要求書中使用的語句或詞語不應(yīng)限定于通常或詞典性的含義并解釋，而是基于發(fā)明人為了以最優(yōu)選的方法說明自己的發(fā)明而可適當?shù)囟x用語的概念的原則，應(yīng)當以符合本發(fā)明的技術(shù)思想的含義和概念加以解釋。因此，本說明書中記載的實施例和附圖中示出的結(jié)構(gòu)僅僅是本發(fā)明的最優(yōu)選的一個實施例，而不能代替本發(fā)明的所有技術(shù)思想，因此，應(yīng)當理解的是在本申請時點還存在有可將其代替的多種等同例和變形例。
[0036]圖2概略地示出本發(fā)明的磁軸承控制裝置。該控制裝置包括兩個位移傳感器10、20、位移信號發(fā)生部30及軸承控制信號生成部40。
[0037]兩個位移傳感器，S卩，第一位移傳感器10和第二位移傳感器20設(shè)置于相應(yīng)區(qū)域以分別檢測被控制區(qū)域和控制對象區(qū)域的位移。例如，在被控制對象為輥印裝置中使用的輥筒，由磁軸承支撐輥筒的情況下，被控制區(qū)域?qū)⑹怯纱泡S承支撐的輥筒的旋轉(zhuǎn)軸，控制對象區(qū)域則是執(zhí)行輥筒印刷的輥筒面。并且，在切削加工機器的情況下，被控制對象將是由磁軸承支撐的心軸，控制對象區(qū)域則可以是靠近于附著有銑刀等的區(qū)域的心軸部分或由銑刀切削的工作物的表面
[0038]各位移傳感器根據(jù)所設(shè)置的位置及所要檢測的位移特征而可利用多個種類的傳感器，并不限于特定方式的傳感器。并且，可代替位移傳感器而利用加速度傳感器或速度傳感器，在此情況下，為了獲取位移數(shù)據(jù)而對傳感器的輸出信號進行積分。
[0039]在本實施例中，為了說明上的便利，以第一位移傳感器及第二位移傳感器分別為一個的情況為例進行了說明，但是根據(jù)所應(yīng)用的系統(tǒng)，各傳感器可以是多個。例如，可以與輥筒的中心軸(Z軸)正交的兩個方向(X軸及y軸)分別進行設(shè)置。在以下的說明中，雖然是對各傳感器為一個的情況進行了說明，但是在多個傳感器以相同的軸方向設(shè)置的情況下，在以相同軸方向設(shè)置的傳感器之間也可以相同的方式進行控制。
[0040]并且，對于旋轉(zhuǎn)體的磁軸承的支撐可以在某一側(cè)端部實現(xiàn)，但也可以是在兩側(cè)端部甚至是在多個地點實現(xiàn)。在此情況下，同樣地可對各個被控制區(qū)域及與之對應(yīng)的控制對象區(qū)域?qū)崿F(xiàn)相同方式的控制。
[0041]通過各位移傳感器10、20檢測出的信號傳送給位移信號發(fā)生部30。位移信號發(fā)生部30在接收該些信號后，在給各信號賦予加權(quán)值后進行加算，并提供給軸承控制信號生成部40。
[0042]圖3示出位移信號發(fā)生部30的方框圖。位移信號發(fā)生部30包括第一加權(quán)值應(yīng)用部31、第二加權(quán)值應(yīng)用部32及加算部33。
[0043]第一加權(quán)值應(yīng)用部31對于從第一位移傳感器10接收的信號使用預先設(shè)定的加權(quán)值wl，第二加權(quán)值應(yīng)用部32對于從第二位移傳感器20接收的信號使用預先設(shè)定的加權(quán)值w20加算部33對使用加權(quán)值的各信號進行加算。
[0044]所使用的加權(quán)值根據(jù)旋轉(zhuǎn)體的運行旋轉(zhuǎn)速度范圍內(nèi)存在的彎曲模態(tài)共振頻率區(qū)域而不同。對于存在有彎曲模態(tài)共振頻率的頻率區(qū)域，對控制對象區(qū)域的位移信號賦予較大加權(quán)值，即本實施例中對第二位移傳感器20的信號賦予較大加權(quán)值，而對于不存在彎曲模態(tài)共振頻率的頻率區(qū)域，對被控制區(qū)域的位移信號賦予較大加權(quán)值，即本實施例中對于第一位移傳感器10的信號賦予較大加權(quán)值為佳。
[0045]另外，所使用的加權(quán)值wl、w2可以是常數(shù)，或是對于頻率的函數(shù)。對于加權(quán)值給予的限制是，兩個加權(quán)值的和(wl+w2)在理論上是I。在物理上實現(xiàn)位移信號發(fā)生部30的情況下，由于構(gòu)成其各電子元件的制造誤差，導致加權(quán)值之和無法準確地具有I的值而上下會有誤差(如0.8至1.2之間的值)，但在理論性的觀點上優(yōu)選為是I。
[0046]圖4中作為一實施例示出加權(quán)值wl、《2為相對于頻率的函數(shù)的情況。在圖4示出的實施例中，第一加權(quán)值wl具有高通濾波器HPF的形態(tài)，第二加權(quán)值w2具有低通濾波器LPF的形態(tài)。在旋轉(zhuǎn)體的運行旋轉(zhuǎn)速度范圍為相對的低頻區(qū)域的情況下，只需考慮相應(yīng)頻率區(qū)域中包含的彎曲模態(tài)共振頻率，因此，各加權(quán)值可具有如圖4所示的形態(tài)。但是，各加權(quán)值的形態(tài)并不限定于圖示的形態(tài)，而是根據(jù)旋轉(zhuǎn)體主要運行的旋轉(zhuǎn)速度及相應(yīng)頻率區(qū)域中包含的彎曲模態(tài)共振頻率而給出多種形態(tài)。例如，根據(jù)需要抑制的彎曲模態(tài)共振頻率，第二加權(quán)值可具有帶通濾波器BPF或高通濾波器HPF的形態(tài)，可以是選擇性地通過多個頻帶的形態(tài)的濾波器。無論各加權(quán)值具有何種形態(tài)，如圖4所示，加權(quán)值的和在理論上優(yōu)選為I。
[0047]在上述的實施例中，對控制對象區(qū)域為一處的情況為例進行了說明，但是控制對象區(qū)域可以是兩個以上的地點?；蛘?，雖然控制對象區(qū)域為一個，但是為了進行精密的振動控制，也可能會需要在相應(yīng)區(qū)域的兩個以上的地點檢測位移。在此情況下，將提供與檢測地點的數(shù)目相對應(yīng)的第二加權(quán)值應(yīng)用部。另外，即使是在第二加權(quán)值應(yīng)用部提供有多個的情況下，第一加權(quán)值和多個第二加權(quán)值全部之和在理論上優(yōu)選為1，這點與上述的實施例相同。
[0048]根據(jù)以上所述，位移信號發(fā)生部30輸出的信號提供給軸承控制信號生成部40。軸承控制信號生成部40基于接收的信號生成用于控制磁軸承的控制信號。生成控制信號的方法將使用與以往僅基于被控制區(qū)域的位移信號而產(chǎn)生控制信號的情況相同的方法。因此，將省去與之相關(guān)的具體說明。
[0049]基于軸承控制信號生成部40生成的控制信號，磁軸承50將支撐旋轉(zhuǎn)體。即能動地調(diào)節(jié)相應(yīng)旋轉(zhuǎn)體的被控制區(qū)域的位移。
[0050]以下，對通過如上所述的控制裝置來控制用于支撐旋轉(zhuǎn)體的磁軸承的方法進行說明。
[0051]在通過磁軸承50支撐的旋轉(zhuǎn)體進行旋轉(zhuǎn)時，第一位移傳感器10檢測由磁軸承50支撐的區(qū)域，即檢測被控制區(qū)域的位移，第二位移傳感器20檢測輥筒面、銑刀的位置等控制對象區(qū)域的位移。通過該些位移傳感器10、20將檢測出的信號提供給位移信號發(fā)生部30。
[0052]位移信號發(fā)生部30對于從第一位移傳感器10接收的信號使用第一加權(quán)值wl，對于從第二位移傳感器20接收的信號使用第二加權(quán)值w2，將使用加權(quán)值的信號由加算器33進行加算。
[0053]所使用的加權(quán)值根據(jù)旋轉(zhuǎn)體的運行旋轉(zhuǎn)速度范圍內(nèi)存在的彎曲模態(tài)共振頻率區(qū)域而不同。對于存在有彎曲模態(tài)共振頻率的頻率區(qū)域，對控制對象區(qū)域的位移信號賦予較大加權(quán)值，即本實施例中對第二位移傳感器20的信號賦予較大加權(quán)值，而對于不存在彎曲模態(tài)共振頻率的頻率區(qū)域，對于被控制區(qū)域的位移信號賦予較大加權(quán)值，即本實施例中對第一位移傳感器10的信號賦予較大加權(quán)值為佳。
[0054]另外，所使用的加權(quán)值wl、w2可以是常數(shù)，或是相對于頻率的函數(shù)。對于加權(quán)值給予的限制是，兩個加權(quán)值的和(wl+w2)在理論上是I。在物理上實現(xiàn)位移信號發(fā)生部30的情況下，由于構(gòu)成其的各電子元件的制造誤差，導致加權(quán)值之和無法準確地具有I的值而上下會有誤差(如0.8至1.2之間的值)，但在理論性的觀點上優(yōu)選為I。
[0055]將通過位移信號發(fā)生器30的加算器33加算的信號提供給軸承控制信號生成部40。軸承控制信號生成部40基于接收的位移信號生成用于控制磁軸承50的信號。生成控制信號的方法將使用與以往僅基于被控制區(qū)域的位移信號而產(chǎn)生控制信號的情況相同的方法。因此，將省去與之相關(guān)的具體說明。
[0056]圖5示出用于實現(xiàn)本發(fā)明的磁軸承的控制方法的試驗用輥筒裝置，圖6示出在該試驗用輥筒裝置中應(yīng)用本發(fā)明的控制方法的試驗結(jié)果。
[0057]如圖5所示，試驗用輥筒的兩側(cè)端部由磁軸承50支撐。第一位移傳感器10設(shè)置于磁軸承50單兀,第二位移傳感器20設(shè)置于靠近于相應(yīng)磁軸承50的棍筒面。
[0058]圖6的左側(cè)是在作為加權(quán)值使用了常數(shù)而不是頻率的函數(shù)的情況的試驗結(jié)果，右側(cè)是在使用了具有頻率的函數(shù)形態(tài)的加權(quán)值的情況的試驗結(jié)果。并且，上方示出的是檢測根據(jù)時間而變化的輥筒的位移，下方示出的是使用于來自第二位移傳感器20的信號的加權(quán)值(第二加權(quán)值)和輥筒的振動的大小(振幅)的關(guān)系。第一位移傳感器10中使用的加權(quán)值(第一加權(quán)值)使用從I減去第二傳感器20中使用的加權(quán)值(第二加權(quán)值)的值。加權(quán)值根據(jù)頻率而變化的情況也將相同。在圖示的試驗用輥筒裝置中，在加權(quán)值給定為頻率的函數(shù)的情況下，將使用圖4所示的形態(tài)。即第一加權(quán)值被設(shè)定為高通濾波器HPF的形態(tài)，第二加權(quán)值被設(shè)定為低通濾波器LPF的形態(tài)。截止頻率則被設(shè)定為使試驗用輥筒的第二彎曲模態(tài)的共振頻率包含于低通濾波器的頻帶。
[0059]如圖6的左側(cè)所示，在第一及第二加權(quán)值為常數(shù)的情況下，在對第二加權(quán)值使用0.3-0.4的值時，輥筒的振動表示出最小的值，在增大到0.4以上時，振動將再次增大。但是，如圖6的右側(cè)所示可知，在將加權(quán)值設(shè)定為函數(shù)的情況下，第二加權(quán)值越大，輥筒的振動越小。
【權(quán)利要求】
1.一種磁軸承控制裝置，該裝置用于控制支撐旋轉(zhuǎn)體的磁軸承，其特征在于，包括: 被控制區(qū)域誤差接收部，用于接收從所述旋轉(zhuǎn)體的由磁軸承支撐的被控制區(qū)域的至少一個地點檢測出的位移誤差相關(guān)的信號； 控制對象區(qū)域誤差接收部，用于接收從實際控制對象區(qū)域的至少一個地點檢測出的位移誤差相關(guān)的信號，所述實際控制對象區(qū)域與所述旋轉(zhuǎn)體相關(guān)； 多個加權(quán)值濾波器部，對于通過所述被控制區(qū)域誤差接收部接收的各個被控制區(qū)域誤差信號，以及通過所述控制對象區(qū)域誤差接收部接收的各個控制對象區(qū)域誤差信號，使用預先設(shè)定的加權(quán)值；以及 加算部，將通過各個所述加權(quán)值濾波器部的信號進行加算，以生成對于磁軸承的輸入信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁軸承控制裝置，其特征在于，各個所述加權(quán)值濾波器部的加權(quán)值是相對于頻率的函數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁軸承控制裝置，其特征在于，所述多個加權(quán)值濾波器部的加權(quán)值之和在需要控制的全部頻率區(qū)域中具有0.8至1.2之間的值。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁軸承控制裝置，其特征在于，所述多個加權(quán)值濾波器部的加權(quán)值之和在需要控制的全部頻率區(qū)域中具有I的值。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁軸承控制裝置，其特征在于，所述加權(quán)值濾波器部的加權(quán)值相對于頻率的函數(shù)形態(tài)根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)體的振動特性而預先設(shè)定。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁軸承控制裝置，其特征在于，所述控制對象區(qū)域誤差接收部接收從控制對象的相互不同地點檢測出的兩個以上控制對象區(qū)域誤差信號。
7.一種磁軸承控制方法，該方法用于控制支撐旋轉(zhuǎn)體的磁軸承，其特征在于，包括: (a)接收從所述旋轉(zhuǎn)體的由磁軸承支撐的被控制區(qū)域的至少一個地點檢測出的位移誤差相關(guān)的信號的步驟； (b)接收與從實際控制對象區(qū)域的至少一個地點檢測出的誤差相關(guān)的信號的步驟，所述實際控制對象區(qū)域與所述旋轉(zhuǎn)體相關(guān)； (C)對于通過所述步驟(a)接收的各個被控制區(qū)域誤差信號以及通過所述步驟(b)接收的各個控制對象區(qū)域誤差信號使用預先設(shè)定的加權(quán)值的步驟；以及 (d)將所述步驟(C)中使用加權(quán)值的各個信號進行加算，以生成對于磁軸承的輸入信號的步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁軸承控制方法，其特征在于，所述步驟(C)的所述各加權(quán)值是相對于頻率的函數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁軸承控制方法，其特征在于，所述步驟(c)的所述各加權(quán)值之和在需要控制的全部頻率區(qū)域中具有0.8至1.2之間的值。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁軸承控制方法，其特征在于，所述步驟(C)的所述各加權(quán)值之和在需要控制的全部頻率區(qū)域中具有I的值。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁軸承控制方法，其特征在于，所述各加權(quán)值相對于頻率的函數(shù)形態(tài)根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)體的振動特性而預先設(shè)定。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁軸承控制方法，其特征在于，所述步驟(b)中接收從控制對象的相互不同地點檢測出的兩個以上的控制對象區(qū)域誤差信號。
13.—種印刷裝置，利用根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁軸承控制裝置，其特征在于， 由磁軸承支撐的所述旋轉(zhuǎn)體是印刷用輥筒， 所述控制對象區(qū)域誤差信號是用于表示所述印刷用輥筒的印刷面偏離預先設(shè)定的基準值的誤差信號，或是與通過所述印刷用輥筒印刷的結(jié)果偏離預先設(shè)定的基準值的誤差相關(guān)信號。
14.一種切削裝置，利用根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁軸承控制裝置，其特征在于， 由磁軸承支撐的所述旋轉(zhuǎn)體是用于旋轉(zhuǎn)切削工具的旋轉(zhuǎn)軸， 所述控制對象區(qū)域誤差信號是用于表示所述旋轉(zhuǎn)軸上的、與切削對象物的被切削面平行的面偏離預先設(shè)定的基準值的誤差信號，或是用于表示所述切削對象物的被切削面偏離預先設(shè)定的基準值的誤差信號。
【文檔編號】F16C32/04GK104421335SQ201410172799
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月5日
【發(fā)明者】崔相現(xiàn), 張志旭 申請人:佛山格尼斯磁懸浮技術(shù)有限公司