專利名稱：油旋轉(zhuǎn)真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種油旋轉(zhuǎn)真空泵。
背景技術(shù)：
油旋轉(zhuǎn)真空泵通過使旋轉(zhuǎn)件在泵室內(nèi)旋轉(zhuǎn)的同時吸入、壓縮并排出氣體，來實現(xiàn)預(yù)期的泵功能。此時，真空泵油用于滑動于泵室內(nèi)面上的旋轉(zhuǎn)件的潤滑，以及支撐使旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸的軸承部的潤滑等。眾所周知，油旋轉(zhuǎn)真空泵有旋轉(zhuǎn)翼式、膜片式、搖動活塞式等型式。在旋轉(zhuǎn)翼式的情況中，所述旋轉(zhuǎn)件對應(yīng)于包含轉(zhuǎn)子與多個葉片的旋轉(zhuǎn)翼。例如，下述專利文獻I中記載了具有兩個串聯(lián)連接的旋轉(zhuǎn)件的旋轉(zhuǎn)翼式兩段式油旋轉(zhuǎn)真空泵。 在旋轉(zhuǎn)翼式油旋轉(zhuǎn)真空泵中，多個葉片隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)在泵室的內(nèi)周面上滑動，從吸氣ロ向排氣ロ輸送氣體。通常，所述轉(zhuǎn)子配置于靠近泵室的上端，以隔著泵室上端的方式分別形成有排氣ロ與吸氣ロ。并且，通過形成于泵室上端與轉(zhuǎn)子的外周面之間的潤滑油的油膜，確保在排氣ロ側(cè)與吸氣ロ側(cè)之間規(guī)定的氣密性。專利文獻I :日本特開平7-77184號公報

發(fā)明內(nèi)容
在所述結(jié)構(gòu)的油旋轉(zhuǎn)真空泵中，減少葉片滑動阻力的潤滑油與氣體一起向排氣ロ輸送。葉片通過排氣ロ后，潤滑油經(jīng)由泵室上端部的狹窄間隙被導(dǎo)入吸氣ロ側(cè)。另ー方面，泵室的壓カ越降低，葉片刮去的潤滑油的量就越増加。當(dāng)被導(dǎo)入至泵室上端的潤滑油的量達到規(guī)定以上吋，由于排氣ロ與泵室上端部之間的間隙內(nèi)封入有潤滑油，因此很難將潤滑油順利導(dǎo)入吸氣側(cè)。其結(jié)果是，所述間隙內(nèi)封入的潤滑油對泵室的內(nèi)壁或葉片產(chǎn)生過大負荷，并產(chǎn)生異常聲響或振動。鑒于所述情況，本發(fā)明的目的在于提供一種可以減少由泵室內(nèi)的潤滑油引起的異常聲響或振動的油旋轉(zhuǎn)真空泵。為了達到所述目的，本發(fā)明的實施方式涉及的油旋轉(zhuǎn)真空泵具備潤滑油的儲存室、泵室、旋轉(zhuǎn)件與驅(qū)動部。所述泵室包含通道，與所述儲存室連通；圓筒形狀的內(nèi)周面，具有吸氣ロ與排氣ロ ；第一曲面部，在所述吸氣ロ與所述排氣ロ之間具有第一頂部；第二曲面部，在所述排氣ロ與所述第一頂部之間具有第二頂部，且所述第二曲面部形成為與所述第一曲面部連接。所述旋轉(zhuǎn)件具有與所述內(nèi)周面相對的外周面和在所述內(nèi)周面上滑動的滑動部，且以使所述外周面的一部分接近所述第一曲面部的方式配置在所述泵室內(nèi)。所述驅(qū)動部連接于所述泵室，且具有使所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸。


圖I為表示本發(fā)明實施方式涉及的油旋轉(zhuǎn)真空泵結(jié)構(gòu)的部分剖面?zhèn)纫晥D2為所述油旋轉(zhuǎn)真空泵的主要部分的放大圖；圖3為沿圖2中[A]_[A]線方向的箭頭方向剖視圖；圖4為所述油旋轉(zhuǎn)真空泵中的第二泵室的內(nèi)周面的主要部分的放大圖；圖5為表示在與本實施方式相同的油旋轉(zhuǎn)真空泵中，第二泵室的內(nèi)周面是大致相同的圓柱形狀時的ー個例子的主要部分的放大圖；圖6為表示在與本實施方式相同的油旋轉(zhuǎn)真空泵中，第二泵室的內(nèi)周面上只形成有與第一曲面部對應(yīng)的曲面部時的ー個例子的主要部分的放大圖。附圖標(biāo)記說明I油旋轉(zhuǎn)真空泵10主體13儲存室20 驅(qū)動部21 旋轉(zhuǎn)軸30 泵機構(gòu)31 第一汽缸塊32 第二汽缸塊41 第一轉(zhuǎn)子42 第二轉(zhuǎn)子51 第一葉片52 第二葉片321 中間塊L 潤滑線Pl 第一泵室P2 第二泵室Rl 第一旋轉(zhuǎn)件R2 第二旋轉(zhuǎn)件Cl 第一曲面部C2 第二曲面部
具體實施例方式本發(fā)明的實施方式涉及的油旋轉(zhuǎn)真空泵具備潤滑油的儲存室、泵室、旋轉(zhuǎn)件與驅(qū)動部。所述泵室包含通道，與所述儲存室連通；圓筒形狀的內(nèi)周面，具有吸氣ロ與排氣ロ ；第一曲面部，在所述吸氣ロ與所述排氣ロ之間具有第一頂部；第二曲面部，在所述排氣ロ與所述第一頂部之間具有第二頂部，且所述第二曲面部形成為與所述第一曲面部連接。所述旋轉(zhuǎn)件具有與所述內(nèi)周面相對的外周面和在所述內(nèi)周面上滑動的滑動部，且以使所述外周面的一部分接近所述第一曲面部的方式配置在所述泵室內(nèi)。所述驅(qū)動部連接于所述泵室，且具有使所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸。 在所述油旋轉(zhuǎn)真空泵中，旋轉(zhuǎn)件被配置成其外周面的一部分與形成于泵室內(nèi)周面上的第一曲面部接近。并且，當(dāng)旋轉(zhuǎn)件受到經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸被傳遞的驅(qū)動部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動カ時，旋轉(zhuǎn)件在泵室內(nèi)旋轉(zhuǎn)，通過所述內(nèi)周面上的滑動部的移動而從吸氣ロ吸入氣體，進行壓縮并從排氣ロ排出。另ー方面，潤滑油從儲存室經(jīng)由通道被導(dǎo)入泵室內(nèi)，在潤滑滑動部的同時在所述內(nèi)周面及旋轉(zhuǎn)件的外周面上形成油膜。因此，在滑動部旋轉(zhuǎn)時，潤滑油在被刮去的同時與氣體一起向排氣ロ輸送。滑動部刮去的潤滑油的量增加時，存在以下情況所述第一曲面部與旋轉(zhuǎn)件的外周面之間的間隙或所述第一曲面部與排氣ロ之間的間隙內(nèi)封入有潤滑油，對泵室的內(nèi)周面或滑動部產(chǎn)生負荷，并產(chǎn)生異常聲響或振動。在所述油旋轉(zhuǎn)真空泵中，第二曲面部擴大了由第一曲面部、旋轉(zhuǎn)件的外周面以及排氣ロ所包圍的間隙，形成容納潤滑油的緩沖部，由此可以減少潤滑油產(chǎn)生的負荷，抑制異常聲響或振動的產(chǎn)生。
并且，所述油旋轉(zhuǎn)真空泵中，第一曲面部與第二曲面部連接而形成，該第一曲面部相對配置有旋轉(zhuǎn)件，該第二曲面部容納潤滑油。由此，所述滑動部在泵室內(nèi)周面上平滑移動。所述油旋轉(zhuǎn)真空泵也可以這樣設(shè)置所述第一曲面部及所述第二曲面部包含具有相同曲率半徑的曲面形狀。由此，第二曲面部可以通過與第一曲面部相同的エ序形成，可以容易且經(jīng)濟地制造所述泵室。所述油旋轉(zhuǎn)真空泵也可以這樣設(shè)置所述第一曲面部及所述第二曲面部分別具有與所述外周面相同的曲率半徑。由此，泵室的內(nèi)周面與旋轉(zhuǎn)件之間的密封性增高，可以提高泵功能，同時第二曲面部可以通過與第一曲面部相同的エ序形成，可以容易且經(jīng)濟地制造所述泵室。 以下，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進行說明。(油旋轉(zhuǎn)真空泵的結(jié)構(gòu))圖I為表示本發(fā)明的實施方式涉及的油旋轉(zhuǎn)真空泵的部分剖面?zhèn)纫晥D。本實施方式中，舉例說明兩段式油旋轉(zhuǎn)真空泵。本實施方式油旋轉(zhuǎn)真空泵I具有主體10、驅(qū)動部20與泵機構(gòu)30。圖I中X軸方向及Y軸方向表不水平方向，Z軸方向表不垂直方向(重力方向)。主體10具有第一泵殼101、第二泵殼102。第一泵殼101構(gòu)成主體10的主要部分，且分別組裝有驅(qū)動部20與泵機構(gòu)30。第二泵殼102安裝于第一泵殼101的一端(圖I中右端)，內(nèi)部形成有儲存泵油(潤滑油)的儲存室13。第二泵殼102的規(guī)定位置上安裝有用于確認儲存室13內(nèi)的泵油液面Ps的液位計103。主體10具有吸氣管11與排氣管12。吸氣管11安裝于第一泵殼101，經(jīng)由圖中未示出的吸氣管連接部與真空室等連接。第一泵殼101中形成有連通吸氣管11與泵機構(gòu)30的吸氣通道111。排氣管12安裝于第二泵殼102，由泵機構(gòu)30將經(jīng)由吸氣管11吸入的氣體排出裝置外部。排氣管12連接有圖中未示出的排氣管連接部等。驅(qū)動部20由驅(qū)動泵機構(gòu)30的電動機與容納該電動機的電動機殼體等構(gòu)成，安裝于主體10 (第一泵殼101)。驅(qū)動部20具有在Y軸方向上延伸的旋轉(zhuǎn)軸21，使旋轉(zhuǎn)軸21繞其軸系旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)軸21可以是連接于所述電動機驅(qū)動軸的軸部件。這種情況下，所述軸部件也可以直接連接于所述驅(qū)動軸，也可以經(jīng)由傳送帶或齒輪等旋轉(zhuǎn)傳輸機構(gòu)連接于驅(qū)動軸。旋轉(zhuǎn)軸例如由滑動軸承等可旋轉(zhuǎn)地支撐。泵機構(gòu)30由兩段(two-stage)式的旋轉(zhuǎn)翼式泵單元構(gòu)成。圖2為表示泵機構(gòu)30的詳情的放大圖。泵機構(gòu)30具有第一汽缸體31、第二汽缸體32、中間塊321與側(cè)蓋33。第一汽缸體31固定于構(gòu)成第一泵殼101的間隔壁112上。中間塊321固定于第一汽缸體31與第二汽缸體32之間，且具有插通孔322，該插通孔322插通有支撐旋轉(zhuǎn)軸21的滑動軸承。中間塊321在第一汽缸體31的內(nèi)部形成第一泵室P1。第一泵室Pl內(nèi)可旋轉(zhuǎn)地容納有第一旋轉(zhuǎn)件R1。第一旋轉(zhuǎn)件Rl具有連接于旋轉(zhuǎn)軸21的第一轉(zhuǎn)子41，和在第一轉(zhuǎn)子41的周圍向徑方向可滑動地安裝的ー對第一葉片51 (第一滑動部)。側(cè)蓋33固定于第二汽缸體32，由此在第二汽缸體32的內(nèi)部形成第二泵室P2。第ニ泵室P2內(nèi)可旋轉(zhuǎn)地容納有第二旋轉(zhuǎn)件R2。第二旋轉(zhuǎn)件R2具有連接于旋轉(zhuǎn)軸21的第二 轉(zhuǎn)子42和在第二轉(zhuǎn)子42的周圍向徑方向可自如滑動地安裝的ー對第二葉片52 (第二滑動部)。第一汽缸體31與第二汽缸體32及側(cè)蓋33例如經(jīng)由在Y軸方向上具有軸方向的多根螺釘部件B而固定于間隔壁112。泵機構(gòu)30由儲存在儲存室13內(nèi)的泵油進行潤滑。泵機構(gòu)30內(nèi)設(shè)有用于分別向第一泵室Pl及第ニ泵室P2供給泵油的潤滑線(通道)。所述潤滑線在儲存室13與泵室Pl、P2之間使泵油連通。所述潤滑線具有第一貫通孔LI、第二貫通孔L2、第三貫通孔L3與第四貫通孔L3。在以下說明中，除個別說明的情況，也將第一 第四貫通孔LI L4總稱為潤滑線し第一貫通孔LI形成于從旋轉(zhuǎn)軸21的軸心只偏移規(guī)定距離的位置處，以便在Y軸方向上貫通側(cè)蓋33。并且，第二貫通孔L2形成于從旋轉(zhuǎn)軸21的軸心只偏移所述規(guī)定距離的位置處，以便可以在Y軸方向上貫通第二轉(zhuǎn)子42并可以在第二轉(zhuǎn)子42的任意旋轉(zhuǎn)位置處與第一貫通孔LI排成一條直線。第三貫通孔L3形成于從旋轉(zhuǎn)軸21的軸心只偏移所述規(guī)定距離的位置處，以便可以在Y軸方向上貫通中間塊321并可以在第二轉(zhuǎn)子42的任意位置處與第二貫通孔L2排成一條直線。第三貫通孔L3的形成位置無特別限定，但在本實施方式中，形成于旋轉(zhuǎn)軸21在重力方向上的上方側(cè)。并且，第四貫通孔L4形成于從旋轉(zhuǎn)軸21的軸心只偏移所述規(guī)定距離的位置處，以便可以在Y軸方向上貫通第一轉(zhuǎn)子41并可以在第一轉(zhuǎn)子41的任意位置處與第三貫通孔L3排成一條直線。由于轉(zhuǎn)子41、42的旋轉(zhuǎn)，各泵室P1、P2內(nèi)形成有負壓，儲存室13與泵室P1、P2之間產(chǎn)生壓カ差。由此，儲存室13內(nèi)儲存的泵油經(jīng)由潤滑線L供給于第一泵室Pl及第ニ泵室P2。并且，在第一泵室Pl與驅(qū)動部20之間，旋轉(zhuǎn)軸21的周圍安裝有油封。由此，防止泵油從第一泵室Pl浸入驅(qū)動部20。圖3為圖2沿[A]_[A]線方向的剖視圖。第二泵室P2的內(nèi)周面N2上分別形成有第二吸氣端ロ(第二吸氣ロ)T2與第二排氣端ロ(第二排氣ロ)E2。第二吸氣端ロ T2經(jīng)由橫跨第一汽缸塊31、中間塊321及第ニ汽缸塊32形成的連接通道121而與第一排氣端ロ El連通。第二排氣端ロ E2既可以是多個也可以是單個。第二排氣端ロ E2在徑方向上貫通第二汽缸塊32。并且，第二氣缸塊32的周面上分別配置有覆蓋第二排氣端ロ E2的排氣閥V2。排氣閥V2是簧片閥式的止回閥，在第二排氣端ロ E2內(nèi)的壓カ超過規(guī)定值時打開閥門，排出氣體。第二轉(zhuǎn)子42形成為具有與第二泵室P2高度大致相同的圓柱形狀，其軸心部上固定有旋轉(zhuǎn)軸21。各個第二葉片52分別配置于在第二轉(zhuǎn)子42周圍以180度間隔呈放射狀形成的ー對槽內(nèi)，在這些葉片52之間，以預(yù)先壓縮的狀態(tài)安裝有在徑方向上貫通第二轉(zhuǎn)子42及旋轉(zhuǎn)軸21的彈簧62。各個第二葉片52受到由第二轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心カ及彈簧62的弾力朝第ニ轉(zhuǎn)子42的徑外方向作用，各葉片52的頂端部被壓在第二泵室P2的內(nèi)壁面上。并且，各葉片52的頂端部作為在第二泵室P2的內(nèi)壁面上滑動的滑動部發(fā)揮作用，從第二吸氣端ロT2向第二排氣端ロ E2輸送氣體。此時，由于第二轉(zhuǎn)子42是相對于第二泵室P2偏心配置，因此在第二轉(zhuǎn)子42的旋轉(zhuǎn)位置上第二葉片52的突出量發(fā)生變化，因此氣體的輸送空間的容積也發(fā)生變化。由于第二排氣端ロ E2形成于所述輸送空間的容積最小的區(qū)域，因此氣體 在壓縮的同時被導(dǎo)入至第二排氣端ロ E2。第一泵室Pl與第二泵室P2 —祥，形成為相對于旋轉(zhuǎn)軸21偏心的圓筒形狀，但第ー泵室Pl的容積形成為大于或等于第二泵室P2的容積的大小。第一泵室Pl的內(nèi)周面上分別形成有與吸氣通道111連通的第一吸氣端ロ Tl，以及在徑方向上貫通第一汽缸體31的第一排氣端ロ E1。第一排氣端ロ El既可以是多個也可以單個。并且,第一汽缸體31的周面上分別配置有覆蓋各排氣端ロ El的排氣閥VI。排氣閥Vl是簧片閥式止回閥，在第一排氣端ロ El內(nèi)的壓カ超過規(guī)定值時打開閥門，排出氣體。第一轉(zhuǎn)子41形成為具有與第一泵室Pl高度大致相同的圓柱形狀，其軸心部固定有旋轉(zhuǎn)軸21。各個第一葉片51分別配置于在第一轉(zhuǎn)子41周圍以180度間隔呈放射狀形成的ー對槽內(nèi)，在這些葉片51之間，以預(yù)先壓縮的狀態(tài)安裝有在徑方向上貫通第一轉(zhuǎn)子41及旋轉(zhuǎn)軸21的多個彈簧61。并且，第一旋轉(zhuǎn)件Rl還通過使第一轉(zhuǎn)子41旋轉(zhuǎn)而將各個第一葉片51作為在第一泵室Pl的內(nèi)壁面上滑動的滑動部發(fā)揮作用，從第一吸氣端ロ Tl向第一排氣端ロ El輸送氣體。圖4為表示圖3所示的第二泵室P2的內(nèi)周面N2的詳情的放大圖。另外，為了便于說明，圖4相比于實際情況更有所強調(diào)。內(nèi)周面N2包含第一曲面部Cl與第二曲面部C2。另外，轉(zhuǎn)子42用虛線表示。并且，將第二泵室P2內(nèi)的、由第二曲面部C2、轉(zhuǎn)子42與第二排氣端ロ E2包圍的區(qū)域作為區(qū)域SI，并以網(wǎng)格示出。第一曲面部Cl例如是具有與轉(zhuǎn)子42的外周面相同曲率半徑的曲面，包含有位于第二吸氣端ロ T2與第二排氣端ロ E2之間的第一頂部Tpl (第一頂部)。虛線所示的轉(zhuǎn)子42如圖所示配置為靠近第一頂部Tpl。在包含有第一頂部Tpl的第一曲面部Cl與轉(zhuǎn)子42的外周面之間，例如形成O. 01 O. 05mm的間隙，該間隙內(nèi)充滿泵油形成油膜。另外，第一頂部Tpl只要位于第二吸氣端ロ T2與第二排氣端ロ E2之間，則無特別限制。并且，形成第一曲面部Cl的區(qū)域只要包含第一頂部Tpl則無特別限制。第二曲面部C2形成為與第一曲面部Cl連接，且第二曲面部C2例如是具有與轉(zhuǎn)子42的外周面相同曲率半徑的曲面，并包含第二頂部Tp2 (第二頂部)。第二頂部Τρ2只要處于第二排氣端ロ Ε2與第一頂部Tpl之間即可，其位置無特別限制。并且，形成第二曲面部C2的區(qū)域只要包含第二頂部Tp2則無特別限制。(油旋轉(zhuǎn)真空泵的動作)在以上構(gòu)成的本實施方式油旋轉(zhuǎn)真空泵I中，第一轉(zhuǎn)子41受到經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸21傳遞的驅(qū)動部20的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動カ而在第一泵室Pl內(nèi)旋轉(zhuǎn)。并且，通過在第一泵室Pl的內(nèi)壁面上滑動的第一葉片51而從第一吸氣端ロ Tl吸入氣體，并在壓縮后將氣體輸送至第一排氣端 ロ Ε1。這里，例如在開始旋轉(zhuǎn)時，在被輸送至第一排氣端ロ El的氣體的壓カ超過規(guī)定值吋，氣體經(jīng)由排氣閥Vl釋放至儲存室13，并從排氣管連接部12排出。并且，在穩(wěn)定運轉(zhuǎn)等時，在從第一排氣端ロ El排出的氣體的壓カ在規(guī)定值以下時，無需打開排氣閥Vl而經(jīng)由連接通路121將氣體導(dǎo)入第二泵室Ρ2。第二轉(zhuǎn)子42也受到經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸21傳遞的驅(qū)動部20的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動カ而在第二泵室Ρ2內(nèi)旋轉(zhuǎn)。并且，通過在第二泵室Ρ2的內(nèi)壁面上滑動的第二葉片52而從第二吸氣端ロ Τ2吸入氣體，在壓縮后將氣體輸送至第二排氣端ロ Ε2，打開排氣閥V2并排出至儲存室13。其中，由于在第二泵室Ρ2吸入的氣體是從第一泵室Pl中排出并經(jīng)由連接通道121到達第二吸氣端ロ Τ2的氣體，因此在第二泵室Ρ2中該氣體再次被壓縮并排出。因此，本實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵I可以實現(xiàn)高壓縮比和低極限壓強。本實施方式中的第二泵室Ρ2中，第一曲面部Cl具有與轉(zhuǎn)子42的外周面相同的曲率半徑，由此在第一曲面部Cl的任意位置上與轉(zhuǎn)子42之間的間隔大致固定。因此，在第一曲面部Cl與轉(zhuǎn)子42之間的間隙的大致整個面上可以形成均勻的油膜，并可以達到高密封性。由此，可以防止包含在第二排氣端ロ Ε2側(cè)被壓縮的氣體的泵油過度流入第二吸氣端ロΤ2偵彳，從而在泵室內(nèi)保持期望的壓力。另外，第一曲面部Cl與轉(zhuǎn)子42之間的間隔無特別限制，只要處于O. 01 O. 05mm范圍內(nèi)，則不妨礙泵油油膜的形成從而保持良好的密封性。圖5為表示在與本實施方式相同的兩段式油旋轉(zhuǎn)真空泵中，第二泵室P2的內(nèi)周面N20為大致相同的圓筒形狀時的ー個例子的示意圖。另外，轉(zhuǎn)子420用虛線表示，內(nèi)周面N20與轉(zhuǎn)子420最接近的位置為頂部TplO。圖5中，頂部TplO處曲面部ClO與轉(zhuǎn)子420之間的間隔最狹窄，在內(nèi)周面Ν20的任意位置上與轉(zhuǎn)子420之間的間隔不固定。因此，曲面部ClO與轉(zhuǎn)子420之間的密封性低。因此，當(dāng)葉片在內(nèi)周面Ν20上旋轉(zhuǎn)并通過第二排氣端ロ Ε20時，第二吸氣端ロ Τ20側(cè)容易流入泵油。該流入的泵油內(nèi)混入有壓縮氣體，該氣體在第二吸氣端ロ Τ20側(cè)膨脹，極限壓強變聞。另ー方面，圖6為表示在與本實施方式相同的兩段式油旋轉(zhuǎn)真空泵中，第二泵室Ρ21的內(nèi)周面Ν21是大致相同的圓筒形狀，但只形成與第一曲面部Cl對應(yīng)的曲面部Cll時的一個例子的示意圖。另外，轉(zhuǎn)子421用虛線表示。曲面部Cll例如是具有與轉(zhuǎn)子421的外周面相同曲率半徑的曲面，且包含有頂部Tpll。并且，由曲面部C11、轉(zhuǎn)子421與第排氣端ロ E21包圍的區(qū)域為Sll并以網(wǎng)格示出。在該例子中，與本實施方式一祥，在曲面部Cll與轉(zhuǎn)子421之間形成有大致均勻的油膜，并保持密封性。葉片在內(nèi)周面N21上旋轉(zhuǎn)并在通過第二排氣端ロ E21時，通過葉片刮去泵油，并輸送至區(qū)域Sll內(nèi)。特別地，當(dāng)?shù)诙檬襊21內(nèi)達到期望的壓カ時，第二泵室P21與泵油的儲 存室之間壓差增高，與開始運轉(zhuǎn)時相比，更多的泵油被導(dǎo)入泵室內(nèi)。并且，泵室P1、P2的壓力越下降，各泵室內(nèi)的氣體容積就下降，其潤滑油的占有量也就増加。進而，曲面部Cll與轉(zhuǎn)子421之間已存在充足的泵油時，葉片刮去的泵油在狹窄間隙區(qū)域Sll內(nèi)引起急劇升壓，葉片被擠入轉(zhuǎn)子421內(nèi)，產(chǎn)生異常聲響或振動。對此，如圖4所示，本實施方式油旋轉(zhuǎn)真空泵I在第二泵室P2的內(nèi)周面N2上具有形成為與第一曲面部Cl連接的第二曲面部C2。因此，圖4的區(qū)域SI具有比圖6的區(qū)域Sll更大的體積。由此，當(dāng)葉片52在內(nèi)周面N2上旋轉(zhuǎn)并通過第二排氣端ロ E2時，雖然葉片52也刮去泵油，但區(qū)域SI作為容納泵油的緩沖部發(fā)揮作用，緩和泵油接觸第一曲面部Cl與轉(zhuǎn)子42之間的油膜所產(chǎn)生的沖擊。進而，由于泵油在區(qū)域SI內(nèi)不易引起急劇升壓，因此可以緩和對葉片52的沖擊，還可以抑制葉片52擠入轉(zhuǎn)子42內(nèi)時的異常聲響或振動。第二曲面部C2的曲率無特別限制，只要以大于內(nèi)周面N2的曲率形成即可。本實 施方式中，例如由具有與轉(zhuǎn)子42的外周面相同曲率半徑的曲面形成。由此，可以在第一曲面部Cl中確保期望的密封性，同時可以在第二曲面部C2中有效抑制由潤滑油引起的異常聲響或振動的產(chǎn)生。并且，由于第一曲面部Cl與第二曲面部C2為連續(xù)形成，因此可以抑制兩曲面部之間的葉片52上調(diào)所引起的異常聲響的產(chǎn)生。以上針對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，基于本發(fā)明的技術(shù)思想可實施各種變形。 在以上實施方式中，對第一曲面部Cl與第二曲面部C2分別具有與轉(zhuǎn)子42的外周面相同曲率半徑進行了說明，當(dāng)然不限于此。例如，第一曲面部Cl只要是形成油膜的曲面，且該油膜在與相對的轉(zhuǎn)子42的外周面之間具有充足的密封性即可。并且，第二曲面部C2與第一曲面部Cl為連續(xù)形成，優(yōu)選在與轉(zhuǎn)子42之間可以形成充足的空間作為泵油的緩沖部。并且，也可以形成連通第二曲面部C2與第二排氣端ロ E2的通道，也可以設(shè)置吸收泵油的吸收體等。并且，在以上實施方式中，限于兩端式油旋轉(zhuǎn)真空泵的兩段側(cè)泵室進行了說明，但同樣的構(gòu)造也可以適用于一段側(cè)。并且，在以上實施方式中，舉例說明了兩段式油旋轉(zhuǎn)真空泵，但不限于此，也可適用于一段式油旋轉(zhuǎn)真空泵。
權(quán)利要求
1.ー種油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在于，包括 潤滑油的儲存室； 泵室，包含通道，與所述儲存室連通；圓筒形狀的內(nèi)周面，具有吸氣ロ與排氣ロ ；第一曲面部，在所述吸氣ロ與所述排氣ロ之間具有第一頂部；第二曲面部，在所述排氣ロ與所述第一頂部之間具有第二頂部，且所述第二曲面部形成為與所述第一曲面部連接； 旋轉(zhuǎn)件，具有與所述內(nèi)周面相對的外周面和在所述內(nèi)周面上滑動的滑動部，且以使所述外周面的一部分接近所述第一曲面部的方式配置在所述泵室內(nèi)； 驅(qū)動部，連接于所述泵室，且具有使所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在干，所述第一曲面部及所述第二曲面部包含具有相同曲率半徑的曲面形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在于，所述第一曲面部及所述第二曲面部分別具有與所述外周面相同的曲率半徑。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以減少由泵室內(nèi)的潤滑油引起的異常聲響或振動的油旋轉(zhuǎn)真空泵。其中，第二泵室P2的內(nèi)周面N2上，具有形成為與第一曲面部C1連接的第二曲面部C2。第二曲面部C2例如是具有與轉(zhuǎn)子42的外周面相等曲率半徑的曲面。由此，葉片52在內(nèi)周面N2上旋轉(zhuǎn)并通過第二排氣端口E2時，葉片52將泵油刮去，但區(qū)域S1作為容納泵油的緩沖部發(fā)揮作用，緩和泵油由于接觸第一曲面部C1與轉(zhuǎn)子42之間的油膜所產(chǎn)生的沖擊。進而，由于泵油在區(qū)域S1內(nèi)不易引起急劇升壓，因此可以緩和對葉片52的沖擊，還可以抑制葉片52擠入轉(zhuǎn)子42內(nèi)時的異常聲響或振動。
文檔編號F04C18/344GK102678560SQ20121007301
公開日2012年9月19日 申請日期2012年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月18日
發(fā)明者松尾　卓, 片岡　忠彥, 竹內(nèi)　健太郎, 鈴木　規(guī)浩 申請人:Ulvac機工株式會社