專利名稱：油旋轉(zhuǎn)真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種油旋轉(zhuǎn)真空泵。
背景技術(shù)：
油旋轉(zhuǎn)真空泵通過在使旋轉(zhuǎn)件在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)的同時吸入、壓縮并排出氣體來實現(xiàn)預(yù)期的泵功能。此時，真空泵油被用于滑動于泵腔的內(nèi)表面的旋轉(zhuǎn)件的潤滑和支撐使旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸的軸承部的潤滑等。例如，下面的專利文獻(xiàn)I中記載有ー種具備兩個串聯(lián)連接的旋轉(zhuǎn)件的兩段式油旋轉(zhuǎn)真空泵?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :特開平7-77184號公報

發(fā)明內(nèi)容
旋轉(zhuǎn)軸的軸承部通常采用滑動軸承結(jié)構(gòu)。在這種情況下，由于軸承部與旋轉(zhuǎn)軸之間的間隙非常狹窄，覆蓋軸承部的油膜間斷可能導(dǎo)致發(fā)生潤滑不足。另ー方面，雖然可使用含鉛等的固體潤滑材料作為構(gòu)成滑動軸承結(jié)構(gòu)的軸承材料，然而，從降低環(huán)境負(fù)擔(dān)的角度看，使用含鉛較多的材料并不是最佳方式。有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供ー種油旋轉(zhuǎn)真空泵，其不使用自我潤滑性較高的固體潤滑材料也能夠確保軸承部的潤滑性。為達(dá)到上述目的，根據(jù)本發(fā)明的油旋轉(zhuǎn)真空泵包括主體、氣缸座、旋轉(zhuǎn)件、驅(qū)動部和滑動軸承。所述主體具有用于存儲泵油的油箱部。所述氣缸座具有泵腔和第一通道，所述第一通道用于使所述泵油在所述油箱部和所述泵腔之間連通。所述氣缸座安裝在所述主體上。 所述旋轉(zhuǎn)件可旋轉(zhuǎn)地配置在所述泵腔中，且具有在所述泵腔的內(nèi)表面上滑動的滑動部。所述驅(qū)動部安裝在所述主體上，且具有使所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸。所述滑動軸承具有與所述第一通道連通的第二通道。所述滑動軸承設(shè)置在所述氣缸座中，并可旋轉(zhuǎn)地支撐所述旋轉(zhuǎn)軸。


圖I為示出了根據(jù)本發(fā)明實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵的構(gòu)成的部分剖面?zhèn)纫晥D；圖2為所述油旋轉(zhuǎn)真空泵的主要部分的放大圖；圖3為圖2沿[A]_[A]線方向的箭頭方向視圖；圖4為用于說明所述油旋轉(zhuǎn)真空泵的軸承結(jié)構(gòu)的圖，圖4(A)為側(cè)面剖視圖，圖 4(B)為滑動軸承的正面剖視圖5為用于說明根據(jù)本發(fā)明第二實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵的軸承結(jié)構(gòu)的圖，圖5(A)為側(cè)面剖視圖，圖5(B)為滑動軸承的正面剖視圖；圖6為用于說明根據(jù)本發(fā)明第三實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵的軸承結(jié)構(gòu)的圖，圖6(A)為側(cè)面剖視圖，圖6(B)為滑動軸承的正面剖視圖。附圖標(biāo)記說明I油旋轉(zhuǎn)真空泵10主體13油箱部
20驅(qū)動部21旋轉(zhuǎn)軸30泵機(jī)構(gòu)31第一氣缸座32第二氣缸座41第一轉(zhuǎn)子42第二轉(zhuǎn)子51第一葉片52第二葉片70通道70R凹部71、72、73 滑動軸承L潤滑線Pl第一泵腔P2第二泵腔Rl第一旋轉(zhuǎn)件R2第二旋轉(zhuǎn)件
具體實施例方式根據(jù)本發(fā)明第一實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵具有主體、氣缸座、旋轉(zhuǎn)件、驅(qū)動部和滑動軸承。所述主體具有用于存儲泵油的油箱部。所述氣缸座具有泵腔和第一通道，所述第一通道用于使所述泵油在所述油箱部與所述泵腔之間連通。所述氣缸座安裝于所述主體中。所述旋轉(zhuǎn)件可旋轉(zhuǎn)地配置在所述泵腔中，且具有在所述泵腔內(nèi)表面上滑動的滑動部。所述驅(qū)動部安裝在所述主體上，且具有用于使所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸。所述滑動軸承具有與所述第一通道連通的第二通道。所述滑動軸承設(shè)置在所述氣缸座上，且可旋轉(zhuǎn)地支撐所述旋轉(zhuǎn)軸。在所述油旋轉(zhuǎn)真空泵中，旋轉(zhuǎn)件受到經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸被傳遞的驅(qū)動部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力，從而在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，并利用滑動部在泵腔內(nèi)表面上的移動來吸入、壓縮并排出氣體。將泵油從油箱部經(jīng)由形成于氣缸座中的第一通道被導(dǎo)入泵腔，并在泵腔中潤滑滑動部。并且，在所述油旋轉(zhuǎn)真空泵中，利用設(shè)置于氣缸座中的滑動軸承可旋轉(zhuǎn)地支撐使旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸。利用與第一通道連通的第二通道將泵油供給至所述滑動軸承。由此，可以提高滑動軸承的潤滑性，確保真空泵的動作穩(wěn)定。另外，可以不使用含鉛較多的固體潤滑材料。所述油旋轉(zhuǎn)真空泵的類型不作特別限定，通常是旋片式，但除此之外的膜式、搖動活塞式等類型也可適用。在旋片式的情況下，所述旋轉(zhuǎn)件對應(yīng)于包含轉(zhuǎn)子和多個葉片的旋片。所述滑動軸承可以由筒狀軸套構(gòu)件構(gòu)成。所述軸套構(gòu)件具有與所述旋轉(zhuǎn)軸的周向表面相對的內(nèi)周向表面和由所述氣缸座支撐的外周向表面，且所述軸套構(gòu)件沿所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向以第一寬度形成。在這種情況下，所述第二通道由貫穿所述內(nèi)周向表面和所述外周向表面之間的通孔構(gòu)成。 由此，簡化了軸承部結(jié)構(gòu)，并且可以向旋轉(zhuǎn)軸周圍穩(wěn)定地供給潤滑油(泵油)。所述第二通道的形成位置例如可以位于所述旋轉(zhuǎn)軸在重力方向的上方側(cè)。由此，通過增加了重力的作用，可以順暢地向軸承部供給泵油。所述滑動軸承可以具有在所述內(nèi)周向表面內(nèi)形成的凹部，該凹部以小于所述第一寬度的第二寬度形成。通過形成所述凹部，在滑動軸承和旋轉(zhuǎn)軸之間形成泵油積液，由此可以得到穩(wěn)定的潤滑作用。所述凹部還可以形成于與所述第二通道的形成區(qū)域相對的所述內(nèi)周向表面上。在這種情況下，由于所述凹部位于旋轉(zhuǎn)軸在重力方向的下方側(cè)，因此，可以確保軸承部穩(wěn)定的潤滑作用。所述泵腔還可以具有第一泵腔和第二泵腔，所述第一泵腔和第二泵腔沿所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向排列且分別配置有所述旋轉(zhuǎn)件。這種情況下，所述滑動軸承設(shè)置于所述第一泵腔和所述第二泵腔之間。在下文中，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。圖I為示出了根據(jù)本發(fā)明實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵的部分剖面?zhèn)纫晥D。在本實施方式中，以兩段式油旋轉(zhuǎn)真空泵為例進(jìn)行說明。本實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵I具有主體10、驅(qū)動部20和泵機(jī)構(gòu)30。在圖I中，X軸向和Y軸向表不水平方向，Z軸向表不垂直方向(重力方向)。主體10具有第一外殼101和第二外殼102。其中，第一外殼101構(gòu)成主體10的主要部分，且分別安裝有驅(qū)動部20和泵機(jī)構(gòu)30。第二外殼102安裝于第一外殼101的一端(圖I中的右端)，且在第二外殼102內(nèi)部形成有存儲泵油(真空泵油)的油箱部13。在第二外殼102的規(guī)定位置處安裝有用于確認(rèn)油箱部13內(nèi)泵油的液面Ps的液位計103。主體10具有吸氣管連接部11和排氣管連接部12。其中，吸氣管連接部11安裝于第一外殼101，且經(jīng)由吸氣管(圖中未示出)與真空室等連接。在第一外殼101中形成有用于連接吸氣管連接部11和泵機(jī)構(gòu)30之間的吸氣通道111。排氣管連接部12安裝于第二外殼102，并將利用泵機(jī)構(gòu)30經(jīng)由吸氣管連接部11吸入的氣體排出至裝置外部。排氣管連接部12連接有排氣管等(圖中未示出)。驅(qū)動部20安裝于主體10 (第一外殼101)，由用于驅(qū)動泵機(jī)構(gòu)30的馬達(dá)和用于容納該馬達(dá)的馬達(dá)外殼等構(gòu)成。驅(qū)動部20具有在Y軸向上延伸的旋轉(zhuǎn)軸21，并使旋轉(zhuǎn)軸21繞其軸旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)軸21可以是連接于所述馬達(dá)的驅(qū)動軸的軸構(gòu)件。在這種情況下，所述軸構(gòu)件可以直接與所述驅(qū)動軸連接，也可以經(jīng)由傳送帶或齒輪等旋轉(zhuǎn)傳送機(jī)構(gòu)與驅(qū)動軸連接。泵機(jī)構(gòu)30由兩段(two-stage)式旋片式泵單元構(gòu)成。圖2為表示泵機(jī)構(gòu)30的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的放大圖。泵機(jī)構(gòu)30具有第一氣缸座31、第二氣缸座32和側(cè)蓋33。/
第一氣缸座31固定在構(gòu)成第一外殼101的間隔壁112上。第二氣缸座32固定在第一氣缸座31上，并具有貫通用于支撐旋轉(zhuǎn)軸21的滑動軸承71的貫通孔322。貫通孔322形成在第二氣缸座32的基部321上，基部321在第一氣缸座31的內(nèi)部形成有第一泵腔Pl。側(cè)蓋33固定在第二氣缸座32上，由此，在第二氣缸座32的內(nèi)部形成第二泵腔P2。第一氣缸座31、第二氣缸座32及側(cè)蓋33例如通過以Y軸向為軸向的多根螺釘構(gòu)件B固定在間隔壁112上。圖3為圖2沿[A]_[A]線方向的剖視圖。第一泵腔Pl形成為相對于旋轉(zhuǎn)軸21呈偏心的圓筒狀。第一泵腔Pi的周向表面分別形成有與吸氣通道111連通的第一吸氣端口Tl和在徑向貫穿第一氣缸座31的第一排氣端口 El。第一排氣端口 El可以形成為多個,但是也可以形成為單個。另外，第一氣缸座31的周向表面上分別配置有覆蓋各排氣端口 El的排氣閥VI。排氣閥Vl為簧片閥式的止回閥，當(dāng)?shù)谝慌艢舛丝?El內(nèi)的壓力超過規(guī)定值時打開閥門，排出氣體。第一泵腔Pl可旋轉(zhuǎn)地容納有第一旋轉(zhuǎn)件Rl。其中，第一旋轉(zhuǎn)件Rl具有與旋轉(zhuǎn)軸21連接的第一轉(zhuǎn)子41和徑向上可滑動地安裝于第一轉(zhuǎn)子41的周圍的一對第一葉片51。其中，第一轉(zhuǎn)子41形成為具有和第一泵腔Pl大致同等高度的圓柱狀，其軸心固定有旋轉(zhuǎn)軸21。各個第一葉片51分別配置于在第一轉(zhuǎn)子41周圍以180度間隔呈放射狀形成的一對槽內(nèi)，在這些葉片51之間，以預(yù)先壓縮的狀態(tài)安裝有徑向貫穿第一轉(zhuǎn)子41和旋轉(zhuǎn)軸21的多個彈簧61。各個第一葉片51受到第一轉(zhuǎn)子41旋轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的離心力和彈簧61的彈力，從而被向第一轉(zhuǎn)子41的徑外方向上推動，各葉片51的前端部推壓在第一泵腔Pl的內(nèi)壁面上。并且，各葉片51的前端部起到在第一泵腔Pl的內(nèi)壁面上滑動的滑動部的作用，從而從第一吸氣端口 Tl向第一排氣端口 El輸送氣體。此時，由于第一轉(zhuǎn)子41為相對于第一泵腔Pl偏心配置，因此，在第一轉(zhuǎn)子41的旋轉(zhuǎn)位置中，第一葉片51的突出量發(fā)生變化，從而氣體的輸送空間的容積也發(fā)生變化。由于第一排氣端口 El形成在所述輸送空間的容積最小的區(qū)域中，因此，能夠一邊壓縮氣體一邊將其導(dǎo)入第一排氣端口 El。第二泵腔P2與第一泵腔Pl相同，也形成為相對于旋轉(zhuǎn)軸21呈偏心的圓筒狀，但其中，第二泵腔P2的容積形成為小于或等于第一泵腔Pl的容積的尺寸。第二泵腔P2的周向表面處分別形成有第二吸氣端口 T2和第二排氣端口 E2。第二吸氣端口 T2經(jīng)由橫跨第一氣缸座31及第二氣缸座32而形成的連接通道121與第一排氣端口 El連通。第二排氣通道E2徑向貫穿第二氣缸座32。第二排氣通道E2可以是單個也可以是多個。另外，在第二氣缸座32的周向表面上分別配置有覆蓋第二排氣端口 E2的排氣閥V2。排氣閥V2為簧片閥式的止回閥，如果第二排氣端口 E2內(nèi)的壓力超過規(guī)定值時，打開閥門排出氣體。第二泵腔P2可旋轉(zhuǎn)地容納有第二旋轉(zhuǎn)件R2。其中，第二旋轉(zhuǎn)件R2具有與旋轉(zhuǎn)軸21連接的第二轉(zhuǎn)子42和徑向上可滑動地安裝于第二轉(zhuǎn)子42的周圍的一對第二葉片52。第二轉(zhuǎn)子42形成為具有與第二泵腔P2大致同等高度的圓柱狀，其軸心固定于旋轉(zhuǎn)軸21。各個第二葉片52分別配置于在第二轉(zhuǎn)子42周圍以180度間隔呈放射狀形成的一對槽內(nèi)，在這些葉片52之間，以預(yù)先壓縮的狀態(tài)安裝有徑向貫穿第二轉(zhuǎn)子42及旋轉(zhuǎn)軸21的彈簧62。并且，通過旋轉(zhuǎn)第二轉(zhuǎn)子42，第二旋轉(zhuǎn)件R2起到使各個第二葉片52在第二泵腔P2的內(nèi)壁面上滑動的滑動部的 作用，并從第二吸氣端口 T2向第二排氣端口 E2輸送氣體。通過存儲在泵部13中的泵油來潤滑泵機(jī)構(gòu)30。泵機(jī)構(gòu)30中設(shè)有分別用于將泵油供給至第一泵腔Pl及第二泵腔P2的潤滑線(第一通道)。所述潤滑線使泵油在油箱部13和泵腔P1、P2之間連通。所述潤滑線具有第一通孔LI、第二通孔L2、第三通孔L3和第四通孔L4。在以下說明中，除個別說明的情況以外，將第一至第四通孔L1-L4總稱為潤滑線L。第一通孔LI形成于從旋轉(zhuǎn)軸21的軸心僅偏離規(guī)定距離的位置處，從而在Y軸向貫穿側(cè)蓋33。另外，第二通孔L2形成在從旋轉(zhuǎn)軸21的軸心僅偏離所述規(guī)定距離的位置處，從而在Y軸向貫穿第二轉(zhuǎn)子42，并可以在第二轉(zhuǎn)子42的任意旋轉(zhuǎn)位置處和第一通孔LI排成一條直線。第三通孔L3形成于從旋轉(zhuǎn)軸21的軸心僅偏離所述規(guī)定距離的位置處，從而在Y軸向貫穿第二氣缸座32，并可以在第二轉(zhuǎn)子42的任意旋轉(zhuǎn)位置處和第二通孔L2排成一條直線。第三通孔L3的形成位置不作特別限定，但在本實施方式中形成于旋轉(zhuǎn)軸21在重力方向的上方側(cè)。并且，第四通孔L4形成于從旋轉(zhuǎn)軸21的軸心僅偏離所述規(guī)定距離的位置處，從而在Y軸向貫穿第一轉(zhuǎn)子41，且可以在第一轉(zhuǎn)子41的任意的旋轉(zhuǎn)位置處和第三通孔L3排成
一條直線。利用轉(zhuǎn)子41、42的旋轉(zhuǎn)在各泵腔Pl、P2處形成負(fù)壓，從而在油箱部13和泵腔P1、P2之間產(chǎn)生壓力差。由此，將存儲在油箱部13中的泵油通過潤滑線L供給至第一泵腔Pl及第二泵腔P2。并且，在第一泵腔Pl和驅(qū)動部20之間，在旋轉(zhuǎn)軸21的周圍安裝有油封。由此，可以防止泵油從第一泵腔Pl浸入驅(qū)動部20。另一方面，本實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵I具有可旋轉(zhuǎn)地支撐的旋轉(zhuǎn)軸21的滑動軸承71。在本實施方式中，滑動軸承71由筒狀的軸套構(gòu)件形成?；瑒虞S承71配置在第一泵腔Pl和第二泵腔P2之間，設(shè)置在將各泵腔P1、P2劃分開來的第二氣缸座32的基部321上。圖4 (A)、圖4 (B)為用于說明滑動軸承71的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖，圖4 (A)為泵機(jī)構(gòu)30主要部位的側(cè)面剖視圖，圖4(B)為滑動軸承71的正面剖視圖。滑動軸承71由例如黃銅等的非固體潤滑材料構(gòu)成，沿旋轉(zhuǎn)軸21的軸向(Y軸向)具有與基部321的厚度相同的寬度或長度。并且，滑動軸承71具有與旋轉(zhuǎn)軸21的周向表面相對的內(nèi)周向表面701和支撐于貫通孔322的內(nèi)周向表面上的外周向表面702,其中,所述貫通孔322形成在第二氣缸座32的基部321中。在旋轉(zhuǎn)軸21的周向表面和滑動軸承71的內(nèi)周向表面701之間形成有例如O. 01 O. 04mm的間隙，通過在該間隙充滿泵油，從而在旋轉(zhuǎn)軸21的周向表面形成油膜。滑動軸承71具有與第三通孔L3連通的通道70 (第二通道)。通道70由貫穿滑動軸承71的內(nèi)周向表面701和外周向表面702之間的通孔構(gòu)成，形成在滑動軸承71的徑向上。通道70的孔徑例如是ImmcK當(dāng)然，并不限于此。在本實施方式中，以與第三通孔L3正交的方式在滑動軸承71的周向表面僅形成I條通道70。在本實施方式中，通道70經(jīng)由以與第三通孔L3交叉的方式形成的中轉(zhuǎn)孔LO與第三通孔L3連通。。在如上所述構(gòu)成的本實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵I中，第一轉(zhuǎn)子41受到經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸21被傳遞的驅(qū)動部20的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力，從而在第一泵腔Pl內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。然后，利用在第一泵腔Pl的內(nèi)壁面上滑動的第一葉片51而從第一吸氣端口 Tl吸入氣體并壓縮后，將氣體輸送至第一排氣端口 El。這里，例如，在開始運(yùn)轉(zhuǎn)時，當(dāng)向第一排氣端口 El輸送的氣體的壓力超過規(guī)定值時，經(jīng)由排氣閥Vl向油箱部13釋放氣體，并將氣體從排氣管連接部12排出。并且，如運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定時等，當(dāng)從第一排氣端口 El排出的氣體的壓力處于規(guī)定值以下時，不打開排氣閥VI， 而是通過連接通道121將氣體導(dǎo)入第二泵腔P2。第二轉(zhuǎn)子42也受到經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸21被傳遞的驅(qū)動部20的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力，從而在第二泵腔P2內(nèi)旋轉(zhuǎn)。然后，利用在第二泵腔P2的內(nèi)壁面上滑動的第二葉片52而從第二吸氣端口 T2吸入氣體并壓縮后，將氣體輸送至第二排氣端口 E2，并打開排氣閥V2向油箱部13排出。這里，由于第二泵腔P2所吸入的氣體是從第一泵腔Pl排出并經(jīng)由連接通道121到達(dá)第二吸氣端口 T2的氣體，因此，在第二泵腔P2中，該氣體進(jìn)一步被壓縮并排氣。從而本實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵I可以實現(xiàn)高壓縮比和低極限壓強(qiáng)。通過上述的各泵腔Pl、P2中的泵的作用，在泵腔Pl、P2和油箱部13之間產(chǎn)生壓力差。泵油經(jīng)由潤滑線L從油箱部13導(dǎo)入至各泵腔P1、P2，從而在各泵腔P1、P2中潤滑滑動部。同時，經(jīng)由與潤滑線L連通的通道70，向滑動軸承71的內(nèi)周向表面701與旋轉(zhuǎn)軸21的周向表面之間的環(huán)狀間隙中供給泵油。由此，提高滑動軸承71與旋轉(zhuǎn)軸21之間的潤滑性，從而穩(wěn)定地支撐旋轉(zhuǎn)軸21。根據(jù)如上所述的本實施方式，可以在滑動軸承71的內(nèi)周向表面701與旋轉(zhuǎn)軸21的周向表面之間穩(wěn)定地形成由泵油構(gòu)成的油膜，從而確保真空泵的動作穩(wěn)定。并且，作為滑動軸承的滑動軸承71即使不使用含鉛較多的固體潤滑材料也可以確保穩(wěn)定的潤滑性。并且，根據(jù)本實施方式，利用滑動軸承71與旋轉(zhuǎn)軸21之間形成的油膜，第一泵腔Pl和第二泵腔P2之間的油膜可以確保良好的氣密性。進(jìn)而，根據(jù)本實施方式，由于形成在滑動軸承71上的通道70位于旋轉(zhuǎn)軸21軸心在重力方向的上方側(cè)，因此，通過引入重力的作用，從而可以輕易將泵油供給至滑動軸承71的內(nèi)周向表面701?！吹诙嵤┓绞健祱D5(A)、圖5(B)表示本發(fā)明的第二實施方式。在下文中，主要說明與第一實施方式不同的組成，與上述實施方式相同的組成部分以相同的附圖標(biāo)記表示，并省略或簡化對其的說明。在本實施方式中，作為滑動軸承的滑動軸承72的組成與上述第一實施方式不同。圖5 (A)、圖5 (B)為說明滑動軸承72的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖，圖5 (A)為泵機(jī)構(gòu)30主要部分的側(cè)面剖視圖，圖5(B)為滑動軸承72的正面剖視圖。本實施方式的滑動軸承72在其內(nèi)周向表面701上具有凹部70R。如圖5(A)所示，凹部70R以小于滑動軸承72的寬度(沿旋轉(zhuǎn)軸21的軸向的長度)的寬度(第二寬度)形成。并且，凹部70R設(shè)置在通道70的形成位置處。凹部70R例如是使用硬質(zhì)棒來形成。在具有所述結(jié)構(gòu)的滑動軸承72的本實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵中，在滑動軸承72的內(nèi)周向表面701處所形成的凹部70R實現(xiàn)了儲油的功能，在滑動軸承72和旋轉(zhuǎn)軸21之間的間隙穩(wěn)定地形成油膜。由此，如在低溫下(例如5°C)啟動泵時等，即使在泵油的粘度較高時，也可以確保旋轉(zhuǎn)軸的潤滑作用穩(wěn)定。并且，由于凹部70R的形成寬度小于滑動軸承72的形成寬度，因此，可以在橫跨滑動軸承72的內(nèi)周向表面701的整個周向表面上保持與旋轉(zhuǎn)軸21之間的最小間隙(O. 01
0.04_)。由此，利用滑動軸承72與旋轉(zhuǎn)軸21之間的油膜可以確保良好的氣密性。根據(jù)本發(fā)明的發(fā)明人的實驗，確認(rèn)可以得到O. 7Pa以下的極限真空度。凹部70R的形狀、形成位置等不作特別限定。另外，凹部70R的形成個數(shù)不限于單個，還可以是多個。但是，該凹部的總?cè)莘e過大可能導(dǎo)致氣密性降低。而且由于凹部內(nèi)排氣需要時間，所以可能導(dǎo)致排氣速度的降低。<第三實施方式>圖6(A)、圖6(B)表不本發(fā)明的第三實施方式。在下文中，主要說明與第一實施方式不同的組成，與上述實施方式相同的組成部分以相同的附圖標(biāo)記表示，并省略或簡化對其的說明。在本實施方式中，作為滑動軸承的滑動軸承73的組成與上述第二實施方式不同。圖6 (A)、圖6 (B)為說明滑動軸承73的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖，圖6 (A)為泵機(jī)構(gòu)30主要部分的側(cè)面剖視圖，圖6(B)為滑動軸承73的正面剖視圖。本實施方式的滑動軸承73在其內(nèi)周向表面701上具有凹部70R。如圖6(A)所示，凹部70R以小于滑動軸承73的寬度(沿旋轉(zhuǎn)軸21軸向的長度)的寬度(第二寬度)形成。并且，凹部70R形成在與通道70的形成區(qū)域相對的內(nèi)周向表面701上。凹部70R例如是使用硬質(zhì)棒形成。在具有所述結(jié)構(gòu)的滑動軸承73的本實施方式的油旋轉(zhuǎn)真空泵中，在滑動軸承73的內(nèi)周向表面701處所形成的凹部70R實現(xiàn)了儲油的功能，在滑動軸承73與旋轉(zhuǎn)軸21之間的間隙中穩(wěn)定地形成油膜。由此，如低溫下(例如5°C)啟動泵時等，即使在泵油的粘度較高時，也可以確保旋轉(zhuǎn)軸的潤滑作用穩(wěn)定。并且，由于凹部70R的形成寬度小于滑動軸承73的形成寬度，因此，可以在橫跨滑動軸承73的內(nèi)周向表面701的整個周向表面上保持與旋轉(zhuǎn)軸21之間的最小間隙(O. 01
0.04_)。由此，利用滑動軸承73與旋轉(zhuǎn)軸21之間的油膜可以確保良好的氣密性。根據(jù)本發(fā)明的發(fā)明人的實驗，確認(rèn)可以得到O. 7Pa以下的極限真空度。進(jìn)一步，由于凹部70R形成于與通道70相對的位置處，因此，凹部70R位于旋轉(zhuǎn)軸21在重力方向上的下方側(cè)。由此，通過引入重力作用，可以輕易在凹部70R積存泵油，從而可以在滑動軸承73和旋轉(zhuǎn)軸21之間快速形成油膜。由此，可以確保滑動軸承73的潤滑作用穩(wěn)定。根據(jù)本發(fā)明的發(fā)明人的實驗，確認(rèn)可以從大氣壓的狀態(tài)開始在5秒以內(nèi)的排氣時間下得到9. 3Pa的真空狀態(tài)。以上，說明了本發(fā)明的實施方式，但是本發(fā)明并不限于此，基于本發(fā)明的技術(shù)思想可以進(jìn)行各種變形。例如以上的實施方式中，舉例說明了兩段式油旋轉(zhuǎn)真空泵，但并不限于此，還可以 適用于一段式油旋轉(zhuǎn)真空泵。另外，在以上的實施方式中，構(gòu)成滑動軸承的軸套構(gòu)件可以以黃銅等非固體潤滑材料形成，也可以由取而代之由含鉛較少的(例如10，OOOppm以下)青銅鑄件(BC3)形成。另外，在以上的實施方式中，泵機(jī)構(gòu)30由兩段(two-stage)式的旋片式泵單元構(gòu)成，但還可以適用與除此之外的膜式、搖動活塞式等。
權(quán)利要求
1.ー種油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在于，包括 主體，具有用于存儲泵油的油箱部； 氣缸座，安裝在所述主體上，且所述氣缸座具有泵腔和使泵油在所述油箱部與所述泵腔之間連通的第一通道； 旋轉(zhuǎn)件，可旋轉(zhuǎn)地配置在所述泵腔內(nèi)，且所述旋轉(zhuǎn)件具有在所述泵腔的內(nèi)表面上滑動的滑動部； 驅(qū)動部，安裝在所述主體上，且所述驅(qū)動部具有用于使所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸； 滑動軸承，具有與所述第一通道連通的第二通道，所述滑動軸承設(shè)置在所述氣缸座中并可旋轉(zhuǎn)地支撐所述旋轉(zhuǎn)軸。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在于，所述滑動軸承具有與所述旋轉(zhuǎn)軸的周向表面相対的內(nèi)周向表面和由所述氣缸座支撐的外周向表面，且所述滑動軸承為沿所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向以第一寬度形成的筒狀軸套構(gòu)件； 所述第二通道為貫穿所述內(nèi)周向表面和所述外周向表面之間的通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在干，所述第二通道形成于所述旋轉(zhuǎn)軸在重力方向上的上方側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在于，所述滑動軸承具有在所述內(nèi)周向表面上以小于所述第一寬度的第二寬度形成的凹部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在干，所述凹部形成在與所述第二通道的形成區(qū)域相対的所述內(nèi)周向表面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的油旋轉(zhuǎn)真空泵，其特征在于，所述泵腔具有第一泵腔和第二泵腔，所述第一泵腔和第二泵腔沿所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向排列且分別配置有所述旋轉(zhuǎn)件； 所述滑動軸承設(shè)置在所述第一泵腔和所述第二泵腔之間。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種不使用自我潤滑性高的固體潤滑材料而確保軸承部潤滑性的油旋轉(zhuǎn)真空泵。油旋轉(zhuǎn)真空泵具有主體、氣缸座、旋轉(zhuǎn)件、驅(qū)動部和滑動軸承。主體具有存儲泵油的油箱部。氣缸座具有泵腔及潤滑線，潤滑線使泵油在油箱部與泵腔之間連通。旋轉(zhuǎn)件可旋轉(zhuǎn)地配置在泵腔中，并具有在泵腔的內(nèi)表面上滑動的滑動部。驅(qū)動部安裝在主體上并具有使旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸?；瑒虞S承設(shè)置在氣缸座上，并可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)軸?；瑒虞S承具有與潤滑線連通的通道。
文檔編號F04C29/02GK102654126SQ20121005304
公開日2012年9月5日 申請日期2012年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月4日
發(fā)明者松尾　卓, 池田　那津境, 片岡　忠彥 申請人:Ulvac機(jī)工株式會社