專利名稱：多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種活塞式氣體壓縮機，特別是涉及一種用于多晶硅行業(yè)的尾氣壓縮機的防泄漏結(jié)構(gòu)。
背景技術：
目前，在多晶硅行業(yè)用尾氣壓縮機中，氣缸內(nèi)的壓縮介質(zhì)是混合氣體，主要壓縮介質(zhì)是氫氣，此外，還包括三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫等，由于壓縮介質(zhì)的特殊性質(zhì)，使得一旦壓縮腔體中的壓縮介質(zhì)泄漏到機身內(nèi)，就會使機身內(nèi)的各處潤滑油與壓縮介質(zhì)發(fā)生反應變質(zhì)，生成粘稠的膠狀物質(zhì)，堵塞油過濾器，影響傳動機構(gòu)的潤滑，進而影響到整個尾氣壓縮機的正常運轉(zhuǎn)?，F(xiàn)有的尾氣壓縮機的防泄漏結(jié)構(gòu)，是在氣缸與機身之間設置填料結(jié)構(gòu)，并在填料與活塞桿之間設置浮動密封環(huán)進行動密封，然而，由于活塞桿一直在運動，活塞桿與填料之間的動密封不能保證絕對不泄漏介質(zhì)，一旦氣缸內(nèi)壓縮介質(zhì)泄漏至機身內(nèi)，就會帶來如上所述的一系列不利后果。因此，采取措施盡可能地減少氣缸內(nèi)壓縮介質(zhì)的泄漏，并對那些不可避免的泄漏介質(zhì)使其在進入機身前及時排放掉，成為多晶硅行業(yè)對尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)非常關注的技術問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術問題是，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、具有較好密封效果以防止壓縮介質(zhì)往機身側(cè)泄漏的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)。本實用新型一種多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，包括氣缸、機身，氣缸內(nèi)活塞通過活塞桿與機身內(nèi)連桿相連，還包括雙隔室中間座，雙隔室中間座位于氣缸與機身之間，包括氣缸側(cè)隔室和機身側(cè)隔室，上述兩隔室通過隔板分隔，氣缸側(cè)隔室與氣缸固定連接，機身側(cè)隔室與機身固定連接，其中氣缸側(cè)隔室與氣缸連接處上穿過活塞桿的位置設有主填料，隔板上穿過活塞桿的位置設有中間填料，機身側(cè)隔室與機身連接處上穿過活塞桿的位置設有擋油器填料，所述主填料、中間填料和擋油器填料均通過填料盒與雙隔室中間座固定連接， 填料盒上開設有使活塞桿從中穿過的通孔，填料盒一端設有壓蓋，主填料、中間填料和擋油器填料均通過至少兩組浮動密封環(huán)與活塞桿動密封。本實用新型與現(xiàn)有技術的不同之處在于，在氣缸與機身之間增設了雙隔室中間座結(jié)構(gòu)，并分別在其與氣缸連接處、隔板處、與機身連接處的活塞桿穿過位置設置了密封填料，從而達到使氣缸與機身首先從空間上隔離，并在空間隔離的同時逐級密封，由此使得氣缸內(nèi)壓縮介質(zhì)與機身之間達到較好的密封效果，防止壓縮介質(zhì)泄漏至機身內(nèi)污染潤滑油， 同時延長了壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)的使用壽命。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其中所述主填料通過至少四組浮動密封環(huán)與活塞桿動密封，主填料內(nèi)設置氣室和充氣空腔，氣室與充氣空腔分別位于兩組浮動密封環(huán)之間，且環(huán)繞活塞桿并與活塞桿的外表面相接觸，充氣空腔設于氣室右側(cè)，所述氣缸側(cè)隔室上開設有第一排氣口和第一高壓進氣口，氣室通過管路與第一排氣口相連通，充氣空腔通過管路與第一高壓進氣口相連通，第一高壓進氣口的進氣端連接0. 15-0. 2Mpa的氫氣進氣管道。采用上述結(jié)構(gòu)，是為了將氣缸內(nèi)泄漏的壓縮介質(zhì)在其泄漏至主填料內(nèi)時通過第一排氣口排放出去，并在主填料處增加高壓氫氣阻塞密封裝置，阻止泄漏介質(zhì)繼續(xù)往右側(cè)泄漏，使用氫氣高壓阻塞，是為了避免其他氣體如氮氣進入汽缸影響用戶的加工工藝。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其中所述氣缸側(cè)隔室或機身側(cè)隔室上開設有第二高壓進氣口，第二高壓進氣口與位于中間填料與活塞桿之間且在兩組浮動密封環(huán)之間的間隙通過管路相連通。第二高壓進氣口的進氣端連接0. 15-0. 2Mpa的氮氣進氣管道。采用這種結(jié)構(gòu)，是為了在中間填料處增加一級高壓氮氣阻塞密封，進一步加強整個氣封裝置的密封性能，阻止壓縮介質(zhì)經(jīng)中間填料進一步往機身側(cè)泄漏。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其中所述機身側(cè)隔室上開設有第三高壓進氣口，第三高壓進氣口與位于擋油器填料與活塞桿之間且在兩組浮動密封環(huán)之間的間隙通過管路相連通，第三高壓進氣口的進氣端連接0. 15-0. 2Mpa的氮氣進氣管道。采用這種結(jié)構(gòu)，是為了在擋油器填料處增加一級高壓氮氣阻塞密封，進一步加強整個氣封裝置的密封效果，阻止泄漏至此的壓縮介質(zhì)往機身內(nèi)泄漏。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其中所述機身側(cè)隔室上開設有吹掃氣進氣口和第二排氣口，吹掃氣進氣口的進氣端連接0. 05-0. IMpa的氮氣進氣管道，第二排氣口與連通至安全區(qū)的管線連接。采用這種結(jié)構(gòu)，是在三級填料密封與高壓氣體阻塞密封的基礎上，在氣缸內(nèi)泄漏的壓縮介質(zhì)進入機身之前，保證從吹掃氣進氣口進入的氣體能夠有效對泄漏至機身側(cè)隔室內(nèi)的壓縮介質(zhì)進行吹掃，使其從第二排放口處零壓排放出去，進一步防止泄漏至此的壓縮介質(zhì)往機身內(nèi)泄漏，有效保證了整個防泄漏結(jié)構(gòu)的密封效果，避免因泄漏壓縮介質(zhì)進入機身而給機身帶來一系列不利后果。
以下結(jié)合附圖對本實用新型的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)作進一步說明。
圖1為本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中I部分的局部放大圖；圖3為圖1中II部分的局部放大圖；圖4為圖1中III部分的局部放大圖。
具體實施方式
如圖1至圖4所示，本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，包括氣缸1、機身 2，氣缸1內(nèi)活塞3通過活塞桿4與機身2內(nèi)連桿5相連，還包括雙隔室中間座，雙隔室中間座位于氣缸1與機身2之間，包括氣缸側(cè)隔室6和機身側(cè)隔室7，上述兩隔室6、7通過隔板 11分隔，氣缸側(cè)隔室6與氣缸1通過螺栓緊固連接，機身側(cè)隔室7與機身2通過螺栓緊固連接，其中氣缸側(cè)隔室6與氣缸1連接處上穿過活塞桿4的位置設有主填料8，隔板11上穿過活塞桿4的位置設有中間填料9，機身側(cè)隔室7與機身2連接處上穿過活塞桿4的位置設有擋油器填料10，主填料8、中間填料9和擋油器填料10均通過填料盒22與雙隔室中間座通過螺栓連接，填料盒22上開設有使活塞桿4從中穿過的通孔，填料盒22 —端設有壓蓋33，以將填料盒22內(nèi)的填料8、9、10壓緊，中間填料9和擋油器填料10均通過兩組浮動密封環(huán)12與活塞桿4動密封，擋油器填料10內(nèi)浮動密封環(huán)12的右側(cè)設有兩組刮油環(huán)21， 主填料8通過七組浮動密封環(huán)12與活塞桿4動密封，主填料8包括氣室14和充氣空腔15， 氣室14與充氣空腔15分別位于兩組浮動密封環(huán)12之間、環(huán)繞活塞桿4并與活塞桿4的外表面相接觸，充氣空腔15設于氣室14右側(cè)，氣缸側(cè)隔室6上開設有第一排氣口 16和第一高壓進氣口 17，氣室14通過管子與第一排氣口 16相連通，充氣空腔15通過密封墊圈、管子和卡套式接頭與第一高壓進氣口 17相連通，機身側(cè)隔室7上開設有吹掃氣進氣口 18、第二排氣口 19和第二高壓進氣口 20，第三高壓進氣口與第二高壓進氣口 20為同一個進氣口，下面所述的第二高壓進氣口 20皆同指第三高壓進氣口，第二高壓進氣口 20與位于中間填料9 與活塞桿4之間且在兩組浮動密封環(huán)12之間的間隙通過卡套式接頭、管子和密封墊圈相連通，第三高壓進氣口與位于擋油器填料10與活塞桿4之間且在兩組浮動密封環(huán)12之間的間隙通過卡套式接頭、管子和密封墊圈相連通，第一高壓進氣口 17連接0. 15-0. 2Mpa的氫氣進氣管道，吹掃氣進氣口 18連接0. 05-0. IMpa的氮氣進氣管道，第二高壓進氣口 20連接 0. 15-0. 2Mpa的氮氣進氣管道，上述三個進氣管道上均連接有減壓閥和壓力表，實際操作時可通過調(diào)節(jié)減壓閥來控制氣缸側(cè)隔室6和機身側(cè)隔室7上各進氣口的輸入氣源壓力，第一排氣口 16和第二排氣口 19分別與連通至安全區(qū)的管線連接。本裝置在使用時，如圖1至圖4所示，氣缸1內(nèi)的壓縮介質(zhì)在活塞桿4運動時， 主填料8對往右泄漏的壓縮介質(zhì)進行初步的填料密封；壓縮介質(zhì)經(jīng)浮動密封環(huán)12與活塞桿4之間的間隙泄漏至氣室14內(nèi)時，泄漏至此的壓縮介質(zhì)經(jīng)管子輸送至第一排氣口 16 排放至安全區(qū)；未排放出去的壓縮介質(zhì)若繼續(xù)往右側(cè)泄漏，則通過第一高壓進氣口 17進入的0. 15-0. 2Mpa的高壓氫氣對其進行阻塞密封；此后若壓縮介質(zhì)繼續(xù)往右側(cè)泄漏，則通過中間填料9和擋油器填料10進行逐級填料密封，同時，從第二高壓進氣口 20進入的 0. 15-0. 2Mpa的高壓氮氣依次從中間填料9和擋油器填料10與活塞桿4的連接處、兩組浮動密封環(huán)12之間的空腔內(nèi)對泄漏至此的壓縮介質(zhì)進行進一步的高壓氮氣阻塞密封；泄漏至機身側(cè)隔室7內(nèi)的壓縮介質(zhì)經(jīng)吹掃氣進氣口 18進入的0. 05-0. IMpa的氮氣進行吹掃，使其從機身側(cè)隔室7上的第二排氣口 19排放至安全區(qū)；整個防泄漏結(jié)構(gòu)中采用空間隔離、填料密封與氣體密封相結(jié)合，層層設防，從最大程度上防止了氣缸1內(nèi)往右側(cè)泄漏的壓縮介質(zhì)進入機身2內(nèi)，達到了較好的防泄漏效果，并延長了上述防泄漏結(jié)構(gòu)的使用壽命，有利于整個壓縮機的長期有效使用。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，與氣室14連通的第一排氣口 16將從氣缸1內(nèi)泄漏的壓縮介質(zhì)零壓排放至安全區(qū)，以實現(xiàn)第一步的防泄漏工作；由于氣缸1內(nèi)壓縮介質(zhì)主要是氫氣，第一高壓進氣口 17輸入高壓氫氣，以使其進入充氣空腔15對經(jīng)過氣室 14泄漏至此的壓縮介質(zhì)進行高壓阻塞密封，之所以此處不充氮氣，是為了避免氮氣進入壓縮介質(zhì)影響用戶的工藝生產(chǎn)；同時，中間填料9和擋油器填料10與活塞桿4連接的浮動密封環(huán)12之間的間隙中充以高壓氮氣進行進一步的阻塞密封，以防止泄漏至此的壓縮介質(zhì)繼續(xù)往右泄漏，此處之所以充氮而不充氫，是因為氫氣成本較高，氮氣同樣也不會與壓縮介質(zhì)反應，且成本較低，能夠達到同樣的阻塞密封效果；吹掃氣進氣口 18充入一定壓力的氮氣，對泄漏至機身側(cè)隔室7內(nèi)的壓縮介質(zhì)進行氮氣吹掃，以使其從第二排氣口 19排放至安全區(qū)，此處機身側(cè)隔室7內(nèi)的泄漏氣體若不能零壓排放，可提高吹掃氣進氣口 18的氮氣壓力，保證排氣暢通。本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，在填料密封的基礎上進一步采用逐級氣體密封，將從氣缸1內(nèi)泄漏的壓縮介質(zhì)分別經(jīng)過氣室14排出、第一高壓進氣口 17進入的高壓氣體對經(jīng)過主填料8的泄漏氣體阻塞密封、第二高壓進氣口 20進入的高壓氣體分別對經(jīng)中間填料9和擋油器填料10的泄漏氣體進一步阻塞密封，泄漏至機身側(cè)隔室7內(nèi)的壓縮介質(zhì)經(jīng)吹掃氣進氣口 18進入的氣體吹掃后，經(jīng)第二排氣口 19排放至安全區(qū)；使得氣缸1內(nèi)的壓縮介質(zhì)更難以泄漏至機身2內(nèi)，進一步加強了氣缸1與機身2之間的密封，并進一步延長了壓縮機氣缸1與機身2之間的密封結(jié)構(gòu)的使用壽命。以上所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的范圍進行限定，在不脫離本實用新型設計精神的前提下，本領域普通技術人員對本實用新型的技術方案作出的各種變形和改進，均應落入本實用新型權利要求書確定的保護范圍內(nèi)。
權利要求1.一種多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，包括氣缸(1)、機身O)，氣缸(1)內(nèi)活塞(3)通過活塞桿⑷與機身⑵內(nèi)連桿(5)相連，其特征在于還包括雙隔室中間座，雙隔室中間座位于氣缸(1)與機身( 之間，包括氣缸側(cè)隔室(6)和機身側(cè)隔室(7)，上述兩隔室(6、7) 通過隔板(11)分隔，氣缸側(cè)隔室(6)與氣缸⑴固定連接，機身側(cè)隔室(7)與機身⑵固定連接，其中氣缸側(cè)隔室(6)與氣缸(1)連接處上穿過活塞桿的位置設有主填料(8)， 隔板(11)上穿過活塞桿⑷的位置設有中間填料(9)，機身側(cè)隔室(7)與機身⑵連接處上穿過活塞桿(4)的位置設有擋油器填料(10)，所述主填料(8)、中間填料(9)和擋油器填料(10)均通過填料盒0 與雙隔室中間座固定連接，填料盒0 上開設有使活塞桿(4) 從中穿過的通孔，填料盒02) —端設有壓蓋(33)，主填料(8)、中間填料(9)和擋油器填料 (10)均通過至少兩組浮動密封環(huán)(1 與活塞桿(4)動密封。
2.根據(jù)權利要求1所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其特征在于所述主填料(8) 通過至少四組浮動密封環(huán)(1 與活塞桿(4)動密封，主填料(8)內(nèi)設置氣室(14)和充氣空腔(15)，氣室(14)與充氣空腔(15)分別位于兩組浮動密封環(huán)(12)之間，且環(huán)繞活塞桿 (4)并與活塞桿的外表面相接觸，充氣空腔(15)設于氣室(14)右側(cè)，所述氣缸側(cè)隔室 (6)上開設有第一排氣口(16)和第一高壓進氣口(17)，氣室(14)通過管路與第一排氣口 (16)相連通，充氣空腔(1 通過管路與第一高壓進氣口(17)相連通。
3.根據(jù)權利要求2所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一高壓進氣口 (17)連接0. 15-0. 2Mpa的氫氣進氣管道。
4.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述氣缸側(cè)隔室(6)或機身側(cè)隔室(7)上開設有第二高壓進氣口(20)，第二高壓進氣口 (20)與位于中間填料(9)與活塞桿(4)之間且在兩組浮動密封環(huán)(1 之間的間隙通過管路相連通。
5.根據(jù)權利要求4所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二高壓進氣口 00)連接0. 15-0. 2Mpa的氮氣進氣管道。
6.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述機身側(cè)隔室(7)上開設有第三高壓進氣口，第三高壓進氣口與位于擋油器填料(10)與活塞桿(4)之間且在兩組浮動密封環(huán)(1 之間的間隙通過管路相連通。
7.根據(jù)權利要求6所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第三高壓進氣口連接0. 15-0. 2Mpa的氮氣進氣管道。
8.根據(jù)權利要求6所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其特征在于所述機身側(cè)隔室(7)上開設有吹掃氣進氣口(18)和第二排氣口(19)。
9.根據(jù)權利要求8所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，其特征在于所述吹掃氣進氣口(18)連接0.05-0. IMpa的氮氣進氣管道，第二排氣口(19)與連通至安全區(qū)的管線連接。
專利摘要本實用新型涉及一種用于多晶硅行業(yè)的活塞式尾氣壓縮機的防泄漏結(jié)構(gòu)。其目的是為了提供一種結(jié)構(gòu)簡單、具有較好密封效果以防止壓縮介質(zhì)往機身側(cè)泄漏的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)。本實用新型一種多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結(jié)構(gòu)，包括氣缸、機身，還包括雙隔室中間座，雙隔室中間座位于氣缸與機身之間，包括氣缸側(cè)隔室和機身側(cè)隔室，氣缸側(cè)隔室與氣缸固定連接，機身側(cè)隔室與機身固定連接，氣缸側(cè)隔室與氣缸連接處活塞桿穿過位置設有主填料，隔板上活塞桿穿過位置設有中間填料，機身側(cè)隔室與機身連接處活塞桿穿過位置設有擋油器填料，主填料、中間填料和擋油器填料均通過填料盒與雙隔室中間座固定連接，且均通過至少兩組浮動密封環(huán)與活塞桿動密封。
文檔編號F04B39/00GK202203077SQ20112029976
公開日2012年4月25日 申請日期2011年8月17日 優(yōu)先權日2011年8月17日
發(fā)明者張楊, 張艷芷 申請人:北京金凱威通用機械有限公司