一種半導(dǎo)體玻璃鈍化電泳裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及功率半導(dǎo)體芯片PN結(jié)保護(hù)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體玻璃鈍化電泳裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體PN結(jié)終端保護(hù)是功率半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域廣泛采用的技術(shù)。在硅整流器件領(lǐng)域，工業(yè)界廣泛采用玻璃鈍化PN結(jié)終端保護(hù)技術(shù)。通常采用的工藝有刀刮法、光阻玻璃法或光刻法以及電泳法。刀刮法工藝相對簡單，成本也較低，但是玻璃鈍化層的膜厚均勻性不易控制。光阻玻璃法需要采用價(jià)格較貴的光刻膠，工藝復(fù)雜及成本較高。電泳法則具有工藝相對簡單、可靠性好等優(yōu)點(diǎn)。
[0003]帶電顆粒在電場作用下，向著與其電性相反的電極移動(dòng)，稱為電泳(electrophoresis, EP)。利用帶電粒子在電場中移動(dòng)速度不同而達(dá)到分離的技術(shù)稱為電泳技術(shù)。1807年，由俄國莫斯科大學(xué)的斐迪南.弗雷德里克.羅伊斯(Ferdinand FredericReuss)最早發(fā)現(xiàn)。目前電泳技術(shù)已經(jīng)廣泛的應(yīng)用于分析化學(xué)、生物化學(xué)、臨床化學(xué)、毒劑學(xué)、藥理學(xué)、免疫學(xué)、微生物學(xué)、食品化學(xué)、汽車底漆、日用五金的表面處理、軍工等各個(gè)領(lǐng)域。
[0004]電泳技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片的結(jié)終端保護(hù)已經(jīng)存在許多年。已公開的技術(shù)均采用了異丙醇、二元醇-環(huán)氧乙烷聚合物、乙酸乙酯，硝酸、高純丙酮、酸性界面活性劑等有機(jī)、無機(jī)化學(xué)品配成電泳液，再加入玻璃粉，在電泳設(shè)備中進(jìn)行電泳工藝。大量化學(xué)品的采用不僅成本較高，而且作為化學(xué)品必須進(jìn)行環(huán)保處理才能達(dá)標(biāo)排放。其中，丙酮化學(xué)性質(zhì)較活潑易燃、易揮發(fā)，屬于受國家控制的易制毒危險(xiǎn)化學(xué)品，必須進(jìn)行有效管控。
[0005]如圖1所示，為現(xiàn)有電泳工藝裝置示意圖。配置好的電泳液12 (如丙酮+硝酸+玻璃粉，按照具體工藝要求的配方)被盛入電泳槽11內(nèi)。在負(fù)極板13和正極板14之間，通過電泳電源15加電，則在所述正極板和負(fù)極板之間建立起了直流電場。懸浮在電泳液12中的玻璃粒子離子在電場的作用下，按照異性相吸、同性相斥的原理，向正負(fù)極板運(yùn)動(dòng)，并被吸附在正負(fù)極板上。示例中，玻璃粒子帶負(fù)電荷，則向正極板14運(yùn)動(dòng)，此時(shí)將需要電泳的硅片充當(dāng)正極板14，則玻璃粒子被吸附在硅片上形成一層玻璃膜。正極板14、負(fù)極板13被固定在托架16上。通常一槽配制好的的電泳液12，將被用來電泳一定工藝定額的硅片(如800片/槽)。隨著電泳片數(shù)的增加，電泳液內(nèi)的玻璃粉成分會(huì)減少，到了規(guī)定的工藝定額，該槽電泳液12通過廢液排放閥17進(jìn)行排放至廢液收集池19進(jìn)行環(huán)保處理達(dá)標(biāo)后排放。
[0006]因此現(xiàn)有的電泳設(shè)備技術(shù)，將消耗大量的危險(xiǎn)化學(xué)品，不能循環(huán)使用。同時(shí)排放大量的化學(xué)品，需要相應(yīng)的環(huán)保處理能力，帶來處理成本和環(huán)境危害風(fēng)險(xiǎn)的攀升。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]針對上述技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體玻璃鈍化電泳裝置，包括用于盛放電泳液進(jìn)行電泳反應(yīng)的電泳槽、廢液收集池。其特征在于:所述電泳槽和所述廢液收集池之間設(shè)置精餾裝置，所述精餾裝置與所述電泳槽之間設(shè)置回收液存儲(chǔ)罐。所述精餾裝置用于精餾提純來自電泳槽的所述電泳液，所述回收液存儲(chǔ)罐用于存儲(chǔ)由所述精餾裝置精餾所述電泳液而提純的回收液，所述廢液池承接由所述精餾裝置產(chǎn)生的廢液，所述回收液存儲(chǔ)罐與所述電泳槽相連接。到了規(guī)定工藝定額的所述電泳液被排放至所述精餾裝置進(jìn)行精餾提純，根據(jù)所述電泳液中不同化學(xué)成分的沸點(diǎn)不同，分別在不同的溫度下將所述電泳液的某些成分提取出來并存入所述回收液存儲(chǔ)罐。經(jīng)過提純后的廢液再排入所述廢液收集池處理排放。
[0008]作為優(yōu)選，所述回收液存儲(chǔ)罐連接補(bǔ)液罐。所述補(bǔ)液罐與所述回收液存儲(chǔ)罐內(nèi)存儲(chǔ)相同的化學(xué)品?？紤]到本實(shí)用新型所述精餾回收、循環(huán)使用過程中的必不可少的損耗，做不到無限循環(huán)利用，當(dāng)所述回收液存儲(chǔ)罐內(nèi)的化學(xué)品份量不足時(shí)，由所述補(bǔ)液罐進(jìn)行化學(xué)品補(bǔ)充。
[0009]作為優(yōu)選，所述電泳槽和所述精餾裝置之間設(shè)置沉淀池，所述沉淀池分別連接所述電泳槽和所述精餾裝置。所述電泳槽排放的所述電泳液先經(jīng)所述沉淀池沉淀再進(jìn)入所述精餾裝置精餾提純。所述沉淀池對所述電泳液中的固體顆粒進(jìn)行沉淀。
[0010]作為優(yōu)選，所述沉淀池和所述精餾裝置之間設(shè)置過濾器，所述過濾器分別連接所述電泳槽和所述精餾裝置。所述過濾器進(jìn)一步過濾經(jīng)所述沉淀池沉淀后的所述電泳液，減少所述電泳液中的固體顆粒的量。
[0011 ] 作為優(yōu)選，所述電泳槽設(shè)置排液口，所述排液口設(shè)置閥門。所述閥門在電泳過程中關(guān)閉，在需要更換所述電泳液時(shí)開啟以將所述電泳液排放出所述電泳槽。
[0012]作為優(yōu)選，所述精餾提純裝置設(shè)置抽液栗，所述抽液栗將所述電泳液抽入所述精餾裝置。
[0013]作為優(yōu)選，所述回收液存儲(chǔ)罐設(shè)置抽液栗將所述回收液存儲(chǔ)罐中的液體抽入所述電泳槽中。
[0014]作為優(yōu)選，所述補(bǔ)液罐設(shè)置抽液栗將所述補(bǔ)液罐中的補(bǔ)充液體抽入所述抽液栗中。
[0015]本實(shí)用新型具有如下有益效果:通過所述精餾裝置將所述電泳液中的各有效成分分離并暫存，可以實(shí)現(xiàn)電泳液有效成分的回收利用，大幅度減少諸如丙酮等化學(xué)品的使用，既減少了浪費(fèi)又降低了環(huán)境污染風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，經(jīng)過提純后的所述電泳液中的化學(xué)品濃度大大降低，也降低了化學(xué)品的環(huán)保處理成本。本實(shí)用新型具有重大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
【附圖說明】
[0016]圖1是現(xiàn)有電泳工藝裝置示意圖；
[0017]圖2是本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體玻璃鈍化電泳裝置示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0019]如圖2所示，一種半導(dǎo)體玻璃鈍化電泳裝置，包括用于盛放電泳液進(jìn)行電泳反應(yīng)的電泳槽21、廢液收集池22。配置好的電泳液(如丙酮+硝酸+玻璃粉)按照具體工藝要求的配方盛放在電泳槽21內(nèi)。在負(fù)極板和正極板之間，通過電泳電源加電建立直流電場。懸浮在電泳液中的帶電粒子在電場作用下，按照異性相吸、同性相斥的原理分別向正負(fù)極板運(yùn)動(dòng)，并吸附在正負(fù)極板上。本實(shí)施例中的玻璃粒子帶負(fù)電荷，將需要電泳的硅片作為正極