封槽26，與所述堿液二級淋洗塔3連接，所述第二安全液封槽26內(nèi)盛放有堿液，用于中和從所述堿液二級淋洗塔3排出的尾氣中的氯化氫后放空。
[0062]第二安全液封槽26，通過堿液中和尾氣中的氯化氫，安全可靠。避免了現(xiàn)有技術(shù)中的使用氫封使得物料轉(zhuǎn)送過程中，排放的廢氣中的氫氣含量較高，容易引起放空處著火，造成生產(chǎn)減產(chǎn)或者中斷。經(jīng)過第二安全液封槽26放空后的尾氣中的氯化氫含量低于10mg/m3達到國家大氣污染物綜合排放標準。
[0063]優(yōu)選的是，所述的多晶硅生產(chǎn)工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，還包括
[0064]工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐，分別與所述工業(yè)水一級淋洗塔2、所述pH值調(diào)節(jié)罐連接，所述工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐用于緩沖從所述工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐輸入到所述PH值調(diào)節(jié)罐的酸液。
[0065]工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液出口 8設(shè)置于工業(yè)水一級淋洗塔2的下部，工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液出口 8高于工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐的底部基礎(chǔ)500-800mm。
[0066]優(yōu)選的是，所述的多晶硅生產(chǎn)工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，所述工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐至少為兩套，且并聯(lián)連接。本實施例中，具體的工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐具體的為兩套，分別為第一酸液緩沖罐27、第二酸液緩沖罐28。其中，第一酸液緩沖罐27上設(shè)置有第三酸液入口 29、第三氣體出口 30、第一酸液出口 31 ;第二酸液緩沖罐28上設(shè)置有第四酸液入口 32、第四氣體出口 33、第二酸液出口 34。
[0067]優(yōu)選的是，所述的多晶硅生產(chǎn)工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，還包括
[0068]第三安全液封槽35，與所述工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐連接，所述第三安全液封槽35內(nèi)盛放有堿液，用于中和從所述工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐排出的尾氣中的氯化氫后放空。
[0069]第三安全液封槽35，通過堿液中和尾氣中的氯化氫，安全可靠。避免了現(xiàn)有技術(shù)中的使用氫封使得物料轉(zhuǎn)送過程中，排放的廢氣中的氫氣含量較高，容易引起放空處著火，造成生產(chǎn)減產(chǎn)或者中斷。經(jīng)過第三安全液封槽35放空后的尾氣中的氯化氫含量低于10mg/m3達到國家大氣污染物綜合排放標準。
[0070]優(yōu)選的是，所述工業(yè)水一級淋洗塔2上設(shè)置有酸液循環(huán)入口 9，所述工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐還與所述酸液循環(huán)入口 9連接，所述工業(yè)水一級淋洗塔2的酸液緩沖罐用于將其內(nèi)的酸液再輸回到所述工業(yè)水一級淋洗塔2內(nèi)。
[0071]優(yōu)選的是，所述的多晶硅生產(chǎn)工藝中含有氯硅烷的尾氣的處理裝置，還包括
[0072]堿液二級淋洗塔3的堿液緩沖罐36，分別與所述堿液二級淋洗塔3、所述pH值調(diào)節(jié)罐連接，所述堿液二級淋洗塔3的堿液緩沖罐36用于緩沖從所述堿液二級淋洗塔3的堿液緩沖罐36輸入到所述pH值調(diào)節(jié)罐的堿液。堿液二級淋洗塔3的堿液緩沖罐36為敞口式，且堿液二級淋洗塔3的下部被堿液二級淋洗塔3的堿液緩沖罐36中的堿液封實，從而可以防止空氣倒吸入堿液二級淋洗塔3內(nèi)，避免堿液二級淋洗塔3中的氯化氫逃逸至周圍的環(huán)境中。當堿液二級淋洗塔3的堿液緩沖罐36中的堿液低于15wt%，從堿液二級淋洗塔3的上部的堿液入口 5補充新鮮的堿液，其中，堿液的濃度為20?50wt%。
[0073]優(yōu)選的是，所述堿液二級淋洗塔3上設(shè)置有堿液循環(huán)入口 13，所述堿液二級淋洗塔3的堿液緩沖罐36還與所述堿液循環(huán)入口 13連接，所述堿液二級淋洗塔3的堿液緩沖罐36用于將其內(nèi)的堿液再輸回到所述堿液二級淋洗塔3內(nèi)。
[0074]本實施例中具體的，尾氣儲罐I與工業(yè)水一級淋洗塔進氣口 6連接，來自尾氣儲罐I中的廢氣采用減壓調(diào)節(jié)閥減壓至0-40Kpa后，通過工業(yè)水一級淋洗塔2下部的工業(yè)水一級淋洗塔進氣口 6穩(wěn)定氣量后，進入到工業(yè)水一級淋洗塔2內(nèi)。減壓調(diào)節(jié)閥為A、B兩個氣動調(diào)節(jié)閥，日常操作是一用一備，并且與進入工業(yè)水一級淋洗塔2內(nèi)的壓力形成單回路控制，穩(wěn)定入塔壓力，當遇到安全事故，尾氣量大的情況下，兩個氣動調(diào)節(jié)閥均可以開啟，投用。
[0075]從工業(yè)水一級淋洗塔2的上部的工業(yè)水入口 4以5_15m3/h的流速補入新鮮的工業(yè)水，新鮮的工業(yè)水與工業(yè)水一級淋洗塔進氣口 6通入的尾氣在工業(yè)水一級淋洗塔2內(nèi)逆向接觸，尾氣中的三氯氫硅、二氯氫硅、四氯化硅、氯化氫與工業(yè)水發(fā)生反應(yīng)，在工業(yè)水一級淋洗塔2的底部得到含有容易壓濾的低密度泡沫狀的顆粒的酸液，酸液中的酸的濃度為1.0?5.0wt %，在工業(yè)水一級淋洗塔2的塔頂聚集氯化氫氣體、氮氣和氫氣。
[0076]工業(yè)水一級淋洗塔2底部的酸液出口 8分別與第一酸液緩沖罐27上的第三酸液入口 29和第二酸液緩沖罐28上的第四酸液入口 32連接。依靠壓差、位差和連通作用，工業(yè)水一級淋洗塔2的底部得到含有容易壓濾的低密度泡沫狀的顆粒的酸液，分別進入到第一酸液緩沖罐27和第二酸液緩沖罐28內(nèi)。第一酸液出口 31、第二酸液出口 34分別與設(shè)置于工業(yè)水一級淋洗塔2上部的酸液循環(huán)入口 9連接，同時，第一酸液出口 31、第二酸液出口 34還分別與第一 pH值調(diào)節(jié)罐15的第一酸液入口 17、第二 pH值調(diào)節(jié)罐16的第二酸液入口 21連接。第一酸液緩沖罐27和第二酸液緩沖罐28內(nèi)的酸液經(jīng)攪拌形成懸濁液后，再分別通過第一酸液出口 31、第二酸液出口 34排出，經(jīng)過酸液循環(huán)泵37加壓后，以5-15m3/h的流速，其中一部分含有容易壓濾的低密度泡沫狀的顆粒的酸液通過酸液循環(huán)入口 9重新到達工業(yè)水一級淋洗塔2內(nèi)進行淋洗，從而實現(xiàn)了酸液的循環(huán)利用，另外一部分含有容易壓濾的低密度泡沫狀的顆粒的酸液分別通過設(shè)置于第一酸液入口 17進入到第一 pH值調(diào)節(jié)罐15內(nèi)、通過第二酸液入口 21進入到第二 pH值調(diào)節(jié)罐16內(nèi)。第一酸液緩沖罐27與第二酸液緩沖罐28連接，可以平衡同類型儲罐的壓力。當?shù)谝凰嵋壕彌_罐27內(nèi)流入酸液，液位上漲，其內(nèi)進入的氮氣和氫氣也較多，此時第一酸液緩沖罐27內(nèi)的壓力會升高，需要泄壓；而此時第二酸液緩沖罐28在流出酸液，液位下降，第二酸液緩沖罐28內(nèi)的壓力會降低，此時第一酸液緩沖罐27與第二酸液緩沖罐28連接可以防止第二酸液緩沖罐28內(nèi)的液位下降太快而造成罐體因補充吹掃氮氣不足，形成負壓，造成空氣倒吸發(fā)生危險。同理，第一 PH值調(diào)節(jié)罐15與第二 pH值調(diào)節(jié)罐16連接，也可以平衡同類型儲罐的壓力。
[0077]第一酸液緩沖罐27的第三氣體出口 30與第三安全液封槽35連接，第二酸液緩沖罐28的第四氣體出口 33與第三安全液封槽35連接，第一酸液緩沖罐27內(nèi)的尾氣和第二酸液緩沖罐28內(nèi)的尾氣均流入到第三安全液封槽35內(nèi)，通過第三安全液封槽35內(nèi)的堿液中和后并放空。
[0078]工業(yè)水一級淋洗塔排氣口 7與堿液二級淋洗塔進氣口 10連接，工業(yè)水一級淋洗塔2的塔頂聚集的含有氯化氫氣體、氮氣和氫氣的尾氣，這些尾氣通過工業(yè)水一級淋洗塔排氣口 7進入到設(shè)置在堿液二級淋洗塔3下部的堿液二級淋洗塔進氣口 10，從而進入到了堿液二級淋洗塔3內(nèi)。通過設(shè)置在堿液二級淋洗塔3上部的堿液入口 5補充新鮮的堿液，堿液與尾氣在堿液二級淋洗塔3內(nèi)逆向接觸，尾氣中的大部分氯化氫與堿液發(fā)生中和反應(yīng)。設(shè)置在堿液二級淋洗塔3下部的堿液出口 12與堿液緩沖罐36連接,尾氣中的大部分氯化氫<與堿液發(fā)生中和反應(yīng)后，堿液通過堿液出口 12流入到堿液緩沖罐36內(nèi)，根據(jù)堿液緩沖罐36內(nèi)的液位高度來補充新鮮的堿液，保證堿液緩沖罐36內(nèi)的堿液將堿液二級淋洗塔3下部的堿液出口 12封住。
[0079]堿液二級淋洗塔排氣口 11與第二安全液封槽26連接，尾氣