一種多晶硅還原節(jié)能生產(chǎn)工藝的制作方法
【專利摘要】一種多晶硅還原節(jié)能生產(chǎn)工藝，涉及一種利用三氯氫硅和氫氣還原生產(chǎn)多晶硅的工藝，該工藝是將來(lái)自精餾提純工序的三氯氫硅與來(lái)自尾氣回收工序的氫氣會(huì)合到汽化器中，在汽化器中三氯氫硅與氫氣按照1：5-10比例汽化，氣化后的三氯氫硅與氫氣混合蒸汽一路輸送給過(guò)熱器，經(jīng)過(guò)熱器加熱至300-400℃，進(jìn)入還原爐A，還原爐A出來(lái)的還原尾氣與汽化器出來(lái)的二路三氯氫硅與氫氣混合蒸汽匯集在一起，分別進(jìn)入還原爐B和還原爐C，從還原爐B和還原爐C出來(lái)的尾氣會(huì)合后進(jìn)入過(guò)熱器，從過(guò)熱器出來(lái)的尾氣進(jìn)入尾氣冷卻器與循環(huán)水換熱后輸送到尾氣回收工序；本發(fā)明可以回收還原尾氣夾帶的熱量50-80%，每年單臺(tái)12對(duì)棒的還原爐節(jié)約電費(fèi)20-64萬(wàn)元。
【專利說(shuō)明】一種多晶硅還原節(jié)能生產(chǎn)工藝
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于太陽(yáng)能光伏新能源領(lǐng)域，涉及一種利用三氯氫硅和氫氣還原生產(chǎn)多晶硅的工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，國(guó)際上改良西門(mén)子法是光伏產(chǎn)業(yè)應(yīng)用最為廣泛的多晶硅生產(chǎn)工藝，在光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的帶動(dòng)下，整體技術(shù)水平突飛猛進(jìn)。在還原上采取的是加大還原爐的直徑，提高還原爐電極對(duì)數(shù)達(dá)到增產(chǎn)、降低能耗的目的。
[0003]目前，國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的生產(chǎn)線絕大部分也采用改良西門(mén)子法，其工藝存在的最大的缺點(diǎn)就是還原爐出來(lái)的還原尾氣夾帶的大量高位熱，不能很好的利用，被循環(huán)水強(qiáng)制熱交換浪費(fèi)掉了，由于還原爐型的不同，帶出 來(lái)的熱量不等，就拿12對(duì)棒的還原爐來(lái)說(shuō)，還原尾氣每小時(shí)夾帶的熱量換算成功率來(lái)講的話為100-200KW，如年生產(chǎn)時(shí)間按4000-8000小時(shí)計(jì)，每KWh按0.5元計(jì)算，每臺(tái)還原爐每年要浪費(fèi)40-80萬(wàn)元，若一套3000噸的多晶硅生產(chǎn)裝置，每年浪費(fèi)的電費(fèi)將是1500-3000萬(wàn)元,這是何其龐大的數(shù)目，對(duì)于目前低迷的多晶娃市場(chǎng)來(lái)說(shuō)，無(wú)疑是雪上加霜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種三氯氫硅和氫氣還原生產(chǎn)多晶硅的工藝，解決現(xiàn)有還原尾氣夾帶熱量不能有效利用而造成大量能源浪費(fèi)的問(wèn)題。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，我們將采用如下技術(shù)方案予以實(shí)施:
[0006]一種多晶硅還原節(jié)能生產(chǎn)工藝，其特征在于:將來(lái)自精餾提純工序的三氯氫硅與來(lái)自尾氣回收工序的氫氣會(huì)合到汽化器中，在汽化器中三氯氫硅與氫氣按照1:5-10比例汽化，氣化后的三氯氫硅與氫氣混合蒸汽一路輸送給過(guò)熱器，經(jīng)過(guò)熱器加熱至300-40(TC，進(jìn)入還原爐A，還原爐A出來(lái)的還原尾氣與汽化器出來(lái)的二路三氯氫硅與氫氣混合蒸汽匯集在一起，分別進(jìn)入還原爐B和還原爐C，從還原爐B和還原爐C出來(lái)的尾氣會(huì)合后進(jìn)入過(guò)熱器，從過(guò)熱器出來(lái)的尾氣進(jìn)入尾氣冷卻器與循環(huán)水換熱后輸送到尾氣回收工序。
[0007]有益效果
[0008]本發(fā)明具有如下顯著效果:回收還原尾氣夾帶的熱量50-80%，每年單臺(tái)12對(duì)棒的還原爐節(jié)約電費(fèi)20-64萬(wàn)元。對(duì)于目前多晶硅市場(chǎng)低迷的狀況，提高市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力是非常有切實(shí)意義的。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本發(fā)明的工藝流程圖；
[0010]1、汽化器，2、過(guò)熱器,3、還原爐A, 4、還原爐B, 5、還原爐C, 6、尾氣冷卻器。
【具體實(shí)施方式】[0011]將來(lái)自精餾提純工序的三氯氫硅與來(lái)自尾氣回收工序的氫氣會(huì)合到汽化器I中，在汽化器I中三氯氫娃與氫氣按照1:5-10比例汽化,氣化后的三氯氫娃與氫氣混合蒸汽一路輸送給過(guò)熱器2，經(jīng)過(guò)熱器2加熱至300-400°C，進(jìn)入還原爐A3，還原爐A3出來(lái)的還原尾氣與汽化器I出來(lái)的二路三氯氫硅與氫氣混合蒸汽匯集在一起，分別進(jìn)入還原爐B4和還原爐C5，從還原爐B4和還原爐C5出來(lái)的尾氣會(huì)合后進(jìn)入過(guò)熱器2，從過(guò)熱器2出來(lái)的尾氣進(jìn)入尾氣冷卻器6與循環(huán)水換熱后輸送到尾氣回收工序。
[0012]上述的還原 爐A、還原爐B和還原爐C均采用12對(duì)棒的還原爐。
【權(quán)利要求】
1.一種多晶硅還原節(jié)能生產(chǎn)工藝，其特征在于:將來(lái)自精餾提純工序的三氯氫硅與來(lái)自尾氣回收工序的氫氣會(huì)合到汽化器中，在汽化器中三氯氫硅與氫氣按照1:5-10比例汽化，氣化后的三氯氫硅與氫氣混合蒸汽一路輸送給過(guò)熱器，經(jīng)過(guò)熱器加熱至300-40(TC，進(jìn)入還原爐A，還原爐A出來(lái)的還原尾氣與汽化器出來(lái)的二路三氯氫硅與氫氣混合蒸汽匯集在一起，分別進(jìn)入還原爐B和還原爐C，從還原爐B和還原爐C出來(lái)的尾氣會(huì)合后進(jìn)入過(guò)熱器，從過(guò)熱器出來(lái)的尾氣進(jìn)入尾氣`冷卻器與循環(huán)水換熱后輸送到尾氣回收工序。
【文檔編號(hào)】C01B33/035GK103754881SQ201310692115
【公開(kāi)日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2013年12月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月17日
【發(fā)明者】燕軍 申請(qǐng)人:內(nèi)蒙古同遠(yuǎn)企業(yè)管理咨詢有限責(zé)任公司