專利名稱：用于計量SDI₁₅值的測試裝置及其測試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導體測試工藝，尤其涉及用于計量SDI!5值的測試裝置及其測試方法。
背景技術(shù)：
使用超濾作為反滲透的預處理設備，在水處理精致及中水回用中已經(jīng)成為了主流工藝。保證反滲透機長期穩(wěn)定的運行，預處理產(chǎn)水的SDIt5 (Silt Density Index,污染密度指數(shù))是最關(guān)鍵的指標，需要工作人員定期測試SD&以了解 超濾膜的運行狀況。 一旦發(fā)現(xiàn)總產(chǎn)品水SDIu偏高，還要對每一個組件進行測試。 SDI,5值被定義為在恒定作用壓力下，水通過一定孔徑(0.44微米)的膜片， 初始500毫升所需要的時間r。(單位為秒)，及過濾水十五分鐘后再次透過500 毫升所需要的時間7^,代入以下公式計算得出的結(jié)果SDI^的理論最大值為6.67，理論最小值為O。目前測試SDI!5的儀器只能靠進口，成本較高，且在^f吏用該儀器測試SDI15 時，需要穩(wěn)定的35psi (磅/平方英寸)供給壓力，所以必須安裝增壓泵并提供 220伏特的交流電源。長期使用該儀器，容易造成儀器的損壞，而且由于儀器的 偏差還可能導致測試數(shù)據(jù)的不準確。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種用于計量SDI^值的測試裝置及其測試方法，通 過采用簡單的器具組成測試裝置，不僅簡化了裝置結(jié)構(gòu)，節(jié)約了成本，而且測 量過程簡便，測量精度高，還無需用電，提高了裝置的使用安全性。為了達到上述的目的，本發(fā)明提供一種用于計量SDIi5值的測試裝置，所述 的測試裝置包括相連通的第一和第二壓力容器，連接至第一壓力容器的壓力供給單元和壓力釋放單元，連接至第二壓力容器的進水管路，分別連接至第一 和第二壓力容器的排水管路，連接至第一壓力容器的刻度管，以及連接至刻度管的膜片；其中，當進水管路打開、排水管路關(guān)閉時，可向兩個壓力容器中注 水；當壓力供給單元打開時，第一壓力容器向刻度管排水，水持續(xù)透過所述膜 片。在上述的用于計量SDIc值的測試裝置中，所述的壓力供給單元包括壓縮 空氣，連接壓縮空氣和第一壓力容器的氣體管路，設置于氣體管路上的壓縮空 氣截止閥和壓力調(diào)節(jié)閥，以及連接至第一壓力容器的壓力釋放岡，通過壓縮空 氣截止閥控制壓力供給單元的打開和關(guān)閉。在上述的用于計量SDIu值的測試裝置中，所述的進水管路上設有進水閥， 用于控制進水管路的打開和關(guān)閉。在上述的用于計量SDIu值的測試裝置中，所述排水管路的末端設有一排水 閥，用于控制排水管路的打開和關(guān)閉，且排水管路連通第一和第二壓力容器的 部分還設有一連通閥。在上述的用于計量SDI,5值的測試裝置中，所述的測試裝置還包括一膜片容 器，用于盛放所述膜片。本發(fā)明的另一解決方案是提供一種采用如前所述的測試裝置計量SDI15值 的測試方法，所述方法包括下列步驟a.打開進水管路、關(guān)閉排水管路，向兩 個壓力容器中注水，注水完畢后關(guān)閉進水管路；b.打開壓力供給單元，使第一 壓力容器向刻度管排水，測試第一個500毫升水透過膜片所用的時間r。； c.保 持步驟b的狀態(tài)不變，維持15分鐘；d.測試第二個500毫升水透過膜片所用的 時間r,5; e.將ro和7^代入公式SDIt^ (1-V，)掘,計算得到81)115的值。在上述的計量SDI,5值的測試方法中，所述的壓力容器上分別標有刻度線， 于步驟a中，當水補至刻度線時，注水完畢。在上述的計量SDI,5值的測試方法中，步驟b和步驟c中使壓力供給單元提 供的壓力保持在35psi。在上述的計量SDI!5值的測試方法中，步驟b和步驟d中通過刻度管上的刻 度計算500毫升的流量。本發(fā)明的測試裝置及測試方法，利用刻度管代替電子流量計計算流量，提高了測量準確性，并且即4吏水源壓力不足35psi也不需要增設增壓泵，節(jié)省了成 本，同時，利用很容易得到的壓縮空氣作為動力，無需用電，提高了使用的安 全性。


通過以下實施例并結(jié)合其附圖的描述，可以進一步理解其發(fā)明的目的、具 體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。其中，附圖為圖1為本，明的測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為補水狀態(tài)時測試裝置的閥門開閉示意圖；圖3為測試500毫升水透過膜片時測試裝置的閥門開閉示意圖；圖4為過濾水15分鐘的過程中測試裝置的閥門開閉示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的用于計量SDI15值的測試裝置及其測試方法作進 一步的詳細描述。如圖l所示，本發(fā)明的用于計量SDIu值的測試裝置包括相連通的第一和 第二壓力容器1、 2，連接至第一壓力容器1的壓力供給單元3和壓力釋放單元 4，該壓力供給單元3包括壓縮空氣(未圖示)、連接壓縮空氣和第一壓力容器1 的氣體管路、設置于氣體管路上的壓縮空氣截止閥31和壓力調(diào)節(jié)閥32，通過壓 縮空氣截止閥31可以控制壓力供給單元3的打開和關(guān)閉，利用壓力調(diào)節(jié)閥32 可將壓力供給單元3向第一壓力容器1提供的壓力調(diào)節(jié)到適當?shù)拇笮　毫︶?放單元4包括一氣體管路和設置于管路上的壓力釋放閥41，通過壓力釋放單元 4可排出第一壓力容器1中的多余氣體。該測試裝置還包括連接至第二壓力容器2的進水管路5，以及分別連接至第 一和第二壓力容器l、 2的排水管路6。進水管路5上設有一進水閥51,用于控 制進水管路5的開閉。排水管路6的末端設有一排水閥61，用于控制排水管路 6的開閉，且排水管路6連通第一和第二壓力容器1、 2的部分還設有一連通閥 62。當進水管路5打開、排水管路6關(guān)閉時，可向兩個壓力容器l、 2中注水。第一壓力容器1的一端還連接至一刻度管7，并通過刻度管7連接至膜片8。當壓力供給單元3打開，壓力釋放單元4關(guān)閉時，第一壓力容器1向刻度管7 排水，水持續(xù)透過該膜片8。于本發(fā)明的4交佳實施例中，測試裝置還包括一膜片 容器9,用于盛^tM片8，且壓力容器l、 2上分別標有刻度11、 21，用于指示 補水是否足夠，下面結(jié)合圖2至圖4對本發(fā)明的測試方法作具體描述，為了方便說明，規(guī) 定附圖中打"x"的閥門表示關(guān)閉的閥門。采用本發(fā)明的測試裝置計量SDI!5值的 測試方法包括下列步驟首先是準備工作，包括沖洗壓力容器l、 2,安裝膜片8等。待準備工作就 緒，即可進入測試階段。第一步，打開進水管路5、關(guān)閉排水管路6，向兩個壓力容器l、 2中注水， 待補水至刻度線ll、 21處即完成注水，關(guān)閉進水管路5。圖2為補水狀態(tài)時測試裝置的閥門開閉示意圖，其中，進水閥51和連通閥 62打開、排水闌61關(guān)閉，從而在壓力容器1、 2中蓄水?？諝饨刂归y31處于關(guān) 閉狀態(tài)，使空氣供給單元3停止供氣，空氣釋放閥41打開，以排除壓力容器l、 2中多余的氣體。于補水狀態(tài)下，第一壓力容器1與刻度管7不相連通。第二步，打開壓力供給單元3，通過壓力調(diào)節(jié)閥32調(diào)節(jié)空氣壓力，使壓力 供給單元3向第一壓力容器l提供持續(xù)的35psi壓力，從而第一壓力容器l中的 水在壓力的推動下流入刻度管7，再利用刻度管7上的刻度計算流量，以測試第 一個500毫升水透過膜片8所用的時間r0。圖3為測試500毫升水透過膜片8時測試裝置的閥門開閉示意圖，請對照 圖2，其中，進水閥51、排水閥61和連通岡62均處于關(guān)閉狀態(tài)，使壓力容器l、 2中保持一定的水量?？諝饨刂灵y31打開，空氣釋放岡41關(guān)閉，從而空氣供給 單元3向第一壓力容器1供氣，并將第一壓力容器1中的水壓入刻度管7中， 再通過膜片8過濾。第三步，保持第二步中的過濾狀態(tài)不變，用秒表計時15分鐘。圖4為過濾水15分鐘的過程中測試裝置的閥門開閉示意圖，請對照圖3， 于過濾狀態(tài)下，打開連通閥62,使壓力容器l、 2完全連通，從而第二壓力容器 2中的水可以補給至第一壓力容器1中。第四步，測試第二個500毫升水透過膜片8所用的時間r/5。由于第四步所對應的閥門狀態(tài)與圖3所示的相同，故在此不再贅述。 最后，將測得的r。和7^5代入公式SDI15 =(卜幾^J'100 ,即可得到SDIu的值。
權(quán)利要求
1. 一種用于計量SDI15值的測試裝置，其特征在于，所述的測試裝置包括相連通的第一和第二壓力容器，連接至第一壓力容器的壓力供給單元和壓力釋放單元，連接至第二壓力容器的進水管路，分別連接至第一和第二壓力容器的排水管路，連接至第一壓力容器的刻度管，以及連接至刻度管的膜片；其中，當進水管路打開、排水管路關(guān)閉時，可向兩個壓力容器中注水；當壓力供給單元打開、壓力釋放單元關(guān)閉時，第一壓力容器向刻度管排水，水持續(xù)透過所述膜片。
2、 如權(quán)利要求1所述的用于計量SDIt5值的測試裝置，其特征在于，所述 的壓力供給單元包括壓縮空氣，連接壓縮空氣和第一壓力容器的氣體管路， 設置于氣體管路上的壓縮空氣截止閥和壓力調(diào)節(jié)閥，以及連接至第一壓力容器 的壓力釋放閥，
3、 如權(quán)利要求2所述的用于計量SDI,5值的測試裝置，其特征在于通過 壓縮空氣截止閥控制壓力供給單元的打開和關(guān)閉。
4、 如權(quán)利要求1所述的用于計量SDI,5值的測試裝置，其特征在于所述 的進水管路上設有進水閥，用于控制進水管路的打開和關(guān)閉。
5、 如權(quán)利要求1所述的用于計量SDIu值的測試裝置，其特征在于所述 排水管路的末端設有一排水閥，用于控制排水管路的打開和關(guān)閉，且排水管路 連通第一和第二壓力容器的部分還設有一連通閥。
6、 如權(quán)利要求1所述的用于計量SDI!5值的測試裝置，其特征在于所述 的測試裝置還包括一膜片容器，用于盛放所述膜片。
7、 一種采用如權(quán)利要求1所述的測試裝置計量SD&值的測試方法，其特 征在于，所述方法包括下列步驟a. 打開進水管路、關(guān)閉排水管路，向兩個壓力容器中注水，注水完畢后關(guān) 閉進水管路；b. 打開壓力供給單元，使第一壓力容器向刻度管排水，測試第一個500毫 升水透過膜片所用的時間r0;c. 保持步槺b的狀態(tài)不變，維持15分鐘；d. 測試第二個500毫升水透過膜片所用的時間T;5;e. 將r。和7^代入公式sdi15 = "; )掘,計算得到SDIl5的值。
8、 如權(quán)利要求7所述的計量SDIi5值的測試方法，其特征在于所述的壓 力容器上分別標有刻度線，于步驟a中，當水補至刻度線時，注水完畢。
9、 如權(quán)利要求7所述的計量SDI,5值的測試方法，其特征在于步驟b和 步驟c中使壓力供給單元提供的壓力保持在35psi。
10、 如權(quán)利要求7所述的計量SDI!5值的測試方法，其特征在于步驟b和 步驟d中通過刻度管上的刻度計算500毫升的流量。
全文摘要
本發(fā)明提供了用于計量SDI₁₅值的測試裝置及其測試方法，涉及半導體測試工藝?，F(xiàn)有的測試儀器成本較高，且須通電使用，安全性較低。本發(fā)明的測試裝置包括相連通的第一和第二壓力容器，連接至第一壓力容器的壓力供給單元和壓力釋放單元，連接至第二壓力容器的進水管路，分別連接至第一和第二壓力容器的排水管路，連接至第一壓力容器的刻度管，以及連接至刻度管的膜片；其中，當進水管路打開、排水管路關(guān)閉時，可向兩個壓力容器中注水；當壓力供給單元打開、壓力釋放單元關(guān)閉時，第一壓力容器向刻度管排水，水持續(xù)透過所述膜片。采用本發(fā)明可簡化裝置結(jié)構(gòu)，節(jié)約成本，而且測量過程簡便，測量精度高，還無需用電，提高了裝置的使用安全性。
文檔編號B01D65/10GK101259380SQ20071003783
公開日2008年9月10日 申請日期2007年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月6日
發(fā)明者楊智峰, 津 鄭 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司