一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于單晶硅拋光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅拋光片是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，而清洗機(jī)是生產(chǎn)硅拋光片的必要設(shè)備。兩槽手動(dòng)清洗機(jī)由于其低廉的價(jià)格和較好的性能優(yōu)勢(shì)，目前在國內(nèi)硅拋光片廠家的應(yīng)用非常普遍，主要用作清洗去除硅片表面顆粒、沾污和有蠟拋光后硅片去蠟。兩槽清洗機(jī)是指此設(shè)備包含有兩個(gè)槽體，其中一個(gè)槽體是放化學(xué)液槽，用來去除硅片表面的顆粒、沾污和有蠟拋光后硅片去蠟；另一個(gè)槽體為純水快速噴淋和倒洗槽，用來去除硅片表面的化學(xué)液殘留。清洗時(shí)需要先將裝有硅片的片盒放入化學(xué)液槽并啟動(dòng)化學(xué)清洗程序，等化學(xué)液清洗程序結(jié)束后，將裝有硅片的片盒再放入純水快速噴淋和倒洗槽，啟動(dòng)快速噴淋和倒洗程序。而實(shí)現(xiàn)將裝有硅片的片盒在兩個(gè)槽體間移動(dòng)的裝置為片盒掛件。
[0003]目前，國內(nèi)主要以生產(chǎn)直徑為4英寸、5英寸和6英寸的單晶硅拋光片為主。兩槽手動(dòng)清洗機(jī)生產(chǎn)廠會(huì)根據(jù)客戶所加工的產(chǎn)品尺寸不同分別配備適用于4英寸、5英寸、6英寸的不同寬度和大小的片盒掛件。這樣，在實(shí)際生產(chǎn)中便會(huì)出現(xiàn)生產(chǎn)線上會(huì)因加工不同直徑的硅片產(chǎn)品，而需要頻繁的更換不同的片盒掛件以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同直徑產(chǎn)品的清洗工作的問題。另外，目前清洗機(jī)生產(chǎn)廠配備的片盒掛件，員工需要抓住觸發(fā)支撐橫軸手動(dòng)搬運(yùn)，操作很不方便。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)提出了一種新型的兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，目的是解決在生產(chǎn)不同直徑單晶硅拋光片產(chǎn)品時(shí)需頻繁更換片盒掛件的問題和搬運(yùn)不方便的問題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采取的具體技術(shù)方案是:一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，由側(cè)擋板、觸發(fā)支撐橫軸，可移動(dòng)擋板，固定橫梁構(gòu)成；其中:側(cè)擋板的頂部設(shè)計(jì)有手柄，側(cè)擋板下部在兩塊側(cè)擋板之間的中間位置和靠近側(cè)擋板內(nèi)側(cè)位置上焊有四根固定橫梁；固定橫梁上分別開有一個(gè)與4英寸硅片片盒寬度尺寸相同的4英寸硅片卡槽和一個(gè)與5英寸硅片片盒寬度尺寸相同的5英寸硅片卡槽；可移動(dòng)擋板安裝在4英寸硅片卡槽、5英寸硅片卡槽內(nèi)；觸發(fā)支撐橫軸相對(duì)應(yīng)安裝在側(cè)擋板上端外部兩側(cè)。所述的一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，其中觸發(fā)支撐橫軸表面鍍有聚偏氟乙烯鍍層，以防止腐蝕、老化。所述的一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，其中側(cè)擋板、固定橫梁、可移動(dòng)擋板均采用聚偏氟乙烯材料制做。
[0006]本實(shí)用新型所述的一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，所用組件數(shù)量少，加工工藝簡單，安裝操作方便，可靠性強(qiáng)，有效地解決了在實(shí)際生產(chǎn)中因加工不同尺寸、直徑的硅片而頻繁更換不同的尺寸規(guī)格的片盒掛件的問題，同時(shí)在側(cè)擋板上部增加手柄式設(shè)計(jì)，方便了現(xiàn)場(chǎng)搬運(yùn)操作，提高了工作效率。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型片盒掛件結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2為本實(shí)用新型片盒掛件側(cè)視圖；
[0009]圖3為本實(shí)用新型片盒掛件中固定橫梁結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖4為本實(shí)用新型固定橫梁上硅片卡槽示意圖。
[0011]圖中:1、側(cè)擋板；2、手柄；3、觸發(fā)支撐橫軸；4、可移動(dòng)擋板；5、固定橫梁；6、4英寸硅片卡槽；7、5英寸硅片卡槽。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的實(shí)施方式如下:
[0013]如圖1、圖2、圖3、圖4所示，本實(shí)用新型所述的一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，由側(cè)擋板1、手柄2、觸發(fā)支撐橫軸3、可移動(dòng)擋板4、固定橫梁5、4英寸娃片卡槽6、5英寸娃片卡槽7構(gòu)成；其中，為了方便現(xiàn)場(chǎng)員工搬運(yùn)操做，在側(cè)擋板I的項(xiàng)部設(shè)計(jì)有手柄2，在側(cè)擋板I的下部，兩塊側(cè)擋板I之間的中間位置和靠近側(cè)擋板I內(nèi)側(cè)位置上焊接有四根固定橫梁5，在固定橫梁5上分別開有一個(gè)與4英寸娃片片盒寬度尺寸相同的4英寸娃片卡槽6和一個(gè)與5英寸硅片片盒寬度尺寸相同的5英寸硅片卡槽7 ;可移動(dòng)擋板4可安裝在4英寸硅片卡槽6、5英寸娃片卡槽7內(nèi)；側(cè)擋板1、固定橫梁5、可移動(dòng)擋板4均采用聚偏氟乙稀材料制做。觸發(fā)支撐橫軸3相對(duì)應(yīng)的安裝在側(cè)擋板I上端的外部兩側(cè)上，起觸發(fā)程序開關(guān)和支撐片盒掛件的功能，觸發(fā)支撐橫軸3采用金屬材料制做，其表面鍍有聚偏氟乙烯鍍層。當(dāng)清洗4英寸硅片或者清洗5英寸硅片時(shí)，只需將可移動(dòng)擋板4安裝到4英寸硅片卡槽6內(nèi)或者5英寸硅片卡槽7內(nèi)即可，去掉可移動(dòng)擋板4便可清洗6英寸硅片，不需要更換不同規(guī)格尺寸的片盒掛件。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，其特征是:所述的一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件由側(cè)擋板(I)、手柄(2)、觸發(fā)支撐橫軸(3)、可移動(dòng)擋板(4)、固定橫梁(5)構(gòu)成；在側(cè)擋板(I)的頂部設(shè)有手柄(2);在側(cè)擋板(I)的下部，兩塊側(cè)擋板(I)內(nèi)側(cè)位置上焊有四根固定橫梁(5);固定橫梁(5)上分別開有一個(gè)4英寸娃片卡槽(6)和一個(gè)5英寸娃片卡槽(7);可移動(dòng)擋板(4)安裝在4英寸硅片卡槽(6)、5英寸硅片卡槽(7)內(nèi)；觸發(fā)支撐橫軸(3)相對(duì)應(yīng)安裝在側(cè)擋板(I)上端外部兩側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，其特征是:側(cè)擋板(1)、可移動(dòng)擋板(4)、固定橫梁(5)均采用聚偏氟乙烯材料制做。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，其特征是:觸發(fā)支撐橫梁(3)表面鍍有聚偏氟乙烯鍍層。
【專利摘要】一種兩槽手動(dòng)清洗機(jī)片盒掛件，適用于單晶硅清洗機(jī)在清洗單晶硅片時(shí)將裝有硅片的片盒在兩個(gè)槽體間移動(dòng)。本實(shí)用新型采取在側(cè)擋板（1）頂部增加手柄（2）的設(shè)計(jì)方便現(xiàn)場(chǎng)搬運(yùn)，在兩塊側(cè)擋板（1）之間的中間位置及靠近側(cè)擋板（1）內(nèi)側(cè)位置上焊有四根固定橫梁（5），并在固定橫梁（5）上分別開有與硅片片盒寬度尺寸相同的4英寸硅片卡槽（6）、5英寸硅片卡槽（7）的技術(shù)方案，通過可移動(dòng)擋板（4）完成不同規(guī)格尺寸的硅片清洗過程，不需要頻繁更換不同規(guī)格尺寸的片盒掛件。本實(shí)用新型所用組件數(shù)量少，加工工藝簡單，安裝操做方便，有效解決了因清洗的硅片規(guī)格尺寸不同而頻繁更換片盒掛件問題。
【IPC分類】H01L21-677, B08B13-00
【公開號(hào)】CN204564719
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520191609
【發(fā)明人】胡曉亮, 趙文龍, 高燁, 崔小換
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年4月1日