專利名稱:洗滌方法和液晶裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶板等工件的洗滌方法，和采用該洗滌方法的液晶裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
在制造作為顯示裝置等使用的液晶裝置時(shí)，在使兩片基板貼合、形成板后，用減壓注入等方法在該板之間填充液晶。然后，在將板的液晶注入口封止后，或?qū)迩袛嗪?，?duì)板進(jìn)行洗滌，除去附著在板表面上的液晶等，之后采用各向異性導(dǎo)電膜等連接上柔性印刷線路板。
作為這種洗滌中采用的洗滌液，雖然有氟素類洗滌液，但由于氟素類洗滌液是破壞臭氧層的原因，所以其使用有被限制、禁止的傾向。因此，一直采用烴類洗滌液以取代氟素類洗滌液。
但是，烴類洗滌液雖然可除去有機(jī)物類污垢，但存在不能充分除去無(wú)機(jī)物類污垢的問(wèn)題。而且，雖然有通過(guò)與水洗滌相組合而洗掉無(wú)機(jī)物類污垢的方法，當(dāng)如果采用水洗滌，則在廢水處理上要花很大成本，同時(shí)存在干燥時(shí)費(fèi)時(shí)費(fèi)力的問(wèn)題。
因此，可以考慮通過(guò)采用加有界面活性劑的烴類洗滌液，將附著在液晶板上的有機(jī)類和無(wú)機(jī)類污垢洗掉的方法，但在采用這種洗滌液時(shí)，存在洗滌后的液晶板上殘留的界面活性劑可能會(huì)有影響的問(wèn)題。
鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種即使用烴類洗滌液進(jìn)行洗滌時(shí)，也可以將有機(jī)物類和無(wú)機(jī)物類任一類型的污垢從工件上完全除去、同時(shí)不會(huì)殘留界面活性劑的洗滌方法，和采用該洗滌方法的液晶裝置的制造方法。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明為一種具有采用加有界面活性劑的烴類洗滌液、對(duì)工件進(jìn)行浸漬洗滌的前洗滌工序，和采用未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液、對(duì)該前洗滌工序結(jié)束后的工件進(jìn)行浸漬洗滌的后洗滌工序的洗滌方法，其特征為，在上述后洗滌工序中，在將工件浸漬在洗滌液中的狀態(tài)下，重復(fù)進(jìn)行使洗滌槽內(nèi)減壓的操作和恢復(fù)到大氣壓的操作。
本發(fā)明中，通過(guò)用加有界面活性劑的的烴類洗滌液對(duì)工件進(jìn)行洗滌，在將附著在工件上的有機(jī)類和無(wú)機(jī)類污垢除去后(前洗滌工序)，在未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液中洗滌工件，將附著在工件上的加有界面活性劑的烴類洗滌液洗掉(后洗滌工序)。
而且，在洗滌工序中，由于在將工件浸漬在洗滌液中的狀態(tài)下重復(fù)進(jìn)行使洗滌槽內(nèi)減壓的操作和恢復(fù)到大氣壓的操作，所以在減壓時(shí)，工件的空隙或工件和工件之間生成氣泡并結(jié)合，成為大的氣泡，從空隙之間放出。因此，由于洗滌液順利地浸透在空隙之間，所以進(jìn)入空隙之間的加有界面活性劑的烴類洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液。從而在洗滌后的工件上，可完全除去有機(jī)類和無(wú)機(jī)類的污垢，同時(shí)含在前洗滌工序中采用的洗滌液中的界面活性劑不會(huì)殘留在工件上。
在本發(fā)明中，最好在上述前洗滌工序和上述后洗滌工序中任一個(gè)工序中，邊使工件傾斜邊將其從洗滌液中拉出。這樣，當(dāng)將工件拉出時(shí)，在通常的姿勢(shì)下流不出來(lái)的洗滌液也從工件上流出。因而可大幅度減少附著在從洗滌液中拉出的工件上的洗滌液。
在本發(fā)明中，最好在上述前洗滌工序和上述后洗滌工序中任一個(gè)工序中，邊使工件上下運(yùn)動(dòng)邊將其從洗滌液中拉出。若采用這種結(jié)構(gòu)，則進(jìn)入工件的空隙之間或工件和工件之間的臟洗滌液和儲(chǔ)存在洗滌槽中的洗滌液能夠可靠地置換。
在本發(fā)明中，最好在上述前洗滌工序和上述后洗滌工序之間對(duì)工件進(jìn)行干燥處理。若采用這樣的結(jié)構(gòu)，則一旦將進(jìn)入工件的空隙之間或工件和工件之間的洗滌液除去后，可轉(zhuǎn)移到后洗滌工序，所以在進(jìn)行后洗滌工序時(shí)，洗滌液可順利地進(jìn)入工件的空隙之間或工件和工件之間，能夠進(jìn)行良好的洗滌。
本發(fā)明的洗滌方法可適用于例如將封入了液晶的液晶板作為上述工件進(jìn)行洗滌的情況。即，在構(gòu)成液晶板的一對(duì)基板中至少一方的基板采用了鈉鈣玻璃基板的情況下，鈉鈣玻璃價(jià)格低廉，但代價(jià)是存在加熱時(shí)從基板自身有堿金屬在表面上析出，生成鹽的缺點(diǎn)。盡管如此，在本發(fā)明中，由于這種無(wú)機(jī)物質(zhì)也由加有界面活性劑的烴類洗滌液洗掉，所以根據(jù)本發(fā)明，可消除堿金屬在表面上析出、生成鹽，產(chǎn)生腐蝕這種玻璃基板的問(wèn)題。
本發(fā)明在用于將數(shù)片液晶板重疊的狀態(tài)下洗滌的情況下效果更好。本發(fā)明中，在后洗滌工序中，由于是在將液晶板浸漬在洗滌液中的狀態(tài)下重復(fù)在減壓的狀態(tài)和返回大氣壓的狀態(tài)，所以減壓時(shí)氣泡生成并結(jié)合，成為大的氣泡，從空隙之間放出。因此，洗滌液順利地浸透到空隙之間，所以進(jìn)入液晶板的空隙或液晶板和液晶板之間的加有界面活性劑的烴類洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液。因而在洗滌后的液晶板上，可完全除去有機(jī)類和無(wú)機(jī)類的污垢，同時(shí)不會(huì)殘留含在前洗滌工序中使用的洗滌液中的界面活性劑。
如上所述，在本發(fā)明中，通過(guò)用加有界面活性劑的烴類洗滌液洗滌工件，在將附著在工件上的有機(jī)類和無(wú)機(jī)類污垢除去之后，在未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液中洗滌工件，將附著在工件上的加有界面活性劑的烴類洗滌液完全洗掉。而且，在后洗滌工序中，由于是在將工件浸漬在洗滌液中的狀態(tài)下重復(fù)進(jìn)行將洗滌槽內(nèi)減壓的操作和返回大氣壓的操作，所以在減壓時(shí)，在工件的空隙或工件和工件之間生成氣泡并結(jié)合，成為大的氣泡，從空隙放出。因此，洗滌液順利地浸透空隙中。所以，進(jìn)入到空隙中的加有界面活性劑的烴類洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液。因而可在洗滌后的工件上完全除去有機(jī)類和無(wú)機(jī)類污垢，同時(shí)也不會(huì)殘留含在前洗滌工序中使用的洗滌液中的界面活性劑。
而且，在液晶裝置的制造方法中采用本發(fā)明的洗滌方法，由于不僅可提高液晶裝置的洗滌效果，還可以一次處理大量的液晶裝置，所以可縮短制造時(shí)間和降低成本。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明
圖1為構(gòu)成液晶裝置中采用的液晶板的結(jié)構(gòu)的縱向剖視圖。
圖2為圖1所示的液晶板的俯視圖。
圖3為表示圖1所示的液晶板的制造工序中、液晶注入工序中將液晶注入基板之間的方法的說(shuō)明圖。
圖4為表示用于實(shí)施本發(fā)明的洗滌方法的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)整體結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖5為表示在圖4所示的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)中進(jìn)行浸漬洗滌時(shí)的說(shuō)明圖。
圖6為在圖4所示的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)中洗滌液晶板所采用的保持器的說(shuō)明圖。
圖7為說(shuō)明在圖4所示的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)中進(jìn)行噴淋洗滌和蒸汽洗滌時(shí)的說(shuō)明圖。
圖8為表示在圖4所示的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)中進(jìn)行干燥工序時(shí)的說(shuō)明圖。
圖9為用于說(shuō)明在圖4所示的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)中，采用多級(jí)蒸餾的效果而示出的沸點(diǎn)-組成特性的曲線圖。
圖10為說(shuō)明在本發(fā)明其它實(shí)施形式的洗滌方法中，將液晶板拉出時(shí)的說(shuō)明圖。
圖11為表示在本發(fā)明其它實(shí)施形式的洗滌方法中，用別的方法將液晶板拉出時(shí)的說(shuō)明圖。
實(shí)施發(fā)明的形式參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形式加以說(shuō)明。另外，在說(shuō)明本發(fā)明的各實(shí)施形式之前，對(duì)作為洗滌對(duì)象(工件)的液晶板的結(jié)構(gòu)和其制造方法加以說(shuō)明。
工件/液晶板的結(jié)構(gòu)圖1和圖2分別為表示液晶顯示裝置(液晶裝置)中采用的液晶板的結(jié)構(gòu)的縱向剖視圖和俯視圖。圖3為表示在該液晶板中注入液晶的工序說(shuō)明圖。
圖1中所示的液晶板1為單純的矩陣型液晶裝置用，具有玻璃板構(gòu)成的透明、薄的第一透明基板10和由相同的玻璃板構(gòu)成的透明、薄的第二透明基板20。在這些基板的一方上通過(guò)印刷等形成密封劑30，隔著該密封劑30，第一透明基板10和第二透明基板20留有指定間隙31(小室間隙)地粘接固定。在此，第一透明基板10和第二透明基板20的小室間隙是由夾在第一透明基板10和第二透明基板20之間的多個(gè)隔離件32所規(guī)定的。
如圖2所示，在密封劑30上形成有作為注入液晶時(shí)的液晶注入口301的切口部分，該液晶注入口301是由紫外線固化樹(shù)脂構(gòu)成的封止劑305封止的。
在圖1中，第一透明基板10和第二透明基板20之間的間隙31中由密封劑30劃分的液晶封入?yún)^(qū)域300內(nèi)封入有液晶40。在第一透明基板10和第二透明基板20的各對(duì)向面上形成的帶狀電極105、205的雙方的表面上形成有定向膜101、201，以STN(Super TwistedNematic)方式使用液晶40。
在第一透明基板10和第二透明基板20的各外側(cè)表面上分別貼有偏光板102、202。另外，在液晶板1是作為反射型液晶板1構(gòu)成時(shí)，貼在第二透明基板20上的偏光板202上貼有反射板203。
在第一透明基板10的內(nèi)側(cè)表面上，例如通過(guò)ITO(銦錫氧化物)膜形成向橫向延伸的數(shù)個(gè)帶狀電極105，在第二透明基板20的內(nèi)側(cè)表面上，通過(guò)ITO膜形成向縱向延伸的多個(gè)帶狀電極205。在這些帶狀電極105、205之間的各交叉部分上構(gòu)成畫素。由于第二透明基板20大于第一透明基板10，所以第二透明基板20的一部分從第一透明基板10的下端緣突出，在該突出部分的端部上構(gòu)成的端子206上通過(guò)各向異性導(dǎo)電膜3等連接有柔性印刷線路板2。在此，端子206是例如將在形成于第二透明基板20上的帶狀電極205原封不動(dòng)地突出的部分上也配線(延伸)形成的部分、和形成于第一透明基板10上的帶狀電極105通過(guò)導(dǎo)通劑(圖中未示出)實(shí)現(xiàn)第一透明基板10和第二透明基板20之間電連接，在突出部分上配線形成的部分配列連接加以利用的。因此，當(dāng)通過(guò)柔性印刷線路板2，從外部電路輸入各種控制信號(hào)或電源等驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，可根據(jù)該驅(qū)動(dòng)信號(hào)將電壓加在所希望的適當(dāng)?shù)膸铍姌O105、205上。因而可控制各畫素中液晶40的定向狀態(tài)，在液晶板1上顯示所希望的圖象。
液晶板的制造方法在這種液晶板1的制造方法中，第一透明基板10和第二透明基板20均是在中途可取多片這樣的基板的大型基板的狀態(tài)下形成帶狀電極105、205后，在大型基板的狀態(tài)下通過(guò)密封劑30相互貼合。這樣，在大型基板的狀態(tài)下貼合后切斷成長(zhǎng)方形的狀態(tài)下進(jìn)行圖3所示的液晶注入工序。
在圖3中，當(dāng)進(jìn)行液晶注入工序時(shí)，在長(zhǎng)方形的板100的切斷部分上，是分別在成為液晶板1的部分上開(kāi)口有液晶注入口301的狀態(tài)。因此，在將長(zhǎng)方形的板100配置在液晶注入裝置的處理室內(nèi)后，使該處理室為真空，在該狀態(tài)下使儲(chǔ)存有液晶40的容器41上升，液晶注入口301為浸漬在容器41內(nèi)的液晶40中的狀態(tài)，在該狀態(tài)下將處理室內(nèi)向大氣開(kāi)放，解除真空狀態(tài)。其結(jié)果，由于由第一透明基板10和第二透明基板20夾持的間隙31內(nèi)為真空狀態(tài)，液晶40從液晶注入口301被吸入間隙31內(nèi)。
這樣，在液晶40的注入結(jié)束后，如參照?qǐng)D2所說(shuō)明的那樣，用紫外線固化樹(shù)脂構(gòu)成的封止劑305將液晶注入口301封止。
這樣，在結(jié)束液晶40的注入、封止工序后，或在將長(zhǎng)方形的板100切斷成單個(gè)的液晶板1后，將附著的液晶或切斷時(shí)附著的玻璃粉洗滌、除去。
洗滌機(jī)的整體結(jié)構(gòu)圖4為表示用于上述本發(fā)明的洗滌方法的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)整體結(jié)構(gòu)的方框圖。圖5為表示用圖4所示的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)進(jìn)行浸漬洗滌時(shí)的說(shuō)明圖。圖6為用帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)洗滌液晶板時(shí)采用的保持器的說(shuō)明圖。圖7為表示用圖4所示的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)進(jìn)行噴淋洗滌或蒸汽洗滌時(shí)的說(shuō)明圖。圖8為表示用圖4所示的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)進(jìn)行干燥工序時(shí)的說(shuō)明圖。
在圖4中，本形式的帶有蒸餾再生機(jī)能的洗滌機(jī)500(以下稱為洗滌機(jī)500)大致是由洗滌液晶板1等工件的洗滌部600和用于將該洗滌部600中使用的洗滌液蒸餾再生的蒸餾再生部700構(gòu)成的。
在這種洗滌機(jī)500中，在洗滌部600中首先配置具備超音波振蕩器626的第一預(yù)備洗滌槽602，和具備超音波振蕩器627的第二預(yù)備洗滌槽603，由這兩個(gè)預(yù)備洗滌槽602、603進(jìn)行前洗滌工序。第一預(yù)備洗滌槽602和第二預(yù)備洗滌槽603為整體構(gòu)成，洗滌液從第二預(yù)備洗滌槽603向第一預(yù)備洗滌槽602中溢流。
在此，第一預(yù)備洗滌槽602和第二預(yù)備洗滌槽603中儲(chǔ)存有在主要成分為正壬烷或正癸烷等正鏈烷烴中添加了界面活性劑的加有界面活性劑的烴類洗滌液。這種界面活性劑例如為脂肪酸烷基醇酰胺和N亞烷基烯二胺脂肪酸鹽，這種添加劑均是在例如5重量％以下的濃度添加的。在本形式中，作為添加劑，分別由下式R1CON(R2OH)2·NH(R2OH)2(其中，R1和R2為烷基)表示的脂肪酸烷基醇酰胺，和由下式R3NH·R4H2·2R5COOH(其中，R3和R5為烷基，R4為烷撐基)表示的N亞烷基烯二胺脂肪酸鹽，以5重量％以下的濃度添加的。
而且，在洗滌部600中配置有進(jìn)行后洗滌工序的洗滌槽601，關(guān)于該洗滌槽601的結(jié)構(gòu)將在以下與來(lái)自蒸餾再生部700的配管結(jié)構(gòu)一起敘述，洗滌槽601中使用的洗滌液為以正壬烷或正癸烷等為主要成分的烴類洗滌液。其中，該洗滌液中未摻合有界面活性劑。
另外，在洗滌部600中配置有將搭載了成為洗滌對(duì)象(工件)的液晶板1的洗滌籠685以第一預(yù)備洗滌槽602，第二預(yù)備洗滌槽603和洗滌槽601的順序運(yùn)送的機(jī)械手(如箭頭D所示)。
另一方面，在蒸餾再生部700中配置有從洗滌槽601溢流而來(lái)的洗滌液通過(guò)洗滌液排出管702被回收的管理槽701，用于將來(lái)自該管理槽701的洗滌液蒸餾再生的蒸餾再生器是多級(jí)構(gòu)成的。即，在蒸餾再生器700中，串聯(lián)連接有從管理槽701供給洗滌液的第一級(jí)(初級(jí))蒸餾再生器721，和蒸餾再生由該蒸餾再生器721蒸餾再生的再生洗滌液的第二級(jí)(終級(jí))蒸餾再生器722。
各蒸餾再生器721、722是由將從蒸餾再生器蒸發(fā)而來(lái)的蒸汽液化的冷凝器731、732和儲(chǔ)存由這些冷凝器731、732液化的再生洗滌液的中間槽741、742構(gòu)成的。
在此，第一級(jí)蒸餾再生器721和第一級(jí)中間槽741是通過(guò)冷凝器731和加裝有閥的再生洗滌液排出管761連接的，同時(shí)，第一級(jí)中間槽741和第二級(jí)蒸餾再生器722是通過(guò)加裝有閥的再生洗滌液供給管781連接的。因此，由第一級(jí)蒸餾再生器721蒸餾再生的再生洗滌液可經(jīng)由第一級(jí)中間槽741供給到第二級(jí)蒸餾再生器722。
第二級(jí)蒸餾再生器722和第二級(jí)中間槽742是通過(guò)加裝有冷凝器732的再生洗滌液排出管762連接的。
在本形式中，在蒸餾再生器721、722的下方位置配置有分別接收從這些蒸餾再生器排出的洗滌液或殘?jiān)慕邮詹?91、792。
在這樣構(gòu)成的洗滌機(jī)500中，第一級(jí)中間槽741通過(guò)加裝有閥的浸漬洗滌液供給管782連接在洗滌槽601上，可將由第一蒸餾再生器721蒸餾再生的洗滌液作為浸漬洗滌液供給到洗滌槽601。
第二級(jí)中間槽742通過(guò)加裝有閥的噴淋用洗滌液供給管752連接在洗滌槽601上，可將由第二蒸餾再生器722蒸餾再生的洗滌液作為噴淋洗滌液供給到洗滌槽601。而且，第二級(jí)中間槽742通過(guò)加裝有閥的浸漬洗滌液供給管750連接在洗滌槽601上，可將由第二蒸餾再生器722蒸餾再生的洗滌液作為浸漬洗滌液供給到洗滌槽601。另外，第二級(jí)蒸餾再生器722通過(guò)加裝有閥的洗滌劑蒸汽供給管756連接在洗滌槽601上，可將洗滌劑蒸汽供給到洗滌槽601。
圖5中，在配置于洗滌部600中的洗滌槽601高度方向的大致中央位置上配置有洗滌液供給口671，該洗滌液供給口671上連接有浸漬洗滌液供給管750、782。另外，在洗滌槽601上連接有用于維持洗滌液的液面的洗滌液排出管702，通過(guò)將洗滌槽601內(nèi)的洗滌液經(jīng)由洗滌液排出管702溢流到管理槽701(參照?qǐng)D4)中而維持液面。
洗滌槽601的結(jié)構(gòu)在用這樣構(gòu)成的洗滌機(jī)500洗滌工件(液晶板1)時(shí)，例如使用圖6中所示的保持器680。在采用該保持器680洗滌液晶板1時(shí)，使以重疊狀態(tài)搭載有液晶板1的保持器680為多段層疊，裝入洗滌籠685中。因此，雖然一個(gè)洗滌籠685中可裝入2000～5000片液晶板1，一次進(jìn)行洗滌工序。但液晶板1之間幾乎沒(méi)有間隙。
在本形式中，在用圖5中所示的洗滌槽601洗滌液晶板1時(shí)，在形成于洗滌槽601下半部的浸漬洗滌室610的工件臺(tái)620上放置洗滌籠685。由于在該浸漬洗滌室610中儲(chǔ)存有未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液，所以在將洗滌籠685放置在浸漬洗滌室610的工件臺(tái)620上的狀態(tài)下將洗滌籠685內(nèi)的液晶板1浸漬在洗滌液中。
在此，在工件臺(tái)620的底面一側(cè)上配置有與工件臺(tái)620一體的超音波振蕩器625。而且，工件臺(tái)620連結(jié)在升降機(jī)構(gòu)(箭頭A所示)上，升降機(jī)構(gòu)可使工件臺(tái)620與超音波振蕩器625一起上下移動(dòng)。另外，形成有儲(chǔ)存在浸漬洗滌室610中的洗滌液相對(duì)于浸漬洗滌室610的循環(huán)路徑615，在該循環(huán)路徑615的中間位置加裝有冷卻器616。
在本形式中，洗滌槽601的上半部為較浸漬洗滌室610小一圈的小的處理室630，在該處理室630內(nèi)配置有朝下方噴射洗滌用洗滌液的噴淋嘴631，同時(shí)配置有朝下方噴出漂洗用洗滌劑蒸汽的蒸汽吹出口655。
而且，在處理室630的壁面上開(kāi)口有連接在真空抽吸裝置(箭頭B所示)上的排氣口635，可從該排氣口635對(duì)處理室630進(jìn)行真空抽吸。而且，在洗滌槽601中，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)將工件臺(tái)620從圖5所示的位置如圖8所示的那樣上舉時(shí)，工件臺(tái)620作為隔板將下半部的浸漬處理室610和上半部的處理室630完全隔開(kāi)。因此，在該狀態(tài)下，洗滌液的蒸汽不會(huì)從浸漬洗滌室610侵入處理室630內(nèi)，并且當(dāng)從排氣口635進(jìn)行真空抽吸時(shí)，可使處理室630內(nèi)為真空狀態(tài)。
前洗滌工序在本形式中，要用洗滌機(jī)500洗滌液晶板1，首先，將搭載在洗滌籠685中的液晶板1浸漬在儲(chǔ)存于第一預(yù)備洗滌槽602中的洗滌液(加有界面活性劑的烴類洗滌液)中，進(jìn)行超音波洗滌(浸漬洗滌)，然后，浸漬在儲(chǔ)存于第二預(yù)備洗滌槽603中的洗滌液(加有界面活性劑的烴類洗滌液)中，進(jìn)行超音波洗滌(浸漬洗滌)。
后洗滌工序在前洗滌工序結(jié)束后，將洗滌籠685放置在洗滌槽601的浸漬洗滌室610中的工件臺(tái)620上，將液晶板1浸漬在洗滌液(未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液)中。
然后，重復(fù)從排氣口635進(jìn)行真空抽吸和導(dǎo)入空氣，使浸漬洗滌室610內(nèi)重復(fù)為減壓到6.67×103～13.33×103Pa(50～100托)的狀態(tài)和返回到大致通常的大氣壓的狀態(tài)。
然后，在使浸漬洗滌室610返回到接近大氣壓的狀態(tài)下，使超音波振蕩器625動(dòng)作，通過(guò)洗滌液對(duì)液晶板1施加超音波振動(dòng)，同時(shí)進(jìn)行浸漬洗滌(超音波洗滌)。
這樣，經(jīng)過(guò)指定時(shí)間后，使超音波振蕩器625停止，再次重復(fù)從排氣口635進(jìn)行真空抽吸和導(dǎo)入空氣，使浸漬洗滌室610內(nèi)重復(fù)于減壓狀態(tài)和返回大氣壓的狀態(tài)。
然后，在使浸漬洗滌室610內(nèi)返回到大氣壓的狀態(tài)下使超音波振蕩器625再次動(dòng)作，通過(guò)洗滌液對(duì)液晶板1施加超音波振動(dòng)，同時(shí)進(jìn)行浸漬洗滌(超音波洗滌)。
根據(jù)需要重復(fù)這種循環(huán)指定次數(shù)后結(jié)束浸漬洗滌(超音波洗滌)。
在進(jìn)行這種超音波洗滌時(shí)，在本形式中，是在對(duì)洗滌對(duì)象的影響或蒸發(fā)所產(chǎn)生的洗滌液損耗不會(huì)帶來(lái)問(wèn)題的范圍內(nèi)將洗滌液加熱到例如50～80℃而降低污垢等的粘度，同時(shí)通過(guò)提高洗滌液的浸透性提高洗滌能力，另一方面，通過(guò)冷卻器616冷卻洗滌液，進(jìn)行溫度控制，防止因超音波使洗滌液過(guò)熱。通過(guò)這種溫度控制，即使是具有引火性的洗滌液，也可以保持在低于引火點(diǎn)10℃左右的較低溫度。
另外，也可以使超音波振蕩器625動(dòng)作，將超音波振動(dòng)施加到液晶板1上，同時(shí)重復(fù)從排氣口625進(jìn)行真空抽吸和導(dǎo)入空氣，使浸漬洗滌室610重復(fù)于減壓的狀態(tài)和返回大氣壓的狀態(tài)。
然后，使升降機(jī)構(gòu)動(dòng)作，將工件臺(tái)620從圖5中所示的位置上升到圖7所示的位置附近，在將下半部的浸漬處理室610和上半部的處理室630完全隔開(kāi)的狀態(tài)下，首先從噴霧噴嘴631向液晶板1噴射洗滌液，進(jìn)行第一次的漂洗。
接著，從排氣口635進(jìn)行真空抽吸，使浸漬洗滌室610和處理室630內(nèi)為6.67×103～13.33×103Pa(50～100托)的減壓狀態(tài)，從蒸餾再生器722經(jīng)由洗滌劑蒸汽供給管756和蒸汽吹出口655供給洗滌蒸汽，對(duì)液晶板1進(jìn)行蒸汽洗滌(第二次漂洗)。
然后，在使洗滌槽601返回到大氣壓的狀態(tài)下從蒸汽吹出口655噴出洗滌劑蒸汽，對(duì)液晶板1進(jìn)行蒸汽洗滌(第三次漂洗)。
這樣，在結(jié)束漂洗后，將工件臺(tái)620上升到圖8所示的位置，使工件臺(tái)620為隔板，將下半部的浸漬處理室610和上半部的處理室630完全隔開(kāi)。然后，從排氣口635對(duì)處理室630進(jìn)行真空抽吸，使處理室630內(nèi)為2.67×103Pa(20托)以下的減壓狀態(tài)(真空狀態(tài))，使液晶板1真空干燥。
這樣，將干燥結(jié)束后的液晶板1與洗滌籠685一起從洗滌槽601中取出，進(jìn)行其它的液晶板1的洗滌。
本形式的洗滌方法的效果在本形式的液晶板1的洗滌方法中，首先，在前洗滌工序中，通過(guò)用加有界面活性劑的烴類洗滌液洗滌液晶板1，將附著在液晶板1上的有機(jī)類和無(wú)機(jī)類污垢除去，然后在后洗滌工序中，用未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液洗滌液晶板1，將附著在液晶板1上的加有界面活性劑的烴類洗滌液完全洗掉。
在后洗滌工序中，由于是在將液晶板1浸漬在浸漬洗滌室610內(nèi)的洗滌液中的狀態(tài)下使浸漬洗滌室610內(nèi)重復(fù)于減壓的狀態(tài)和返回大氣壓的狀態(tài)，所以減壓時(shí)生成氣泡并結(jié)合，成為大的氣泡，從液晶板1的空隙或液晶板1之間重疊的部分放出。因此，由于洗滌液可順利地浸透空隙中，所以進(jìn)入液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間的加有界面活性劑的烴類洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液。因此，在洗滌后的液晶板1上，有機(jī)類和無(wú)機(jī)類污垢被完全除去，同時(shí)不會(huì)殘留含在前洗滌工序中采用的洗滌液中的界面活性劑。
另外，如果是本形式所采用的加有界面活性劑的烴類洗滌液，則可以洗掉加熱價(jià)廉的鈉鈣玻璃基板時(shí)析出的堿金屬或表面上生成的鹽，防止腐蝕，所以液晶板1所采用的一對(duì)基板中至少一方的基板可采用價(jià)廉的鈉鈣玻璃。
在本形式中，在邊對(duì)浸漬在洗滌液中的液晶板1施加超音波振動(dòng)邊進(jìn)行浸漬洗滌(超音波洗滌)時(shí)，通過(guò)冷卻器616將洗滌液冷卻，防止因施加超音波而使洗滌液為高溫。因此，可防止由薄的玻璃板構(gòu)成的第一和第二基板10、20(液晶板1)變形。因而不會(huì)發(fā)生因隔離件32在液晶板1的基板之間移動(dòng)、集中而引起的顯示品質(zhì)降低。
在本形式中，由于在通過(guò)工件臺(tái)620(隔板)與浸漬洗滌室610鄰接的處理室630中連續(xù)地對(duì)液晶板1進(jìn)行漂洗和減壓干燥處理，所以洗滌液不會(huì)漏到外部。因而即使在采用具有引火性的烴類洗滌液時(shí)也是安全的。而且，通過(guò)使用于對(duì)處理室630減壓的真空抽吸裝置在隔板打開(kāi)的狀態(tài)下動(dòng)作，可原封不動(dòng)地采用該真空抽吸裝置，使浸漬處理室610內(nèi)重復(fù)于減壓的狀態(tài)和返回大氣壓的狀態(tài)，并且可使浸漬處理室610內(nèi)的洗滌液產(chǎn)生蒸汽，進(jìn)行蒸汽洗滌。因而具有在洗滌槽601中設(shè)置一臺(tái)真空抽吸裝置即可的優(yōu)點(diǎn)。
而且，由于在減壓狀態(tài)下從蒸餾再生器722產(chǎn)生蒸汽，所以即使是與氟素類洗滌液相比沸點(diǎn)高的烴類洗滌液，也具有易于進(jìn)行蒸汽洗滌的優(yōu)點(diǎn)。
蒸餾再生操作在這樣進(jìn)行洗滌期間，在蒸餾再生部700中，如以下所說(shuō)明的，進(jìn)行洗滌槽601中使用的洗滌液的蒸餾再生。
首先，在洗滌槽601中使用的洗滌液先儲(chǔ)存在管理槽701中，從該管理槽701定量地向第一級(jí)蒸餾再生器721輸送。在該蒸餾再生器721中，在定量投入洗滌液的狀態(tài)下進(jìn)行蒸餾再生(第一蒸餾模式)。
然后，在第一級(jí)蒸餾再生器721中產(chǎn)生的洗滌劑蒸汽在加裝有再生洗滌液排出管761的冷凝器731中液化，之后儲(chǔ)存在第一級(jí)中間槽741中，儲(chǔ)存在第一級(jí)中間槽741中的再生洗滌液通過(guò)再生洗滌液供給管781定量地輸送到第二級(jí)蒸餾再生器722中。在該蒸餾再生器722中以定量投入洗滌液的狀態(tài)進(jìn)行蒸餾再生(第一蒸餾模式)。
然后，第二級(jí)蒸餾再生器722中產(chǎn)生的洗滌劑蒸汽在加裝有再生洗滌液排出管762的冷凝器732中液化，之后儲(chǔ)存在第二級(jí)中間槽742中。
這樣，在本形式的洗滌機(jī)500中，由于洗滌所使用的洗滌液是通過(guò)多級(jí)連接的多個(gè)蒸餾再生器721、722蒸餾再生的，所以可獲得雜質(zhì)濃度低的正常的洗滌液。即，在圖9中所示的沸點(diǎn)-組成特性中，在蒸餾再生前的洗滌液中混入箭頭c所示濃度的雜質(zhì)的情況下，該洗滌液在第一級(jí)(初級(jí))蒸餾再生器721中雜質(zhì)濃度降低到箭頭a所示的水平附近，之后投入到第二級(jí)蒸餾再生器722中。由于在該第二級(jí)蒸餾再生器722中投入雜質(zhì)濃度已降低到箭頭a所示水平附近的洗滌液，所以雜質(zhì)濃度可下降到箭頭b所示的水平附近。因而可獲得凈化到漂洗所必須水平的再生洗滌液。
而且，可從多級(jí)連接的各蒸餾再生器721、722獲得雜質(zhì)濃度為各種水平的再生洗滌液。因此，僅在蒸餾再生器721中進(jìn)行了一次蒸餾再生的再生洗滌液(第一級(jí)中間槽741內(nèi)的再生洗滌液)由于雜質(zhì)濃度較高而用于浸漬洗滌，在蒸餾再生器721、722中進(jìn)行了兩次蒸餾再生的再生洗滌液(第二中間槽742內(nèi)的再生洗滌液)由于雜質(zhì)濃度較低而主要用于漂洗，可根據(jù)洗滌液的雜質(zhì)水平分開(kāi)使用。因而不會(huì)發(fā)生將費(fèi)時(shí)費(fèi)力地使雜質(zhì)濃度進(jìn)一步降低的洗滌液用于預(yù)備洗滌等的浪費(fèi)。
在進(jìn)行這種蒸餾操作期間，在洗滌槽601中需要浸漬洗滌液時(shí)，儲(chǔ)存在第一級(jí)中間槽741中的再生洗滌液通過(guò)浸漬洗滌液供給管782輸送到預(yù)備洗滌槽601中。而且，在洗滌槽601中需要浸漬洗滌液時(shí)，儲(chǔ)存在第二級(jí)中間槽742中的再生洗滌液通過(guò)浸漬洗滌液供給管750輸送到洗滌槽601中。另外，在洗滌槽601中需要噴淋洗滌液時(shí)，儲(chǔ)存在第二級(jí)中間槽742中的再生洗滌液通過(guò)噴淋洗滌液供給管752輸送到洗滌槽601中。而且，在洗滌槽601中需要蒸汽洗滌所必須的洗滌劑蒸汽時(shí)，在第二級(jí)蒸餾再生器722中產(chǎn)生的洗滌劑蒸汽通過(guò)洗滌劑蒸汽供給管756輸送到洗滌槽601中。
隨著蒸餾再生的進(jìn)行，在各蒸餾再生器721、722中雜質(zhì)濃度逐漸增高。因此，通常是邊對(duì)各蒸餾再生器721、722定量投入洗滌液邊進(jìn)行蒸餾再生(第一蒸餾模式)，但如圖9中箭頭c’、a’、b’所示，在各蒸餾再生器721、722內(nèi)或從此處排出的洗滌液的雜質(zhì)濃度上升時(shí)，或者預(yù)想到雜質(zhì)濃度上升時(shí)，進(jìn)行蒸發(fā)操作等降低雜質(zhì)的操作(第二蒸餾模式)。
該蒸發(fā)操作是停止向蒸餾再生器721、722定量投入洗滌液，對(duì)此刻儲(chǔ)存在各蒸餾再生器721、722中的洗滌液進(jìn)行蒸餾再生(第二蒸餾模式)。這樣，在回收了一定程度的洗滌液的時(shí)刻停止蒸餾再生，將各蒸餾再生器721、722中殘留的洗滌液與殘?jiān)?雜質(zhì))一起丟棄在接收槽791、792中，然后，再次邊向各蒸餾再生器721、722定量投入洗滌液邊進(jìn)行洗滌液的蒸餾再生。因此，由于可有效地去除蒸餾再生器721、722內(nèi)的雜質(zhì)，所以可降低再生洗滌液的雜質(zhì)濃度。
其它實(shí)施形式在上述形式中，是在前洗滌工序中進(jìn)行浸漬洗滌，在后洗滌工序中進(jìn)行浸漬洗滌、噴淋洗滌和蒸汽洗滌，但即使在前洗滌工序和后洗滌工序中任一工序中均僅進(jìn)行浸漬洗滌的情況下，若采用本發(fā)明，則也可以進(jìn)行良好的洗滌。
即使在前洗滌工序和后洗滌工序中任一工序中，也最好如圖10所示，將液晶板1傾斜成將液晶板1從洗滌液中拉出時(shí)液晶板1的邊呈斜向的姿勢(shì)。這樣，當(dāng)拉出液晶板1時(shí)，以通常的姿勢(shì)流不出來(lái)的洗滌液也從液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間流出來(lái)。因此，若在前洗滌工序中采用本方法，則在將液晶板1移至后洗滌工序中時(shí)，可大幅度降低前洗滌工序中所使用的加有界面活性劑的洗滌液附著在液晶板1上的量。因而在后洗滌工序中，附著在液晶板1上的加有界面活性劑的洗滌液可完全置換成未摻合有界面活性劑的洗滌液。而且，若在后洗滌工序中采用本方法，則可大幅度減少附著在液晶板1上的洗滌液，可縮短干燥時(shí)間。
在前洗滌工序和后洗滌工序中任一工序中，也最好如圖11所示，在將液晶板1從洗滌液中拉出時(shí)，如箭頭E所示地在洗滌液的界面上使液晶板1上下運(yùn)動(dòng)。若采用這種方法，則能夠可靠地進(jìn)行進(jìn)入到液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間的臟洗滌液與儲(chǔ)存在洗滌槽內(nèi)的洗滌液的置換。因此，若在前洗滌工序中采用本方法，則可防止將附著有大量臟洗滌液的液晶板1移至后洗滌工序中。而且，若在后洗滌工序中采用本方法，則可防止對(duì)附著有大量臟洗滌液的液晶板1進(jìn)行干燥處理。
在前洗滌工序和后洗滌工序之間最好進(jìn)行對(duì)液晶板1吹溫風(fēng)等的干燥處理。若采用這種結(jié)構(gòu)，則可在將進(jìn)入到液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間的洗滌液除去后移至后洗滌工序。因而在進(jìn)行后洗滌工序時(shí)，洗滌液可順利地進(jìn)入液晶板1的空隙或液晶板1和液晶板1之間，可良好地進(jìn)行后洗滌工序。
權(quán)利要求
1.一種洗滌方法，具有采用加有界面活性劑的烴類洗滌液，對(duì)工件進(jìn)行浸漬洗滌的前洗滌工序；和采用未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液，對(duì)該前洗滌工序結(jié)束后的工件進(jìn)行浸漬洗滌的后洗滌工序，其特征為，在上述后洗滌工序中，在將工件浸漬在洗滌液中的狀態(tài)下，重復(fù)進(jìn)行使洗滌槽內(nèi)減壓的操作和恢復(fù)到大氣壓的操作。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的洗滌方法，其特征為，在上述前洗滌工序和上述后洗滌工序中的至少一個(gè)工序中，一邊將工件傾斜一邊從洗滌液中拉出。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的洗滌方法，其特征為，在上述前洗滌工序和上述后洗滌工序中的至少一個(gè)工序中，一邊使工件上下運(yùn)動(dòng)一邊從洗滌液中拉出。
4.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的洗滌方法，其特征為，在上述前洗滌工序和上述后洗滌工序之間對(duì)工件進(jìn)行干燥處理。
5.一種液晶裝置的制造方法，其特征為，采用權(quán)利要求
1或2所規(guī)定的洗滌方法，將封入了液晶的液晶板作為上述工件進(jìn)行洗滌。
6.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的液晶裝置的制造方法，其特征為，上述液晶板是在數(shù)片重疊的狀態(tài)下進(jìn)行上述前洗滌工序和上述后洗滌工序的。
專利摘要
提供一種洗滌方法和采用這種洗滌方法的液晶裝置的制造方法，即使用烴類洗滌液進(jìn)行洗滌，也可以從工件上完全除去有機(jī)物類和無(wú)機(jī)物類等任一種類型的污垢，同時(shí)不會(huì)殘留界面活性劑。在洗滌機(jī)500中，作為前洗滌工序，在第一和第二預(yù)備洗滌槽602、603中，用在主要成分為正壬烷或正癸烷等正鏈烷烴中添加了脂肪酸烷基醇酰胺和N亞烷基烯二胺脂肪酸鹽等界面活性劑的烴類洗滌液進(jìn)行洗滌，之后，作為后洗滌工序，是在洗滌槽601中用未摻合有界面活性劑的烴類洗滌液進(jìn)行浸漬洗滌、噴淋洗滌和蒸汽洗滌。
文檔編號(hào)C11D1/52GKCN1229188SQ01121739
公開(kāi)日2005年11月30日 申請(qǐng)日期2001年7月5日
發(fā)明者小野陽(yáng)一, 橋倉(cāng)真次 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan