專利名稱：電子設備分解方法及電子設備分解裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及具有通過焊接、釬焊、漆膜等固定在例如基板等基體材料上的部件的 電子設備的分解方法及分解裝置。特別是涉及用于分解這種電子設備的加熱方法。
背景技術：
由于例如安裝在廢舊移動電話、電腦等通信設備中的電路基板等電子設備(本說 明書、權利要求書等中包括電子設備)中含有貴金屬或稀有金屬(raremetal)等有用材料 或可再利用的芯片、線圈等部件，因此希望能夠將其從樹脂部分或其他金屬部分中分離，回 收，再利用。例如，在專利文獻1中公開了用于回收連接部所使用的金(Au)等貴金屬的印刷基 板再利用方法，在該方法中，參考表示印刷基板的通電時間、制造方法、分解方法等信息的 記號來進行電路圖案等的剝離。并且，作為眾多公知技術中的一種，已知為了更換固定在印 刷基板等基體材料上的一部分部件而使該部件的焊料或釬料等接合材料熔融并將部件從 基板上拆除的方法。例如，在專利文獻2中公開了使用有機溶劑蒸氣(考慮為飽和蒸氣)作為接合材 料熔融手段的方法。另外，在專利文獻3中公開了使用氟化碳氫化合物(沸點215°C )、硅酮油(沸點 2500C )蒸氣、加熱液體作為高沸點熱介質的方法。另外，在專利文獻4中公開了使用紅外線加熱器、熱風、不活性有機溶劑的冷凝 熱、高頻加熱等方法作為使接合材料熔融的方法，并在接合材料熔融后通過施加沖擊、振 動、剪斷等，將部件從基板分離的方法。還有，在專利文獻5中公開了向基板噴射高溫氮氣(300 500°C)而使接合材料 熔融并在其后通過施加超聲波振動而使部件從基板分離的方法。專利文獻1 (日本)特開2002-314210號公報專利文獻2 (日本)特開平9-186450號公報
專利文獻3 (日本)特開昭60-244096號公報專利文獻4 (日本)特開平8-139446號公報專利文獻5 (日本)特開昭6H95696號公報在上述電子設備的分解過程中，為了分離金屬部分或樹脂部分，主要采用手動或 機械進行分離的方法或使整個設備在爐中熔融而在熔融狀態(tài)下進行分離的方法。另外，由于對高沸點熱介質進行加熱，使基板浸入該介質(液體)中，利用其飽和 蒸氣的冷凝潛熱進行加熱，因此加熱利用濃度的區(qū)域有限。還有，由于在手動或機械進行分離時，對各種形狀的部件等施加剪切力、剝離力等 機械力，將該部件從基體材料上取下，因此難以實現自動化，作業(yè)性極低。另外，在進行熔融回收時，由于需要回收的金屬相混合，因此熔融后的分離作業(yè)需 要花費很多工夫，分離回收效率低。并且，由于回收對象材料以外的材料也必然熔融，因此需要為熔解無用材料使用多的能量。此外，在使用熱量的方法中，在因樹脂等的燃燒、來自電容器的絕緣油等的氧化而 產生有毒氣體的情況下，存在分離回收的金屬等發(fā)生氧化變質的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明是為了解決以上技術問題而開發(fā)的，本發(fā)明的目的在于提供一種易于使部 件從基板分離的電子設備分解方法及分解裝置。特別是提供一種用于使部件從基板分離的 對電子設備進行加熱的方法。第一發(fā)明的電子設備分解方法是通過加熱至熔點以上將由熔融的接合材料固定 在基板上的部件從所述基板分離，所述電子設備分解方法的特征在于，使用過熱蒸氣對所 述接合材料進行加熱。在此，不使用飽和蒸氣而使用過熱蒸氣的理由是，在電子基板中經常使用的共晶 焊料(錫-銅類)的熔點最高為約對01，僅通過飽和蒸氣的冷凝潛熱難以使其熔融，需要 使用對飽和蒸氣進一步加熱而獲得的干蒸氣點以上的過熱蒸氣。第二發(fā)明的電子設備分解方法的特征在于，所述部件由樹脂類材料固定在所述基 板上，所述過熱蒸氣至少在所述部件的加熱部位實質上為大氣壓力，溫度在所述樹脂類材 料的軟化點以上。第三發(fā)明的電子設備分解方法的特征在于，在利用所述過熱蒸氣使所述基板及所 述部件周圍保持低氧環(huán)境的狀態(tài)下進行處理。特別是，優(yōu)選使電子設備的處理環(huán)境為充滿過熱蒸氣時氧濃度為空氣的約1/20 的環(huán)境。第四發(fā)明的電子設備分解方法的特征在于，所述過熱蒸氣為過熱水蒸氣。由于僅使用過熱蒸氣的顯熱或顯熱和冷凝潛熱，因此與僅使用冷凝潛熱的情況相 比，能夠進一步加熱至高溫區(qū)域。另外，獲得過熱水蒸氣的方法并不限于本發(fā)明的加熱水蒸 氣生成手段。另外，加熱介質除過熱水蒸氣以外還可使用例如氟化碳氫化合物、硅酮油等高沸 點熱介質的過熱蒸氣，但從安全性、加熱性能、成本方面考慮，優(yōu)選使用過熱水蒸氣。第五發(fā)明的電子設備分解方法的特征在于，在使所述基板及固定在該基板上的部 件暴露于過熱蒸氣中時，對所述基板施加振動。第六發(fā)明的電子設備分解裝置是通過加熱至熔點以上將由熔融的接合材料固定 在基板上的部件從所述基板分離，所述電子設備分解裝置的特征在于，具有加熱容器部， 其收容所述基板及固定在該基板上的所述部件；過熱蒸氣生成裝置，其將溫度在所述接合 材料熔點以上的過熱蒸氣導入所述加熱容器部內。第七發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，所述部件由樹脂類材料固定在所述基 板上，所述過熱蒸氣至少在所述部件的加熱部位實質上為大氣壓力，并且溫度在所述樹脂 類材料的軟化點以上。第八發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，通過導入所述過熱蒸氣使所述加熱容 器部內為低氧環(huán)境。第九發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，所述過熱蒸氣為過熱水蒸氣。
第十發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，在所述加熱容器部附近設置有對所述 基板施加振動的振動施加機構。第十一發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，在所述加熱容器內至少設置有對所 述基板慢加熱的預熱室或對所述基板慢冷卻的預冷室中的一個。第十二發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，在所述預熱室內配置有所述過熱蒸 氣生成裝置。第十三發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，在所述加熱容器部內設置有預熱加 熱器。第十四發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，在所述加熱容器部的導入所述基板 的入口及送出該基板的出口設置有防止外氣漏入所述加熱容器部的氣簾。第十五發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，在所述加熱容器部內配置有對所述 基板施加機械沖擊的沖擊施加機構。第十六發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，在所述加熱容器部內配置有過熱蒸 氣回收機構。第十七發(fā)明的電子設備分解方法是將由熔點比被接合部件低的接合材料固定在 基板上的部件從所述基板分離，所述電子設備分解方法的特征在于，通過使所述基板及固 定在該基板上的所述部件暴露于溫度在所述接合材料的熔點以上的過熱蒸氣來使所述接 合材料熔融，進而使所述部件從所述基板分離。第十八發(fā)明的電子設備分解裝置用于將由熔點比被接合部件低的接合材料固定 在基板上的部件從所述基板分離，所述電子設備分解裝置的特征在于，具有加熱容器部， 其收容所述基板及固定在該基板上的所述部件；過熱蒸氣生成裝置，其將溫度在所述接合 材料熔點以上的過熱蒸氣導入所述加熱容器部內。第十九發(fā)明的電子設備分解裝置的特征在于，所述過熱蒸氣生成裝置具有第一 筒狀體；導入管路，其將蒸氣從所述第一筒狀體的一個端部導入該第一筒狀體內；第二筒 狀體，其插入所述第一筒狀體內部，在所述導入管路側的相反側端部而與所述第一筒狀體 連通；第三筒狀體，其插入所述第二筒狀體內部，在所述第一筒狀體與所述第二筒狀體的連 通側的相反側端部與所述第二筒狀體連通；排出管路，其將過熱蒸氣從所述第三筒狀體排 出；加熱機構，其設置在從所述導入管路至所述排出管路的氣體流路內，對所述蒸氣進行加 熱。根據本發(fā)明，能夠得到以下效果。(1)利用溫度在例如焊料、釬料等接合材料的熔點以上的過熱蒸氣使接合材料熔 融，使電子部件、電子產品、配線等部件成為易于從基板上剝離的狀態(tài)，從而能夠容易地將 電子設備分解。(2)即使在部件由例如漆膜等樹脂類材料固定的情況下，也能夠利用過熱蒸氣對 樹脂類材料進行加熱并使其軟化，從而能夠容易地將部件剝離。(3)由于利用過熱蒸氣將空氣擠出而形成高溫低氧的還原環(huán)境，因此能夠抑制因 樹脂燃燒(氧化)、炭化而產生有害氣體。(4)由于使用過熱水蒸氣作為過熱蒸氣，因此能夠在工件為100°C以下的狀態(tài)下 利用539kcal/kg的潛熱進行加熱，與利用例如對空氣進行加熱而產生的熱風相比，能夠在短時間內使工件升溫，實現高速處理。而且，即使在裝置發(fā)生泄露的情況下，也無毒，并且不 可燃，因此具有高的安全性。 (5)由于在使工件暴露于過熱蒸氣的同時對基板施加振動，因此能夠使變得易于 剝離的部件在重力作用下掉落，并且進行回收。


為側視圖。圖7是說明圖5的電子設備分解裝置的過熱蒸氣供給系統(tǒng)的框圖。圖8是表示圖5的電子設備分解裝置的支承器底板結構的圖，圖8(a)為俯視圖， 圖8(b)為主視圖。
圖1是表示適用本發(fā)明的電子設備分解裝置的第一實施方式結構的圖。 圖2是表示圖1的電子設備分解裝置的過熱蒸氣生成裝置的圖。 圖3是表示圖2的III-III剖面的剖視圖。 圖4是圖2的IV部放大圖。
圖5是表示適用本發(fā)明的電子設備分解裝置的第二實施方式結構的圖。 圖6是說明圖5的電子設備分解裝置的噴頭結構的圖，圖6(a)為俯視圖，圖6(b)
圖。
圖9是說明圖5的電子設備分解裝置的加載機構的圖。
圖10是說明圖9的加載機構的連桿臂的轉動動作的圖。
圖11是表示圖5的電子設備分解裝置的處理溫度與分離回收率之間關系的曲線
圖12是表示圖5的電子設備分解裝置的加熱時間與分離回收率之間關系的曲線
圖13是表示圖5的電子設備分解裝置的蒸氣流量與分離回收率之間關系的曲線
圖14是表示圖5的電子設備分解裝置內氧濃度分布的曲線圖。 圖15是表示圖5的電子設備分解裝置的分離回收率測定結果的圖表。 附圖標記說明
2過熱蒸氣生成裝置 4輸送器 6加熱容器 8元件
1鍋爐 3噴頭 5振動器 7基板 9回收容器 10飽和水蒸氣供給管 20裝置主體 30供給側端板 40排出側端板 50隔管 52，53端部 60外殼加熱器
11端部 21，22端部 31開□ 41開口 51支撐 54端板 61發(fā)熱部0076]70過熱水蒸氣排出管71前端部0077]100支承器110隔熱板0078]Sl外側空間S2內側空間0079]200電子設備分解裝置0080]210加熱容器部203輥式輸送器0081]205輥式輸送器211 入口0082]212 出口215預熱室0083]216處理室215預冷室0084]221,225,226 吸引頭223預熱加熱器0085]227排水口231，241排氣頭0086]232，242吸氣頭233，243加熱器0087]234,244送風器0088]250過熱蒸氣生成裝置251噴射器0089]253鍋爐255過熱蒸氣供給0090]257溫度傳感器258控制器0091]260噴頭261主體部0092]262過熱蒸氣導入管263蒸氣排出口0093]270鏈式輸送器271配件0094]272銷275鏈輪0095]276驅動輥0096]290中擊施加機構(擋塊)0097]300支承器310底板0098]320內板321夾子0099]323縫隙332上端部0100]335彈簧336銷0101]339引導器341前端0102]343輥345縫隙0103]500加載機構510連桿臂0104]511長臂515短臂0105]512平衡配重516限位片0106]520引導臂521銷0107]525線繩
具體實施例方式
基于附圖對適用本發(fā)明的電子設備分解裝置(以下，僅稱為“分解裝置”)的實施 方式進行說明。該分解裝置用于分解例如便攜式電話、計算機等的電路基板(工件)，實施 本發(fā)明的電子設備分解方法。電路基板是在例如印刷基板等上固定有IC芯片(元件)、線 圈、電容等各種部件或配線。各種部件的連接端子通過焊接固定在印刷基板上。并且，IC芯 片通過漆膜固定在印刷基板上。
圖1是表示本發(fā)明第一實施方式的分解裝置結構的圖。分解裝置具有鍋爐1、過熱蒸氣生成裝置2、噴頭3、輸送器4、振動器5、加熱容器6寸。由分解裝置分解的工件(電子設備)具有由例如印刷基板構成基板7、通過焊接， 以及漆膜等固定在該基板7上的元件8。鍋爐1對從未圖示的供水機構提供的水進行加熱而生成飽和水蒸氣。過熱蒸氣生成裝置2對從鍋爐1提供的飽和水蒸氣進行再加熱而生成過熱蒸氣。 隨后，將對該過熱蒸氣生成裝置2進行詳述。噴頭3設置在加熱容器6內，對通過其內部的工件噴射并且由過熱蒸氣生成裝置 2產生的過熱蒸氣。噴頭3具有噴出過熱蒸氣的多個噴出孔。輸送器4是以貫穿加熱容器6而配置的帶式輸送器，用于將載置在回收容器9上 的工件送入加熱容器6，并在送入加熱容器6內經過規(guī)定時間后送出。振動器5設置在加熱容器6內的輸送器4內部，對輸送器4的載置有回收容器9 的上面部施加振動。沿輸送器4的行進方向(工件輸送方向)以隔有大致相等間隔而分布 配置有例如三個振動器5。加熱容器6形成為具有例如大致矩形的側視形狀、主視形狀、俯視形狀的盒狀。加 熱容器6與輸送器4 一起協同作用而構成了連續(xù)式輸送加熱爐。分解裝置運轉時，從噴頭 3噴出的過熱蒸氣將加熱容器6內部的空氣擠出，使加熱容器6內部成為高溫低氧狀態(tài)。在本實施方式的電子設備分解裝置中，過熱蒸氣的溫度由過熱蒸氣生成裝置2的 外殼加熱器60的輸出進行控制。并且，過熱蒸氣的流量由鍋爐1的輸出進行控制。加熱容 器6內的過熱蒸氣分布由噴頭的孔位置及孔徑決定。以使要回收的元件8朝下并且將工件載置于回收容器9上的狀態(tài)下，工件在由輸 送器4輸送至加熱容器6內時暴露于過熱蒸氣，于是焊料、釬料等的將元件8固定在基板7 上的導電物質(合金)的溫度因過熱蒸氣而上升(例如100 1300°C左右)，成為熔融狀 態(tài)而易于剝離的狀態(tài)。并且，漆膜被加熱軟化。而且，通過振動器5經由輸送器4及回收容器9而對工件施加振動，于是元件8從 基板7上分離并且元件8進行重力自由下落，被收容至回收容器9。以下，對過熱蒸氣生成裝置2的結構進行詳細說明。圖2是包括過熱蒸氣生成裝置2的局部剖面的側視圖。圖3是圖2的III-III部 剖視圖。過熱蒸氣生成裝置2在外觀上由與飽和水蒸氣供給管10相連接的供給側端板30、 裝置主體20、與過熱水蒸氣排出管70相連接的排出側端板40構成。在過熱蒸氣生成裝置 2的內部配置有隔管50，過熱水蒸氣排出管70延伸至隔管50的封閉端部附近而形成流體 流路，并且為了高效率地加熱流體，在隔管50的內側并且在過熱水蒸氣排出管70的外側設 有外殼加熱器60。過熱蒸氣生成裝置2內部的蒸氣流動方向為圖中的箭頭方向。由于在過熱蒸氣生成裝置2內部流動有高溫水蒸氣，因此，對特別是處于溫度條 件嚴酷環(huán)境的隔管50等各部件，采取使用在高溫氧化處理或電解研磨后對表面進行穩(wěn)定 化處理的不銹鋼等的耐高溫腐蝕對策。裝置主體20形成為圓筒狀。裝置主體20的兩端部21、22分別由供給側端板30及排出側端板40封閉。裝置主體20起到本發(fā)明的第一筒狀體的作用。裝置主體20被配 置為例如其中心軸大致水平，但本發(fā)明并不限于此。供給側端板30及排出側端板40分別為平板狀圓盤，在其外周邊緣部與裝置主體 20的內周面相接觸的狀態(tài)下嵌入，并通過焊接等固定。在供給側端板30及排出側端板40的中央部，分別形成有用于使飽和水蒸氣供給 管10及過熱水蒸氣排出管70插入并固定的開口 31、41。隔管50形成為直徑比裝置主體20小的圓筒狀。隔管50以與裝置主體20同心的 方式插入裝置主體20內。隔管50具有從其外周面向外徑側突出的支撐51，通過將支撐51 的突端部固定在裝置主體20的內周面上而被支撐。隔管50的兩端部52、53分別與供給側 端板30及排出側端板40隔有間隔地相對配置。隔管50起到本發(fā)明的第二筒狀體的作用。隔管50的供給側端板30的端部52由端板M封閉。端板M為平坦的圓盤狀部 件，通過焊接將端板M周圍固定并密封在隔管50上。并且，在隔管50的端部52上設置有隔熱板110。隔熱板110為平板狀部件，并且 配置為與端板M的外表面(飽和水蒸氣供給管10側的面)之間隔有空隙。隔熱板110是 由不銹鋼形成的直徑比隔管50稍大的圓盤狀。隔熱板110與端板M平行配置，并且，在由 后述多個支柱113支撐而懸浮于端板M的狀態(tài)下固定在隔板50上。圖4是隔熱板110附近的放大圖，圖4 (a)是圖1的IV部放大圖，圖4 (b)是圖4 (a) 的b-b箭頭方向剖視圖。隔熱板110是將一對的板111、112呈層狀重疊而成的雙重結構，由支柱113支撐
于隔管50上。板111形成為圓盤狀，與隔管50的端板M隔有間隔而對置，并與該端板M平行 配置。在板111的外周邊緣部，并且在隔管50的相對側(供給端板30側)形成有豎起的 豎起部111a。并且，在板111上形成有使支柱113插入的開口 111b。板112形成為圓盤狀，與板111的隔板50相反側的面部隔有間隔而對置，并與板 111平行配置。通過焊接等使板112的外周邊緣部與板111的豎起部Illa的突端部接合。 從而使板111、112形成為中空的圓盤狀結構。支柱113是橫跨隔管50的端板M與板111而設置的軸狀部件。在隔熱板110的 圓周方向上，隔有大致等間隔而分散設置有例如三個支柱113。在支柱113的隔熱板110側 的端部上固定有圓盤狀凸緣113a。該凸緣113a收容在隔熱板110的內部(板111與板112 之間)，固定在板111的板112側的面上。通過例如焊接等將支柱113的隔管50側的端部 與端板討相固定。飽和水蒸氣供給管10是從鍋爐1提供飽和水蒸氣的圓筒狀管路。飽和水蒸氣供 給管10從供給側端板30的開口 31插入裝置主體20內。開口 31的內周邊緣部與飽和水 蒸氣供給管10的外周面之間被全周焊接，從而將開口 31密封。飽和水蒸氣供給管10與裝 置主體20大致同心配置。飽和水蒸氣供給管10的端部11從供給側端板30突出，并與隔 熱板110隔有間隔而相對配置。飽和水蒸氣供給管10起到本發(fā)明的導入管路的作用。過熱水蒸氣排出管70是將在過熱蒸氣生成裝置2內生成的加熱后的氣體即過熱 蒸氣向外部排出的圓筒狀管路。過熱水蒸氣排出管70從排出側端板40的開口 41插入裝置主體20內，并在裝置主體20內插入隔管50內。開口 41的內周邊緣部與過熱水蒸氣排 出管70的外周面之間被全周焊接，從而將開口 41密封。過熱水蒸氣排出管70分別與裝置 主體20及隔管50大致同心配置。在隔管50內部，過熱水蒸氣排出管70的前端部71與端 部M隔有間隔而相對配置。該前端部71是將在隔管50的內周面與過熱水蒸氣排出管70 的外周面之間流動的水蒸氣導入過熱水蒸氣排出管70內的連通部。該過熱水蒸氣排出管70起到本發(fā)明的第三筒狀體及排出管路的作用。外殼加熱器60是對從飽和水蒸氣供給管10提供的飽和水蒸氣進行再加熱而獲得 過熱蒸氣的加熱機構。外殼加熱器60被從供給側端板30引入裝置主體20內，并從此處穿 過裝置主體20的內周面與隔管50的外周面之間，并且呈直線狀配置到隔管50的端板M 相反側的端部(開口端部)53。外殼加熱器60的發(fā)熱部61被從隔管50的開口端部引入隔 管50的內徑側，呈螺旋狀纏繞在過熱水蒸氣排出管70的外周面上。外殼加熱器60的發(fā)熱部61由從過熱水蒸氣排出管70的外周面突出設置的支承 器100支撐。利用沿軸向設置在過熱水蒸氣排出管70外表面上的支承器100能夠確保外殼加 熱器60的耐振性，防止外殼加熱器60、過熱水蒸氣排出管70和隔管50發(fā)生損傷事故，并 且是向連通的過熱水蒸氣排出管70內流動的過熱水蒸氣賦予了傳熱效率的耐振及加熱結 構。根據上述結構，從飽和水蒸氣供給管10導入裝置主體20中的飽和水蒸氣，在與為 了回避對在隔管50內流動的過熱水蒸氣造成冷卻而設置的與隔熱板110鄰接的端板M附 近的外空間Sl被預熱，在連通的內空間S2被加熱，另外在連通的過熱水蒸氣排出管70被 最終加熱，從而能夠通過1. 5路徑(1. 5 〃 7 )生成品質穩(wěn)定的過熱水蒸氣。S卩，從飽和水蒸氣供給管10吹入裝置主體20內的飽和水蒸氣與隔熱板110碰撞 而流向外徑側，另外與裝置主體20的內周面碰撞并在裝置主體20的內周面與隔管50的外 周面之間的外側空間Sl內流向排出側端板40側。到達排出側端板40附近的水蒸氣從隔 管50的開口端部53向隔管50的內徑側流入，在隔管50的內周面與過熱水蒸氣排出管70 之間的內側空間S2內而流向端部52及端板M側。到達端部52附近的水蒸氣與端板M 碰撞而被導入過熱水蒸氣排出管70的端部71內，通過過熱水蒸氣排出管70內而被排出至 外部。并且，飽和水蒸氣在上述流動中途通過外殼加熱器60的發(fā)熱部61而被加熱，從飽 和水蒸氣變?yōu)檫^熱水蒸氣。并且，飽和水蒸氣與經由裝置主體20的外氣進行熱交換，或在 運轉剛開始后被低溫的各部件冷卻而產生的冷凝水沿裝置主體20的內周面等滴下，儲留 在裝置主體20的下部。冷凝水在裝置運轉期間被加熱而成為過熱水蒸氣后被排出。在本實施方式中，為了不使生成的過熱水蒸氣降溫而確保最大的熱效率，將飽和 水蒸氣供給管10的入口與過熱水蒸氣排出管70的出口配置在裝置主體20的兩端部21、22 附近以使二者的間隔最大化，將隔熱板110配置在飽和水蒸氣供給管10的入口附近，并且 在面對飽和水蒸氣的流動方向的位置，從而避免了內部流動有過熱水蒸氣的隔管50被冷 卻降溫，進而提高了整體的熱效率。在此，在本實施方式中，如果從飽和水蒸氣供給管10提供的飽和水蒸氣的流速過 大，則會出現如下情況，即，滯留在裝置內的冷凝水水滴被卷入沿所述冷凝水的水面流動的氣流，而在液體狀態(tài)下混入排出的過熱水蒸氣內。為了防止其發(fā)生，要考慮冷凝水液面的蒸 氣流速而設定飽和水蒸氣的供給量，以使液滴不會卷入水蒸氣氣流。根據以上說明的實施方式，能夠得到以下效果。(1)通過溫度在焊料的熔點以上的過熱蒸氣使該焊料熔融，使元件8成為易于從 基板7上剝離的狀態(tài)，從而能夠容易地將工件分解。(2)即使在元件8由焊接以及漆膜固定的情況下，也能夠利用過熱蒸氣對漆膜進 行加熱并使其軟化、熔融，從而能夠容易地將元件8剝離。(3)利用過熱蒸氣將加熱容器6內的空氣擠出而形成高溫低氧的環(huán)境，從而能夠 抑制因漆膜等的炭化而產生有害氣體。(4)由于使用過熱水蒸氣作為過熱蒸氣，因此能夠在工件為100°C以下的狀態(tài)下 利用53mccal/kg的潛熱進行加熱，與使用例如加熱空氣的熱風的情況相比，能夠在短時間 內使工件升溫，實現高速處理。(5)通過使工件暴露于過熱蒸氣并對通過振動器5對載置工件的輸送器4施加振 動，能夠使元件8掉落到回收容器9內，易于回收。下面，參考圖5，對本發(fā)明第二實施方式的電子設備分解裝置進行說明。該實施方式的分解裝置200主要具有收容有工件并對其進行加熱的加熱容器部 (加載部)210、生成過熱蒸氣的過熱蒸氣生成裝置250、將由該裝置生成的過熱蒸氣導入加 熱容器部210內部的噴頭沈0、將工件輸送至加熱容器210內的輸送機構(輸送器)270。加熱容器部210是橫向為長的中空箱狀體。在加熱容器210 —個側面(圖5的右 側)上開設有工件入口 211，在相反側的側面(圖5的左側)上開設有處理后的工件出口 212。在入口 211與出口 212之間配置有輸送工件的輸送器270。輸送器270卷繞在配置于 上游側(入口側)的鏈輪275與配置于下游側(出口側)的驅動輥276之間，沿圖5的逆 時針方向循環(huán)運轉。在本實施方式中，輸送器270為一對鏈式輸送器。在本實施方式中，工 件為多個基板，被收容在盒狀支承器300中進行輸送。隨后，對支承器300進行說明。在加熱容器210的入口 211的上游側配置有將收容工件的支承器300輸送至分解 裝置200的輥式輸送器230。支承器300通過加載機構500而被從輥式輸送器230移送至 鏈式輸送器270。隨后，對加載機構500進行說明。另一方面，在加熱容器210的出口 212 的下游側配置有將支承器300從分解裝置200中送出的輥式輸送器205。支承器300通過 卸載機構而被從鏈式輸送器270移送至輥式輸送器205。由于卸載機構為公知技術因此其 說明省略。加熱容器210被隔壁210a、210b劃分，在輸送方向上從上游側開始依次為預熱室 215、處理室216、預冷室217。在預熱室215的上方配置有過熱蒸氣生成裝置250以及與該裝置250相連接的噴 射器251。過熱蒸氣生成裝置250可使用例如參考圖2及圖3說明的過熱蒸氣生成裝置。 噴射器251與配置在加熱容器部外的鍋爐253相連接。鍋爐253對從未圖示的供水機構提 供的水進行加熱而生成飽和水蒸氣(10(TC、(). IMPA左右)。該飽和水蒸氣通過噴射器251 而被送入過熱蒸氣生成裝置250并被再加熱，生成過熱蒸氣左右、0. IMPA左右)。在處理室216的上方設有用于導入在過熱蒸氣生成裝置250中生成的過熱蒸氣的 噴頭沈0。如圖6所示，噴頭260具有中空的平坦正方體狀主體部沈1、從主體部的上面中央突出設置的過熱蒸氣導入管262。在主體部的下面分散形成有多個蒸氣排出口 2630通過調整排出口 263的直徑或位置能夠調整過熱蒸氣的分布。例如，根據工件的尺寸 或數量來調整排出口 263的直徑或位置，以使流量分布適當的方式形成蒸氣的流路。主體 部261被配置為面對輸送器270的上段路徑。如圖7所示，噴頭沈0的過熱蒸氣導入管262與從過熱蒸氣生成裝置250延伸出 的過熱蒸氣供給管255相連接。在由過熱蒸氣生成裝置250生成的過熱蒸氣從過熱蒸氣供 給管255經由噴頭260而被噴射向由輸送器270輸送的工件。在處理室216內安裝有檢測 其內部溫度的溫度傳感器257?？刂破?58根據溫度傳感器257檢測出的溫度，以使過熱 蒸氣生成裝置250的溫度為規(guī)定的設定溫度的方式進行反饋控制，調整過熱蒸氣生成裝置 250的加熱電力或過熱蒸氣的流量。并且，在處理室216內的輸送器270的上段路徑下方，以與噴頭260對置的方式配 置有吸引頭221。該吸引頭211與噴射器251相連接。吸引頭211吸取在工件加熱中未使 用的廢過熱蒸氣，并輸送至噴射器251。該廢過熱蒸氣與從鍋爐253提供的飽和水蒸氣混 合，被輸送至過熱蒸氣生成裝置250而被再利用。而且，在處理室216的下方配置有在過熱蒸氣生成裝置250起動前對處理室216 慢加熱的預熱加熱器223。另外，在預熱室215及預冷室217的上方也分別配置有吸引頭225、226。該吸引 頭225、2沈也與噴射器251相連接。存在于上述室內的廢過熱蒸氣也被吸引頭225、2沈吸 取，與從鍋爐253提供的飽和水蒸氣混合，被輸送至過熱蒸氣生成裝置250而被再利用。在加熱容器210的入口 211及出口 212上配置有互相對置的排氣頭231J41以及 吸氣頭232J42。通過具有串聯連接的加熱器233、243與送風機234、244的線路(，4 > ) 而使排氣頭231、241與吸氣頭232、242相連接。在入口 211及出口 212處，由加熱器233、 243加熱的空氣利用送風機234J44，通過通道并被從排氣頭231、241排出，同時被吸氣頭 232、242吸取。從而，在兩頭之間形成由加熱空氣構成氣簾。該氣簾能夠防止外氣漏入加熱 容器210內以及過熱蒸氣從加熱容器210內漏出。在處理室216內，在鏈式輸送器270的上段路徑上設置有對輸送至的支承器施加 機械沖擊的沖擊施加機構。在本實施方式中，沖擊施加機構是剖面形狀為三角形的擋塊 四0，具有從上游朝下游向上方傾斜的傾斜面^K)a。傾斜面的前端比鏈式輸送器270 的輸送路徑更向上方突出。沿輸送路徑配置有多個(圖中為3個)擋塊四0。加熱容器210的底壁210c從預熱室215朝預冷室217向下方傾斜。在預冷室217 的底壁上形成有回收冷凝水的排水口 227。該排水口 227與鍋爐253相連接，回收的冷凝水 被再利用。下面，參考圖8，對收容工件的支承器進行說明。支承器300具有底板310、蓋體(未圖示)。底板310是具有平面形狀的長方形內 板320與外板330的雙重結構。外板330的寬度比內板320稍寬。側板331在外板330的 左右邊緣處豎起，兩側板331的上端部332朝內側彎折，向內板320上方伸出。內板320通 過彈簧335而懸掛在外板330的側板331的上端部332而被彈性支撐。如圖8(a)所示，在 底板310的四個角部附近，彈簧335被外嵌于該銷336，該銷336貫通外板330的側板331的 上端部332與內板320并且延伸。根據該結構，內板320由彈簧335彈性支撐于外板330。
在內板320的上面形成有以單側保持式保持多個(在本實施方式中為10個)基 板的夾子321。在本實施方式中，基板以與輸送方向平行豎起。并且，在內板320的一個面 上開設有多個縫隙323。在外板330的下面的左右邊緣上固定有沿輸送方向延伸的引導器339。在由鏈式 輸送器270輸送支承器300期間，引導器339與各鏈卡合，以使支承器300不向左右偏移的 方式進行引導。引導器339是沿輸送方向的長板，行進方向前端341向下彎折。如后所述， 該引導器339的前端341與鏈卡合。并且，在外板330下面的靠左右邊緣內側的位置，安裝有沿輸送方向轉動的輥 343。該輥343比引導器339更向下方突出。而且，在外板330的一個面上，開設有多個縫隙345?？p隙345的位置相對于內板 320的開口 323橫向偏移。蓋體(未圖示)覆蓋底板310的四周，上面開口。下面，參考圖9、圖10對將支承器300移送至輸送器270的加載機構500進行說明。加載機構500用于將由輥式輸送器203輸送的支承器300移送至鏈式輸送器270。 如圖9所示，輥式輸送器203朝鏈式輸送器270的上游端向下方傾斜。加載機構500配置 于輥式輸送器203兩側的下游端，由連桿臂510、與該連桿臂510相連結的引導臂520構成。如圖10所示，連桿臂510具有長臂511與短臂515。兩臂510的中央可轉動地安 裝在輥式輸送器203的基臺上。長臂511的前端安裝有平衡配重512，以使連桿臂510沿順 時針方向轉動的方式施力。在短臂515的大致中央附近，延伸有從該短臂515直立的限位片516。在連桿臂 510上，限位片516在從輥式輸送器203的輸送面朝上方突出的上位置(由圖10的實線表 示)與朝該面的下方避讓的下位置(由圖10的假象線表示)之間轉動。利用銷使引導臂520的大致中央處可轉動地支撐于輥式輸送器203的基臺。利用 銷521將引導臂520的一端可轉動地安裝在連桿臂510的短臂515的前端。如果連桿臂510 從上位置向下位置轉動，則引導臂520在朝鏈式輸送器270側向下方傾斜的位置(由圖10 的實線表示)與大致水平的位置(由圖10的假象線表示)之間轉動。利用張力可變線繩525朝下方向對將短臂515與引導臂520連結的銷521進行施 力。另外，如圖9、圖10所示，在鏈式輸送器270上隔有規(guī)定間隔而安裝有從輸送面直 立的配件271。在配件271上立設有沿與輸送方向正交的方向延伸的銷272。支承器300 的引導器339的前端341與該銷272卡合。在由圖10的實線表示的卸載狀態(tài)下，利用平衡配重512以使連桿臂510沿順時針 方向轉動的方式向連桿臂510施力，短臂515的限位片516在從輥式輸送器203的輸送面 朝上方突出的上位置待機。如果支承器300由輥式輸送器203通過自重而輸送至，則支承器300的前端面與 限位片516抵碰，將限位片516壓向前方。于是，連桿臂510克服平衡配重512的作用力而 開始沿逆時針方向轉動。在此，利用線繩525朝下方向使短臂515與引導臂520相連結的 銷521施以大小適宜的作用力，因此連桿臂510圓滑地轉動。從而，限位片516從輸送面向下方避讓，引導臂520轉動至水平位置。于是，如圖10的假想線所示，支承器300從限位片 516分離并且前進，引導器339的前端541支撐于引導臂520。而且，在支承器300的引導器339的前端341到達引導臂520的前端時，循環(huán)行進 的鏈式輸送器270的配件271的銷272與引導器339的前端341卡合。由此，如圖9所示， 支承器300被從輥式輸送器203移送至鏈式輸送器270。下面，參考圖5，對利用該分解裝置的工件的分解動作進行說明。首先，在過熱蒸氣生成裝置250中生成過熱蒸氣。作為一例，過熱蒸氣的溫度為 280°C左右，壓力為大氣壓(約0. 1MPA)。生成的過熱蒸氣從噴頭260噴射至處理室216內。 其結果是，處理室216內的空氣被擠出而充滿過熱蒸氣，成為高溫低氧狀態(tài)的環(huán)境。在此， 過熱蒸氣的溫度受散熱損失的影響而下降至約270°C左右。并且，由于對大氣開放，因此壓 力實質上與大氣壓(0. IMPA左右)相等。處理室216內的氧濃度為空氣的1/20左右，極低。另外，在過熱蒸氣生成裝置250起動前，通過預熱加熱器223對處理室216進行加 熱。由此，在調整過熱蒸氣生成裝置250的起動溫度條件的同時，補償了運轉時裝置表面產 生的散熱損失。而且，在加熱容器部210的入口 211與出口 212處，利用各氣簾防止了外氣的漏 入。并且，由于在預熱室215中配置有過熱蒸氣生成裝置250，因此該預熱室215被從 該過熱蒸氣生成裝置250中產生的熱量等加熱。作為一例，預熱室215被加熱至約100°C左 右。另一方面，預冷室217的溫度保持在100°C以下。輸送器270循環(huán)行進。而且，利用加載機構500將收容有工件的支承器300從輥 式輸送器203移送至鏈式輸送器270。移送至鏈式輸送器270的支承器300從加熱容器部 210的入口 211穿過氣簾而進入預熱室215進行預熱。其后，被輸送至處理室216，支承器 300所收容的工件暴露于從噴頭沈0噴出的過熱蒸氣。從而，使焊料、釬料等將部件固定在 基板上的接合部件(導電性物質(合金))成為熔融狀態(tài)，使部件與基板的接合力減弱而易 于從基板分離。而且，在支承器300到達擋塊290后，設置在支承器300下面的輥343(參靠圖 8(b))爬上擋塊四0的斜面^Oa,引導器339從鏈式輸送器270的銷272(參考圖10)上分 離。而且，不久后輥輪343離開斜面^Oa的前邊緣，支承器300掉落到鏈式輸送器270上， 引導器339與鏈式輸送器270卡合。通過該掉落，對支承器300施加沖擊，收容在支承器 300內的工件受到振動。該振動使部件與基板的接合力進一步減弱。并且，掉落后，在支承 器300內，單面式支撐工件的內板320由于彈簧335的阻尼而進一步振動。進而，工件由于 被單面式支撐而以夾子321為支點在圖8(b)的左右方向上振動。通過上述振動，使部件與 基板的接合力進一步減弱。支承器300在通過多個擋塊290過程中每次都受到振動，最終使部件從基板分離。 分離的部件從基板上掉落并堆積在支承器300的內板320上。另一方面，熔融的接合部件 從內板320的縫隙323掉落至下方，堆積在外板330上。其后，支承器300被輸送至預冷室217，被冷卻至100°C以下的溫度。而且，穿過出 口 212的氣簾而被從加熱容器部210中送出，通過卸載機構(未圖示)而被從鏈式輸送器 270移送至輥式輸送器205。
并且，在運行期間常常是，通過噴射器251而將多余存在的過熱蒸氣從設置在加 熱容器部210內的廢過熱蒸氣吸引頭221、225、226回收至過熱蒸氣生成裝置250。該過熱 蒸氣與從鍋爐253提供的飽和水蒸氣混合而被再利用。而且，在運轉結束后，在加熱容器部210內生成的冷凝水被從排水口 227回收。該 冷凝水被送入鍋爐253而被再利用。下面，參考圖11至圖15，對求得的裝置的最合適的運轉條件(溫度、時間、氧濃 度)的實驗結果進行說明。首先，參考圖11的曲線圖，對處理室內的溫度與工件的分離回收率之間的關系進 行說明。曲線圖的縱軸表示分離回收率(％)，橫軸表示處理室內的溫度(°c)。分離回收 率是指分離的部件數量相對于全部部件數量的比例。由于接合材料即焊料的熔點最高為約240°C，因此對溫度為250°C以上的情況下 的分離回收率進行測定。如曲線圖所示，在溫度為250°C附近分離回收率為70 75%，溫 度為270°C以上時分離回收率高達90%以上。根據該結果，可將最合適的溫度條件設定為270°C。下面，參考圖12的曲線圖，對加熱時間與工件的分離回收率之間的關系進行說 明。曲線圖的縱軸表示分離回收率(％ )，橫軸表示加熱時間(分)。處理室的溫度為270°C。如曲線圖所示，在加熱時間為3分鐘的情況下，分離回收率為88%左右，在加熱時 間為4分鐘以上的情況下，分離回收率稍微上升至90%左右。根據該結果，使最合適的加熱時間為5分鐘。下面，參考圖13的曲線圖，對處理室內的蒸氣流量與工件的分離回收率之間的關 系進行說明。曲線圖的縱軸表示分離回收率(％)，橫軸表示蒸氣流量(kg/h)。如曲線圖所示，在蒸氣流量為mcg/h的情況下，分離回收率為80%左右，在蒸氣流 量為m^g/h以上的情況下，分離回收率達到90%左右。根據該結果，使蒸氣流量為^g/h。下面，參考圖14的曲線圖，對處理室內的氧濃度的分布進行說明。曲線圖的縱軸 表示分離回收率(％ )，橫軸表示測定點。該測定點位于處理室空間內的20個位置。如曲線圖所示，氧濃度為0.5 1.4%，非常低。因此能夠使對加熱對象物(工件) 的氧化作用或對象物的燃燒性大幅降低。最后，基于以上結果示出最合適的運轉條件的分離回收率。圖15表示最合適的運轉條件下的實驗結果。四次最合適的運轉條件(溫度270°C、加熱時間5分鐘、蒸氣流量8kg/h)的實 驗結果是分離回收率到高達89 92%。根據以上說明的第二實施方式，在第一實施方式效果的基礎上，還能夠起到以下 效果。(1)求得過熱蒸氣生成裝置的最合適的運轉條件的結果，能夠得到高達90%左右 的分離回收率。(2)由于能夠實現在大氣壓下、在使接合部件熔融所必要的約280°C的高溫下進 行處理，因此無需耐高壓措施，安全性提高。并且，由于能夠在較大的范圍內自由設定過熱 蒸氣的溫度范圍，因此熔融溫度范圍大，從而能夠使幾乎所有通常使用的接合材料熔融。
(3)由于使用氣壓為大氣壓的過熱水蒸氣作為加熱方式，而非高沸點熱介質或有 機溶劑，因此在安全性提高的同時不會產生環(huán)境問題，運作成本也更低。(4)由于利用過熱蒸氣將空氣擠出，而在氧濃度為空氣的1/20左右的低氧濃度環(huán) 境下進行處理，因此能夠抑制隨部件或樹脂類接合部件的熱分解而產生有機氣體。(5)由于在加熱容器中設置有預熱室，并在預熱室內配置有過熱蒸氣生成裝置，因 此能夠利用該過熱蒸氣生成裝置產生的熱量對預熱室內部進行加熱，無需其他的加熱源。(6)由于在加熱容器部內設有預冷室，并將工件在冷卻至一定程度后送出，因此能 夠防止氣味的產生或與加熱后的工件接觸而造成燙傷等事故的發(fā)生。(7)由于設有吸引廢過熱蒸氣的吸引頭，因此能夠對廢過熱蒸氣進行再利用。(8)由于對冷凝水進行回收再利用，因此在環(huán)境方面安全。(變形例)本發(fā)明并不限于以上說明的實施方式，在不脫離本發(fā)明技術的范圍內，能夠進行 各種變形或變更。(1)在實施方式中，作為分解對象的電子設備是例如通過焊接或漆膜而安裝有各 種部件的印刷基板，但本發(fā)明的分解對象并不限于電子設備。(2)實施方式的分解裝置在由輸送器對工件進行輸送的同時向工件吹送過熱蒸 氣，但本發(fā)明并不限于此，也可適用進行證章()” ^ )式處理的裝置。(3)實施方式的過熱蒸氣生成裝置是由例如裝置主體、隔管、過熱水蒸氣排出管構 成的三重管結構，但本發(fā)明并不限于此，也可適用具有四重以上的多重管結構的過熱水蒸 氣生成裝置。此情況下，將第一筒狀體插入其他筒狀體的內部，并將其他筒狀體插入第三筒 狀體的內部。此情況下，氣體流路由兩條以上的路徑構成。并且，在本發(fā)明中，也可使用具 有上述多重管以外的過熱蒸氣生成裝置。(4)實施方式的過熱蒸氣生成裝置使用例如外殼加熱器作為加熱機構，但加熱機 構并不限于此，也可使用例如IH等外殼加熱器以外的加熱機構。(5)在實施方式中，使焊料等熔融的蒸氣為例如水蒸氣，但本發(fā)明并不特別限定于 此，也可使用由其他物質構成的過熱蒸氣進行電子設備的分解。
權利要求
1.一種電子設備分解方法，其通過加熱至熔點以上將由熔融的接合材料固定在基板上 的部件從所述基板分離，所述電子設備分解方法的特征在于，使用過熱蒸氣對所述接合材料進行加熱。
2.根據權利要求1所述的電子設備分解方法，其特征在于， 所述部件由樹脂類材料固定在所述基板上，所述過熱蒸氣至少在所述部件的加熱部位實質上為大氣壓力，并且溫度在所述樹脂類 材料的軟化點以上。
3.根據權利要求1或2所述的電子設備分解方法，其特征在于，在使所述基板及所述部件周圍保持低氧環(huán)境的狀態(tài)下，利用所述過熱蒸氣進行處理。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于， 所述過熱蒸氣為過熱水蒸氣。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于，在使所述基板及固定在該基板上的部件暴露于過熱蒸氣中時，對所述基板施加振動。
6.一種電子設備分解裝置，其通過加熱至熔點以上將由熔融的接合材料固定在基板上 的部件從所述基板分離，所述電子設備分解裝置的特征在于，具有加熱容器部，其收容所述基板及固定在該基板上的所述部件； 過熱蒸氣生成裝置，其將溫度在所述接合材料熔點以上的過熱蒸氣導入所述加熱容器 部內。
7.根據權利要求6所述的電子設備分解方法，其特征在于， 所述部件由樹脂類材料固定在所述基板上，所述過熱蒸氣至少在所述部件的加熱部位實質上為大氣壓力，并且溫度在所述樹脂類 材料的軟化點以上。
8.根據權利要求6或7所述的電子設備分解方法，其特征在于， 通過導入所述過熱蒸氣使所述加熱容器部內為低氧環(huán)境。
9.根據權利要求6至8中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于， 所述過熱蒸氣為過熱水蒸氣。
10.根據權利要求6至9中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于， 在所述加熱容器部附近設置有對所述基板施加振動的振動施加機構。
11.根據權利要求6至10中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于，在所述加熱容器內至少設置有對所述基板慢加熱的預熱室或對所述基板慢冷卻的預 冷室中的一個。
12.根據權利要求11所述的電子設備分解方法，其特征在于， 在所述預熱室內配置有所述過熱蒸氣生成裝置。
13.根據權利要求6至12中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于， 在所述加熱容器部內設置有預熱加熱器。
14.根據權利要求6至13中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于，在所述加熱容器部的導入所述基板的入口及送出該基板的出口，設置有防止外氣漏入 所述加熱容器部的氣簾。
15.根據權利要求6至14中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于，在所述加熱容器部內配置有對所述基板施加機械沖擊的沖擊施加機構。
16.根據權利要求6至15中任一項所述的電子設備分解方法，其特征在于， 在所述加熱容器部內配置有過熱蒸氣回收機構。
17.一種電子設備分解方法，其將由熔點比被接合部件低的接合材料固定在基板上的 部件從所述基板分離，所述電子設備分解方法的特征在于，通過使所述基板及固定在該基板上的所述部件暴露于溫度在所述接合材料的熔點以 上的過熱蒸氣來使所述接合材料熔融，進而使所述部件從所述基板分離。
18.一種電子設備分解裝置，其將由熔點比被接合部件低的接合材料固定在基板上的 部件從所述基板分離，所述電子設備分解裝置的特征在于，具有容器部，其收容所述基板及固定在該基板上的所述部件；過熱蒸氣生成裝置，其將溫度在所述接合材料熔點以上的過熱蒸氣導入所述容器部內。
19.根據權利要求18所述的電子設備分解裝置，其特征在于，所述過熱蒸氣生成裝置具有第一筒狀體；導入管路，其將蒸氣從所述第一筒狀體的 一個端部導入該第一筒狀體內；第二筒狀體，其插入所述第一筒狀體內部，在所述導入管路 側的相反側端部，與所述第一筒狀體連通；第三筒狀體，其插入所述第二筒狀體內部，在所 述第一筒狀體與所述第二筒狀體的連通側的相反側端部與所述第二筒狀體連通；排出管 路，其將過熱蒸氣從所述第三筒狀體排出；加熱機構，其設置在從所述導入管路至所述排出 管路的氣體流路內，對所述蒸氣進行加熱。
全文摘要
提供一種電子設備分解方法及分解裝置，其能夠容易地使部件從基板分離，將由熔點比被接合部件低的接合材料固定在基板上的部件從所述基板分離的電子設備分解方法為，通過使所述基板及固定在該基板上的部件暴露于溫度在所述接合材料的熔點以上的過熱蒸氣來使所述接合材料熔融，進而使所述部件從所述基板分離。
文檔編號B09B3/00GK102138370SQ20098013376
公開日2011年7月27日 申請日期2009年6月19日 優(yōu)先權日2008年9月3日
發(fā)明者堀內進, 辻村正之 申請人:新熱工業(yè)株式會社