干燥裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種干燥裝置，屬于顯示屏制造領(lǐng)域。所述干燥裝置包括：第一腔體、第二腔體和管道，管道兩端分別與第一腔體、第二腔體相連通，管道能夠?qū)ɑ蜿P(guān)斷，當(dāng)管道關(guān)斷時，第一腔體內(nèi)的氣壓大于第二腔體內(nèi)的氣壓；當(dāng)管道導(dǎo)通時，在第一腔體內(nèi)的氣壓與第二腔體內(nèi)的氣壓的作用下，第一腔體內(nèi)能夠產(chǎn)生氣流。本發(fā)明解決了產(chǎn)生氣流需要耗費大量的電能，能耗較大的問題，減少了產(chǎn)生氣流所需的能耗。本發(fā)明用于顯示屏的制造。
【專利說明】
干燥裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示屏制造領(lǐng)域，特別涉及一種干燥裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示屏制造技術(shù)的發(fā)展，顯示屏得到了廣泛的應(yīng)用。在制造顯示屏?xí)r，通常需要對襯底基板進行多次干燥處理。
[0003]相關(guān)技術(shù)中，為了去除襯底基板表面的小顆粒(如灰塵)，通常需要對襯底基板進行清洗，并在清洗完襯底基板后，使用風(fēng)刀和一個干燥裝置(如鼓風(fēng)機)依次對襯底基板表面進行干燥處理，去除襯底基板表面的水分子。示例的，在對襯底基板表面進行干燥處理時，首先，可以使用風(fēng)刀對襯底基板表面進行第一次干燥處理，去除襯底基板表面的一部分水分子，如:使用風(fēng)刀對襯底基板表面吹風(fēng);然后，可以使用鼓風(fēng)機對襯底基板表面進行第二次干燥處理，如:控制鼓風(fēng)機中的電機帶動鼓風(fēng)機中的葉片轉(zhuǎn)動，從而使得襯底基板表面有氣流流過，且氣流在流過襯底基板表面時，帶走襯底基板表面的另一部分水分子。
[0004]由于相關(guān)技術(shù)中，在對襯底基板表面進行第二次干燥處理時，襯底基板表面的氣流是由于鼓風(fēng)機中電機帶動葉片的轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的，因此，產(chǎn)生氣流需要耗費大量的電能，能耗較大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決產(chǎn)生氣流需要耗費大量的電能，能耗較大的問題，本發(fā)明提供了一種干燥裝置。所述技術(shù)方案如下:
[0006]提供了一種干燥裝置，所述干燥裝置包括:第一腔體、第二腔體和管道，所述管道兩端分別與所述第一腔體、所述第二腔體相連通，所述管道能夠?qū)ɑ蜿P(guān)斷，
[0007]當(dāng)所述管道關(guān)斷時，所述第一腔體內(nèi)的氣壓大于所述第二腔體內(nèi)的氣壓；當(dāng)所述管道導(dǎo)通時，在所述第一腔體內(nèi)的氣壓與所述第二腔體內(nèi)的氣壓的作用下，所述第一腔體內(nèi)能夠產(chǎn)生氣流。
[0008]可選的，所述管道內(nèi)填充有干燥過濾塊。
[0009]可選的，所述干燥裝置還包括抽真空器，
[0010]所述抽真空器連接所述第二腔體，用于控制所述第二腔體內(nèi)的氣壓小于所述第一腔體內(nèi)的氣壓。
[0011]可選的，所述干燥裝置還包括加熱器，所述加熱器用于提高所述第二腔體內(nèi)的溫度。
[0012]可選的，所述第一腔體包括m個第一子腔體，所述第二腔體包括η個第二子腔體，所述m和所述η均為大于或等于I的整數(shù)，
[0013]所述管道的第一端分別與所述m個第一子腔體中的每個第一子腔體連通，所述管道的第二端分別與所述η個第二子腔體中的每個第二子腔體連通。
[0014]可選的，所述管道包括中心子管道、m個第一子管道和η個第二子管道，
[0015]所述中心子管道的側(cè)壁上設(shè)置有貫穿所述中心子管道側(cè)壁的m個第一開口，以及貫穿所述中心子管道側(cè)壁的η個第二開口，所述中心子管道內(nèi)填充有干燥過濾塊；
[0016]所述m個第一子管道的第一端與所述m個第一子腔體一一對應(yīng)連通，所述m個第一子管道的第二端與所述m個第一開口一一對應(yīng)連通；
[0017]所述η個第二子管道的第一端與所述η個第二開口一一對應(yīng)連通，所述η個第二子管道的第二端與所述η個第二子腔體一一對應(yīng)連通。
[0018]可選的，所述m個第一子管道中的每個第一子管道的第一端設(shè)置有第一開關(guān)，每個第一開關(guān)用于控制第一子管道的第一端的導(dǎo)通或關(guān)斷；
[0019]所述η個第二子管道中的每個第二子管道的第二端設(shè)置有第二開關(guān)，每個第二開關(guān)用于控制第二子管道的第二端的導(dǎo)通或關(guān)斷。
[0020]可選的，所述m個第一子管道中的每個第一子管道的第二端設(shè)置有第三開關(guān)，每個第三開關(guān)用于控制第一子管道的第二端的導(dǎo)通或關(guān)斷；
[0021]所述η個第二子管道中的每個第二子管道的第一端設(shè)置有第四開關(guān)，每個第四開關(guān)用于控制第二子管道的第一端的導(dǎo)通或關(guān)斷。
[0022]可選的，所述干燥裝置還包括控制器，
[0023]所述控制器與所述干燥裝置中的每個開關(guān)相連接，用于控制所述每個開關(guān)的開啟與閉合。
[0024]可選的，當(dāng)所述管道關(guān)斷時，所述第一腔體內(nèi)的氣壓為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，所述第二腔體內(nèi)的氣壓小于或等于1000帕。
[0025]可選的，當(dāng)所述管道關(guān)斷時，所述第一腔體為填充有空氣的干燥腔體，所述第二腔體為真空干燥腔體。
[0026]可選的，所述m等于所述η。
[0027]可選的，所述每個第一子腔體內(nèi)部的下表面設(shè)置有用于支撐待干燥組件的頂針；
[0028]所述每個第二子腔體內(nèi)部的下表面設(shè)置有用于支撐待干燥組件的頂針。
[0029]綜上所述，本發(fā)明提供了一種干燥裝置，包括第一腔體、第二腔體和管道，且管道的兩端分別與第一腔體和第二腔體連通，當(dāng)管道關(guān)斷時，第一腔體內(nèi)的氣壓大于第二腔體內(nèi)的氣壓，當(dāng)管道導(dǎo)通時，在第一腔體內(nèi)和第二腔體內(nèi)氣壓差的作用下，第一腔體內(nèi)的氣體會沿管道向第二腔體中流動，從而在第一腔體內(nèi)產(chǎn)生氣流。若該第一腔體內(nèi)放置有待干燥組件，則第一腔體內(nèi)的氣流能夠?qū)υ摯稍锝M件起到干燥作用。且第一腔體內(nèi)的氣流是由于第一腔體與第二腔體的氣壓差的作用下產(chǎn)生的，相較于鼓風(fēng)機中電機帶動葉片轉(zhuǎn)動產(chǎn)生氣流，所需耗費的能量較少，所以，減少了產(chǎn)生氣流所需的能耗。
[0030]應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細節(jié)描述僅是示例性的，并不能限制本發(fā)明。
【附圖說明】
[0031]為了更清楚地說明本發(fā)明的實施例，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0032]圖1為本發(fā)明實施例提供的一種干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖2為本發(fā)明實施例提供的另一種干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖3為本發(fā)明實施例提供的又一種干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖4為本發(fā)明實施例提供的一種管道的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0036]此處的附圖被并入說明書中并構(gòu)成本說明書的一部分，示出了符合本發(fā)明的實施例，并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。
【具體實施方式】
[0037]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步地詳細描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部份實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0038]如圖1所示，本發(fā)明實施例提供了一種干燥裝置0，該干燥裝置O可以包括:第一腔體01、第二腔體02和管道03，第一腔體01內(nèi)能夠放置待干燥組件(圖1中未示出)，管道03的兩端分別與第一腔體01和第二腔體02相連通，管道03能夠?qū)ɑ蜿P(guān)斷。
[0039]當(dāng)管道03關(guān)斷時，第一腔體01內(nèi)的氣壓大于第二腔體02內(nèi)的氣壓；當(dāng)管道03導(dǎo)通時，在第一腔體01內(nèi)的氣壓與第二腔體02內(nèi)的氣壓的作用下，第一腔體01內(nèi)能夠產(chǎn)生氣流。
[0040]綜上所述，由于本發(fā)明提供的干燥裝置包括第一腔體、第二腔體和管道，且管道的兩端分別與第一腔體和第二腔體連通，當(dāng)管道關(guān)斷時，第一腔體內(nèi)的氣壓大于第二腔體內(nèi)的氣壓，當(dāng)管道導(dǎo)通時，在第一腔體內(nèi)和第二腔體內(nèi)氣壓差的作用下，第一腔體內(nèi)的氣體會沿管道向第二腔體中流動，從而在第一腔體內(nèi)產(chǎn)生氣流。若該第一腔體內(nèi)放置有待干燥組件，則第一腔體內(nèi)的氣流能夠?qū)υ摯稍锝M件起到干燥作用。且第一腔體內(nèi)的氣流是由于第一腔體與第二腔體的氣壓差的作用下產(chǎn)生的，相較于鼓風(fēng)機中電機帶動葉片轉(zhuǎn)動產(chǎn)生氣流，所需耗費的能量較少，所以，減少了產(chǎn)生氣流所需的能耗。
[0041]示例的，當(dāng)管道03關(guān)斷時，第一腔體01內(nèi)的氣壓可以為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(1.01 X 15帕)，第二腔體內(nèi)的氣壓可以小于或等于1000帕。此時，第一腔體01與第二腔體02內(nèi)的氣壓差較大，在管道導(dǎo)通時，第一腔體01內(nèi)產(chǎn)生的氣流較大，對第一腔體01內(nèi)的待干燥組件的干燥效果較好。
[0042]可選的，管道03內(nèi)可以填充有干燥過濾塊04。具體的，可以將干燥過濾劑填充在管道03內(nèi)，使得干燥過濾劑能夠封堵管道03，此時，管道03內(nèi)的干燥過濾劑由于被管道03的內(nèi)壁擠壓，而形成干燥過濾塊04 ο當(dāng)管道03由關(guān)斷變?yōu)閷?dǎo)通時，該第一腔體OI內(nèi)的氣體會從第一腔體OI內(nèi)向管道03內(nèi)流動，最終流入第二腔體02 ο在第一腔體OI內(nèi)的氣體流經(jīng)管道03內(nèi)的干燥過濾塊04時，若氣體內(nèi)包含水分子或雜質(zhì)顆粒，則水分子會被干燥過濾塊04吸附，雜質(zhì)顆粒會被干燥過濾塊04阻擋，從而使得經(jīng)過該干燥過濾塊04的氣體為純凈的氣體(不包含水分子和雜質(zhì)顆粒)，防止了水分子和雜質(zhì)顆粒進入第二腔體02，保證了第二腔體02的干凈。
[0043]圖2為本發(fā)明實施例提供的另一種干燥裝置O的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，在圖1的基礎(chǔ)上，該干燥裝置O還可以包括抽真空器05，該抽真空器05連接第二腔體01，且該抽真空器05可以用于控制第二腔體01內(nèi)的氣壓小于第一腔體01內(nèi)的氣壓。示例的，該抽真空器05也可以通過其他管道(圖2中未標(biāo)出)與第二腔體01相連通。由于抽真空器05能夠?qū)Φ诙惑w02進行抽真空，使得第二腔體02內(nèi)的氣壓小于第一腔體Ol內(nèi)的氣壓，所以，在管道03導(dǎo)通，且第一腔體01內(nèi)的氣體從管道03進入第二腔體02內(nèi)后，如需再次控制第一腔體OI內(nèi)產(chǎn)生氣流，可以將管道03關(guān)斷，并通過抽真空器05對第二腔體02進行抽真空，使得第二腔體02內(nèi)的氣壓再次小于第一腔體01內(nèi)的氣壓。
[0044]進一步的，該干燥裝置O還可以包括加熱器(圖2中未示出)，第二腔體02內(nèi)能夠放置待干燥組件，該加熱器可以用于通過對第二腔體02內(nèi)的氣體進行加熱，從而提高第二腔體02內(nèi)的溫度。由于加熱器能夠提高第二腔體02內(nèi)的溫度，所以，當(dāng)待干燥組件的表面涂覆有光刻膠，并置于第二腔體02內(nèi)時，可以控制第二腔體02處于密封狀態(tài)，此時可以對第二腔體02內(nèi)進行抽真空，使得第二腔體02內(nèi)的氣壓再次降低，從而使得干燥組件表面的光刻膠中的溶劑從光刻膠中脫離，使得待干燥組件表面的光刻膠由液態(tài)變?yōu)楣虘B(tài)，進一步的，第二腔體02內(nèi)的加熱器還能夠?qū)Φ诙惑w02進行加熱，促使待干燥組件表面的光刻膠進一步固化。
[0045]示例的，第一腔體01可以與第一腔體01外的環(huán)境相連通，當(dāng)管道03關(guān)斷時，第一腔體01可以為填充有空氣的干燥腔體，第一腔體01內(nèi)的氣壓與環(huán)境中的氣壓相同，第二腔體02可以為真空干燥腔體，第二腔體02內(nèi)的氣壓小于環(huán)境中的氣壓。也即，在對待干燥組件進行干燥處理前，僅僅需要對第二腔體02進行抽真空，使得第二腔體02內(nèi)的氣壓減小，且無需對第一腔體01進行抽真空。
[0046]可選的，第一腔體01可以包括m個第一子腔體011，第二腔體02可以包括η個第二子腔體021，m和η均可以為大于或等于I的整數(shù)。示例的，圖2中以m和η均為6為例，實際應(yīng)用中，m可以為其他大于或等于I的整數(shù)，η也可以為其他大于或等于I的整數(shù)。每個第一子腔體011上均可以設(shè)置有第一腔體門P，每個第二子腔體021上均可以設(shè)置有第二腔體門Q，當(dāng)?shù)谝蛔忧惑w011上的第一腔體門P開啟時，第一子腔體011與第一子腔體011外的環(huán)境相連通，當(dāng)?shù)诙忧惑w021上的第二腔體門Q開啟時，第二子腔體021與第二子腔體021外的環(huán)境相連通。
[0047]圖3為本發(fā)明實施例提供的又一種干燥裝置O的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為本發(fā)明實施例提供的一種管道03的結(jié)構(gòu)示意圖，請結(jié)合圖3和圖4，管道03可以包括m個第一子管道031、η個第二子管道032和中心子管道033。示例的，m個第一子管道031可以互相平行，η個第二子管道032也可以互相平行，中心子管道033可以同時垂直于第一子管道031和第二子管道032。其中，中心子管道033的側(cè)壁上可以設(shè)置有貫穿中心子管道033側(cè)壁的m個第一開口Kl，以及貫穿中心子管道033側(cè)壁的η個第二開口K2，中心子管道033內(nèi)填充有干燥過濾塊04。
[0048]示例的，本發(fā)明實施例中的第一端可以為左端，第二端可以為右端，管道03的第一端分別與m個第一子腔體011中的每個第一子腔體011連通，管道03的第二端可以分別與η個第二子腔體021中的每個第二子腔體021連通，每個第一子腔體011和每個第二子腔體021內(nèi)均能夠放置待干燥組件。具體的，m個第一子管道031的第一端與m個第一子腔體011—一對應(yīng)連通，m個第一子管道031的第二端與m個第一開口 Kl——對應(yīng)連通。η個第二子管道032的第一端與η個第二開口 Κ2—一對應(yīng)連通，η個第二子管道032的第二端與η個第二子腔體021--對應(yīng)連通。
[0049]m個第一子管道031中的每個第一子管道031的第一端設(shè)置有第一開關(guān)Gl，每個第一開關(guān)Gl用于控制第一子管道031的第一端的導(dǎo)通或關(guān)斷。當(dāng)?shù)谝婚_關(guān)Gl開啟時，該第一子管道031的第一端導(dǎo)通，當(dāng)?shù)谝婚_關(guān)Gl關(guān)斷時，該第一子管道031的第一端關(guān)斷。η個第二子管道032中的每個第二子管道032的第二端設(shè)置有第二開關(guān)G2，每個第二開關(guān)G2用于控制第二子管道032的第二端的導(dǎo)通或關(guān)斷。當(dāng)?shù)诙_關(guān)G2開啟時，該第二子管道032的第二端導(dǎo)通，當(dāng)?shù)诙_關(guān)G3關(guān)斷時，該第二子管道032的第二端關(guān)斷。
[0050]m個第一子管道032中的每個第一子管道032的第二端設(shè)置有第三開關(guān)G3，每個第三開關(guān)G3用于控制第一子管道031的第二端的導(dǎo)通或關(guān)斷。當(dāng)?shù)谌_關(guān)G3開啟時，該第一子管道031的第二端導(dǎo)通，當(dāng)?shù)谌_關(guān)G3關(guān)斷時，該第一子管道031的第二端關(guān)斷。η個第二子管道032中的每個第二子管道032的第一端設(shè)置有第四開關(guān)G4，每個第四開關(guān)G4用于控制第二子管道032的第一端的導(dǎo)通或關(guān)斷。當(dāng)?shù)谒拈_關(guān)G4開啟時，該第二子管道032的第一端導(dǎo)通，當(dāng)?shù)谒拈_關(guān)G4關(guān)斷時，該第二子管道032的第一端關(guān)斷。
[0051]進一步的，請繼續(xù)參考圖2，該干燥裝置O還可以包括控制器07，該控制器07可以與干燥裝置O中的每個開關(guān)(如第一開關(guān)、第二開關(guān)、第三開關(guān)和第四開關(guān)中的每個開關(guān))相連接，用于控制每個開關(guān)的開啟與閉合，進而控制子管道的導(dǎo)通和關(guān)斷。
[0052]一方面，每個子管道(第一子管道或第二子管道)上與腔體(第一子腔體或第二子腔體)連接的一端設(shè)置有開關(guān)，在無需使用某一第一子腔體時，可以將與該第一子腔體連接的第一子管道上的第一開關(guān)關(guān)閉，在無需使用某一第二子腔體時，可以將與該第二子腔體連接的第二子管道上的第二開關(guān)關(guān)閉，防止無需使用的子腔體內(nèi)，由于氣壓差的作用而產(chǎn)生氣流，從而減少了在控制第一腔體內(nèi)產(chǎn)生氣流時能量的損失。另一方面，由于每個子管道上與中心子管道連接的一端設(shè)置有開關(guān)，所以在關(guān)閉第一子管道上的第一開關(guān)時，也可以將第一子管道上的第三開關(guān)關(guān)閉，在關(guān)閉第二子管道上的第二開關(guān)時，也可以將第二子管道上的第四開關(guān)關(guān)閉，防止無需使用的子腔體連接的子管道內(nèi)產(chǎn)生氣流，進一步的減少了能量的損失。
[0053]另外，相關(guān)技術(shù)中鼓風(fēng)機和真空干燥腔體之間的距離較遠，在分別使用鼓風(fēng)機和真空干燥腔體時，共需要使用兩個機械臂夾取襯底基板，制造顯示屏的成本較高;本發(fā)明實施例中，由于第一腔體和第二腔體通過管道連接在一起，且第一腔體和第二腔體的距離較近，所以在分別執(zhí)行該兩個工藝步驟時，僅僅需要一個機械臂即可，大大減少了顯示屏的制造成本。
[0054]示例的，該待干燥組件可以為襯底基板，在圖2中，第一子腔體011的個數(shù)m可以等于第二子腔體021的個數(shù)η。由于第一子腔體011的個數(shù)和第二子腔體021的個數(shù)相等，所以在將多個襯底基板統(tǒng)一放入第一腔體01內(nèi)，使得每個襯底基板置于一個第一子腔體011內(nèi)，且在對襯底基板干燥后，可以將襯底基板從第一腔體內(nèi)取出，并在襯底基板的表面涂覆光刻膠，然后，可以將涂覆有光刻膠的襯底基板統(tǒng)一放入第二腔體02內(nèi)進行處理，且此時每個襯底基板置于一個第二子腔體021內(nèi)。
[0055]可選的，每個第一子腔體011內(nèi)部的下表面可以設(shè)置有用于支撐待干燥組件的頂針08;每個第二子腔體021內(nèi)部的下表面也可以設(shè)置有用于支撐待干燥組件的頂針08。也即，該干燥裝置O中的每個子腔體內(nèi)均設(shè)置有頂針08，頂針08能夠支撐置于子腔體內(nèi)的待干燥組件，使得在對待干燥組件進行干燥時，待干燥組件的每個表面均能夠得到有效的干燥?？蛇x的，如圖2所示，每個第一子腔體011以及每個第二子腔體021上還可以標(biāo)注有腔體序號W，以便于工作人員辨識每個子腔體。
[0056]相關(guān)技術(shù)中，為了去除襯底基板表面的小顆粒(如灰塵)，通常需要對襯底基板進行清洗，并在清洗完襯底基板后，使用風(fēng)刀和一個鼓風(fēng)機依次對襯底基板表面進行干燥處理，去除襯底基板表面的水分子。然后，可以在襯底基板表面涂覆光刻膠，且為了防止襯底基板在搬運過程中，襯底基板表面的光刻膠流動，需要采用真空干燥機和加熱器對襯底基板再次進行干燥固化處理，使得襯底基板表面的光刻膠有液態(tài)變?yōu)楣虘B(tài)。具體的，該真空干燥機可以包括:真空干燥腔體、抽真空器，該加熱器可以包括加熱腔體和加熱器。抽真空器能夠?qū)υ撜婵崭稍锴惑w進行抽真空，使得該真空干燥腔體內(nèi)不存在水分子和雜質(zhì)顆粒，且在抽真空的過程中，該真空干燥腔體內(nèi)的氣壓小于環(huán)境中的氣壓。該加熱器能夠?qū)訜崆惑w進行加熱，提高加熱腔體內(nèi)的溫度。在將襯底基板表面涂覆光刻膠后，可以打開真空干燥腔體，并將涂覆有光刻膠的襯底基板置于真空干燥腔體內(nèi)，并控制第二腔體處于密封狀態(tài)，使用抽真空器再次對真空干燥腔體內(nèi)進行抽真空，使得第二腔體內(nèi)的氣壓再次降低，從而使得襯底基板表面的光刻膠中的溶劑從光刻膠中脫離，使得襯底基板表面的光刻膠由液態(tài)變?yōu)楣虘B(tài)。然后，可以將襯底基板從真空干燥腔體內(nèi)取出，并放入加熱腔體中，使用加熱器對加熱腔體進行加熱，促使襯底基板表面的光刻膠進一步固化。
[0057]需要說明的是，本發(fā)明實施例提供的干燥裝置O中的第二腔體02可以與相關(guān)技術(shù)提供的真空干燥機中的真空干燥腔體相同，本發(fā)明實施例提供的干燥裝置O中的抽真空器05可以與相關(guān)技術(shù)提供的真空干燥機中的抽真空器相同，本發(fā)明實施例提供的干燥裝置O中的加熱器可以與相關(guān)技術(shù)提供的加熱腔體中的加熱器相同。也即，本發(fā)明實施例提供的干燥裝置O可以包括相關(guān)技術(shù)中的真空干燥機和加熱器，由于相關(guān)技術(shù)中，在控制襯底基板表面的光刻膠由液態(tài)變?yōu)楣虘B(tài)前，需要對真空干燥腔體進行抽真空，使得真空干燥腔體內(nèi)的氣壓小于環(huán)境中的氣壓，但是，在真空干燥腔體中控制襯底基板表面的光刻膠由液態(tài)變?yōu)楣虘B(tài)的過程中，并沒有對真空干燥腔體中的低氣壓進行有效的利用，因此，造成了能量的浪費。本發(fā)明實施例中，通過管道03將第一腔體OI和第二腔體02相連通，在對第二腔體02抽真空使得該第二腔體02內(nèi)保持干凈后，第二腔體02內(nèi)的氣壓小于第一腔體01內(nèi)的氣壓。此時將管道導(dǎo)通，利用該第二腔體02內(nèi)的低氣壓，使得該第一腔體OI內(nèi)產(chǎn)生氣流，從而實現(xiàn)了將該第二腔體02(真空干燥腔體)內(nèi)的低氣壓得到了有效的利用，減少了能量的浪費。且在對襯底基板表面進行干燥時，無需使用鼓風(fēng)機，因此，進一步的減少了整個干燥過程中的能耗。且本發(fā)明實施例中，第二腔體可以同時作為真空干燥腔體和加熱腔體，因此，減少了整個工藝過程中腔體的數(shù)目，減少了干燥處理的成本及生產(chǎn)時間，有效的提高生產(chǎn)效率。
[0058]相關(guān)技術(shù)中，鼓風(fēng)機和真空干燥機之間的距離較遠，鼓風(fēng)機旁可以設(shè)置有一個機械臂，真空干燥機旁也可以設(shè)置有一個機械臂。在使用鼓風(fēng)機對襯底基板吹風(fēng)完畢后，可以使用鼓風(fēng)機旁的機械臂將襯底基板夾持到載臺上，并為襯底基板表面涂覆光刻膠。然后，可以使用真空干燥機旁的機械臂將涂覆有光刻膠的襯底基板從載臺上夾持到真空干燥腔體內(nèi)，并使用真空干燥機對襯底基板表面的光刻膠進行處理。由于相關(guān)技術(shù)中，鼓風(fēng)機旁和真空干燥機旁分別需要設(shè)置一個機械臂，因此，干噪處理的成本較高。本發(fā)明實施例中，由于該第一腔體和第二腔體的距離較近，所以，該干燥裝置旁可以設(shè)置有一個機械臂(圖2中未示出)，且該一個機械臂可以同時完成將襯底基板夾持到第一子腔體內(nèi)并取出，以及將襯底基板夾持到第二子腔體內(nèi)并取出。由于本發(fā)明實施例中的干燥裝置僅僅需要使用一個機械臂，因此，干噪處理的成本較低。
[0059]示例的，現(xiàn)以第一子腔體的個數(shù)和第二子腔體的個數(shù)相等，且均等于m，且待干燥組件為m個襯底基板為例，對本發(fā)明實施例提供的干燥裝置的使用方法進行解釋說明:
[0060]在使用本發(fā)明實施例提供的干燥裝置前，可以對該m襯底基板進行清洗。然后，可以使用風(fēng)刀對該m個襯底基板表面進行初步干燥，并將每個第一子腔體上的腔體門打開，以及使用設(shè)置在干燥裝置旁的機械臂將該m襯底基板夾持到m個第一子腔體內(nèi)，使得每個第一子腔體內(nèi)放置有一個襯底基板，在將襯底基板置入第一子腔體內(nèi)后，可以將第一子腔體的腔體門關(guān)閉。
[0061]需要說明的是，在將m個襯底基板夾持到m個第一子腔體內(nèi)之前，需要將管道關(guān)斷，也即將管道中的第一開關(guān)、第二開關(guān)、第三開關(guān)以及第四開關(guān)均關(guān)閉，將m個第二子腔體上的腔體門全部關(guān)閉，并使用抽真空器對第二腔體進行抽真空，使得第二腔體內(nèi)的氣壓小于環(huán)境中的氣壓(也即每個第一子腔體內(nèi)的氣壓)，可選的，可以將第二腔體內(nèi)的氣壓減小至1000帕以下。
[0062]在將m個第一子腔體上的腔體門均關(guān)閉后，可以將管道中的第一開關(guān)、第二開關(guān)、第三開關(guān)以及第四開關(guān)均打開，使得管道處于導(dǎo)通的狀態(tài)，此時，由于第二腔體中的m個第二子腔體內(nèi)的氣壓小于第一子腔體內(nèi)的氣壓，所以，在m個第二子腔體與m個第一子腔體內(nèi)氣壓差的作用下，每個第一子腔體內(nèi)的氣體會沿管道向第二子腔體內(nèi)流動。且在氣體流動的過程中，每個第一子腔體內(nèi)的流動的氣體能夠?qū)⒁r底基板上的水分子帶走，從而實現(xiàn)了對襯底基板的干燥。進一步的，由于管道中設(shè)置有干燥過濾塊，所以，氣體中攜帶的水分子和雜質(zhì)顆粒無法沿管道進入第二子腔體內(nèi)，從而保證了第二子腔體的干凈。
[0063]最后，可以將每個第一子腔體上的腔體門打開，使用設(shè)置在干燥裝置旁的機械臂將m個襯底基板從m個第一子腔體內(nèi)取出，依次為m個襯底基板表面涂覆光刻膠，并將每個第二子腔體上的腔體門打開，以及將涂覆有光刻膠的m個襯底基板置于m個第二子腔體內(nèi)，并在將襯底基板置入第二子腔體內(nèi)后，關(guān)閉第二子腔體上的腔體門，控制抽真空器對第二子腔體再次進行抽真空，從而使得干燥組件表面的光刻膠中的溶液從光刻膠中脫離，使得待干燥組件表面的光刻膠由液態(tài)變?yōu)楣虘B(tài)，進一步的，還可以在抽真空的同時，控制第二腔體內(nèi)的加熱器對m個第二子腔體加熱，提高m個第二子腔體內(nèi)的溫度，促使待干燥組件表面的光刻膠進一步固化。
[0064]綜上所述，由于本發(fā)明提供的干燥裝置包括第一腔體、第二腔體和管道，且管道的兩端分別與第一腔體和第二腔體連通，當(dāng)管道關(guān)斷時，第一腔體內(nèi)的氣壓大于第二腔體內(nèi)的氣壓，當(dāng)管道導(dǎo)通時，在第一腔體內(nèi)和第二腔體內(nèi)氣壓差的作用下，第一腔體內(nèi)的氣體會沿管道向第二腔體中流動，從而在第一腔體內(nèi)產(chǎn)生氣流。若該第一腔體內(nèi)放置有待干燥組件，則第一腔體內(nèi)的氣流能夠?qū)υ摯稍锝M件起到干燥作用。且第一腔體內(nèi)的氣流是由于第一腔體與第二腔體的氣壓差的作用下產(chǎn)生的，相較于鼓風(fēng)機中電機帶動葉片轉(zhuǎn)動產(chǎn)生氣流，所需耗費的能量較少，所以，減少了產(chǎn)生氣流所需的能耗。
[0065]本領(lǐng)域技術(shù)人員在考慮說明書及實踐這里公開的發(fā)明后，將容易想到本發(fā)明的其它實施方案。本申請旨在涵蓋本發(fā)明的任何變型、用途或者適應(yīng)性變化，這些變型、用途或者適應(yīng)性變化遵循本發(fā)明的一般性原理并包括本發(fā)明未公開的本技術(shù)領(lǐng)域中的公知常識或慣用技術(shù)手段。說明書和實施例僅被視為示例性的，本發(fā)明的真正范圍和精神由權(quán)利要求指出。
[0066]應(yīng)當(dāng)理解的是，本發(fā)明并不局限于上面已經(jīng)描述并在附圖中示出的精確結(jié)構(gòu)，并且可以在不脫離其范圍進行各種修改和改變。本發(fā)明的范圍僅由所附的權(quán)利要求來限制。
【主權(quán)項】
1.一種干燥裝置，其特征在于，所述干燥裝置包括:第一腔體、第二腔體和管道，所述管道兩端分別與所述第一腔體、所述第二腔體相連通，所述管道能夠?qū)ɑ蜿P(guān)斷， 當(dāng)所述管道關(guān)斷時，所述第一腔體內(nèi)的氣壓大于所述第二腔體內(nèi)的氣壓；當(dāng)所述管道導(dǎo)通時，在所述第一腔體內(nèi)的氣壓與所述第二腔體內(nèi)的氣壓的作用下，所述第一腔體內(nèi)能夠產(chǎn)生氣流。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于， 所述管道內(nèi)填充有干燥過濾塊。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥裝置還包括抽真空器， 所述抽真空器連接所述第二腔體，用于控制所述第二腔體內(nèi)的氣壓小于所述第一腔體內(nèi)的氣壓。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥裝置還包括加熱器，所述加熱器用于提高所述第二腔體內(nèi)的溫度。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一所述的干燥裝置，其特征在于，所述第一腔體包括m個第一子腔體，所述第二腔體包括η個第二子腔體，所述m和所述η均為大于或等于I的整數(shù)， 所述管道的第一端分別與所述m個第一子腔體中的每個第一子腔體連通，所述管道的第二端分別與所述η個第二子腔體中的每個第二子腔體連通。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于，所述管道包括中心子管道、m個第一子管道和η個第二子管道， 所述中心子管道的側(cè)壁上設(shè)置有貫穿所述中心子管道側(cè)壁的m個第一開口，以及貫穿所述中心子管道側(cè)壁的η個第二開口，所述中心子管道內(nèi)填充有干燥過濾塊； 所述m個第一子管道的第一端與所述m個第一子腔體一一對應(yīng)連通，所述m個第一子管道的第二端與所述m個第一開口 一一對應(yīng)連通； 所述η個第二子管道的第一端與所述η個第二開口 一一對應(yīng)連通，所述η個第二子管道的第二端與所述η個第二子腔體一一對應(yīng)連通。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的干燥裝置，其特征在于， 所述m個第一子管道中的每個第一子管道的第一端設(shè)置有第一開關(guān)，每個第一開關(guān)用于控制第一子管道的第一端的導(dǎo)通或關(guān)斷； 所述η個第二子管道中的每個第二子管道的第二端設(shè)置有第二開關(guān)，每個第二開關(guān)用于控制第二子管道的第二端的導(dǎo)通或關(guān)斷。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的干燥裝置，其特征在于， 所述m個第一子管道中的每個第一子管道的第二端設(shè)置有第三開關(guān)，每個第三開關(guān)用于控制第一子管道的第二端的導(dǎo)通或關(guān)斷； 所述η個第二子管道中的每個第二子管道的第一端設(shè)置有第四開關(guān)，每個第四開關(guān)用于控制第二子管道的第一端的導(dǎo)通或關(guān)斷。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥裝置還包括控制器， 所述控制器與所述干燥裝置中的每個開關(guān)相連接，用于控制所述每個開關(guān)的開啟與閉入口 ο10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于， 當(dāng)所述管道關(guān)斷時，所述第一腔體內(nèi)的氣壓為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，所述第二腔體內(nèi)的氣壓小于或等于1000帕。11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的干燥裝置，其特征在于，當(dāng)所述管道關(guān)斷時，所述第一腔體為填充有空氣的干燥腔體，所述第二腔體為真空干燥腔體。12.根據(jù)權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于， 所述m等于所述η。13.根據(jù)權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于， 所述每個第一子腔體內(nèi)部的下表面設(shè)置有用于支撐待干燥組件的頂針； 所述每個第二子腔體內(nèi)部的下表面設(shè)置有用于支撐待干燥組件的頂針。
【文檔編號】F26B21/02GK106016977SQ201610342183
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月20日
【發(fā)明人】余世榮, 孟慶勇, 吳春暉, 安予生
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司