一種高真空燒結(jié)爐的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型是一種高真空燒結(jié)爐，含爐體、爐門(mén)、機(jī)組系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣放氣系統(tǒng)、氣動(dòng)裝置、加熱及保溫裝置、冷卻系統(tǒng)及控制柜，爐體為雙層壁水套臥式圓筒結(jié)構(gòu)，爐門(mén)樞接在其一端，爐門(mén)含外層保溫層和內(nèi)層鉬帶加熱層；爐體上有若干熱電偶、放氣閥和充氣閥，充氣放氣系統(tǒng)通過(guò)放氣閥和充氣閥與爐體內(nèi)腔連通；控制柜上有觸摸屏和CPU的控制機(jī)，熱電偶與CPU輸入端連接；真空系統(tǒng)包括通過(guò)管接頭和閥門(mén)與爐體內(nèi)腔連通的至少3級(jí)真空泵，真空泵總抽氣量比爐體內(nèi)腔氣量至少大一倍、真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度要求超過(guò)一個(gè)數(shù)量級(jí)；冷卻系統(tǒng)含通過(guò)換熱器與雙層壁水套連的水輸送裝置及配套風(fēng)機(jī)。本實(shí)用新型用于稀土永磁鐵燒結(jié),省時(shí)省電高。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種高真空燒結(jié)爐
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本實(shí)用新型屬于真空燒結(jié)爐【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種用于稀土永磁鐵燒結(jié)的高真空燒結(jié)爐。
[0003]【背景技術(shù)】
[0004]現(xiàn)有技術(shù)的真空燒結(jié)爐在真空泵的選用上都按常規(guī)的選擇方法，其真空泵配置一般選用單級(jí)，頂多為兩級(jí)，而且其選用的真空泵的極限真空度僅高于真空設(shè)備要求的真空度半個(gè)數(shù)量級(jí)，最多也不到一個(gè)數(shù)量級(jí)。通過(guò)檢索得知，現(xiàn)有的有關(guān)燒結(jié)爐的專(zhuān)利未能涉及如何恰當(dāng)選用真空泵抽氣量和不同類(lèi)型真空泵的搭配，忽略了其對(duì)于節(jié)能省時(shí)和提高工效的巨大意義，這種傳統(tǒng)的“半個(gè)至一個(gè)數(shù)量級(jí)”的選用原則，將本行業(yè)的技術(shù)人員引入誤區(qū)。
[0005]例如中國(guó)專(zhuān)利號(hào)201220279397.9，名稱(chēng)為“真空燒結(jié)爐”的實(shí)用新型專(zhuān)利，公開(kāi)了一種真空燒結(jié)爐，包括爐架、的爐體、真空泵，所述的爐體內(nèi)設(shè)置有發(fā)熱體，所述的發(fā)熱體與爐體之間隔有保溫層，所述的爐體上設(shè)置有通氣孔并與真空泵相通，所述的爐體上還設(shè)置有控制所述的通氣孔開(kāi)啟或閉合的液壓油缸。該專(zhuān)利未涉及如何恰當(dāng)選用真空泵抽氣量，從其說(shuō)明書(shū)附圖可以看出，其僅僅選用一臺(tái)真空泵。
[0006]又如中國(guó)專(zhuān)利號(hào)201110254857.2，名稱(chēng)為“一種立式真空燒結(jié)爐”的發(fā)明專(zhuān)利，公開(kāi)了一種立式真空燒結(jié)爐，其包括爐體、爐架、爐蓋、升降機(jī)構(gòu)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、以及電控系統(tǒng)，其中的升降機(jī)構(gòu)包括多根絲桿、定位件，定位件沿著絲桿長(zhǎng)度方向上下運(yùn)動(dòng)，立式真空燒結(jié)爐還包括多根撐桿，撐桿具有第一工作狀態(tài)和第二工作狀態(tài)，當(dāng)處于第一工作狀態(tài)時(shí)，撐桿撐設(shè)在爐蓋口部的凸緣處，支撐著爐蓋且爐蓋與爐體脫離狀態(tài)；當(dāng)處于第二狀態(tài)時(shí)，絲桿帶動(dòng)定位件向上運(yùn)動(dòng)，撐桿脫離爐蓋口部的凸緣處，定位件抵觸在爐蓋底部的托盤(pán)上，從而將爐蓋升降或密封在爐體上。該專(zhuān)利對(duì)于爐體的爐蓋傳動(dòng)作了研究和設(shè)計(jì)，而對(duì)于真空泵抽氣量和類(lèi)型搭配同樣未能給與關(guān)注。
[0007]事實(shí)上，對(duì)于用于燒結(jié)爐的真空泵的額定抽氣量、工作點(diǎn)、以及不同時(shí)段不同工況下的不同類(lèi)型真空泵的性能互補(bǔ)配置都是值得深入探討的。
[0008]
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問(wèn)題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的真空燒結(jié)爐在選用真空泵上存在的抽氣量裕量匱乏和不同類(lèi)型真空泵配搭失衡，以致實(shí)際應(yīng)用中費(fèi)時(shí)費(fèi)電效率低浪費(fèi)大的缺陷，提供一種真空泵裕量充足、高效省電的真空泵配置方案。
[0010]本實(shí)用新型的目的是通過(guò)下述技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的:一種高真空燒結(jié)爐，包括爐體、爐門(mén)、機(jī)組系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣放氣系統(tǒng)、氣動(dòng)裝置、加熱及保溫裝置、冷卻系統(tǒng)及控制柜，爐體為設(shè)置有雙層壁水套的臥式圓筒結(jié)構(gòu)，爐門(mén)樞接在圓筒結(jié)構(gòu)的一端，爐門(mén)包括位于外層的保溫層和位于內(nèi)層的鑰帶加熱層，爐門(mén)的內(nèi)層為凸臺(tái)形狀的結(jié)構(gòu)；爐體上分布有若干個(gè)熱電偶、一個(gè)放氣閥和一個(gè)充氣閥，充氣放氣系統(tǒng)通過(guò)放氣閥和充氣閥與爐體的內(nèi)腔連通；控制柜上設(shè)有觸摸屏和以CPU為核心的控制機(jī)，熱電偶分別與CPU的輸入端連接；真空系統(tǒng)包括通過(guò)管接頭和閥門(mén)與爐體的內(nèi)腔連通的至少3級(jí)真空泵，而且真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔氣量至少大一倍以及真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求超過(guò)一個(gè)數(shù)量級(jí)，真空泵的類(lèi)型包括擴(kuò)散泵和機(jī)械真空泵；放氣閥、充氣閥及爐門(mén)的動(dòng)作由氣動(dòng)裝置控制；冷卻系統(tǒng)包括通過(guò)換熱器與雙層壁水套連接的冷卻水輸送裝置以及與換熱器配套的冷卻風(fēng)機(jī)。
[0011]臥式圓筒結(jié)構(gòu)的爐體便于橫向裝入和取出工件以及通過(guò)雙層壁水套輸送冷卻水使冷卻均勻，若干個(gè)熱電偶監(jiān)測(cè)不同部位的溫度通過(guò)控制機(jī)自動(dòng)控制加溫；充放氣系統(tǒng)在一定的工藝時(shí)段對(duì)爐體內(nèi)腔充氬氣保護(hù)工件；真空系統(tǒng)對(duì)爐體內(nèi)腔抽真空，這是稀土永磁鐵燒結(jié)的必要條件；冷卻系統(tǒng)針對(duì)爐體由于在稀土永磁鐵燒結(jié)中的外傳熱量而升溫進(jìn)行傳導(dǎo)冷卻；作為關(guān)鍵點(diǎn)，本實(shí)用新型選用至少3級(jí)真空泵，而且真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔的氣量至少大一倍，以及真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求超過(guò)一個(gè)數(shù)量級(jí)，其有益效果說(shuō)明如下:打個(gè)比方，假如把對(duì)爐體內(nèi)腔抽真空視為一場(chǎng)戰(zhàn)爭(zhēng)，則抽光爐體內(nèi)腔的空氣可以比作全殲敵人，外部氣體向爐體內(nèi)腔泄漏可比作敵之援兵，借用十大軍事原則所說(shuō)的“每戰(zhàn)集中絕對(duì)優(yōu)勢(shì)兵力(兩倍、三倍、四倍、有時(shí)甚至是五倍或六倍于敵之兵力)，四面包圍敵人，力求全殲，不使漏網(wǎng)?！η蟊苊獯蚰欠N得不償失的、或得失相當(dāng)?shù)南膽?zhàn)”的理論，采用至少3級(jí)不同類(lèi)型的真空泵，包括針對(duì)燒結(jié)工藝不同階段的粗抽真空、抽中真空、抽高真空，以及氣鎮(zhèn)階段，通過(guò)控制機(jī)自動(dòng)地有針對(duì)性地啟動(dòng)不同類(lèi)型的或全部的真空泵，這可比擬為大兵團(tuán)多兵種協(xié)同作戰(zhàn)；因?yàn)樵诔闅獾耐瑫r(shí)由于爐體內(nèi)腔的內(nèi)外壓差在不斷地?cái)U(kuò)大，顯然向爐體內(nèi)腔泄漏的速度也會(huì)隨著壓差的增大而不斷地增加，現(xiàn)有技術(shù)由于所選用的真空泵抽氣量一般裕量甚小以及配置的類(lèi)型不甚恰當(dāng)，使得抽氣時(shí)間成倍或數(shù)倍地遷延，致使泄漏的總量大增，成為名副其實(shí)的“得失相當(dāng)?shù)南膽?zhàn)”，相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型利用“集中力量打殲滅戰(zhàn)”的原則，可以達(dá)到速戰(zhàn)速?zèng)Q，快速抽光殼體內(nèi)腔的空氣，其直接意義在于大幅度減少泄漏的總量，大幅度節(jié)省時(shí)間，因之也可大量節(jié)省電力，所述各種優(yōu)點(diǎn)已被發(fā)明人通過(guò)實(shí)踐檢驗(yàn)所證實(shí)，相關(guān)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可參見(jiàn)本實(shí)用新型實(shí)施例1所述。
[0012]作為優(yōu)選，真空系統(tǒng)包括與爐體的內(nèi)腔連通且相互為并聯(lián)關(guān)系連接的主閥和粗抽閥，主閥的出口端連接擴(kuò)散泵，粗抽閥出口端的一個(gè)支路通過(guò)前級(jí)閥與擴(kuò)散泵的輸出端連接，粗抽閥出口端的另一個(gè)支路與機(jī)械真空泵連接。
[0013]作為優(yōu)選，真空泵設(shè)有4-5級(jí)，包括一級(jí)擴(kuò)散泵和3-4級(jí)機(jī)械真空泵，其中的擴(kuò)散泵為油擴(kuò)散泵，機(jī)械真空泵包括由若干臺(tái)串聯(lián)的羅茨泵所組成的羅茨泵組和若干臺(tái)并聯(lián)的機(jī)械泵所組成的機(jī)械泵組，羅茨泵組與機(jī)械泵組串聯(lián)連接。羅茨泵組尤其適用于抽中真空階段，油擴(kuò)散泵主要用于抽高真空，機(jī)械泵組重點(diǎn)在于各階段抽真空，多臺(tái)并聯(lián)特別體現(xiàn)強(qiáng)力抽氣的意義。
[0014]作為優(yōu)選，真空泵包括I臺(tái)油擴(kuò)散泵、2臺(tái)羅茨泵及至少2臺(tái)機(jī)械泵，羅茨泵組的輸入和輸出端并聯(lián)有旁路閥。
[0015]作為優(yōu)選，機(jī)械泵組由2-5臺(tái)規(guī)格和性能都相同的滑閥機(jī)械泵并聯(lián)組成。
[0016]作為優(yōu)選，羅茨泵組由抽氣量不同的2臺(tái)羅茨泵串聯(lián)組成。
[0017]作為優(yōu)選，換熱器由一臺(tái)大換熱器和一臺(tái)容量相對(duì)較小的小換熱器串聯(lián)組成。[0018]作為優(yōu)選，充氣放氣系統(tǒng)包括由GZ-25隔膜閥、GE-10隔膜網(wǎng)和氣缸閥依次串聯(lián)并通過(guò)充氣高壓管與氬氣瓶連接構(gòu)成的充氣裝置，充氣裝置連接有充氣壓力表。[0019]作為優(yōu)選，爐體上分布有3個(gè)熱電偶，其中一個(gè)布設(shè)在爐體上側(cè)，另一個(gè)布設(shè)在爐體的下側(cè)，還有一個(gè)布設(shè)在爐體上與爐門(mén)相對(duì)的另一端。
[0020]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0021]1、選用真空泵時(shí)備有充足抽氣量裕量，配備抽氣量具有絕對(duì)優(yōu)勢(shì)的真空泵，省時(shí)省電效率高；
[0022]2、不同類(lèi)型真空泵配搭，針對(duì)初抽真空、抽中真空、抽高真空各階段和燒結(jié)不同階段有機(jī)配合自動(dòng)程序控制，恰到好處和避免浪費(fèi)；
[0023]3、在羅茨泵組的輸入和輸出端并聯(lián)有旁路閥，可在粗抽真空階段將羅茨泵組短接；
[0024]4、大換熱器和小換熱器搭配，按需啟動(dòng)，不僅具有節(jié)約的意義，也具有滿足不同工藝階段所要求的最佳工況溫度精準(zhǔn)調(diào)節(jié)之所需；
[0025]5、機(jī)械泵組由2-5臺(tái)滑閥機(jī)械泵并聯(lián)組成，可選開(kāi)或全開(kāi)，機(jī)動(dòng)靈活，強(qiáng)力抽氣；
[0026]6、本實(shí)用新型性能穩(wěn)定，運(yùn)行成本低，可實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)，能有效提高爐內(nèi)氣壓場(chǎng)分布及溫度場(chǎng)分布的均勻性，實(shí)測(cè)產(chǎn)品合格率達(dá)到98%以上，具有極高的節(jié)能意義，本企業(yè)試運(yùn)行一年為企業(yè)節(jié)約成本達(dá)百萬(wàn)以上的經(jīng)濟(jì)效益。
[0027]【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0028]圖1是本實(shí)用新型一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)原理示意圖；
[0029]圖2是本實(shí)用新型一種真空泵配置連接示意圖；
[0030]圖3是包括風(fēng)冷和水冷的冷卻系統(tǒng)與爐體連接示意圖；
[0031]圖4是控制柜及擴(kuò)散泵與爐體連接示意圖。
[0032]圖中，爐體I ;旁路閥10 ;爐門(mén)11 ;放氣閥12 ;充氣閥13 ;気氣瓶14 ;控制柜2 ;擴(kuò)散泵3 ;大換熱器4 ;小換熱器41 ;回水箱42 ;冷卻風(fēng)機(jī)5 ;主閥6 ;粗抽閥7 ;前級(jí)閥8 ;大羅茨泵91 ;小羅茨泵92 ;滑閥真空泵93。
[0033]【具體實(shí)施方式】
[0034]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方案對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。
[0035]實(shí)施例1:如圖1所示，一種高真空燒結(jié)爐，包括爐體1、爐門(mén)11、機(jī)組系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣放氣系統(tǒng)、氣動(dòng)裝置、加熱及保溫裝置、冷卻系統(tǒng)及控制柜，爐體I為設(shè)置有雙層壁水套的臥式圓筒結(jié)構(gòu)，爐門(mén)11樞接在圓筒結(jié)構(gòu)的一端，爐門(mén)11包括位于外層的保溫層和位于內(nèi)層的鑰帶加熱層，保溫層用硅酸鋁石棉材料；爐門(mén)11的內(nèi)層為凸臺(tái)形狀的結(jié)構(gòu)，凸臺(tái)周邊設(shè)有與爐體配合連接的齒圈；爐體I上分布有3個(gè)熱電偶，其中一個(gè)布設(shè)在爐體I上偵U，另一個(gè)布設(shè)在爐體I的下側(cè)，還有一個(gè)布設(shè)在爐體I上與爐門(mén)11相對(duì)的另一端，熱電偶由具有二根鉬銠鉬偶絲組成，爐體I上還設(shè)有一個(gè)放氣閥12和一個(gè)充氣閥13，充氣放氣系統(tǒng)通過(guò)放氣閥12和充氣閥13與爐體I的內(nèi)腔連通；控制柜2上設(shè)有觸摸屏和以CPU為核心的控制機(jī)，熱電偶分別與CPU的輸入端連接；真空系統(tǒng)包括通過(guò)管接頭和閥門(mén)與爐體I的內(nèi)腔連通的至少3級(jí)真空泵，真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔氣量大1.5倍，真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求2個(gè)數(shù)量級(jí)，真空泵的類(lèi)型包括擴(kuò)散泵3和機(jī)械真空泵；放氣閥12、充氣閥13及爐門(mén)11的動(dòng)作由氣動(dòng)裝置控制；冷卻系統(tǒng)包括通過(guò)換熱器4與雙層壁水套連接的冷卻水輸送裝置以及與換熱器4配套的冷卻風(fēng)機(jī)5。
[0036]真空系統(tǒng)包括與爐體I的內(nèi)腔連通且相互為并聯(lián)關(guān)系連接的主閥6和粗抽閥7，主閥6的出口端連接擴(kuò)散泵3，粗抽閥7出口端的一個(gè)支路通過(guò)前級(jí)閥8與擴(kuò)散泵3的輸出端連接，粗抽閥7出口端的另一個(gè)支路與機(jī)械真空泵連接。
[0037]真空泵設(shè)有4級(jí)，包括I級(jí)擴(kuò)散泵3、2級(jí)抽氣量不同的羅茨泵相串聯(lián)，以及I級(jí)機(jī)械泵，其中的擴(kuò)散泵為油擴(kuò)散泵，型號(hào)KT-600，8-9KW/臺(tái)；2臺(tái)型號(hào)分別為EJ-1200P的大羅茨泵91和EJ-300的小羅茨泵92組成羅茨泵組，2臺(tái)相同的機(jī)械泵并聯(lián)組成機(jī)械泵組，羅茨泵組與機(jī)械泵組串聯(lián)連接，羅茨泵組的輸入端和輸出端并聯(lián)有旁路閥10。機(jī)械泵的具體型號(hào)為2H-70B滑閥真空泵93，雙級(jí)結(jié)構(gòu)，單臺(tái)抽速70升/秒，極限壓力:5X10_2 Pa，電機(jī)額定功率7.5千瓦/臺(tái)，如圖2所示。
[0038]羅茨泵組尤其適用于抽中真空階段，油擴(kuò)散泵主要用于抽高真空，機(jī)械泵組用于各階段抽真空，多臺(tái)并聯(lián)體現(xiàn)各類(lèi)泵的優(yōu)勢(shì)，特別體現(xiàn)強(qiáng)力抽氣的意義。抽低真空不用通過(guò)羅茨泵，因其中間有八字型轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵腔的間隙只有0.15mm。抽高真空時(shí)可以把2H-70B泵關(guān)閉一臺(tái)，EJ-300和EJ-1200P羅茨泵不用開(kāi)。通過(guò)它把爐內(nèi)的一般性氣體或含有少量可凝性蒸汽氣體抽出。
[0039]換熱器由一臺(tái)大換熱器4和一臺(tái)容量相對(duì)較小的小換熱器41串聯(lián)組成，換熱器配有回水箱42，如圖3所示。
[0040]充氣放氣系統(tǒng)包括由GZ-25隔膜閥、GE-10隔膜網(wǎng)和氣缸閥依次串聯(lián)并通過(guò)充氣高壓管與氬氣瓶14連接構(gòu)成的充氣裝置，充氣裝置連接有充氣壓力表，如圖4所示。
[0041]燒結(jié)爐操作工藝過(guò)程如下:
[0042]1.通過(guò)氣動(dòng)裝置打開(kāi)爐門(mén)11，把產(chǎn)品裝在置于料車(chē)上的料盤(pán)上，料車(chē)推入爐體I內(nèi)，關(guān)爐門(mén)。
[0043]2.啟動(dòng)機(jī)械泵2H-70B，當(dāng)管道閥燈亮?xí)r，過(guò)I分鐘后開(kāi)粗抽閥7，進(jìn)行抽真空，程序延時(shí)5分鐘，起動(dòng)大羅茨泵91和小羅茨泵92，進(jìn)行抽中真空；相對(duì)應(yīng)的是編導(dǎo)燒結(jié)工藝曲線，包括A#B#C#F#曲線，這一`部份工作由工藝員預(yù)先已經(jīng)輸入完成，操作A#B#C#F#的第一條曲線是燒結(jié)，第三條曲線是900°C回火，第二條曲線是540°C回火，B#C#那條曲線接一下數(shù)碼開(kāi)關(guān)就行了 ；在A#C#燒結(jié)那曲線打開(kāi)觸摸屏后，接編輯曲線鍵，按程序步驟設(shè)定幾段，再按確認(rèn)鍵和按調(diào)用曲線鍵，修改曲線號(hào)，在按調(diào)入屏內(nèi)確認(rèn)鍵，再按曲線輸入名為MR13的確認(rèn)鍵，再按主畫(huà)面反面主畫(huà)面上,觀察輸入程序?qū)Σ粚?duì)。
[0044]3.燒結(jié)爐工藝，:抽真空到9.0El-lpa，開(kāi)始加熱，此時(shí)不開(kāi)擴(kuò)散泵；加熱到300°C時(shí)保溫20分種，打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥進(jìn)行氣鎮(zhèn)20分鐘，而后關(guān)氣鎮(zhèn)閥并經(jīng)過(guò)大約5分鐘，打開(kāi)放油閥，把沉靜在油下面的水進(jìn)行排放，當(dāng)溫度在580°C…880°C之間，真空度要是降的較快，較低。約5.0El - 8.0Elpa時(shí)必須要打保持，真空度再繼續(xù)升溫。當(dāng)880°C^ 900°C之間，必須開(kāi)主閥，當(dāng)真空度達(dá)到5.0E-2pa時(shí)方可繼續(xù)升溫，當(dāng)1090°C保溫結(jié)束前20分鐘測(cè)一下壓升率完成后關(guān)加熱，自然降溫到860°C以下時(shí)，開(kāi)擴(kuò)散泵3、開(kāi)旁通閥10、停羅茨泵組繼續(xù)加熱到900°C，當(dāng)900°C結(jié)束進(jìn)行冷卻。要提前15分鐘充氣，注意充氬氣時(shí)，瓶壓力必須要留有Impa壓力，剩余的氬氣等540°C回火時(shí)再用。注意操作工每爐都要經(jīng)常檢查充氣管路不能有漏氣，檢查時(shí)可以用洗衣粉水，確認(rèn)管路不漏氣，把氬氣瓶14打開(kāi)充壓后再關(guān)上，觀察壓力表指針會(huì)不會(huì)往低端掉；當(dāng)溫度降到80°C以下時(shí)，不抽真空保氬氣壓力，繼續(xù)加熱至540°C保溫，然后由540°C冷卻到70°C以下出爐。
[0045]4.產(chǎn)品出爐，開(kāi)機(jī)械泵，開(kāi)粗抽閥，開(kāi)爐門(mén)齒圈，當(dāng)爐門(mén)齒圈開(kāi)，關(guān)粗抽閥，開(kāi)放氣閥或放氣隔膜閥。當(dāng)產(chǎn)品出爐后，關(guān)爐門(mén)，進(jìn)行抽低真空保護(hù)，抽到壓力表一0.1pa就行，要是燒結(jié)爐長(zhǎng)時(shí)間不用，必須開(kāi)羅茨泵真空計(jì)，抽到2.0EOpa就行了，最后按鈕全部關(guān)上，整個(gè)程序結(jié)束。
[0046]現(xiàn)有技術(shù)的真空燒結(jié)爐還存在一點(diǎn)不足，其往往采用較小爐腔結(jié)構(gòu)，因之單次載量少，平均耗電量大，本實(shí)用新型采用較大爐腔結(jié)構(gòu)和配置高強(qiáng)抽氣裝置，抽速上單爐比原有設(shè)備縮短了大約2小時(shí)，高真空燒結(jié)爐原裝載量為550kg，現(xiàn)在裝載量為800kg ；
[0047]在耗電量上，原真空燒結(jié)爐各用電器每爐為145kW +9kW +15kW +IlkW =180kW，合if 11115kff.h ；
[0048]現(xiàn)在高真空燒結(jié)爐每爐合計(jì)為145kW +9kff +7.5kff =161.5kff,合計(jì)7579.2kff.h，回火 145kff+7.5kff=152.5kff,合計(jì) 2260.05kff.h,共計(jì) 7579.2kff.h+2260.05kff.h=9839.25kff.h。
[0049]原有每爐生產(chǎn)所用電為11115kW.h，現(xiàn)有每爐生產(chǎn)可節(jié)約的電為1275.75kW.h，一年節(jié)電 1275.75kW.hX300 =382725kW.h，折合電費(fèi) 382725X2.47 元=945330.75 元，一年總共節(jié)約電費(fèi)945330.75元。
[0050]實(shí)施例2:真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔的氣量大2倍，真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求高2個(gè)數(shù)量級(jí)，其余結(jié)構(gòu)同實(shí)施例1。
[0051]實(shí)施例3:2Η-70Β機(jī)械泵并聯(lián)設(shè)有3臺(tái)，其余結(jié)構(gòu)同實(shí)施例1。
[0052]本實(shí)用新型適用于稀土永磁鐵燒結(jié)的高真空燒結(jié)爐，具有真空泵儲(chǔ)備有充足抽氣量裕量，不同類(lèi)型真空泵科學(xué)配搭并自動(dòng)程序控制，省時(shí)省電效率高的優(yōu)點(diǎn)，本領(lǐng)域的技術(shù)人員如果對(duì)上述
【發(fā)明內(nèi)容】
作簡(jiǎn)單的修改或替換，這樣的改變不能認(rèn)為是脫離本實(shí)用新型的范圍，所有這樣對(duì)所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見(jiàn)的修改將包括在本實(shí)用新型的權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種高真空燒結(jié)爐，包括爐體、爐門(mén)、機(jī)組系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣放氣系統(tǒng)、氣動(dòng)裝置、加熱及保溫裝置、冷卻系統(tǒng)及控制柜，其特征是，爐體為設(shè)置有雙層壁水套的臥式圓筒結(jié)構(gòu)，爐門(mén)樞接在圓筒結(jié)構(gòu)的一端，爐門(mén)包括位于外層的保溫層和位于內(nèi)層的鑰帶加熱層，爐門(mén)的內(nèi)層為凸臺(tái)形狀的結(jié)構(gòu)；爐體上分布有若干個(gè)熱電偶、一個(gè)放氣閥和一個(gè)充氣閥，充氣放氣系統(tǒng)通過(guò)放氣閥和充氣閥與爐體的內(nèi)腔連通；控制柜上設(shè)有觸摸屏和以CPU為核心的控制機(jī)，熱電偶分別與CPU的輸入端連接；真空系統(tǒng)包括通過(guò)管接頭和閥門(mén)與爐體的內(nèi)腔連通的至少3級(jí)真空泵，而且真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔氣量至少大一倍以及真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求超過(guò)一個(gè)數(shù)量級(jí),真空泵的類(lèi)型包括擴(kuò)散泵和機(jī)械真空泵；放氣閥、充氣閥及爐門(mén)的動(dòng)作由氣動(dòng)裝置控制；冷卻系統(tǒng)包括通過(guò)換熱器與雙層壁水套連接的冷卻水輸送裝置以及與換熱器配套的冷卻風(fēng)機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，真空系統(tǒng)包括與爐體的內(nèi)腔連通且相互為并聯(lián)關(guān)系連接的主閥和粗抽閥，主閥的出口端連接擴(kuò)散泵，粗抽閥出口端的一個(gè)支路通過(guò)前級(jí)閥與擴(kuò)散泵的輸出端連接，粗抽閥出口端的另一個(gè)支路與機(jī)械真空泵連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，真空泵設(shè)有4-5級(jí)，包括一級(jí)擴(kuò)散泵和3-4級(jí)機(jī)械真空泵，其中的擴(kuò)散泵為油擴(kuò)散泵，機(jī)械真空泵包括由若干臺(tái)串聯(lián)的羅茨泵所組成的羅茨泵組和若干臺(tái)并聯(lián)的機(jī)械泵所組成的機(jī)械泵組，羅茨泵組與機(jī)械泵組串聯(lián)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，真空泵包括I臺(tái)油擴(kuò)散泵、2臺(tái)羅茨泵及至少2臺(tái)機(jī)械泵，羅茨泵組的輸入和輸出端并聯(lián)有旁路閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，機(jī)械泵組由2-5臺(tái)規(guī)格和性能都相同的滑閥機(jī)械泵并聯(lián)組成。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，羅茨泵組由抽氣量不同的2臺(tái)羅茨泵串聯(lián)組成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、4或5所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，換熱器由一臺(tái)大換熱器和一臺(tái)容量相對(duì)較小的小換熱器串聯(lián)組成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，充氣放氣系統(tǒng)包括由GZ-25隔膜閥、GE-1O隔膜網(wǎng)和氣缸閥依次串聯(lián)并通過(guò)充氣高壓管與氬氣瓶連接構(gòu)成的充氣裝置，充氣裝置連接有充氣壓力表。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，爐體上分布有3個(gè)熱電偶，其中一個(gè)布設(shè)在爐體上側(cè)，另一個(gè)布設(shè)在爐體的下側(cè)，還有一個(gè)布設(shè)在爐體上與爐門(mén)相對(duì)的另一端。
【文檔編號(hào)】F27B5/05GK203443321SQ201320420279
【公開(kāi)日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月16日
【發(fā)明者】蔡鐵生, 葛文偉, 何舜強(qiáng), 杜國(guó)宏 申請(qǐng)人:東陽(yáng)市和順磁業(yè)有限公司