專利名稱：一種擴(kuò)散爐用隔熱門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種擴(kuò)散爐用隔熱門技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及高溫?cái)U(kuò)散爐領(lǐng)域，尤其是涉及一種應(yīng)用在半導(dǎo)體器件及太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中使用的高溫?cái)U(kuò)散爐的隔熱門。背景技術(shù)：
公知的，在半導(dǎo)體器件及太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)過程中，做為關(guān)鍵設(shè)備之一的高溫?cái)U(kuò)散爐是用來(lái)對(duì)P型或N型襯底進(jìn)行摻雜以在硅片表面形成PN結(jié)，從而達(dá)到改變和控制雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便在硅片上建立不同電特性區(qū)域的目的；目前，最主要的也是最普遍的就是在700 1000°C的高溫下通過擴(kuò)散爐來(lái)實(shí)施摻雜工藝，這其中，由于溫度是摻雜工藝中關(guān)鍵的參數(shù)之一，其會(huì)直接影響到PN結(jié)的深度，從而影響電阻，并最終影響到相 關(guān)器件的性能，因此，在摻雜工藝流程中對(duì)擴(kuò)散爐內(nèi)的溫度有著嚴(yán)格的要求；傳統(tǒng)高溫?cái)U(kuò)散爐的口部是依靠一塊石英平板來(lái)進(jìn)行簡(jiǎn)單的封蓋，但由于石英平板不能起到高效隔熱的作用，所以極易造成爐內(nèi)的熱量由爐口處快速流失，而此時(shí)的高溫?cái)U(kuò)散爐只能通過提高加熱功率來(lái)補(bǔ)償流失的熱量，這不但導(dǎo)致熱利用率較低，而且還極大的浪費(fèi)了能源。
發(fā)明內(nèi)容為了克服背景技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供了一種擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的隔熱門不但能夠簡(jiǎn)單有效的封蓋住高溫?cái)U(kuò)散爐的爐口，而且還能夠有效的隔離爐內(nèi)的熱輻射，減少熱量的流失。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的隔熱門包含內(nèi)門板、外門板、邊框和填充物；所述內(nèi)門板與外門板的大小吻合對(duì)應(yīng)，內(nèi)門板與外門板通過位于各自相對(duì)一端端面外緣位置的邊框連接為一中空的整體結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)的中空部位填充有隔熱保溫的填充物。所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的內(nèi)門板和外門板均為圓形結(jié)構(gòu)。所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的邊框和內(nèi)門板及外門板通過焊接或螺栓連接固定。所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的邊框框身設(shè)有至少一個(gè)通氣孔。所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的邊框?qū)?yīng)上方的框身間隔均勻的設(shè)有I 6個(gè)通氣孔。所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的通氣孔孔徑為2 8mm。所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的內(nèi)門板、外門板和邊框均由不透明石英玻璃材質(zhì)制成。所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的填充物主要成份為陶瓷纖維或石英纖維。由于采用如上所述的技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有如下有益效果本實(shí)用新型所述的擴(kuò)散爐用隔熱門采用了雙層門結(jié)構(gòu)，從而在簡(jiǎn)單有效的封蓋住高溫?cái)U(kuò)散爐的爐口同時(shí)，還通過在夾層內(nèi)填充的保溫隔熱材料有效的隔離了爐內(nèi)的高溫，使?fàn)t內(nèi)的熱量難以傳導(dǎo)至外部，即達(dá)到了隔離爐內(nèi)的熱輻射，減少熱量流失的目的。
[0019]圖I是本實(shí)用新型的示意圖。圖中1、內(nèi)門板；2、外門板；3、邊框；4、填充物；5、通氣孔。
具體實(shí)施方式
通過下面的實(shí)施例可以更詳細(xì)的解釋本發(fā)明，公開本實(shí)用新型的目的旨在保護(hù)本實(shí)用新型范圍內(nèi)的一切變化和改進(jìn)，本實(shí)用新型并不局限于下面的實(shí)施例；結(jié)合附圖I所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的隔熱門包含有由不透明石英玻璃材質(zhì)制成的內(nèi)門板I、外門板2和邊框3，以及用于隔熱保溫的主要成份為陶瓷纖維或石英纖維的填充物4 ;所述內(nèi)門板I與外門板2的大小吻合對(duì)應(yīng)，且采用了對(duì)應(yīng)高溫?cái)U(kuò)散爐爐口形狀的圓形結(jié)構(gòu)；內(nèi)門板I與外門板2通過位于各自相對(duì)一端端面外緣位置的邊框3連接為一中空的整體結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)的中空部位填充有隔熱保溫的填充物4，即在利用邊框3將內(nèi)門板I與外門板2連接固定為一體的同時(shí)，還通過邊框3將內(nèi)門板I與外門板2之間夾持的填·充物4緊密的包裹固定；為便于組裝，能夠通過焊接或螺栓將邊框3和內(nèi)門板I及外門板2連接固定為一個(gè)整體結(jié)構(gòu)；此外，在實(shí)際應(yīng)用中，為使填充物4在受到過大的熱量影響時(shí)能夠與外界進(jìn)行氣流交換，以避免填充物4自身因過熱而可能引發(fā)的相關(guān)危險(xiǎn)，能夠在邊框3對(duì)應(yīng)上方的框身上間隔均勻的設(shè)有至少I 6個(gè)孔徑為2 8mm的通氣孔5。實(shí)施本實(shí)用新型所述的擴(kuò)散爐用隔熱門時(shí)，只需通過相應(yīng)的工具將所述的隔熱門對(duì)應(yīng)封蓋在高溫?cái)U(kuò)散爐的爐口上，就是將所述隔熱門的內(nèi)門板緊密抵觸在高溫?cái)U(kuò)散爐的爐口處，使所述的隔熱門完全將擴(kuò)散爐的爐口密閉起來(lái)，此時(shí)，將所述的隔熱門固定后就能夠達(dá)到隔離擴(kuò)散爐爐內(nèi)的熱輻射，減少爐內(nèi)熱量流失的目的了。本實(shí)用新型未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)，故本實(shí)用新型未對(duì)其進(jìn)行詳述。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐用隔熱門，其特征是所述的隔熱門包含內(nèi)門板⑴、外門板⑵、邊框(3)和填充物⑷；所述的內(nèi)門板⑴與外門板(2)吻合對(duì)應(yīng)，內(nèi)門板⑴與外門板(2)通過位于各自相對(duì)一端端面外緣位置的邊框(3)連接為一中空的整體結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)的中空部位填充有隔熱保溫的填充物(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，其特征是所述的內(nèi)門板(I)和外門板(2)均為圓形結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，其特征是所述的邊框(3)和內(nèi)門板⑴及外門板(2)通過焊接或螺栓連接固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，其特征是所述的邊框(3)框身設(shè)有至少一個(gè)通氣孔(5)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，其特征是所述的邊框(3)對(duì)應(yīng)上方的框身間隔均勻的設(shè)有I 6個(gè)通氣孔(5)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，其特征是所述的通氣孔(5)孔徑為2 8mm ο
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，其特征是所述的內(nèi)門板(I)、外門板(2)和邊框(3)均由不透明石英玻璃材質(zhì)制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴(kuò)散爐用隔熱門，其特征是所述的填充物(4)主要成份為陶瓷纖維或石英纖維。
專利摘要一種涉及高溫?cái)U(kuò)散爐領(lǐng)域的擴(kuò)散爐用隔熱門，所述的隔熱門包含內(nèi)門板、外門板、邊框和填充物；所述內(nèi)門板與外門板的大小吻合對(duì)應(yīng)，內(nèi)門板與外門板通過位于各自相對(duì)一端端面外緣位置的邊框連接為一中空的整體結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)的中空部位填充有隔熱保溫的填充物；所述的隔熱門不但能夠簡(jiǎn)單有效的封蓋住高溫?cái)U(kuò)散爐的爐口，而且還能夠有效的隔離爐內(nèi)的熱輻射，減少熱量的流失。
文檔編號(hào)F27D1/18GK202734549SQ20122027294
公開日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月11日
發(fā)明者霍得生, 張磊, 孔金泉 申請(qǐng)人:上海超日(洛陽(yáng))太陽(yáng)能有限公司