專利名稱：陶瓷燒結(jié)法、燒結(jié)爐、陶瓷電子零件制法、裝置及燒結(jié)用收納體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及對于含陶瓷原料的各種處理品以做成陶瓷電子零件等的陶瓷制品的陶的燒結(jié)處理。
舉例來說，疊層型陶瓷電容器、閘極體、磁鐵鐵心、壓電體等的利用了陶瓷的陶瓷電子零件或者其它的陶瓷制品，是先將陶瓷原料成型成預(yù)定的形狀之后，再藉由對于這個(gè)成型體進(jìn)行燒結(jié)而得的。傳統(tǒng)上，使用于燒結(jié)陶瓷電子零件的燒結(jié)爐是具備隧道構(gòu)造的爐本體；和被設(shè)在爐本體上的發(fā)熱體；和向著爐內(nèi)的收納體從側(cè)面供給爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體供給管；和從爐的側(cè)面排出爐內(nèi)的氣相環(huán)境氣體的氣相環(huán)境氣體排出管；和將收納著許多尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的收納體從隧道的入口運(yùn)送到出口的推送裝置。
如圖6所示，收納體100是重疊數(shù)個(gè)在上面呈開口狀且在側(cè)面上部的中央部呈開口的盒狀的承盤101，并且在最上層的承盤101的上面又疊上一個(gè)蓋子102。這種收納體100是在被放置于支承板103上的狀態(tài)下，被導(dǎo)入到隧道式燒結(jié)爐內(nèi)。尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件則收納在各承盤101內(nèi)。
在進(jìn)行陶瓷的燒結(jié)時(shí)，制品為了要獲得所期望的特性，必須將爐內(nèi)氣相環(huán)境氣體的濃度、流量、爐內(nèi)的內(nèi)壓等等調(diào)整成預(yù)定的條件。例如必須將進(jìn)行燒結(jié)時(shí)所產(chǎn)生的不必要的氣體(N2氣相環(huán)境中的CO2氣體等)迅速地排出。傳統(tǒng)的燒結(jié)爐雖然是從爐的側(cè)面排出氣體，但是仍然有人提出“希望能夠更迅速地排出氣體”的需要。
此外，以傳統(tǒng)的方式進(jìn)行陶瓷電子零件的燒結(jié)時(shí)，必須對于收納在收納體100內(nèi)的尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件充分地供給爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體，因此，也有人提出“希望有能夠比傳統(tǒng)的收納體100具有更佳的透氣性的收納體”的需要。此外，就收納體100本身而言，最好是能夠具有良好的溫度分布且與爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體之間不易發(fā)生反應(yīng)。
本發(fā)明就是有鑒于上述情事而開發(fā)完成的，其目的在于提供可燒結(jié)出良好的陶瓷的陶瓷的燒結(jié)方法、隧道式燒結(jié)爐、陶瓷電子零件的制造方法及裝置、陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體。
為了達(dá)成上述目的，本申請人提出一種技術(shù)方案，其特征為當(dāng)利用隧道式燒結(jié)爐來燒結(jié)含陶瓷原料的尚未燒結(jié)的處理品時(shí)，對于通過隧道的處理品的行進(jìn)方向，從側(cè)方將爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體供給到爐內(nèi)，并且從爐的底部將爐內(nèi)的氣體排出。
根據(jù)本發(fā)明，從處理品的側(cè)方所供給的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體，在進(jìn)行燒結(jié)時(shí)被使用過后，隨即就從爐的底部排出。也就是說，可產(chǎn)生從處理品朝向爐的底部的穩(wěn)定氣流，所以可一直對處理品供給新鮮的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體。尤其是，因與處理品發(fā)生反應(yīng)而產(chǎn)生的不必要的氣體的比重較所供給的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體的比重更大的時(shí)候，能夠更迅速地將該不必要的氣體排出。因此，根據(jù)本發(fā)明，可在氣相環(huán)境中燒結(jié)出良好的陶瓷。
此外，本發(fā)明所提出的另一個(gè)技術(shù)方案的特征為從隧道的入口側(cè)的底部排出爐內(nèi)的氣體。
根據(jù)本發(fā)明，能夠防止因與處理品發(fā)生反應(yīng)而產(chǎn)生的不必要的氣體侵入到正在進(jìn)行燒結(jié)的區(qū)域，所以可提高正在進(jìn)行燒結(jié)的區(qū)域的氣相環(huán)境的穩(wěn)定性，其結(jié)果可防止燒結(jié)出品質(zhì)不一的陶瓷。
此外，本發(fā)明所提出的另一個(gè)技術(shù)方案是在于被供給爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體的燒結(jié)爐中燒結(jié)尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件所使用的陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體，其特征為該陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體具備互相隔著間隔重疊設(shè)置的復(fù)數(shù)個(gè)第一板體；和被配置于各第一板體的上面?zhèn)扰c該第一板體隔著間隔，且在上面供放置尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的第二板體。
根據(jù)本發(fā)明，不僅是在于被放置在第二板體上面的尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的上方空間，就連第二板體與第一板體之間的間隙也形成氣相環(huán)境氣體的通路，所以氣相環(huán)境氣體的透氣性變得很好。如此一來，可降低陶瓷電子零件的燒結(jié)品質(zhì)的不一。
茲佐以圖面，說明本發(fā)明的第一實(shí)施形態(tài)如下。


圖1是隧道式燒結(jié)爐的縱剖面圖。
圖2是沿著圖1中的A-A剖面線而從箭頭方向觀察時(shí)的橫剖面圖。
圖3是陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體的分解結(jié)構(gòu)圖。
圖4是陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體的剖面圖。
圖5是用來說明其它例子的陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體的配置的上表面圖。
圖6是傳統(tǒng)的陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體的分解結(jié)構(gòu)圖。
此處的含陶瓷原料的處理品，是舉出疊層型陶瓷電容器、疊層型電感器、閘極體等的陶瓷電子零件為例加以說明。
首先，說明本實(shí)施形態(tài)中作為燒結(jié)處理的對象品也就是尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件。例如疊層型陶瓷電容器這一類的陶瓷電子零件是以下面說明的方式來制造的。因此，在以下的說明中，是舉疊層型陶瓷電容器為例加以說明。
首先，將添加物及有機(jī)結(jié)合劑以及有機(jī)溶劑或水依預(yù)定比例混入陶瓷原料粉內(nèi)，進(jìn)行攪拌而獲得陶瓷漿液。至于陶瓷原料粉，可舉例出鈦酸鋇系；鈦酸鈣系；鈦酸鎂系等。此外，有機(jī)結(jié)合劑則可舉例出聚乙烯醇縮丁醛。有機(jī)溶劑則可舉例出乙醇。
接下來，將這個(gè)陶瓷漿液，采用“布雷德博士法”等來制作成薄片狀的胚片。其次，在這個(gè)胚片上，因應(yīng)必要來形成通孔之后，使用網(wǎng)版印刷法等，涂敷上將會成為零件的內(nèi)部電極的導(dǎo)電性金屬膏。用來構(gòu)成內(nèi)部電極的金屬是采用Pa、Ag等的貴金屬；Ni、Cu等的一般金屬，或者這些金屬的合金。而在本實(shí)施形態(tài)中，內(nèi)部電極是使用Ni。
接下來，以預(yù)定的順序?qū)τ谂咂M(jìn)行疊層壓合以制作成薄片疊層體。其次，將這種薄片疊層體裁斷成單位零件的大小，而形成尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件。其次，在這個(gè)尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件上，涂敷用來形成外部電極的導(dǎo)電性金屬膏。用來構(gòu)成外部電極的金屬是采用Pa、Ag等的貴金屬；Ni、Cu等的一般金屬，或者這些金屬的合金。而在本實(shí)施形態(tài)中，外部電極是使用Ni。
接下來，使用后述的隧道式燒結(jié)爐將這種尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件在于氣相環(huán)境中進(jìn)行燒結(jié)，以制作出經(jīng)過燒結(jié)后的陶瓷電容器。此處的燒結(jié)處理是同時(shí)包含用來去除掉結(jié)合劑成分的脫結(jié)合劑處理(預(yù)燒結(jié)處理)以及陶瓷的燒結(jié)處理(真正燒結(jié)處理)的兩者。此外，在這個(gè)燒結(jié)處理中，在于燒結(jié)出陶瓷部分的同時(shí)，也燒結(jié)出內(nèi)部電極以及外部電極。在本實(shí)施形態(tài)中，因?yàn)槭遣捎肗i作為內(nèi)部電極以及外部電極，所以是采用N2弱還原性氣相氣體。
最后，再對于外部電極實(shí)施電鍍處理而制得疊層型陶瓷電容器。
接下來，參考圖1和圖2來說明上述燒結(jié)處理所用的隧道式燒結(jié)爐。圖1是隧道式燒結(jié)爐的縱剖面圖；圖2是沿著圖1中的A-A剖面線而從箭頭方向觀察時(shí)的橫剖面圖。
如圖1和圖2所示，隧道式燒結(jié)爐是具備具有被爐壁2所圍繞而形成的隧道3的隧道爐本體1；在隧道3的上部與下部，被設(shè)置成貫穿過爐壁2的發(fā)熱體4；和用來對于隧道3供給爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體的復(fù)數(shù)個(gè)供給管5；和用來將隧道3內(nèi)的氣體排出到爐外的排出管6。尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件是被收納在放置在臺板7上的收納體20，該臺板7受到推送裝置(省略其圖標(biāo))的推送而在地板8上面從入口移動到出口。
供給管5是被配置成對收納體20的行進(jìn)方向從左右側(cè)方噴吹爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體。此外，供給管5是相對于具有多層結(jié)構(gòu)的收納體20(容后詳述)，而被上下配置復(fù)數(shù)個(gè)以對應(yīng)于收納體20的各層。復(fù)數(shù)個(gè)供給管5分別經(jīng)由閥5a連接到集合管9。集合管9又經(jīng)由流量計(jì)10而連接到爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體供給裝置(省略其圖標(biāo))。這個(gè)供給管5，是在于隧道3的入口至出口的范圍內(nèi)，隔著間隔設(shè)置在復(fù)數(shù)個(gè)地方。各供給管5的前端部的噴嘴部是前頭尖細(xì)的形狀，可提高從爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體供給裝置所供給的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體的流速，供給到收納體20的方向。又，由供給管5所供給的氣體的流速是可藉由依據(jù)流量計(jì)10的偵知結(jié)果來控制各閥5a而能夠調(diào)整。
排出管6是被配置在隧道3的入口側(cè)的底面。在排出管6也設(shè)有排氣風(fēng)扇11。這個(gè)排氣風(fēng)扇11受到變頻器電路等的驅(qū)動控制用電路12來控制其回轉(zhuǎn)數(shù)，也就是，氣相環(huán)境氣體的排出量。驅(qū)動控制用電路12是依據(jù)由設(shè)置在隧道3的出口附近的壓力察覺器13所偵知的隧道3的內(nèi)壓，來對于排氣風(fēng)扇11的回轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行回饋控制，以使得該隧道3的內(nèi)壓保持一定。如果隧道3的內(nèi)壓太過于低的話，外氣將會從隧道3的入口或出口侵入近來而破壞爐內(nèi)的氣相環(huán)境。另一方面，如果將隧道3的內(nèi)壓設(shè)定得太過于高的話，在進(jìn)行脫結(jié)合劑處理時(shí)，有時(shí)候會導(dǎo)致發(fā)生不良狀況。因此，考量到兩者的平衡點(diǎn)，最好是控制成將隧道3的內(nèi)壓維持成稍微高于外氣的大氣壓力。
接下來，參考圖3和圖4來說明前述的陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體20。
圖3是陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體的分解結(jié)構(gòu)圖；圖4是陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體的剖面圖。
收納體20是以第一層板31及第二層板41兩個(gè)為一組，將其重疊復(fù)數(shù)組，并且將蓋子21重疊上去而構(gòu)成的。第一層板31是由矩形的板狀構(gòu)件所構(gòu)成的。在第一層板31的四個(gè)角落，在上面或下面(圖中顯示的位置是上面)附設(shè)有支柱32，以便將第一層板31保持成與位于上層的第一層板31隔開預(yù)定的間隔。此外，在于第一層板31之設(shè)置了支柱32的這一側(cè)的表面上，設(shè)置著復(fù)數(shù)個(gè)方形體形狀的支承塊33。第二層板41是由矩形的板狀構(gòu)件所構(gòu)成的。再第二層板41的上面緣部，設(shè)置有防止零件散落用的方塊42。這個(gè)收納體20是可如圖4所示般地，將尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件50收納在第二層板41的上面。
此處，第一層板31的材質(zhì)最好是熱容量小且熱傳導(dǎo)率高的材質(zhì)，才不容易讓溫度分布產(chǎn)生差異。另外，為了提高收納體20的透氣性，最好加大第一層板31彼此之間的間隔以及第一層板31與第二層板41之間的間隔。因此，第一層板31是以板厚度較薄的為佳。因此，第一層板31是以在高溫下具有高強(qiáng)度的材質(zhì)為佳?；谝陨系挠^點(diǎn)，本實(shí)施形態(tài)中，是采用碳化硅(SiC)作為第一層板31的材質(zhì)。此外，第一層板31是以在高溫的弱還原性氣相環(huán)境中不易氧化的為佳。這是因?yàn)槿绻蜓趸谟诒砻娈a(chǎn)生二氧化硅氧化膜的話，將會成為污染了陶瓷電子零件表面的原因。因此，在本實(shí)施形態(tài)中，第一層板31的材質(zhì)是采用再結(jié)晶碳化硅、浸含硅的碳化硅。
又，第二層板41的材質(zhì)，最好是采用不會與陶瓷電子零件發(fā)生反應(yīng)的在高溫下的化學(xué)性穩(wěn)定的材質(zhì)。在本實(shí)施形態(tài)中，第二層板41的材質(zhì)是采用二氧化鋯(ZrO2)。又，如果是純二氧化鋯(ZrO2)的話，在1100℃時(shí)，結(jié)晶會發(fā)生變態(tài)而體積產(chǎn)生變化，很容易產(chǎn)生應(yīng)力破壞。因此，在本實(shí)施形態(tài)中，是采用穩(wěn)定化處理過的鋯(CaO穩(wěn)定化；Y2O3穩(wěn)定化)。
在本實(shí)施形態(tài)中，從上下并排設(shè)置的各供給管5供給進(jìn)去的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體是噴吹到收納體20的各第二層板41。如此一來，可對于被放置在第二層板41上的尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件均勻地供給新鮮的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體。因此，可減少因?yàn)樘沾呻娮恿慵臒Y(jié)不均勻所導(dǎo)致的特性上的不一致。又，在第二層板41的緣部，設(shè)置有塊體42，所以可防止噴吹爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體時(shí)，零件被吹落。
被供給到隧道3內(nèi)的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體，于燒結(jié)過程中與尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件發(fā)生反應(yīng)之后，將會產(chǎn)生比重較N2弱還原性爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體的比重更重的二氧化碳(CO2)氣體。這種對于燒結(jié)處理沒有助益的二氧化碳?xì)怏w，因?yàn)槠浔戎剌^重，所以會流到隧道3的底部，經(jīng)由設(shè)于底部的排出管6而被排出到爐外。因?yàn)槭菍⑴懦龉?設(shè)于隧道3的底部，所以可迅速地排出無用的氣體。特別是，本實(shí)施形態(tài)中，是將排出管6設(shè)置于隧道3的入口側(cè)的底部，所以可防止前述的無用氣體侵入到爐的中心部的主要燒結(jié)區(qū)域。如此一來，燒結(jié)區(qū)域的氣相環(huán)境維持穩(wěn)定，所以可防止發(fā)生燒結(jié)不均勻，可達(dá)成良好的燒結(jié)。此外，利用驅(qū)動用控制電路12將隧道3內(nèi)的內(nèi)壓控制成稍微高于外部大氣壓且保持一定值，所以可達(dá)成良好的燒結(jié)。
此外，本實(shí)施形態(tài)中，尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的收納體20是采用具有第一層板31及第二層板41的透氣性良好的收納體，所以可防止因除碳不足所導(dǎo)致的耐濕性的惡化。而且，尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的收納體20是采用熱容量小且熱傳導(dǎo)性高的收納體，所以可將收納體20上的溫度分布保持均勻一致。如此一來，可降低陶瓷電子零件的特性的差異。
又，本實(shí)施形態(tài)中，雖然是在臺板7上面放置一個(gè)收納體20，將其運(yùn)送到隧道3內(nèi)，但是本發(fā)明并不局限于這種方式。例如圖5所示般地，亦可將復(fù)數(shù)個(gè)小型的收納體20a互相隔著間隔放置在臺板7上面。如此一來，在各收納體20之間可形成氣相環(huán)境氣體的流通路徑，所以透氣性趨于良好。此外，采用這種配置方式的情況下，除了本實(shí)施形態(tài)所說明過的收納體20之外，即使是采用前述的傳統(tǒng)的收納體也可以獲得同樣的效果。
此外，本實(shí)施形態(tài)中，雖然是將排出管6設(shè)在隧道3的入口側(cè)的底部，但是只要能夠制作成可從隧道3的底部將氣體排出的話，即使設(shè)置在其它的位置亦無妨。例如亦可將排出管6設(shè)置在隧道3內(nèi)的行進(jìn)方向的中央部或出口部。此外，本實(shí)施形態(tài)中，雖然是將一個(gè)排出管6設(shè)在隧道3的入口側(cè)底部，但是亦可設(shè)置復(fù)數(shù)個(gè)排出管6。
此外，本實(shí)施形態(tài)中，構(gòu)成收納體20的第一層板31雖然是采用由碳化硅(SiC)所制作的矩形的板狀構(gòu)件，但是亦可采用具有其它材質(zhì)和構(gòu)造的構(gòu)件。例如第一層板31的材質(zhì)亦可采用氧化鋁或富鋁紅柱石(mullite)。又，第一層板31的構(gòu)造亦可采用例如多孔質(zhì)構(gòu)造、竹簾狀構(gòu)造、纖維質(zhì)構(gòu)造、蜂巢構(gòu)造等。再者，亦可對于第一層板31實(shí)施鍍覆二氧化鋯膜，而可免去使用第二層板41。
此外，本實(shí)施形態(tài)中，雖然是舉出還原性氣體為例來說明爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體，但是，中性的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體亦可適用于本發(fā)明。
再者，本實(shí)施形態(tài)中，構(gòu)成收納體20的第二層板41雖然是采用矩形的板狀構(gòu)件，但是亦可采用具有其它材質(zhì)或構(gòu)造的構(gòu)件。例如亦可采用纖維質(zhì)的構(gòu)件或表面形成凹凸的結(jié)構(gòu)。這些都是對于提高收納體20的透氣性具有效果。
此外，本實(shí)施形態(tài)中，雖然針對于陶瓷電子零件的一個(gè)例子是舉出疊層型陶瓷電容器的例子，但是也可以其它種類的零件。例如陶瓷電感器；閘極體；陶瓷壓電變壓器等的陶瓷型壓電體；陶瓷型濾波器等的具有陶瓷燒結(jié)制程的物品都可以適用本發(fā)明。此外，本實(shí)施形態(tài)中，具有陶瓷燒結(jié)制程的處理品雖然是舉出陶瓷電子零件的例子，但是亦可為其它的處理品。例如針對于陶瓷電路板等的制造，也可以應(yīng)用本發(fā)明的陶瓷的燒結(jié)方法以及隧道式燒結(jié)爐。
此外，本實(shí)施形態(tài)中，是將用來測定隧道3的內(nèi)壓的壓力察覺器13設(shè)在隧道3的出口側(cè)，但是亦可設(shè)在其它的地方。使用本實(shí)施形態(tài)的隧道式燒結(jié)爐來制造陶瓷電容器，并且測定靜電容量、靜電容量的分布偏差、耐電壓、耐電壓的分布偏差之后，制成表1。此處，實(shí)施例1～3是表示使用本發(fā)明的隧道式燒結(jié)爐的結(jié)果，分別是將排出管的排出口設(shè)置于隧道的底部的入口附近、出口附近和中央附近的結(jié)果。此外，比較例則是將排出管的排出口設(shè)置于隧道的上部入口附近。
從這個(gè)測定結(jié)果可知，使用實(shí)施例1～3的隧道式燒結(jié)爐所制造出來的陶瓷電容器相對于比較例而言，無論是在于靜電容量分布偏差或耐電壓分布偏差都明顯降低。這是被認(rèn)為因?yàn)楸景l(fā)明的隧道式燒結(jié)爐，其爐內(nèi)的氣相環(huán)境良好，所以其結(jié)果可以獲得燒結(jié)不均勻度較少的良好的陶瓷的原因。
經(jīng)由以上的說明可知，根據(jù)本發(fā)明所進(jìn)行的陶瓷的燒結(jié)工作，從處理品的側(cè)方所供給的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體，在進(jìn)行燒結(jié)時(shí)被使用過之后，隨即從爐的底部排出。也就是說，可以產(chǎn)生從處理品流向爐的底部的穩(wěn)定的氣流，所以一直可將新鮮的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體供給到處理品。特別是與處理品發(fā)生反應(yīng)所產(chǎn)生的無用的氣體的比重大于所供給的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體的比重的時(shí)候，可迅速地排出該無用的氣體。因此，根據(jù)本發(fā)明可在氣相環(huán)境氣體中燒結(jié)出良好的陶瓷。
此外，根據(jù)本發(fā)明的陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體，氣相環(huán)境氣體的透氣性變得很好，所以可減少陶瓷電子零件的燒結(jié)不均勻。藉此，可降低陶瓷電子零件的特性的不一致。
權(quán)利要求
1.一種陶瓷的燒結(jié)方法，系在被供給氣相環(huán)境氣體的隧道式燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié)含陶瓷原料的處理品的陶瓷的燒結(jié)方法，其特征在于對于通過爐內(nèi)的處理品的行進(jìn)方向，從側(cè)方將氣相環(huán)境氣體供給到爐內(nèi)，并且從爐的底部將爐內(nèi)的氣體排出。
2.如權(quán)利要求1所述的陶瓷的燒結(jié)方法，其特征在于是從隧道的入口側(cè)的底部排出爐內(nèi)的氣體。
3.一種隧道式燒結(jié)爐，系在氣相環(huán)境氣體中燒結(jié)含陶瓷原料的處理品的隧道式燒結(jié)爐，其特征在于具備對于通過爐內(nèi)的處理品的行進(jìn)方向從側(cè)方將氣相環(huán)境氣體供給到爐內(nèi)的氣相環(huán)境氣體供給機(jī)構(gòu)；用以從爐的底部排出爐內(nèi)氣體的氣體排出機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的隧道式燒結(jié)爐，其中前述氣體排出機(jī)構(gòu)是從隧道的入口側(cè)的底部排出爐內(nèi)的氣體。
5.一種陶瓷電子零件的制造方法，系具有在被供給了氣相環(huán)境氣體的隧道式燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié)尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的過程的陶瓷電子零件的制造方法，其特征在于前述的燒結(jié)過程是對于通過爐內(nèi)的尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的行進(jìn)方向從側(cè)方供給氣相環(huán)境氣體，并且從爐底部排出爐內(nèi)的氣體。
6.如權(quán)利要求5所述的陶瓷電子零件的制造方法，其特征在于是從隧道入口側(cè)的底部排出爐內(nèi)的氣體。
7.一種陶瓷電子零件的制造裝置，系在氣相環(huán)境氣體中燒結(jié)尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的陶瓷電子零件制造裝置，其特征在于具備隧道構(gòu)造的燒結(jié)爐本體；用來從隧道的入口至出口運(yùn)送尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的運(yùn)送機(jī)構(gòu)；對于通過爐內(nèi)的尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的行進(jìn)方向從側(cè)方供給氣相環(huán)境氣體到爐內(nèi)的氣相環(huán)境氣體供給機(jī)構(gòu)；和從爐的底部排出爐內(nèi)氣體的氣體排出機(jī)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求7所述的陶瓷電子零件的制造裝置，其特征在于從隧道入口側(cè)的底部排出爐內(nèi)的氣體。
9.一種陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體，系在被供給了氣相環(huán)境氣體的燒結(jié)爐中燒結(jié)尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件所使用的陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體，其特征在于具備互相隔著間隔重疊設(shè)置的復(fù)數(shù)個(gè)第一板體和被配置于各第一板體的上面?zhèn)扰c該第一板體隔著間隔，且在上面供放置尚未燒結(jié)的陶瓷電子零件的第二板體。
全文摘要
本發(fā)明公開一種可燒結(jié)出良好的陶瓷的陶瓷的燒結(jié)方法、隧道式燒結(jié)爐、陶瓷電子零件的制造方法及裝置、陶瓷電子零件的燒結(jié)用收納體。當(dāng)利用隧道式燒結(jié)爐來燒結(jié)含陶瓷原料的尚未燒結(jié)的處理品時(shí),對于通過隧道的處理品的行進(jìn)方向,從側(cè)方將爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體經(jīng)由供給管供給到爐內(nèi),并且從爐的底部將爐內(nèi)的氣體經(jīng)由排出管排出。如此一來,可產(chǎn)生從處理品朝向爐的底部的穩(wěn)定氣流,所以可一直對處理品供給新鮮的爐內(nèi)氣相環(huán)境用氣體。
文檔編號F27B9/00GK1332354SQ0111894
公開日2002年1月23日 申請日期2001年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2000年5月19日
發(fā)明者中西春夫, 齋藤直樹, 大鹽稔, 小泉?jiǎng)倌?申請人:太陽誘電株式會社