本發(fā)明涉及一種硅烷廢氣焚燒系統(tǒng)，具體的說(shuō)是一種用于電池、微電子、光電子工業(yè)的硅烷廢氣處理凈化系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無(wú)法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)，用于制造太陽(yáng)電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層，并且是迄今世界上唯一的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn)，包括用于制造先進(jìn)陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱(chēng)。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強(qiáng)的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
發(fā)明目的：本發(fā)明的目的是提供一種硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，安全可靠，硅烷廢氣處理效率高，無(wú)二次污染，既經(jīng)濟(jì)又環(huán)保。
技術(shù)方案：為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：
一種硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，它包括焚燒爐、多管除塵器、布袋除塵器、風(fēng)機(jī)和煙囪。
作為優(yōu)選方案，以上所述的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，所述的焚燒爐尾部與多管除塵器進(jìn)氣口相連，多管除塵器出氣口與布袋除塵器進(jìn)氣口相連，布袋除塵器出氣口與風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口相連，風(fēng)機(jī)出風(fēng)口與煙囪相連。
作為優(yōu)選方案，以上所述的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，所述的焚燒爐前端中心軸線(xiàn)上水平安裝燃燒器，所述的燃燒器上設(shè)有硅烷氣入口，助燃煤氣入口，助燃風(fēng)入口和惰性氣入口；突發(fā)狀況下用惰性氣進(jìn)行吹掃，更安全可靠。
作為優(yōu)選方案，以上所述的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，所述的焚燒爐為臥式雙爐殼結(jié)構(gòu)，由內(nèi)爐殼和外爐殼嵌套構(gòu)成內(nèi)爐殼內(nèi)部的燃燒室、外爐殼后端部的混合室和內(nèi)爐殼和外爐殼之間的夾套層。所述的外爐殼前端設(shè)有冷卻風(fēng)入口。夾套層及夾套層內(nèi)的冷卻風(fēng)同時(shí)冷卻內(nèi)爐殼和外爐殼，取代耐火材料和保溫材料，降低成本。另外，沒(méi)有耐火材料，啟爐停爐的時(shí)候無(wú)需溫度保護(hù)，可急停急啟，便于應(yīng)對(duì)突發(fā)狀況，增加操作靈活度。燃燒室可保證硅烷廢氣焚燒完全，焚燒產(chǎn)生的煙氣進(jìn)入混合室進(jìn)行冷卻，降低到適宜進(jìn)入多管除塵器的溫度。
作為優(yōu)選方案，以上所述的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，所述的內(nèi)爐殼和外爐殼前端面板重合且同中心軸。內(nèi)爐殼和外爐殼的長(zhǎng)度和半徑可根據(jù)硅烷廢氣量、助燃煤氣量和停留時(shí)間計(jì)算。
作為優(yōu)選方案，以上所述的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，所述的內(nèi)爐殼和外爐殼之間設(shè)有若干旋流片，旋流片位于內(nèi)爐殼尾部，圓周均布。旋流片不僅起到支撐內(nèi)爐殼和外爐殼的作用，也使冷卻風(fēng)以某一角度旋轉(zhuǎn)進(jìn)入混合室，增強(qiáng)混合效果，提高冷卻效率，有效降低焚燒后煙氣的溫度。
本發(fā)明提供的的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，實(shí)際操作原理為：
硅烷企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的硅烷廢氣引入燃燒器，以廠(chǎng)區(qū)自有煤氣助燃，進(jìn)入焚燒爐內(nèi)的燃燒室進(jìn)行焚燒。助燃煤氣量確保硅烷廢氣完全燃燒。焚燒產(chǎn)生的熱煙氣進(jìn)入混合室，同時(shí)以常溫空氣為冷卻風(fēng)經(jīng)夾套層和旋流片進(jìn)入混合室。冷卻風(fēng)同時(shí)冷卻內(nèi)爐殼和外爐殼，代替耐火材料和保溫材料，節(jié)省成本，增加操作靈活度。旋流片使冷卻風(fēng)和燃燒室出來(lái)的熱煙氣在混合室內(nèi)呈旋流狀混合，增強(qiáng)混合效果。整個(gè)焚燒爐保持微負(fù)壓狀態(tài)，保證氣體無(wú)泄漏，安全可靠。冷卻后的煙氣進(jìn)入多管除塵器，除去大粒徑顆粒，再進(jìn)入布袋除塵器除去剩余固體顆粒，降低對(duì)下游設(shè)備的磨損的同時(shí)提高除塵效率。經(jīng)兩級(jí)除塵處理后的達(dá)標(biāo)煙氣最終進(jìn)入煙囪排放。若遇到突發(fā)狀況，可緊急停爐并用惰性氣進(jìn)行吹掃。
有益效果：本發(fā)明提供的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)和現(xiàn)有技術(shù)相比存在以下優(yōu)點(diǎn)：
(1)本發(fā)明提供的硅烷廢氣焚燒及凈化系統(tǒng)，對(duì)硅烷氣濃度波動(dòng)適應(yīng)范圍廣，采用多管除塵器和布袋除塵器兩級(jí)除塵，除塵效率高，設(shè)備壽命長(zhǎng)且運(yùn)行成本低。
(2)本發(fā)明提供的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，工藝簡(jiǎn)單合理，安全可靠，硅烷廢氣處理效率高，無(wú)二次污染，既經(jīng)濟(jì)又環(huán)保。
附圖說(shuō)明
圖1為本發(fā)明提供的硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于
本技術(shù)：
所附權(quán)利要求所限定的范圍。
如圖1所示，一種硅烷廢氣焚燒凈化系統(tǒng)，它包括焚燒爐2、多管除塵器3、布袋除塵器4、風(fēng)機(jī)5和煙囪6。
焚燒爐2尾部與多管除塵器3進(jìn)氣口相連，多管除塵器3出氣口與布袋除塵器4進(jìn)氣口相連，布袋除塵器4出氣口與風(fēng)機(jī)5進(jìn)風(fēng)口相連，風(fēng)機(jī)5出風(fēng)口與煙囪6相連。
所述的焚燒爐2前端中心軸線(xiàn)上水平安裝有燃燒器1，所述的燃燒器1設(shè)有硅烷氣入口1-1，助燃煤氣入口1-2，助燃風(fēng)入口1-3和惰性氣入口1-4。
所述的焚燒爐2為臥式雙爐殼結(jié)構(gòu)，由內(nèi)爐殼2-1和外爐殼2-2嵌套構(gòu)成燃燒室2-4、混合室2-5和夾套層2-6。
所述的外爐殼2-2前端設(shè)有冷卻風(fēng)入口2-7。
所述的內(nèi)爐殼2-1和外爐殼2-2前端面板重合，且內(nèi)爐殼2-1和外爐殼2-2同中心軸。
所述的內(nèi)爐殼2-1和外爐殼2-2之間設(shè)有若干旋流片2-3，旋流片2-3位于內(nèi)爐殼2-1尾部，呈圓周均布。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。