濺射設(shè)備及其基板承載裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種濺射設(shè)備及其基板承載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在液晶顯示器領(lǐng)域，基板在濺射設(shè)備上的傳輸基本依靠基板承載裝置的立式傳輸，其中，如圖1所示，基板承載裝置包括側(cè)向托板100、下承托座200和上夾持座300 ;下承托座200和上夾持座300分別設(shè)于側(cè)向托板100 —面的下部和上部，側(cè)向托板100、下承托座200和上夾持座300共同構(gòu)成一個放置基板400的承載空間；上夾持座300設(shè)有多個定位卡夾500，側(cè)向托板100沿承載空間的左右兩側(cè)設(shè)有多個定位卡夾500，用于從上端、左端和右端定位基板。
[0003]使用上述現(xiàn)有技術(shù)的基板承載裝置傳輸基板400時，定位卡夾500全部打開，機械手將基板400送入承載空間，放置到下承托板200，然后定位卡夾500閉合，定位卡夾500從基板400的上端、左端和右端定位基板400，從而實現(xiàn)定位夾持，并在運輸線上運輸。但是現(xiàn)有技術(shù)的基板承載裝置，裝載基板400過程中，在機械手將基板400放置到下隨手板時，基板400有一個墜落的動作，如果操作時機械手高度太高，基板400與下承托板200碰撞，發(fā)生損壞。另外，這種基板承載裝置夾持的基板400在運輸過程中容易晃動，有脫出定位卡夾500掉落的風(fēng)險。若提高定位卡夾500的夾持力，將容易損壞基板，造成破片的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一 )要解決的技術(shù)問題
[0005]本發(fā)明的目的是提供一種基板承載裝置，避免基板裝載時墜落損壞，并進一步提高基板夾持的穩(wěn)定性；本發(fā)明還提供一種濺射設(shè)備。
[0006]( 二)技術(shù)方案
[0007]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種基板承載裝置，包括:側(cè)向托板和上夾持座；所述側(cè)向托板具有一個承托面，所述上夾持座設(shè)于承托面的上側(cè)；所述上夾持座設(shè)有多個夾持器，用于夾持所述基板；所述承托面的左右兩側(cè)分別設(shè)有多個定位卡夾，用于從基板的左右兩端定位所述基板。
[0008]其中，該基板承載裝置還包括承托底座，所述承托底座設(shè)于所述承托面的下側(cè)，且與所述上夾持座相對布置；所述承托底座設(shè)有承托單元，用于從下端向上承托所述基板。
[0009]其中，所述承托單元包括多個定位卡夾。
[0010]其中，所述承托單元包括支撐氣缸和支撐板，所述支撐氣缸設(shè)于承托底座，所述支撐板設(shè)于支撐氣缸的活塞桿。
[0011 ] 其中，所述上夾持座和承托底座均由鋁合金制成。
[0012]其中，所述夾持器包括:轉(zhuǎn)動驅(qū)動器、轉(zhuǎn)動臂、固定夾板和活動夾板，所述固定夾板設(shè)于所述上夾持座，所述活動夾板的上端與所述固定夾板的上端通過鉸鏈相鉸接，所述轉(zhuǎn)動臂的擺動端與所述活動夾板固定連接，所述轉(zhuǎn)動臂的驅(qū)動端與所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動器相連接，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動器通過轉(zhuǎn)動臂驅(qū)動所述活動夾板繞所述鉸鏈轉(zhuǎn)動，使所述活動夾板與固定夾板閉合或者打開。
[0013]其中，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動器為氣缸，所述氣缸的缸筒鉸接于所述上夾持座，所述氣缸的活塞桿與所述轉(zhuǎn)動臂的驅(qū)動端相鉸接。
[0014]其中，所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動器包括伺服電機和可在所述伺服電機驅(qū)動下轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)動臂的驅(qū)動端設(shè)有滑槽，所述轉(zhuǎn)盤設(shè)有凸軸，所述凸軸可滑動地插設(shè)于所述滑槽。
[0015]其中，所述固定夾板和所述活動夾板閉合時相對的一面設(shè)有夾持軟墊。
[0016]其中，所述夾持軟墊由毛氈或者橡膠制成。
[0017]本發(fā)明還提供一種濺射設(shè)備，包括上述所述的基板承載裝置。
[0018](三)有益效果
[0019]本發(fā)明提供的濺射設(shè)備及其基板承載裝置，在上夾持座設(shè)置夾持器，基板在裝載過程中，機械手運送基板到位后，由夾持器夾持且吊掛，基板無墜落動作，減少基板損壞的風(fēng)險；同時，承托面的下側(cè)設(shè)有承托底座，承托底座設(shè)置承托單元，使基板的六自由度均被限定，提尚基板夾持的穩(wěn)定性，避免基板掉洛損壞，進一步保證基板運輸?shù)陌踩浴?br>【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的基板承載裝置的正視圖；
[0021]圖2為本發(fā)明的基板承載裝置實施例1的正視圖；
[0022]圖3為本發(fā)明的基板承載裝置實施例1的左視圖；
[0023]圖4為圖3中A部分放大圖；
[0024]圖5為本發(fā)明的基板承載裝置實施例2的左視圖；
[0025]圖6為圖5中B部分放大圖；
[0026]圖7為本發(fā)明的基板承載裝置實施例2的正視圖。
[0027]圖中，100:側(cè)向托板；200:下承托座；300:上夾持座；400:基板；500:定位卡夾；
10:側(cè)向托板；20:承托底座；30:上夾持座；40:基板；50:定位卡夾；60:承托單元；61:支撐氣缸；62:支撐板；70:夾持器；71:固定夾板；72:活動夾板；73:鉸鏈；74:轉(zhuǎn)動臂；75:氣缸；76:伺服電機；77:轉(zhuǎn)盤；78:凸軸；741:滑槽；712:夾持軟墊。
【具體實施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0029]如圖2至4所示，本發(fā)明提供一種基板承載裝置，包括:側(cè)向托板10和上夾持座30。側(cè)向托板10具有一個承托面11，如圖2所示，側(cè)向托板11的前面作為承托面11，上夾持座30設(shè)于承托面11的上側(cè)。上夾持座30設(shè)有多個夾持器70，用于夾持基板40。如圖2所示，夾持器70的數(shù)量為3個，但不限于3個。承托面11的左右兩側(cè)分別設(shè)有多個定位卡夾50，用于從基板40的左右兩端定位基板40。
[0030]使用時，定位卡夾50和夾持器70均打開，機械手將基板40運送到基板承載裝置，夾持器70首先閉合夾持基板40，然后定位卡夾50閉合，從基板40的左右兩端定位。本發(fā)明采用夾持器夾持基板40，將基板40吊掛在基板承載裝置的夾持座上，基板40在裝載到基板承載裝置時，不需要將基板40放下，基板40無下墜的動作，避免基板40損壞。同時，承托面11左右兩側(cè)的定位卡夾50從基板40的左右兩端進行定位，基板40的在運輸過程