專利名稱：基板傳送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種基板傳送系統(tǒng)，尤其涉及一種化學(xué)氣相沉積裝置中的基板傳送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電，其生產(chǎn)過程能耗低，具備大幅度降低原料和制造成本的潛力，因此，市場對薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長而制造薄膜太陽能電池的技術(shù)和設(shè)備更成為近年來的研究熱點(diǎn)?；瘜W(xué)氣相沉積設(shè)備是常用的薄膜太陽能電池制造設(shè)備。而制造薄膜太陽能電池的電極通常采用低壓化學(xué)氣相沉積裝置來完成。在前述的低壓化學(xué)氣相沉積裝置中，用于制造薄膜太陽能電池的玻璃基板將被基板傳送系統(tǒng)從玻璃基板承載室傳送到玻璃基板處理腔中，然后在所述玻璃基板處理腔中，所述玻璃基板將 被所述基板傳送系統(tǒng)調(diào)整到某一高度位置，以便對所述玻璃基板機(jī)進(jìn)行低壓化學(xué)氣相沉積處理。也即，所述玻璃基板在所述低壓化學(xué)氣相沉積裝置中要完成兩個方向的運(yùn)動，即前后移動和上下移動。所述前后移動用以將所述玻璃基板傳輸?shù)讲煌那皇抑校錾舷乱苿佑靡詫⑺霾ＡЩ逭{(diào)整到預(yù)定的高度位置，以便對所述玻璃基板進(jìn)行前述的低壓化學(xué)氣相沉積處理。在現(xiàn)有技術(shù)中，所述基板傳送系統(tǒng)中通常采用滾輪或輥裝置，所述滾輪或輥可以作軸向運(yùn)動，以在基座的抬升銷的配合下，完成所述玻璃基板的上下移動，所述滾輪或輥還可以滾動，已完成所述玻璃基板的前后移動。圖I為示出了公開號為CN101636522A的中國專利文件中揭示的基板傳送系統(tǒng)，所述基板傳送系統(tǒng)包括滾輪或輥36，滾輪或輥36可以作軸向伸縮運(yùn)動，當(dāng)可豎直移動的抬升銷(圖未示)升起基板到預(yù)定高度后，所述滾輪或輥36伸出，支向所述基板底部，并開始滾動，以便實(shí)現(xiàn)對所述基板的傳送。由于所述滾輪或輥需要作軸向運(yùn)動，并且在基座的抬升銷的配合下，才能完成所述玻璃基板的上下移動及定位，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不僅提高了基板傳送系統(tǒng)的制造成本，并且容易引起設(shè)備故障。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單并可降低成本的基板傳送系統(tǒng)。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種基板傳送系統(tǒng)，應(yīng)用于一處理設(shè)備中以傳送基板，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳送所述基板的傳動部件、動力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述動力機(jī)構(gòu)可以為所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動力，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)分別與所述傳動部件連接，用于驅(qū)動所述傳動部件升降運(yùn)動或者旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，所述處理設(shè)備具有處理腔室，所述處理腔室內(nèi)設(shè)有襯底支承座，其中，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)在動力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下帶動所述傳動部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上。優(yōu)選地，所述襯底支承座的寬度小于左右兩側(cè)傳動部件之間的間距以使得所述傳動部件下降時穿過所述襯底支承座的兩側(cè)。優(yōu)選地，所述襯底支承座的寬度大于或者等于所述基板的寬度，所述襯底支承座上設(shè)置收容空間以供所述傳動部件穿過。優(yōu)選地,所述動力機(jī)構(gòu)包括為所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)用動力的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)、連接軸以及鏈條。優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括與所述鏈條相連接的軟軸以及與所述軟軸相連接的傘齒輪對，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)通過馬達(dá)帶動所述連接軸與所述鏈條旋轉(zhuǎn)動力依次傳輸至軟軸、傘齒輪對，所述傘齒輪對的旋轉(zhuǎn)將引起所述傳動部件的轉(zhuǎn)動以帶動所述基板的前后移動。優(yōu)選地，所述動力機(jī)構(gòu)包括為所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)提供升降動力的升降驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)，所述升降驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)包括氣缸、在氣缸內(nèi)上下運(yùn)動的活塞桿以及連接活塞桿的橫桿。優(yōu)選地，所述傳動部件具有傳動軸，所述基板傳送系統(tǒng)包括所述裝設(shè)所述傳動軸的支座，所述支座的上升或者下降運(yùn)動可以引起所述傳動部件的升降運(yùn)動。優(yōu)選地，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括連接所述支座及橫桿的導(dǎo)向桿、與所述導(dǎo)向桿連接的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述支座通過導(dǎo)向桿、橫桿在位于前后各一個的活塞桿的同時上下移動和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的作用下實(shí)現(xiàn)升降移動，所述傳動部件通過連接在支座上的傳動軸實(shí)現(xiàn)升降移動，從而實(shí)現(xiàn)所述基板的升降移動。優(yōu)選地，所述傳動部件為設(shè)置在處理腔室內(nèi)的一滾輪或輥。本實(shí)用新型的升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)在動力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下帶動所述傳動部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上，這使得基板傳送系統(tǒng)結(jié)構(gòu)更為簡單，并且降低了設(shè)備成本。

圖I是現(xiàn)有技術(shù)的基板傳送系統(tǒng)的不意圖；圖2是本實(shí)用新型的處理腔室上蓋打開后的基板傳送系統(tǒng)的一個實(shí)施例子的俯視圖；圖3是沿圖2的AA線所得的剖面示意圖；圖4是圖3所示的基板傳送系統(tǒng)的傳動部件下降后的示意圖。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖2、3所示，本實(shí)用新型的基板傳送系統(tǒng)應(yīng)用于一處理設(shè)備(未有圖示)中，所述處理設(shè)備在本實(shí)用新型的最佳實(shí)施例子中是低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要用于制造薄膜太陽能電池的電極。具體地，所述處理設(shè)備具有處理腔室20，所述處理腔室20內(nèi)設(shè)置有襯底支承座15用于放置待處理的基板13，所述基板在本實(shí)用新型中是用于制造薄膜太陽能電池的玻璃基板。所述處理腔室20具有上蓋(未圖示)，所述上蓋用于封閉所述處理腔室以使之形成真空環(huán)境，以便對所述基板13進(jìn)行處理。圖2示出了所述處理腔室的上蓋打開后的基板傳送系統(tǒng)的俯視圖，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳動部件6、動力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)和密封裝置，所述動力機(jī)構(gòu)用于為所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動力，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)分別與所述傳動部件6相連，用以驅(qū)動所述傳動部件升降運(yùn)動或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，所述傳動部件6、所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)和所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)均設(shè)置在所述處理腔室20內(nèi)，所述密封裝置用于密封連接所述動力機(jī)構(gòu)與所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)或所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)。繼續(xù)參圖2、圖3所示,所述動力機(jī)構(gòu)包括升降驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)I、連接軸3、鏈條2,所述升降驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)包括氣缸
7、在氣缸7內(nèi)上下運(yùn)動的活塞桿9以及連接活塞桿9的橫桿8。所述傳動部件6在本實(shí)施方式中為設(shè)置在處理腔室20內(nèi)的一滾輪或輥，所述傳動部件6具有傳動軸(未標(biāo)號)，所述傳動軸裝設(shè)在支座11上，所述支座11的上升或者下降運(yùn)動可以引起所述傳動部件6的升降運(yùn)動。正如本領(lǐng)域一般技藝人士所熟知，所述傳動部件6為多個。由于本實(shí)施例子中的傳動部件6設(shè)置在所述處理腔20內(nèi)，本實(shí)施例子不需設(shè)置任何用于密封傳動部件6的密封 傳動機(jī)構(gòu)，節(jié)省了成本，也避免了因密封傳動機(jī)構(gòu)導(dǎo)致的任何設(shè)備故障。所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括連接所述支座11及橫桿9的導(dǎo)向桿14、與所述導(dǎo)向桿14連接的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)12，所述支座11通過導(dǎo)向桿14、橫桿9在位于前后各一個的活塞桿8的同時上下移動和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)12的作用下實(shí)現(xiàn)上下移動；傳動部件6通過連接在支座11上的軸實(shí)現(xiàn)升降移動，從而實(shí)現(xiàn)基板13的上下升降移動。所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括與所述鏈條2相連接的軟軸4、與所述軟軸4相連接的傘齒輪對5。在實(shí)際生產(chǎn)過程中，基板13需要被從一個腔室傳輸?shù)搅硗庖粋€腔室中，例如在本實(shí)施例子中，基板13需從加載腔室(未圖示)傳輸?shù)剿鎏幚砬皇?0，然后從所述處理腔室20再傳出到卸載腔(未圖示)。也即背景技術(shù)中提到的基板需要實(shí)現(xiàn)前后移動，如要實(shí)現(xiàn)基板的前后移動，首先所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)通過馬達(dá)I帶動所述連接軸3與所述鏈條2，將所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力依次傳輸至軟軸4、傘齒輪對5，然后所述傘齒輪對5的旋轉(zhuǎn)將引起所述傳動部件6的轉(zhuǎn)動，從而實(shí)現(xiàn)將基板13從一個腔室傳輸?shù)搅硗庖粋€腔室，也即實(shí)現(xiàn)對所述基板13的如后移動。此外，在基板13的傳輸過程中，所述基板13將被所述基板傳送系統(tǒng)調(diào)整到某一高度位置，以便對所述基板13進(jìn)行所述低壓化學(xué)氣相沉積處理。也即，所述基板還要完成上下方向的升降運(yùn)動，以便基板13可以被傳輸?shù)教幚砬皇?0中，并被平穩(wěn)安全的放置在所述襯底支承座15上。具體地，要完成上述的基板13的升降運(yùn)動，需要所述傳動部件6進(jìn)行升降運(yùn)動。關(guān)于所述傳動部件6的升降運(yùn)動的完成，所述支座11通過導(dǎo)向桿14、橫桿9在位于前后各一個的活塞桿8的同時上下移動和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)12的作用下實(shí)現(xiàn)升降運(yùn)動；進(jìn)而使傳動部件6通過連接在支座11上的軸實(shí)現(xiàn)升降運(yùn)動。圖4是圖3所示的基板傳送系統(tǒng)的傳動部件6下降后的示意圖，如圖4所示，所述傳動部件6通過前后移動將所述基板13傳輸?shù)教幚砬皇?0后，所述傳動部件6在升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下下降，由于所述襯底支承座15的寬度要較所述基板13的寬度小，即所述襯底支承座15的寬度小于左右兩側(cè)傳動部件6之間的間距，從而使得所述傳動部件6可以穿過所述襯底支承座15的兩側(cè)，進(jìn)而使得所述基板13可以被放置在所述襯底支承座15上。本實(shí)用新型的傳動部件6通過升降移動穿過所述襯底支承座15即可實(shí)現(xiàn)基板13的可靠放置，避免了現(xiàn)有技術(shù)中傳動部件6軸向移動或擺動同時需要抬升銷升起以承載所述基板13的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，因此，本實(shí)用新型的基板傳送系統(tǒng)結(jié)構(gòu)更為簡單，并且降低了設(shè)備成本。另外，在實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述襯底支承座15的寬度也可以較所述基板13的寬度大或相同，此時，襯底支承座15上設(shè)置收容空間以供所述傳動部件6穿過，從而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座15上，同樣可以達(dá)成本實(shí)用新型的目的。 盡管本實(shí)用新型的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實(shí)施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到上述的描述不 應(yīng)被認(rèn)為是對本實(shí)用新型的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對于本實(shí)用新型的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。
權(quán)利要求1.一種基板傳送系統(tǒng)，應(yīng)用于一處理設(shè)備中以傳送基板，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳送所述基板的傳動部件、動力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述動力機(jī)構(gòu)可以為所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動力，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)分別與所述傳動部件連接，用于驅(qū)動所述傳動部件升降運(yùn)動或者旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，所述處理設(shè)備具有處理腔室，所述處理腔室內(nèi)設(shè)有襯底支承座，其特征在于，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)在動力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下帶動所述傳動部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上。
2.如權(quán)利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述襯底支承座的寬度小于左右兩側(cè)傳動部件之間的間距以使得所述傳動部件下降時穿過所述襯底支承座的兩側(cè)。
3.如權(quán)利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述襯底支承座的寬度大于或者等于所述基板的寬度，所述襯底支承座上設(shè)置收容空間以供所述傳動部件穿過。
4.如權(quán)利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，動力機(jī)構(gòu)包括為所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)用動力的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)、連接軸以及鏈條。
5.如權(quán)利要求4所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括與所述鏈條相連接的軟軸以及與所述軟軸相連接的傘齒輪對，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)通過馬達(dá)帶動所述連接軸與所述鏈條旋轉(zhuǎn)動力依次傳輸至軟軸、傘齒輪對，所述傘齒輪對的旋轉(zhuǎn)將引起所述傳動部件的轉(zhuǎn)動以帶動所述基板的前后移動。
6.如權(quán)利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述動力機(jī)構(gòu)包括為所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)提供升降動力的升降驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)，所述升降驅(qū)動動力機(jī)構(gòu)包括氣缸、在氣缸內(nèi)上下運(yùn)動的活塞桿以及連接活塞桿的橫桿。
7.如權(quán)利要求6所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動部件具有傳動軸，所述基板傳送系統(tǒng)包括裝設(shè)所述傳動軸的支座，所述支座的上升或者下降運(yùn)動可以引起所述傳動部件的升降運(yùn)動。
8.如權(quán)利要求7所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括連接所述支座及橫桿的導(dǎo)向桿、與所述導(dǎo)向桿連接的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述支座通過導(dǎo)向桿、橫桿在位于前后各一個的活塞桿的同時上下移動和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的作用下實(shí)現(xiàn)升降移動，所述傳動部件通過連接在支座上的傳動軸實(shí)現(xiàn)升降移動，從而實(shí)現(xiàn)所述基板的升降移動。
9.如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動部件為設(shè)置在處理腔室內(nèi)的一滾輪或輥。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種基板傳送系統(tǒng)，其應(yīng)用于一處理設(shè)備中，以傳送所述處理設(shè)備中的基板，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳送所述基板的傳動部件、動力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述動力機(jī)構(gòu)可以為所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動力，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)分別與所述傳動部件連接，用于驅(qū)動所述傳動部件升降運(yùn)動或者旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，所述處理設(shè)備具有處理腔室，所述處理腔室內(nèi)設(shè)有襯底支承座，所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)在動力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下帶動所述傳動部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上。
文檔編號B65G13/12GK202594391SQ20122018788
公開日2012年12月12日 申請日期2012年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月27日
發(fā)明者李一成, 李冠龍 申請人:理想能源設(shè)備(上海)有限公司