專利名稱:晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)的晶圓傳輸盒(Pod),具體地說,涉及 一種晶圓傳輸盒上用于固定電子標(biāo)簽的輔助固定元件。
背景技術(shù):
目前,半導(dǎo)體制造工廠內(nèi),晶圓傳輸盒是主要的晶圓存放傳輸裝置, 一般 可垂直存放25片晶圓。晶圓傳輸盒面向工作人員的一側(cè)安裝有電子標(biāo)簽(tag) 和以及存放紙標(biāo)簽的塑料的標(biāo)簽袋。電子標(biāo)簽用于記錄晶圓傳輸盒內(nèi)各種信息, 包括晶圓尺寸、用途、批號以及需要執(zhí)行的工序等等。 一些無法輸入電子標(biāo)簽 中的信息,則采用手寫的方式記錄在標(biāo)簽袋中的紙標(biāo)簽上,以方便工作人員在 制造過程中查詢信息。
晶圓傳輸盒在靠近底端的位置設(shè)有夾持部,其中間設(shè)有一個自上向下延伸 的狹槽。電子標(biāo)簽安裝有一個固定件,固定件的底端是一個可插入狹槽的插入 板,插入板兩側(cè)設(shè)有螺紋孔。安裝時,電子標(biāo)簽的插入板插入固定件的狹槽內(nèi), 然后采用螺絲旋入所述螺紋孔內(nèi)進一步固定。使用過程中,因為如更換電池、 修理維護等各種原因常常需要拆卸電子標(biāo)簽。夾持部具有一定的使用壽命,多 次拆卸很容易損壞夾持部。 一旦夾持部不能使用,整個傳輸盒就報廢不能使用 了。晶圓傳輸盒的成本《艮高,在晶圓傳輸盒報廢原因分析時發(fā)現(xiàn),將近25%的 晶圓傳輸盒報廢是因為電子標(biāo)簽的固定件損壞造成的。
實用新型內(nèi)容
有鑒于此,本實用新型解決的技術(shù)問題是提供一種晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽 的輔助固定元件,其可與傳輸盒的夾持部共同或者代替夾持部固定電子標(biāo)簽。
為解決上述技術(shù)問題,本實用新型提供了一種晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔 助固定元件。所述晶圓傳輸盒具有頂面、安裝電子標(biāo)簽的前端面以及i殳有前端面底部的固定電子標(biāo)簽的夾持部。所述輔助固定元件包括沿晶圓傳輸盒頂面延 伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且與夾持部位置對
應(yīng)的下固定板;其中所述下固定板與所述夾持部共同或者代替夾持部固定電子 標(biāo)簽。
本實用新型提供的晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件,其與傳輸盒本 身的夾持部一起固定電子標(biāo)簽,在夾持部部分損壞的情況下,也可以起到固定 電子標(biāo)簽的作用;另外,即使夾持部完全損壞了,只要輔助元件具有足夠的強 度和硬度,也可以代替夾持部固定電子標(biāo)簽, 一定程度上提高了晶圓傳輸盒的 利用率。
圖1為本實用新型實施例中的輔助固定元件的立體示意圖2為圖1所示輔助固定元件安裝在晶圓傳輸盒上的立體示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件其中 一實施例進行描述,以進一步理解本實用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。
請參閱圖2,首先定義晶圓傳輸盒l(wèi)用于安裝電子標(biāo)簽2和標(biāo)簽袋3的端面 為前端面ll。標(biāo)簽袋3用于存^t紙標(biāo)簽31,標(biāo)簽袋3頂端"i殳有兩個固定孔30, 分別與設(shè)于傳輸盒1的頂端面12的兩上螺紋孔(未標(biāo)示)相對應(yīng)。
電子標(biāo)簽2的背面安裝有狹長的固定板20 ,且固定板20上設(shè)有兩個下螺紋 孔201。傳輸盒1底部兩側(cè)各設(shè)置一個夾持部13,每一個夾持部13具有一個自 上向下延伸的狹長凹槽,用于收容固定所述電子標(biāo)簽2的固定板20。
本實用新型提供了一種輔助夾持部13固定電子標(biāo)簽2的輔助固定元件4, 如圖1所示。請參閱圖1結(jié)合圖2,該輔助固定元件4包括沿傳輸盒1頂端面 12延伸的上固定板41以及沿傳輸盒1前端面11延伸的支架,所述支架為彼此 分離向下延伸的兩子支架42。所述上固定板41i殳有與傳輸盒l(wèi)頂端面12的兩 上螺紋孔位置對應(yīng)的通孔410。每一子支架42的末端彎折形成下固定板43,位 置與電子標(biāo)簽2的夾持部13相對應(yīng)。兩下固定板43末端設(shè)有朝向彼此延伸的延伸部,延伸部上設(shè)有與下螺紋孔201對應(yīng)的輔助螺紋孔430。
安裝時,首先將輔助固定元件4安裝在傳輸盒1上,然后安裝標(biāo)簽袋3,采 用螺絲依次穿過固定孔30和通孔410 3走入上螺紋孔內(nèi),以將輔助固定元件4和 標(biāo)簽袋3的頂端固定。輔助固定元件4的下固定板43位于傳輸盒1的夾持部13 附近,如果夾持部13部分損壞,下固定板43可以起到進一步固定的作用。如 果夾持部13完全損壞,只要輔助固定元件4具有足夠的強度和硬度,通過下螺 紋孔201和輔助螺紋孔430可以將電子標(biāo)簽穩(wěn)定安全的固定在該位置上。
進一步地,所述輔助固定元件的兩子支架42對應(yīng)標(biāo)簽袋3底部位置處向外、 向上延伸的彈片420。晶圓運輸過程中,所述彈片420將標(biāo)簽袋3底部夾住固定, 這樣,就有效避免了在運輸過程中因標(biāo)簽袋3搖擺產(chǎn)生不必要當(dāng)機的狀況。
需要說明的是,所述輔助固定元件4可以采用塑料材料、不銹鋼,也可以 采用其他可以適合的任何材料。另外,只要輔助固定元件4具有足夠的剛度和 強度,即使傳輸盒夾持部13完全損壞了 ,也可以達到穩(wěn)定固定電子標(biāo)簽的作用, 提高了傳輸盒的利用率,有效降低了工廠的生產(chǎn)成本。
上述描述,僅是對本實用新型較佳實施例的描述,并非對本實用新型的任 何限定,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)上述揭示內(nèi)容進行簡單修 改、添加、變換,且均屬于權(quán)利要求書中保護的內(nèi)容。
權(quán)利要求1.一種晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件,所述晶圓傳輸盒具有頂面、安裝電子標(biāo)簽的前端面以及設(shè)于前端面底部的固定電子標(biāo)簽的夾持部,其特征在于,所述輔助固定元件包括沿晶圓傳輸盒頂面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且與夾持部位置對應(yīng)的下固定板;其中所述下固定板與所述夾持部共同或者代替夾持部固定電子標(biāo)簽。
2. 如權(quán)利要求1所述的圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件,其特征在于,所 述晶圓傳輸盒設(shè)有存放紙標(biāo)簽的標(biāo)簽袋,所述輔助固定元件的支架上設(shè)有固定 標(biāo)簽袋底部的彈片。
3. 如權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件,其特征在于, 所述支架包括自上固定板延伸的彼此分離的兩子支架。
4. 如權(quán)利要求3所述的晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件,其特征在于, 所述下固定板為每一子支架末端彎折形成,且設(shè)有用于固定電子標(biāo)簽的輔助螺 紋孔。
5. 如權(quán)利要求4所述的晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件,其特征在于, 所述固定板設(shè)有朝向彼此延伸的延伸部,所述輔助螺紋孔設(shè)置在延伸部上。
6. 如權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸盒上電子標(biāo)簽的輔助固定元件,其特征在于, 所述晶圓傳輸盒設(shè)有自其頂面延伸的上螺紋孔,所述輔助固定元件的上固定板 設(shè)有與上螺紋孔對應(yīng)的通孔;安裝時,利用螺絲穿過通孔旋入對應(yīng)的上螺紋孔 內(nèi)以將輔助固定元件的上固定板固定。
專利摘要本實用新型公開了一種晶圓傳輸盒上用于固定電子標(biāo)簽的輔助固定元件。所述輔助固定元件包括沿晶圓傳輸盒頂面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且與夾持部位置對應(yīng)的下固定板;其中所述下固定板與所述夾持部共同或者代替夾持部固定電子標(biāo)簽。本實用新型提供的輔助固定元件可以與傳輸盒本身的夾持部一起固定電子標(biāo)簽,在夾持部部分損壞的情況下,也可以起到固定電子標(biāo)簽的作用;另外,即使夾持部完全損壞了,只要輔助元件具有足夠的強度和硬度,也可以代替夾持部固定電子標(biāo)簽,一定程度上提高了晶圓傳輸盒的利用率。
文檔編號B65D1/40GK201163612SQ20082005503
公開日2008年12月10日 申請日期2008年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月24日
發(fā)明者鵬 任, 李洪燕, 杰 程, 海 馬 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司