真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，包括：連接管，一側(cè)與用于供給原料氣體的原料氣體供給部相連接；第一氣體移動(dòng)管，外周面形成有連通孔以及第一噴射孔，所述連通孔與連接管的一端相連接，以使與連接管連通，所述第一噴射孔用于噴射通過連接管流入的原料氣體；第二氣體移動(dòng)管，內(nèi)部收容有第一氣體移動(dòng)管，外周面形成有第一插入孔以及第二噴射孔，所述第一插入孔使連接管的預(yù)定部分插入，以使連接管的一端與第一氣體移動(dòng)管的連通孔相連接，所述第二噴射孔用于噴射從所述第一氣體移動(dòng)管流入的所述原料氣體。
【專利說明】真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，更詳細(xì)地，涉及一種向氣體移動(dòng)管的中央流入原料氣體，隨著離氣體移動(dòng)管的兩側(cè)越近，用于噴射原料氣體的噴射孔的數(shù)量越多，以使能夠向基板的一面噴射均勻量的原料氣體的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴。

【背景技術(shù)】
[0002]一般而言，真空噴鍍裝置是一種利用對原料物質(zhì)實(shí)施蒸發(fā)而獲得的原料氣體，向基板噴鍍薄膜的裝置。更詳細(xì)地，真空噴鍍裝置是一種在真空狀態(tài)下對原料物質(zhì)實(shí)施蒸發(fā)，并通過噴嘴來向基板噴射原料物質(zhì)經(jīng)蒸發(fā)而生成的原料氣體，以此來向基板噴鍍薄膜的裝置。
[0003]以往的真空噴鍍裝置包括:第一氣體移動(dòng)管，使所述原料氣體供給并移動(dòng)，且外周面形成有用于噴射所述原料氣體的噴射孔；第二氣體移動(dòng)管，用于收容所述第一氣體移動(dòng)管，向基板的一面噴射從所述第一氣體移動(dòng)管噴射的所述原料氣體。所述第一氣體移動(dòng)管的一側(cè)與原料氣體供給部相連接，接收由所述原料氣體供給部供給的原料氣體。在此情況下，所述第一氣體移動(dòng)管的所述噴射孔的數(shù)量密度以與所述原料氣體供給部相連接的所述第一氣體移動(dòng)管的一側(cè)為中心，隨著與所述第一氣體移動(dòng)管的一側(cè)的距離增加而增加或者所述噴射孔密集形成在所述第一氣體移動(dòng)管的中央。隨之，流入所述第一氣體移動(dòng)管的所述原料氣體通過所述噴射孔來流入到第二氣體移動(dòng)管，并向所述基板的一面噴射。
[0004]但是，當(dāng)所述噴射孔以其數(shù)量密度隨著與所述第一氣體移動(dòng)管的一側(cè)的距離增加而增加的方式形成時(shí)，從與所述原料氣體供給部相連接的所述第一氣體移動(dòng)管的一側(cè)噴射的原料氣體的量多于未與所述原料氣體供給部相連接的所述第一氣體移動(dòng)管的另一側(cè)噴射的原料氣體的量。并且，當(dāng)所述噴射孔密集形成在所述第一氣體移動(dòng)管的中央時(shí)，從所述第一氣體移動(dòng)管的中央噴射的原料氣體的量多于從所述第一氣體移動(dòng)管的兩側(cè)噴射的量。即，由于從第一氣體移動(dòng)管噴射的原料氣體的量不均勻，因此存在所述噴嘴無法向基板的一面噴射均勻量的原料氣體的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決所述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠使可通過噴嘴來噴射的原料氣體均勻地分布在基板的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴。
[0006]本發(fā)明的目的不限于所述提及內(nèi)容，本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員可從如下記載內(nèi)容中明確了解未被提及的其他目的。
[0007]為了解決所述問題，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，包括:連接管，一側(cè)與用于供給原料氣體的原料氣體供給部相連接；第一氣體移動(dòng)管，外周面形成有連接孔以及第一噴射孔，所述連接孔與所述連接管的一端相連接，以使與所述連接管連通，所述第一噴射孔用于噴射通過連接管而流入的所述原料氣體；第二氣體移動(dòng)管，內(nèi)部收容有所述第一氣體移動(dòng)管，外周面形成有第一插入孔以及第二噴射孔，所述第一插入孔供所述連接管的預(yù)定部分插入，以使所述連接管的一端與所述第一氣體移動(dòng)管的所述連通孔相連接，所述第二噴射孔用于噴射從所述第一氣體移動(dòng)管流入的所述原料氣體。
[0008]并且，所述連接管的外周面的預(yù)定位置可連接有輔料供給部。
[0009]并且，所述連通孔可形成在所述第一氣體移動(dòng)管的長度方向的外周面的中央。
[0010]并且，多個(gè)所述第一噴射孔可形成在所述第一氣體移動(dòng)管的外周面；多個(gè)所述第一噴射孔能夠以多個(gè)所述第一噴射孔的密度能夠以所述連通孔為中心，隨著與所述連通孔的距離增加而增加的方式形成在第一氣體移動(dòng)管的外周面。
[0011]并且，還能夠包括:第一加熱器，收容在所述第一氣體移動(dòng)管的內(nèi)部；溫度傳感器，以與所述第一加熱器相隔預(yù)定間距的方式收容在所述第一氣體移動(dòng)管的內(nèi)部。
[0012]并且，所述第一噴射孔與第二噴射孔能夠以所述第一加熱器為中心相對配置。
[0013]并且，所述第一氣體移動(dòng)管及所述第二氣體移動(dòng)管可由石英(quartz)形成。
[0014]并且，還能夠包括:第三氣體移動(dòng)管，內(nèi)部收容有所述第二氣體移動(dòng)管，外周面形成有第二插入孔以及第三噴射孔，所述第二插入孔供所述連接管選擇性地插入，所述第三噴射孔用于噴射從所述第二氣體移動(dòng)管流入的所述原料氣體。
[0015]并且，所述連通孔與所述第一噴射孔能夠以所述第一加熱器為中心相對配置；所述第一噴射孔與所述第二噴射孔能夠以所述第一加熱器為中心相對配置；所述第二噴射孔與所述第三噴射孔能夠以所述第一加熱器為中心相對配置。
[0016]并且，所述第一插入孔可形成在所述第二氣體移動(dòng)管的長度方向的外周面的中央。
[0017]并且，多個(gè)所述第二噴射孔可形成在所述第二氣體移動(dòng)管的外周面，多個(gè)所述第二噴射孔能夠以多個(gè)所述第二噴射孔的密度能夠以所述第一插入孔為中心，隨著與所述第一插入孔的距離增加而增加的方式形成在第二氣體移動(dòng)管的外周面。
[0018]并且，還能夠包括:第二加熱器，配置在所述第三氣體移動(dòng)管的外周面的預(yù)定位置。
[0019]并且，所述第一氣體移動(dòng)管、所述第二氣體移動(dòng)管以及所述第三氣體移動(dòng)管由石英(quartz)形成。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，本發(fā)明可通過以其數(shù)量密度隨著與連通孔的中心的距離增加而增加的方式形成的多個(gè)第一噴射孔來噴射通過形成在第一氣體移動(dòng)管的外周面的中央的連通孔來供給的氣體原料，由此可沿著第一氣體移動(dòng)管的長度方向來排出均勻量的原料氣體。即，根據(jù)本發(fā)明的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，隨著第一氣體移動(dòng)管沿著長度方向排出均勻量的原料氣體，可向配置在第二氣體移動(dòng)管的下部的基板噴射均勻量的原料氣體。
[0021]并且，借助于根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴來向基板噴射均勻量的原料氣體，可使形成在基板的薄膜具有規(guī)定的厚度。
[0022]本發(fā)明的效果不限于所述提及內(nèi)容，本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員可從如下記載內(nèi)容中明確了解未被提及的其他效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是簡要表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴的剖面的圖。
[0024]圖2是以圖1所示的I1-1I線為基準(zhǔn)，簡要表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴的剖面的圖。
[0025]圖3是表不圖1所不的第一氣體移動(dòng)管的表面的平面圖。
[0026]圖4是簡要表示根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴的剖面的剖視圖。
[0027]圖5是以圖4所示的V-V線為基準(zhǔn)，簡要表示根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴的剖面的剖視圖。
[0028]圖6是表示圖4所示的第二氣體移動(dòng)管的表面的平面圖。
[0029]符號說明:
[0030]100、200:真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴110、210:連接管
[0031]120,220:第一氣體移動(dòng)管130、230:第二氣體移動(dòng)管
[0032]140、240:第一加熱器150、250:溫度傳感器
[0033]160、260:噴射罩270:第三氣體移動(dòng)管
[0034]280:第二加熱器

【具體實(shí)施方式】
[0035]以下參照附圖詳細(xì)說明的實(shí)施例會(huì)讓本發(fā)明的目的和效果以及實(shí)現(xiàn)這些目的和效果的技術(shù)結(jié)構(gòu)更加明確。在對本發(fā)明進(jìn)行說明時(shí)，如認(rèn)為對公知的功能或結(jié)構(gòu)的具體說明可能對本發(fā)明的要旨產(chǎn)生不必要的混淆時(shí)，將省略相關(guān)的具體說明。而且，后述的術(shù)語均為考慮到本發(fā)明的結(jié)構(gòu)、作用及功能等來下定義的，根據(jù)使用者、應(yīng)用者的意圖或慣例等，其含義可能有所不同。
[0036]但是本發(fā)明并不限于如下公開的實(shí)施例，能夠以不同的多種形態(tài)來實(shí)現(xiàn)。本實(shí)施例僅僅是為了使本發(fā)明的公開完整，給本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員完整地告訴發(fā)明的范圍而提供的，本發(fā)明應(yīng)由權(quán)利要求書所記載的權(quán)利要求的范圍來下定義。因此，應(yīng)以本說明書全文內(nèi)容為基礎(chǔ)來下定義。
[0037]在說明書全文中，當(dāng)涉及某個(gè)部分“包括”或“具有”某個(gè)構(gòu)成要素時(shí)，除非有特別相反的記載，將意味著還可以包括其他構(gòu)成要素，而不是將其他構(gòu)成要素排除在外。
[0038]以下，將參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0039]圖1是簡要表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100的剖面的圖。圖2是以圖1所示的I1-1I線為中心，簡要表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100的剖面的圖。
[0040]參照圖1及圖2，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100可包括:連接管110，一側(cè)與用于供給原料氣體的原料氣體供給部(未圖示)相連接；第一氣體移動(dòng)管120，外周面形成有連通孔121以及第一噴射孔122，所述連通孔121與所述連接管110的一端相連接，以使與所述連接管110連通，所述第一噴射孔122用于噴射通過連接管I1而流入的所述原料氣體；以及第二氣體移動(dòng)管130，內(nèi)部收容有所述第一氣體移動(dòng)管120，外周面形成有第一插入孔131以及第二噴射孔132，所述第一插入孔131供所述連接管110的預(yù)定部分插入，以使所述連接管110的一端與所述第一氣體移動(dòng)管120的所述連通孔121相連接，所述第二噴射孔132用于噴射從所述第一氣體移動(dòng)管120流入的所述原料氣體。
[0041]連接管110能夠以柱子形狀形成。例如，連接管110能夠以四角柱或圓柱形狀形成，但不限于所述例。以下，為了便于進(jìn)行說明，將以連接管110以圓柱形狀形成的情況為例進(jìn)行說明。
[0042]連接管110能夠以圓柱形狀形成。連接管110能夠以兩側(cè)開口的方式形成。連接管110的一側(cè)開口可與所述原料氣體供給部相連接。因此，連接管110可使由所述原料氣體供給部供給的所述原料氣體向內(nèi)部流入，流入到連接管110的內(nèi)部的所述原料氣體可通過連接管110的另一側(cè)開口向連接管110的外部排出。
[0043]連接管110的外周面的預(yù)定位置可連接有用于供給輔料氣體的輔料供給部(未圖示)。連接管110可使由所述輔料供給部供給的輔料氣體向內(nèi)部流入。S卩，連接管110的內(nèi)部可供所述原料氣體及所述輔料氣體流入并混合。以下，為了便于進(jìn)行說明，將以連接管110的內(nèi)部僅流入所述原料氣體的情況為例進(jìn)行說明。
[0044]第一氣體移動(dòng)管120能夠以柱子形狀形成。例如，第一氣體移動(dòng)管120能夠以四角柱或圓柱形狀形成，但不限于所述例。以下，為了便于進(jìn)行說明，將以第一氣體移動(dòng)管120以圓柱形狀形成的情況為例進(jìn)行說明。
[0045]第一氣體移動(dòng)管120能夠以圓柱形狀形成。第一氣體移動(dòng)管120可在長度方向的外周面的中央形成連通孔121。連通孔121可與連接管110的所述另一側(cè)開口相連通。在此情況下，連接管110可選擇性地與第一氣體移動(dòng)管120相結(jié)合，以便與連通孔121相連通。例如，第一氣體移動(dòng)管120可設(shè)置有單獨(dú)的連接口 123，以便從連通孔121延伸，連接管110可選擇性地與連接口 123相結(jié)合，以此來與連通孔121相連通，但不限于所述例。并且，本發(fā)明為了使連接管110和連通孔121相連通，可包括能夠?qū)⑦B接管110選擇性地與第一氣體移動(dòng)管120相結(jié)合的所有構(gòu)成及結(jié)構(gòu)。
[0046]隨著連接管110和連通孔121相連通，從連接管110排出的所述原料氣體可流入到第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部。在此情況下，第一氣體移動(dòng)管120可由熱穩(wěn)定性優(yōu)秀的石英(quartz)形成。因此，可防止第一氣體移動(dòng)管120因高溫的所述原料氣體而導(dǎo)致形狀變形。
[0047]圖3是表不圖1所不的第一氣體移動(dòng)管120的表面的俯視圖。
[0048]參照圖3,第一氣體移動(dòng)管120的外周面可形成有第一噴射孔122。第一噴射孔122能夠以與連通孔121相鄰接的方式形成在第一氣體移動(dòng)管120的外周面。在此情況下，多個(gè)第一噴射孔122可形成在第一氣體移動(dòng)管120的外周面。并且，多個(gè)第一噴射孔122能夠以其密度以連通孔121為中心，隨著與連通孔121的距離增加而增加的方式形成在第一氣體移動(dòng)管120的外周面。即，第一噴射孔122能夠以三角形形態(tài)配置在第一氣體移動(dòng)管120的外周面。第一氣體移動(dòng)管120可通過多個(gè)第一噴射孔122,沿著第一氣體移動(dòng)管120的長度方向排出均勻量的原料氣體。
[0049]更詳細(xì)地，由于連通孔121形成在第一氣體移動(dòng)管120的外周面的中央，因此向第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部流入的所述原料氣體的壓力可能在第一氣體移動(dòng)管120的中央呈最高。在此情況下，可以使第一氣體移動(dòng)管120的中央形成的第一噴射孔122的數(shù)量少于在第一氣體移動(dòng)管120的兩側(cè)形成的第一噴射孔122的數(shù)量。即，雖然所述原料氣體以最高的壓力流入第一氣體移動(dòng)管120的中央，但由于所形成的第一噴射孔122的數(shù)量少，因此第一氣體移動(dòng)管120在其中央可排出少量的所述原料氣體。相反，所述原料氣體能夠以相比第一氣體移動(dòng)管120的中央相對低的壓力流入第一氣體移動(dòng)管120的兩側(cè)。但是由于第一氣體移動(dòng)管120的兩側(cè)形成有很多的第一噴射孔122，因此第一氣體移動(dòng)管120在其兩側(cè)可排出多量的所述原料氣體。在此情況下，由于所述原料氣體流入第一氣體移動(dòng)管120的中央的壓力大于流入第一氣體移動(dòng)管120的兩側(cè)的壓力，因此通過配置在第一氣體移動(dòng)管120的中央的第一噴射孔122來排出的所述原料氣體的量和通過配置在第一氣體移動(dòng)管120的兩側(cè)的第一噴射孔122來排出的所述原料氣體的量能夠呈相近值。隨之，第一氣體移動(dòng)管120可沿著長度方向排出均勻量的原料氣體。
[0050]真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100還能夠包括第一加熱器140。第一加熱器140可收容在第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部。第一加熱器140可與第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)周面相隔預(yù)定間距，并收容在第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部。第一加熱器140可收容在第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部，并向流入到第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部的所述原料氣體傳遞預(yù)定的熱。在此情況下，第一加熱器140在其內(nèi)部可包括用于產(chǎn)生預(yù)定的熱的熱線，但不限于所述例。并且，本發(fā)明在第一加熱器140中可包括能夠產(chǎn)生熱的所有部件及元件等。
[0051]S卩，第一加熱器140能夠補(bǔ)償因所述原料氣體流入到第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部，并向第一氣體移動(dòng)管120的第一噴射孔122噴射的時(shí)間內(nèi)流動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的熱損失而引起的能耗。隨之，流入到第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部的所述原料氣體從第一加熱器140接收預(yù)定的熱，以保持規(guī)定的溫度，保持能量狀態(tài)不變，因此可保持穩(wěn)定的狀態(tài)。
[0052]第一加熱器140沿著第一氣體移動(dòng)管120的長度方向，劃分為預(yù)定數(shù)量的區(qū)域，可收容在第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部，第一加熱器140的劃分的各個(gè)區(qū)域可單獨(dú)控制溫度。因此，本發(fā)明的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100能夠易于補(bǔ)償因流入第一氣體移動(dòng)管120的所述原料氣體的熱損失而引起的能耗。
[0053]真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100還能夠包括溫度傳感器150。溫度傳感器150與第一加熱器140相隔預(yù)定間距，可收容在第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部。溫度傳感器150可測量第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部溫度。并且，溫度傳感器150可測量第一加熱器140的劃分的各個(gè)區(qū)域分別配置的第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部溫度。
[0054]溫度傳感器150可通過測量第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部溫度來生成溫度數(shù)據(jù)。用戶從溫度傳感器150接收到所述溫度數(shù)據(jù)，來確認(rèn)被第一加熱器140劃分的各個(gè)區(qū)域所配置的第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部溫度，以此來控制第一加熱器140的劃分的各個(gè)區(qū)域。因此，根據(jù)本發(fā)明的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100能夠更為有效地補(bǔ)償因流入到第一氣體移動(dòng)管120的內(nèi)部的所述原料氣體的熱損失而引起的能耗。
[0055]第二氣體移動(dòng)管130能夠以柱子形狀形成。例如，第二氣體移動(dòng)管130能夠以四角柱或圓柱形狀形成，但不限于所述例。以下，為了便于進(jìn)行說明，將以第二氣體移動(dòng)管130以圓柱形狀形成的情況為例進(jìn)行說明。
[0056]第二氣體移動(dòng)管130能夠以圓柱形狀形成。第二氣體移動(dòng)管130能夠以內(nèi)部呈中空的形狀形成。第二氣體移動(dòng)管130的橫截面直徑可大于第一氣體移動(dòng)管120的橫截面直徑。即，第一氣體移動(dòng)管120可收容在第二氣體移動(dòng)管130的內(nèi)部,從第一氣體移動(dòng)管120噴射的所述原料氣體可流入到第一氣體移動(dòng)管120的外周面和第二氣體移動(dòng)管130的內(nèi)周面之間的空間。在此情況下，第二氣體移動(dòng)管130可由熱穩(wěn)定性優(yōu)秀的石英(quartz)形成。因此，可防止第二氣體移動(dòng)管130因從第一氣體移動(dòng)管120流入的所述原料氣體的溫度而導(dǎo)致形狀變形。
[0057]第二氣體移動(dòng)管130在其外周面可形成有第一插入孔131。第一插入孔131能夠以貫通第二氣體移動(dòng)管130的外周面的方式形成。連接管110的預(yù)定部分可通過第一插入孔131來插入到第二氣體移動(dòng)管130的內(nèi)部。插入到第二氣體移動(dòng)管130的內(nèi)部的連接管110的預(yù)定部分可與第一氣體移動(dòng)管120的連通孔121相連接。
[0058]第二氣體移動(dòng)管130在其外周面可形成有第二噴射孔132。在此情況下，第二噴射孔132和第一噴射孔122能夠以第一加熱器140為中心相對配置的方式形成在第二氣體移動(dòng)管130及第一氣體移動(dòng)管120的外周面。并且，第二噴射孔132與第一插入孔131能夠以第一加熱器140為中心相對配置的方式形成在第二氣體移動(dòng)管130的外周面。因此，通過第一噴射孔122來噴射的所述原料氣體的噴射方向和通過第二噴射孔132來噴射的所述原料氣體的噴射方向呈相反。并且，隨著通過第一噴射孔122和第二噴射孔132來噴射的所述原料氣體的噴射方向呈相反，由此所述原料氣體在真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100內(nèi)移動(dòng)的移動(dòng)路徑可成最大，從而可提聞從真空噴鍛裝置用原料氣體噴嘴100噴射的所述原料氣體的均勻性。
[0059]第二噴射孔132能夠以沿著長度方向延伸的方式形成在第二氣體移動(dòng)管130的外周面?；蛘?，多個(gè)第二噴射孔132能夠以沿著長度方向相隔預(yù)定距離的方式形成在第二氣體移動(dòng)管130的外周面，但不限于所述例。第二氣體移動(dòng)管130可通過在其外周面形成的第二噴射孔132來向配置在第二氣體移動(dòng)管130的下部的基板噴射從第一氣體移動(dòng)管120流入的所述原料氣體。在此情況下，如上所述，第一氣體移動(dòng)管120可沿著長度方向而向第二氣體移動(dòng)管130的內(nèi)部噴射均勻量的所述原料氣體。因此，第二氣體移動(dòng)管130可通過第二噴射孔132，沿著長度方向來噴射均勻量的所述原料氣體。一方面，第二氣體移動(dòng)管130沿著長度方向噴射均勻量的所述原料氣體，使得根據(jù)本發(fā)明的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100可向配置在第二氣體移動(dòng)管130的下部的所述基板的一面噴射均勻量的所述原料氣體。
[0060]真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100還包括噴射罩160。噴射罩160可形成在第二氣體移動(dòng)管130的外周面。噴射罩160可在第二氣體移動(dòng)管130的外周面，以呈預(yù)定角度張開的方式形成。噴射罩160可引導(dǎo)從第二噴射孔132噴射的所述原料氣體的擴(kuò)散方向。因此，真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100能夠有效地向所述基板噴射所述原料氣體。
[0061]圖4是簡要表不根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200的剖面的剖視圖。圖5是以圖4所示的V-V線為中心，簡要表示根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200的剖面的剖視圖。
[0062]以下，對于與根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴100相同的部分將省略說明，下面將主要以兩者的不同點(diǎn)為重點(diǎn)，對根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200進(jìn)行說明。
[0063]參照圖4及圖5，連接管210能夠以兩側(cè)開口的圓柱形狀形成。連接管210的一側(cè)開口可連接有用于供給原料氣體的原料氣體供給部，可供從所述原料氣體供給部供給的原料氣體流入到連接管210的內(nèi)部。連接管210可通過另一側(cè)開口來排出所述原料氣體。在此情況下，連接管210的外周面的預(yù)定位置可連接有用于供給輔料氣體的所述輔料供給部，可供所述輔料氣體流入到連接管210的內(nèi)部。連接管210的內(nèi)部可供所述原料氣體及所述輔料氣體流入并混合。隨之，連接管210可通過所述另一側(cè)開口來排出所述原料氣體與所述輔料氣體相混合的混合氣體。以下為了便于進(jìn)行說明，以連接管210的內(nèi)部僅流入所述原料氣體的情況為例進(jìn)行說明。
[0064]第一氣體移動(dòng)管220在長度方向的外周面的中央可形成有連通孔221。連通孔221可與連接管210的所述另一側(cè)開口相連通。從連接管210的所述另一側(cè)開口排出的所述原料氣體可通過連通孔221來流入到第一氣體移動(dòng)管220的內(nèi)部。
[0065]第一氣體移動(dòng)管220的外周面可形成有第一噴射孔222。在此情況下，第一噴射孔222和連通孔221能夠以下述的第一加熱器240為中心相對配置的方式形成在第一氣體移動(dòng)管220的外周面。第一氣體移動(dòng)管220可通過第一噴射孔222來噴射流入到第一氣體移動(dòng)管220的內(nèi)部的所述原料氣體。
[0066]真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200還可以包括第一加熱器240，所述第一加熱器240收容在第一氣體移動(dòng)管220的內(nèi)部，可向流入到第一氣體移動(dòng)管220的內(nèi)部的所述原料氣體傳遞預(yù)定的熱。并且，真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200還可以包括溫度傳感器250，所述溫度傳感器250以與第一加熱器240相隔預(yù)定間距的方式收容在第一氣體移動(dòng)管220的內(nèi)部，可通過測量配置有第一加熱器240的第一氣體移動(dòng)管220內(nèi)部空間的溫度來生成溫度數(shù)據(jù)。
[0067]第二氣體移動(dòng)管230能夠以圓柱形狀形成，其內(nèi)部可收容第一氣體移動(dòng)管220。第二氣體移動(dòng)管230在其內(nèi)部收容第一氣體移動(dòng)管220，以使從第一氣體移動(dòng)管220噴射的所述原料氣體能夠流入到第一氣體移動(dòng)管220的外周面和第二氣體移動(dòng)管230的內(nèi)周面之間的空間。
[0068]第二氣體移動(dòng)管230的外周面可形成有第一插入孔231，所述第一插入孔231供連接管210的預(yù)定部分插入，以使連接管210的一端與第一氣體移動(dòng)管220的連通孔221相連接。
[0069]第二氣體移動(dòng)管230的外周面可形成有第二噴射孔232。在此情況下，第二噴射孔232和第一噴射孔222能夠以第一加熱器240為中心相對配置的方式形成在第二氣體移動(dòng)管230和第一氣體移動(dòng)管220的外周面。因此，所述原料氣體在真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200內(nèi)移動(dòng)的路徑成最大。
[0070]圖6是表不圖4所不的第二氣體移動(dòng)管230的表面的俯視圖。
[0071]參照圖6，第二噴射孔232能夠以與第一插入孔231相鄰接的方式形成在第二氣體移動(dòng)管230的外周面。在此情況下，多個(gè)第二噴射孔232可形成在第二氣體移動(dòng)管230的外周面。并且，多個(gè)第二噴射孔232能夠以其密度以第一插入孔231為中心，隨著與第一插入孔231的距離增加而增加的方式形成在第二氣體移動(dòng)管230的外周面。即，多個(gè)第二噴射孔232能夠以三角形形態(tài)配置在第二氣體移動(dòng)管230的外周面。第二氣體移動(dòng)管230可通過多個(gè)第二噴射孔232，沿著第二氣體移動(dòng)管230的長度方向排出均勻量的原料氣體。
[0072]更詳細(xì)地，流入到第二氣體移動(dòng)管230的內(nèi)部的所述原料氣體的壓力可能在第二氣體移動(dòng)管230的中央呈最高。在此情況下，可以使第二氣體移動(dòng)管230的中央形成的第二噴射孔232的數(shù)量少于在第二氣體移動(dòng)管230的兩側(cè)形成的第二噴射孔232的數(shù)量。SP，雖然所述原料氣體以最高的壓力流入第二氣體移動(dòng)管230的中央，但由于所形成的第二噴射孔232的數(shù)量少，因此第二氣體移動(dòng)管230在其中央可排出少量的所述原料氣體。相反，所述原料氣體能夠以相比第二氣體移動(dòng)管230的中央相對低的壓力流入第二氣體移動(dòng)管230的兩側(cè)，但是由于第二氣體移動(dòng)管230的兩側(cè)形成有很多的第二噴射孔232，因此第二氣體移動(dòng)管230在其兩側(cè)可排出多量的所述原料氣體。在此情況下，由于所述原料氣體流入第二氣體移動(dòng)管230的中央的壓力大于流入第二氣體移動(dòng)管230的兩側(cè)的壓力，因此通過配置在第二氣體移動(dòng)管230的中央的第二噴射孔232來排出的所述原料氣體的量和通過配置在第二氣體移動(dòng)管230的兩側(cè)的第二噴射孔232來排出的所述原料氣體的量能夠呈相近值。隨之，第二氣體移動(dòng)管230可沿著長度方向排出均勻量的原料氣體。
[0073]真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200還能夠包括第三氣體移動(dòng)管270。第三氣體移動(dòng)管270能夠以圓柱形狀形成。例如，第三氣體移動(dòng)管270能夠以四角柱或圓柱形狀形成。以下，為了便于進(jìn)行說明，將以第三氣體移動(dòng)管270以圓柱形狀形成的情況為例進(jìn)行說明。
[0074]第三氣體移動(dòng)管270能夠以圓柱形狀形成。第三氣體移動(dòng)管270的橫截面直徑可大于第二氣體移動(dòng)管230的橫截面直徑。即，第二氣體移動(dòng)管230可收容在第三氣體移動(dòng)管270的內(nèi)部，從第二氣體移動(dòng)管230噴射的所述原料氣體可流入到第二氣體移動(dòng)管230的外周面與第三氣體移動(dòng)管270的內(nèi)周面之間的空間。在此情況下，第三氣體移動(dòng)管270可由熱穩(wěn)定性優(yōu)秀的石英(quartz)形成。因此，可防止第三氣體移動(dòng)管270因從第二氣體移動(dòng)管230流入的所述原料氣體的溫度而導(dǎo)致形狀變形。
[0075]第三氣體移動(dòng)管270在外周面可形成有第二插入孔271。連接管210的預(yù)定部分可通過第二插入孔271來插入到第三氣體移動(dòng)管270的內(nèi)部。插入到第三氣體移動(dòng)管270的內(nèi)部的連接管210的預(yù)定部分可插入到第二氣體移動(dòng)管230的內(nèi)部。
[0076]第三氣體移動(dòng)管270在外周面可形成有第三噴射孔272。第三噴射孔272能夠以沿著第三氣體移動(dòng)管270的長度方向延伸的方式形成在第三氣體移動(dòng)管270的外周面?；蛘撸鄠€(gè)第三噴射孔272能夠以沿著第三氣體移動(dòng)管270的長度方向相隔預(yù)定距離的方式形成在第三氣體移動(dòng)管270的外周面，但不限于所述例。以下，為了便于進(jìn)行說明，將以多個(gè)第三噴射孔272以沿著長度方向相隔預(yù)定間距的方式形成在第三氣體移動(dòng)管270的情況為例進(jìn)行說明。
[0077]第三氣體移動(dòng)管270的外周面可形成有多個(gè)第三噴射孔272。第三氣體移動(dòng)管270可通過多個(gè)第三噴射孔272來向配置在第三氣體移動(dòng)管270的下部的基板噴射所述原料氣體。在此情況下，如上所述，第二氣體移動(dòng)管230可向第三氣體移動(dòng)管270的內(nèi)部噴射均勻量的所述原料氣體。因此，第三氣體移動(dòng)管270可通過第三噴射孔272，沿著長度方向而向配置在第三氣體移動(dòng)管270的下部的所述基板噴射均勻量的所述原料氣體。
[0078]第三噴射孔272和第二噴射孔232能夠以第一加熱器240為中心相對配置的方式形成在第三氣體移動(dòng)管270和第二氣體移動(dòng)管230的外周面。因此，通過第二噴射孔232來噴射的所述原料氣體的噴射方向和通過第三噴射孔272來噴射的所述原料氣體的噴射方向呈相反。即，可能會(huì)增加所述原料氣體在真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200內(nèi)移動(dòng)的移動(dòng)路徑，在本發(fā)明中，所述原料氣體在真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200內(nèi)移動(dòng)的移動(dòng)路徑增加，因此可提高從真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200噴射的所述原料氣體的均勻性。并且，通過根據(jù)本發(fā)明的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200來向所述基板噴射均勻性得到提高的所述原料氣體，由此可提高所述原料氣體噴射在基板而形成的薄膜的質(zhì)量。
[0079]真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200還包括噴射罩260。噴射罩260可形成在第三氣體移動(dòng)管270的外周面。噴射罩260可在第三氣體移動(dòng)管270的外周面，以呈預(yù)定角度張開的方式形成。噴射罩260可引導(dǎo)從第三噴射孔272噴射的所述原料氣體的擴(kuò)散方向。因此，真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200能夠有效地向所述基板噴射所述原料氣體。
[0080]真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴200還包括第二加熱器280。第二加熱器280可配置在第三氣體移動(dòng)管270的外周面的預(yù)定位置。第二加熱器280可配置在第三氣體移動(dòng)管270的外周面，并向第三氣體移動(dòng)管270傳遞預(yù)定的熱。在此情況下，第二加熱器270在其內(nèi)部可包括用于產(chǎn)生預(yù)定的熱的熱線，但不限于所述例。并且，本發(fā)明在第二加熱器280中可包括能夠產(chǎn)生熱的所有部件及元件等。隨著從第二加熱器280向第三氣體移動(dòng)管130的外周面?zhèn)鬟f預(yù)定的熱，第三氣體移動(dòng)管270可向在其內(nèi)部流動(dòng)的所述原料氣體傳遞預(yù)定的熱。即，第二加熱器280能夠補(bǔ)償因所述原料氣體流入到第三氣體移動(dòng)管270的內(nèi)部，并向第三氣體移動(dòng)管270的第三噴射孔272噴射的時(shí)間內(nèi)流動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的熱損失而引起的能耗。隨之，流入到第三氣體移動(dòng)管270的內(nèi)部的所述原料氣體通過第三氣體移動(dòng)管270來從第二加熱器280接收預(yù)定的熱，以保持規(guī)定的溫度，保持能量狀態(tài)不變，因此可保持穩(wěn)定的狀態(tài)。
[0081]以上對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了說明，本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員在不脫離權(quán)利要求書所記載的本發(fā)明的要旨的前提下，可通過技術(shù)特征的附加、變更、刪除等方式來對本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變更，這些都應(yīng)視為包含在本發(fā)明的權(quán)利范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，包括: 連接管，一側(cè)與用于供給原料氣體的原料氣體供給部相連接； 第一氣體移動(dòng)管，外周面形成有連通孔以及第一噴射孔，所述連通孔與所述連接管的一端相連接，以使與所述連接管連通，所述第一噴射孔用于噴射通過連接管而流入的所述原料氣體； 第二氣體移動(dòng)管，內(nèi)部收容有所述第一氣體移動(dòng)管，外周面形成有第一插入孔以及第二噴射孔，所述第一插入孔使所述連接管的預(yù)定部分插入，以使所述連接管的一端與所述第一氣體移動(dòng)管的所述連通孔相連接，所述第二噴射孔用于噴射從所述第一氣體移動(dòng)管流入的所述原料氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，所述連接管在其外周面的預(yù)定位置上連接有輔料供給部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，所述連通孔形成于所述第一氣體移動(dòng)管的長度方向的外周面的中央。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，多個(gè)所述第一噴射孔形成于所述第一氣體移動(dòng)管的外周面，且多個(gè)所述第一噴射孔的密度以所述連通孔為中心，并隨著與所述連通孔的距離增加而增加。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，還包括: 第一加熱器，收容于所述第一氣體移動(dòng)管的內(nèi)部； 溫度傳感器，以與所述第一加熱器相隔預(yù)定間距的方式收容在所述第一氣體移動(dòng)管的內(nèi)部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，所述第一噴射孔與所述第二噴射孔以所述第一加熱器為中心相對配置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，所述第一氣體移動(dòng)管及所述第二氣體移動(dòng)管由石英形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，還包括: 第三氣體移動(dòng)管，內(nèi)部收容有所述第二氣體移動(dòng)管，外周面形成有第二插入孔以及第三噴射孔，所述第二插入孔使所述連接管選擇性地插入，所述第三噴射孔用于噴射從所述第二氣體移動(dòng)管流入的所述原料氣體。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中， 所述連通孔與所述第一噴射孔以所述第一加熱器為中心相對配置； 所述第一噴射孔與所述第二噴射孔以所述第一加熱器為中心相對配置； 所述第二噴射孔與所述第三噴射孔以所述第一加熱器為中心相對配置。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，所述第一插入孔形成于所述第二氣體移動(dòng)管的長度方向的外周面的中央。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，多個(gè)所述第二噴射孔形成于所述第二氣體移動(dòng)管的外周面，且多個(gè)所述第二噴射孔的密度以所述第一插入孔為中心，并隨著與所述第一插入孔的距離增加而增加。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，還包括: 第二加熱器，其配置于所述第三氣體移動(dòng)管的外周面的預(yù)定位置。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空噴鍍裝置用原料氣體噴嘴，其中，所述第一氣體移動(dòng)管、所述第二氣體移動(dòng)管以及所述第三氣體移動(dòng)管由石英形成。
【文檔編號】B05B1/24GK104148205SQ201410203314
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2014年5月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月14日
【發(fā)明者】洪兌權(quán), 宋在福 申請人:株式會(huì)社阿碧茲兒