吸附用多孔片和吸附用多孔片中使用的更換用表面層的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種多層吸附用多孔片，其為通過配置到吸附單元的吸附面上而防止吸附對(duì)象物與吸附面的接觸的吸附用多孔片，其具有以往所沒有的構(gòu)成。一種吸附用多孔片，包含具有透氣性的基層和配置在基層上的表面層，表面層由樹脂微粒相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成，表面層的與基層側(cè)相反的一側(cè)的主面的表面粗糙度(Ra)為1.0μm以下，基層與表面層通過配置在該基層與該表面層之間的透氣性粘合劑層接合?；鶎雍?或表面層例如由超高分子量聚乙烯(UHMWPE)構(gòu)成。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及通過配置到吸附單元的吸附面上而防止吸附對(duì)象物與吸附面的直接 接觸的吸附用多孔片。另外，本發(fā)明涉及吸附用多孔片中使用的更換用表面層。 吸附用多孔片和吸附用多孔片中使用的更換用表面層

【背景技術(shù)】
[0002] 作為對(duì)板狀或片狀的部件進(jìn)行固定或輸送的方法之一，有使該部件吸附到吸附單 元的吸附面上而固定或輸送的方法。該方法應(yīng)用于玻璃板（例如液晶顯示裝置用玻璃基 板）、半導(dǎo)體晶片、陶瓷生片等的固定、輸送。此時(shí)，一般在吸附單元的吸附面上配置防止吸 附單元與吸附在該單元上的吸附對(duì)象物的直接接觸且具有透氣性的吸附用多孔片。通過配 置吸附用多孔片，能夠防止例如由構(gòu)成吸附對(duì)象物的材料（作為一例，為陶瓷生片中含有 的陶瓷粉末）造成的吸附面的劃傷、污染。吸附單元的吸附面的劃傷和污染成為使之后吸 附的吸附對(duì)象物產(chǎn)生不良的主要原因。
[0003] 吸附用多孔片一般為樹脂片。提出了將具有50萬以上的粘度平均分子量的超高 分子量聚乙烯（UHMWPE)片作為吸附用多孔片使用的方案（專利文獻(xiàn)1)。
[0004] 專利文獻(xiàn)2中公開了一種多層吸附用多孔片。專利文獻(xiàn)2的吸附用多孔片具備多 孔層和配置在該片的至少一個(gè)面上的粒子層，粒子層的表面粗糙度（Ra)為0.5μπι以下。 [0005] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開平8-169971號(hào)公報(bào)
[0008] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開2006-026981號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明所要解決的問題
[0010] 本發(fā)明的目的在于提供具有以往所沒有的構(gòu)成的多層吸附用多孔片。
[0011] 用于解決問題的手段
[0012] 本發(fā)明的吸附用多孔片為通過配置到吸附單元的吸附面上而防止吸附對(duì)象物與 所述吸附面的接觸的吸附用多孔片，其包含具有透氣性的基層和配置在所述基層上的表面 層。所述表面層由樹脂微粒相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成。所述表面層的與所述基層側(cè)相反 的一側(cè)的主面的表面粗糙度（Ra)為Ι.ομπι以下。所述基層與所述表面層通過配置在該基 層與該表面層之間的透氣性粘合劑層接合。
[0013] 本發(fā)明的吸附用多孔片中，通過透氣性粘合劑層將基層與表面層接合，因此，能夠 在抑制對(duì)基層造成的損傷的同時(shí)，將兩層相互分離而對(duì)表面層進(jìn)行更換。著眼于要更換的 表面層（吸附用多孔片中使用的更換用表面層），本發(fā)明的吸附用多孔片中使用的更換用 表面層通過與具有透氣性的基層接合而形成吸附用多孔片，所述吸附用多孔片通過配置到 吸附單元的吸附面上而防止吸附對(duì)象物與所述吸附面的接觸，在將該多孔片配置在所述 吸附面上時(shí)，所述更換用表面層成為所述形成的吸附用多孔片的與所述吸附對(duì)象物接觸的 面，所述表面層由樹脂微粒相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成，在所述表面層的一個(gè)主面上配置 有將該表面層與所述基層接合的透氣性粘合劑層，所述表面層的另一個(gè)主面的表面粗糙度 (Ra)為 1. Ο μ m 以下。
[0014] 發(fā)明效果
[0015] 根據(jù)本發(fā)明，能夠得到具有以往所沒有的構(gòu)成的多層吸附用多孔片。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 圖1是示意地表示本發(fā)明的吸附用多孔片的一例的截面圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017] 圖1中示出本發(fā)明的吸附用多孔片的一例。圖1所示的吸附用多孔片1包含基層 2和配置在基層2上的表面層3?；鶎?與表面層3通過配置在基層2與表面層3之間的 透氣性粘合劑層4接合?；鶎?具有透氣性，表面層3由樹脂微粒相互粘結(jié)而成的多孔體 構(gòu)成，粘合劑層4具有透氣性。通過將吸附用多孔片1配置到吸附單元的吸附面上，能夠在 防止吸附對(duì)象物與該吸附面的直接接觸的同時(shí)，將吸附對(duì)象物吸附到吸附單元上。此時(shí)，以 使表面層3與吸附對(duì)象物接觸的方式將吸附用多孔片1配置到吸附面上。
[0018] 表面層3的與基層2側(cè)相反的一側(cè)的主面的表面粗糙度（Ra)為Ι.ομπι以下。即， 吸附用多孔片1在其與吸附對(duì)象物接觸的面具有高表面平滑性。由此，使吸附對(duì)象物的吸 附時(shí)（以下僅稱為"吸附時(shí)"）吸附對(duì)象物的變形和應(yīng)變的產(chǎn)生以及吸附用多孔片的表面形 狀向吸附對(duì)象物上的轉(zhuǎn)印得到抑制。該效果在陶瓷生片等吸附對(duì)象物的厚度小的情況下變 得特別顯著。該主面的表面粗糙度（Ra)優(yōu)選為0. 5 μ m以下。
[0019] 在吸附用多孔片1中，通過透氣性粘合劑層4表現(xiàn)出的接合力（粘合力）將基層 2與表面層3接合。由此，例如，能夠在抑制對(duì)基層2造成的損傷的同時(shí)將基層2與表面層 3相互分離，從而能夠?qū)Ρ砻鎸?進(jìn)行更換。另外，在利用透氣性粘合劑層4所具有的粘彈 性對(duì)吸附用多孔片1施加強(qiáng)壓力的吸附時(shí)，也能夠減小基層2的表面的凹凸給表面層3的 上述主面的平滑性帶來的影響，能夠維持作為吸附用多孔片的高表面平滑性。另一方面，以 往的多層吸附用多孔片、例如專利文獻(xiàn)2的吸附用多孔片中，多孔層與粒子層通過熱熔合 (燒結(jié)）而接合，無法得到這些效果。在以往的多層吸附用多孔片中，難以在不對(duì)多孔層和 /或粒子層造成損傷的情況下將兩層分離，另外，在吸附時(shí)多孔層的表面的凹凸容易對(duì)粒子 層表面的平滑性造成較強(qiáng)的影響。
[0020] 表面層3可進(jìn)行更換這一點(diǎn)在吸附對(duì)象物的吸附時(shí)伴有加熱和/或加壓的情況下 特別有利。例如，在陶瓷生片的吸附中，在對(duì)該片進(jìn)行吸附輸送并進(jìn)行層疊時(shí)，為了確保層 疊后的片之間的膠粘強(qiáng)度，有時(shí)會(huì)并用加熱加壓。此時(shí)，吸附用多孔片容易因熱和壓力而受 到變形或破裂的損傷，這些損傷有集中在與陶瓷生片接觸的表面附近的傾向。以往，即使只 有表面受到損傷，也需要更換整個(gè)吸附用多孔片，但如果表面層3可進(jìn)行更換，則不一定需 要更換整個(gè)吸附用多孔片，因此，使用吸附對(duì)象物的制品的生產(chǎn)率提高。
[0021] 表面層3由樹脂微粒相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成，具有透氣性（與該層的主面垂 直的方向的透氣性）。表面層3例如通過將樹脂微粒燒結(jié)而形成。構(gòu)成表面層3的樹脂微 粒是通過例如加熱所引起的熔融相互粘結(jié)（燒結(jié)）而成為多孔體的微粒。具體的例子為聚 乙烯、超高分子量聚乙烯（UHMWPE)、聚丙烯等的微粒。從對(duì)吸附時(shí)施加的壓力的耐性（耐沖 擊性）優(yōu)良、與吸附對(duì)象物的脫模性優(yōu)良、燒結(jié)時(shí)容易保持粒子形狀從而容易得到均勻且 穩(wěn)定的多孔體的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選構(gòu)成表面層3的樹脂微粒含有UHMWPE微粒，更優(yōu)選構(gòu)成表 面層3的樹脂微粒為UHMWPE微粒。另外，UHMWPE是指粘度平均分子量為50萬以上的聚乙 烯。為了形成耐磨損性優(yōu)良的表面層3,優(yōu)選其粘度平均分子量為100萬以上。
[0022] 從能夠抑制吸附時(shí)吸附對(duì)象物的變形等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選表面層3的平均孔徑為 1?25μπι。表面層3的平均孔徑過度減小時(shí)，該層的透氣性降低，難以作為吸附用多孔片 使用。表面層3的平均孔徑過度增大時(shí)，雖然透氣性提高，但是難以使與吸附對(duì)象物接觸的 主面的表面粗糙度（Ra)為Ι.Ομπι以下。另外，樹脂微粒間的粘結(jié)點(diǎn)的密度降低，因此，表 面層3的強(qiáng)度降低，難以作為吸附用多孔片使用。
[0023] 表面層3可以通過例如下述方法來形成：將樹脂微粒分散在溶劑中制成分散 液，將該分散液涂布到表面平滑的載體薄膜上而形成涂布膜，然后，通過將該涂布膜加熱 而進(jìn)行溶劑的揮發(fā)和樹脂微粒的燒結(jié)。更具體而言，表面層3可以通過例如日本特開 2010-247446號(hào)公報(bào)記載的方法來形成。另外，日本特開2010-247446號(hào)公報(bào)記載的方法可 以應(yīng)用于使用UHMWPE微粒以外的樹脂微粒的表面層3的形成。
[0024] 形成表面層3所使用的樹脂微粒的平均粒徑優(yōu)選為10?200 μ m，更優(yōu)選為20? 100 μ m。樹脂微粒的平均粒徑過度減小時(shí)，所形成的表面層3的平均孔徑過度減小而無法 確保充分的透氣性。樹脂微粒的平均粒徑過度增大時(shí)，所形成的表面層3的平均孔徑過度 增大，難以使表面層3中與吸附對(duì)象物接觸的主面的表面粗糙度（Ra)為Ι.Ομπι以下。另 夕卜，表面層3的強(qiáng)度降低，難以作為吸附用多孔片使用。
[0025] 表面層3的厚度優(yōu)選為20?500 μ m。表面層3的厚度過度減小時(shí)，該層的強(qiáng)度降 低，難以作為吸附用多孔片使用。表面層3的厚度過度增大時(shí)，該層的透氣性降低，難以作 為吸附用多孔片使用。另外，單獨(dú)使用表面層即可具有充分的強(qiáng)度，因此特意制成多層吸附 用多孔片的優(yōu)勢(shì)減小。
[0026] 關(guān)于基層2的構(gòu)成，只要具有透氣性（與該層的主面垂直的方向的透氣性）并且 確保能夠作為吸附用多孔片1使用的柔軟性，則沒有限定?；鶎?例如為將樹脂微粒燒結(jié) 而形成的多孔體。這種情況下，構(gòu)成基層2的樹脂微粒例如為通過加熱所引起的熔融相互 粘結(jié)（燒結(jié)）而成為多孔體的微粒。具體的例子為聚乙烯、UHMWPE、聚丙烯等的微粒。從對(duì) 吸附時(shí)所施加的壓力的耐性（耐沖擊性）優(yōu)良、燒結(jié)時(shí)容易保持粒子形狀從而容易得到均 勻且穩(wěn)定的基層的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選UHMWPE微粒。這種情況下，基層2由UHMWPE構(gòu)成?；鶎?2優(yōu)選含有UHMWPE，更優(yōu)選由UHMWPE構(gòu)成。
[0027] 在基層2由多孔體構(gòu)成的情況下，從降低吸附時(shí)的透氣阻力的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選基 層2的平均孔徑為10?50 μ m?；鶎?的平均孔徑過度減小時(shí)，該層的透氣性降低，難以作 為吸附用多孔片使用?；鶎?的平均孔徑過度增大時(shí)，雖然透氣性增高，但基層2的強(qiáng)度降 低，難以作為吸附用多孔片使用。
[0028] 基層2例如可以通過將樹脂微粒填充到模具中后進(jìn)行加熱處理、并利用車床等對(duì) 所得到的多孔體塊進(jìn)行切削加工而形成。根據(jù)需要，在切削加工后，可以實(shí)施用于去除應(yīng)變 的熱處理。模具的形狀沒有特別限定。通過預(yù)先準(zhǔn)備具有與要得到的基層2的厚度對(duì)應(yīng)的 深度的模具，也可以省略切削加工。
[0029] 基層2的形成中使用的樹脂微粒的平均粒徑優(yōu)選為10?500 μ m，更優(yōu)選為20? 250 μ m。樹脂微粒的平均粒徑過度減小時(shí)，所形成的基層2的平均孔徑過度減小，無法確保 充分的透氣性。樹脂微粒的平均粒徑過度增大時(shí)，所形成的基層2的平均孔徑過度增大，該 層的強(qiáng)度降低，難以作為吸附用多孔片使用。
[0030] 基層2的厚度優(yōu)選為80?5000 μ m?；鶎?的厚度過度減小時(shí)，該層的強(qiáng)度降低， 難以作為吸附用多孔片使用?；鶎?的厚度過度增大時(shí)，該層的透氣性降低，難以作為吸附 用多孔片使用。另外，吸附時(shí)向基層的側(cè)面漏出的漏出量增多，由此使吸附對(duì)象物的吸附變 得困難。
[0031] 吸附用多孔片1中，優(yōu)選基層2與表面層3的平均孔徑和厚度不同。S卩，優(yōu)選吸附 用多孔片1具備將具有不同的平均孔徑和厚度的兩個(gè)種類的層（基層2、表面層3)通過透 氣性粘合劑層4接合而得到的構(gòu)成。
[0032] 吸附用多孔片1中，優(yōu)選表面層3的厚度小于基層2的厚度。這種情況下，在更換 表面層3時(shí)，容易進(jìn)行基層2與表面層3的分離。另外，通過使基層2的厚度相對(duì)較厚，能 夠?qū)崿F(xiàn)基層2的長壽命化。
[0033] 吸附用多孔片1中，優(yōu)選基層2由多孔體構(gòu)成，并且表面層3的平均孔徑小于基層 2的平均孔徑。這種情況下，可實(shí)現(xiàn)吸附用多孔片1的透氣性與表面平滑性的良好平衡。另 夕卜，在更換表面層3時(shí)將基層2與表面層3分離時(shí)，能夠降低殘留在基層2側(cè)的粘合劑的比 例。為了實(shí)現(xiàn)基層2的長壽命化，優(yōu)選降低分離表面層3時(shí)殘留在基層2側(cè)的粘合劑的比 例。具體而言，在將基層2與表面層3接合而得到的吸附用多孔片1的狀態(tài)下的粘合劑的 量設(shè)為100重量％時(shí)，優(yōu)選將基層2與表面層3分離后殘留在表面層3側(cè)的粘合劑的比例 為60重量％以上（殘留在基層2側(cè)的粘合劑的比例為40重量％以下）。
[0034] 透氣性粘合劑層4為具有透氣性（與主面垂直的方向的透氣性）的由粘合劑構(gòu)成 的層。吸附用多孔片1中，基層2與表面層3通過透氣性粘合劑層4接合。由此，與利用膠 粘劑或熱熔合（燒結(jié)）將兩層結(jié)合的情況不同，表面層3可進(jìn)行更換。
[0035] 通常，粘合劑自身不具有透氣性，因此，透氣性粘合劑層4中，優(yōu)選從與基層2和表 面層3的主面垂直的方向觀察時(shí)，粘合劑并不是配置在整個(gè)面上，而是以能夠確保吸附用 多孔片1的透氣性的程度以局部不存在粘合劑的狀態(tài)配置。至少通過不存在粘合劑的部位 來確保吸附用多孔片1的透氣性。透氣性粘合劑層4中，例如從與基層2和表面層3的主 面垂直的方向觀察時(shí)，以條紋狀、點(diǎn)狀或纖維狀配置有粘合劑。這樣的透氣性粘合劑層4例 如可以通過噴吹粘合劑而形成。此時(shí)，比起直接將粘合劑噴吹到基層2或表面層3上，更優(yōu) 選先噴吹到脫模薄膜上后、再將形成在脫模薄膜上的透氣性粘合劑層4轉(zhuǎn)印到基層2或表 面層3上。在直接噴吹的情況下，粘合劑會(huì)滲透到基層2或表面層3的細(xì)孔中，難以控制配 置到該層的表面上的粘合劑的量。另外，噴吹粘合劑后的層有時(shí)會(huì)發(fā)生堵塞而使透氣性降 低。
[0036] 透氣性粘合劑層4中的粘合劑的配置狀態(tài)和量優(yōu)選以在使用吸附用多孔片1進(jìn)行 吸附時(shí)不使基層2與表面層3剝離的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，如果考慮表面層3的更換，則優(yōu) 選以在吸附時(shí)不使基層2與表面層3剝離、但在更換時(shí)能夠在盡量不對(duì)基層2造成損傷的 情況下將兩層分離的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0037] 透氣性粘合劑層4中的粘合劑的量例如為1. 5?15g/m2,優(yōu)選為5?10g/m2。在 通過噴吹粘合劑而形成透氣性粘合劑層4的情況下，該粘合劑的涂布量通常為透氣性粘合 劑層4中的粘合劑的量。該涂布量例如為3?15g/m2,優(yōu)選為5?10g/m2。
[0038] 由透氣性粘合劑層4在基層2與表面層3之間產(chǎn)生的接合力以依據(jù)JIS Z0237規(guī) 定的"180°剝離粘合力的測定方法"測定的值計(jì)優(yōu)選為0.5N/25mm以上。這種情況下，可 抑制吸附時(shí)基層2與表面層3的剝離。該接合力的上限沒有特別限定，如果考慮表面層3 的更換，則從能夠抑制將兩層分離時(shí)的基層2的損傷的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5. 0N/25mm以下。 該接合力優(yōu)選為〇. 5N/25mm以上且5. 0N/25mm以下，更優(yōu)選為0. 5N/25mm以上且3. 0N/25mm 以下，進(jìn)一步優(yōu)選為〇· 6N/25mm以上且3. 0N/25mm以下。
[0039] 構(gòu)成透氣性粘合劑層4的粘合劑的種類沒有特別限定。可以使用例如：丙烯酸樹 脂類；有機(jī)硅類；氨基甲酸酯類；乙烯-乙烯醇共聚物（EVA)類；聚烯烴類；硬鏈段由聚苯乙 烯構(gòu)成并且軟鏈段由選自聚丁二烯、氫化（加氫）聚丁二烯、聚異戊二烯、氫化異戊二烯、聚 丁烯、氫化聚丁烯、聚乙烯、聚丙烯和聚苯乙烯中的任何一種的單一或復(fù)合的鏈構(gòu)成的苯乙 烯類嵌段聚合物；合成橡膠類；聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、不飽和聚 酯等聚酯類；聚酰胺類（例如二聚酸類聚酰胺）；酚類的各種粘合劑和以這些粘合劑作為主 要成分的混合型粘合劑。可以更優(yōu)選使用由上述成分構(gòu)成的熱熔劑和以上述成分作為主要 成分的混合型熱熔劑。
[0040] 吸附用多孔片1可以使用基層2、表面層3以及透氣性粘合劑層4或形成透氣性粘 合劑層4的粘合劑通過任意的方法來形成。例如，可以將粘合劑噴吹到基層2 (或表面層3) 的表面上而形成透氣性粘合劑層4,并對(duì)表面層3 (或基層2)進(jìn)行按壓而將兩層接合。如上 所述，優(yōu)選將粘合劑噴吹到脫模薄膜上并另外形成透氣性粘合劑層4,這種情況下，優(yōu)選將 所形成的透氣性粘合劑層4先粘貼到表面層3側(cè)上，然后將脫模薄膜剝離，再粘貼基層2。在 按照該步驟形成吸附用多孔片1的情況下，由于先將表面層3粘貼到透氣性粘合劑層4上， 因此，透氣性粘合劑層4在表面層3上粘合得比在之后粘貼的基層2上更牢固。因此，在更 換表面層3時(shí)，能夠降低基層2與表面層3分離后殘留在基層2側(cè)的粘合劑的比例。該效 果在表面層3的平均孔徑小于基層2的平均孔徑的情況下更為顯著，這是因?yàn)槿菀自诒砻?層3側(cè)表現(xiàn)出對(duì)粘合劑的錨固效果。在表面層3的更換后也能夠降低粘合劑在反復(fù)使用的 基層2側(cè)殘留的比例，由此，能夠抑制基層2的透氣性降低而難以作為吸附用多孔片使用或 者由于殘留在基層2的表面上的粘合劑的凹凸而在粘貼新的表面層3時(shí)使表面層3的表面 平滑性降低的情況。
[0041] 關(guān)于本發(fā)明的吸附用多孔片的構(gòu)成，只要包含基層2和表面層3并且基層2與表 面層3通過配置在基層2與表面層3之間的透氣性粘合劑層4進(jìn)行接合，則沒有限定。本 發(fā)明的吸附用多孔片可以具有基層2、表面層3和透氣性粘合劑層4以外的任意層。例如， 在基層2的與表面層3側(cè)的面相反的一側(cè)的面上配置該任意層。
[0042] 本發(fā)明的更換用表面層例如由圖1所示的表面層3和透氣性粘合劑層4構(gòu)成。如 果考慮流通性，則優(yōu)選進(jìn)一步以與透氣性粘合劑層4接觸的方式配置有隔離薄膜。在使用 更換用表面層時(shí)、即更換吸附用多孔片中的表面層3時(shí)，將隔離薄膜剝離而使透氣性粘合 劑層4露出后，在除去舊的表面層3后的基層2上以使基層2與透氣性粘合劑層4接觸的 方式粘貼即可。
[0043] 實(shí)施例
[0044] 以下，通過實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)地說明本發(fā)明。本發(fā)明不限定于以下的實(shí)施例。
[0045] 首先，示出本實(shí)施例中制作的吸附用多孔片的評(píng)價(jià)方法。對(duì)于片狀物品等吸附對(duì) 象物的固定、輸送中使用的吸附用多孔片，吸附對(duì)吸附對(duì)象物有無影響成為評(píng)價(jià)的對(duì)象。本 實(shí)施例中，對(duì)于這一點(diǎn)、由透氣性粘合劑層在基層/表面層之間產(chǎn)生的接合力（粘合力）、以 及將表面層從基層上剝離時(shí)來自透氣性粘合劑層的粘合劑以何種程度殘留在表面層上進(jìn) 行了評(píng)價(jià)。
[0046] [表面層的表面粗糙度（Ra)]
[0047] 表面層的表面粗糙度（Ra :算術(shù)平均粗糙度）依據(jù)JIS B0601 :2001的規(guī)定求 出。具體而言，使用觸針式表面粗糙度儀（東京精密制造，SURFCOM 550A)，在觸針半徑為 250μπιΚ、測定速度（X軸）為0.3mm/秒、測定長度為8mm的條件下求出。另外，將5次測定 的平均值作為Ra。
[0048] [吸附對(duì)吸附對(duì)象物的影響]
[0049] 將所制作的吸附用多孔片裁切成lOOmmXIOOmm的尺寸后，將裁切得到的該片以 使該片的基層與吸附單元的吸附面接觸的方式配置到該吸附面上。接著，在該片的表面層 上放置厚度為12 μ m的鋁箔，然后，使連接在吸附單元上的真空泵工作，由此隔著吸附用多 孔片將鋁箔吸附在吸附單元上。在此，通過目視觀察吸附時(shí)鋁箔的表面狀態(tài)，評(píng)價(jià)吸附對(duì)吸 附對(duì)象物有無影響。
[0050] [基層與表面層的接合力（粘合力）]
[0051] 所制作的吸附用多孔片中的基層與表面層的接合力依據(jù)JISZ0237規(guī)定的"180° 剝離粘合力的測定方法"求出。
[0052] [將表面層從基層上剝離時(shí)粘合劑在表面層上殘留的比例]
[0053] 基于JIS Z0237的"180°剝離粘合力的測定方法"中規(guī)定的剝離方法，從制作的 吸附用多孔片上剝離表面層，測定剝離后的基層和表面層的重量。然后，將各層在甲苯中浸 漬過夜，除去殘留在各層中的粘合劑。接著，將各層從甲苯中提起，充分干燥后，測定各自的 重量，由該重量與最初測定的重量之差求出將基層與表面層剝離時(shí)殘留在表面層側(cè)的粘合 劑的比例。
[0054] [平均孔徑]
[0055] 吸附用多孔片的制作中使用的基層和表面層的平均孔徑通過使用壓汞測孔儀 (麥克默瑞提克制造，Autopore IV9510)，在汞壓入壓力為約4kPaMPa?約400MPa、測定模 式為升壓過程、測定管容積為約5cm3的條件下測定其細(xì)孔分布而求出。
[0056] 接著，示出吸附用多孔片的制作中使用的基層、表面層和透氣性粘合劑層的制作 方法。
[0057][表面層的制作方法A]
[0058] 將粘度平均分子量450萬的超高分子量聚乙烯（UHMWPE)粉末與水、分散劑 (TritonX-100,羅氏應(yīng)用科學(xué)制造）和增稠劑（羧甲基纖維素鈉）混合，得到該粉末的 分散液。此時(shí)，各材料的混合比（體積比）設(shè)定為水/UHMWPE粉末/分散劑/增稠劑= 100/60/5/2。然后，使用刮刀將所得到的分散液涂布到表面粗糙度（Ra)小于0.1 μπι的聚 酰亞胺薄膜上，形成該分散液的涂布膜。接著，將包括聚酰亞胺薄膜和所形成的涂布膜的整 個(gè)材料投入到設(shè)置為180°C的干燥機(jī)中，靜置10分鐘，使涂布膜燒結(jié)。然后，將通過涂布膜 的燒結(jié)形成的、聚酰亞胺薄膜與UHMWPE燒結(jié)多孔體膜的層疊體從干燥機(jī)中取出并自然冷 卻后，將聚酰亞胺薄膜從燒結(jié)多孔體膜上剝離。接著，將所得到的燒結(jié)多孔體膜在蒸餾水中 進(jìn)行超聲波清洗，由此將作為分散劑的表面活性劑從該膜上充分除去，得到由UHMWPE微粒 相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成的表面層。
[0059][表面層的制作方法B]
[0060] 將粘度平均分子量900萬的UHMWPE粉末填充到外徑500mm、高度600mm的圓筒形 模具中，將其收容到金屬制的耐壓容器中并使該容器內(nèi)減壓至壓力為lOOOPa。接著，向耐壓 容器內(nèi)導(dǎo)入加熱水蒸氣，在將該容器內(nèi)的壓力保持為6個(gè)大氣壓的狀態(tài)下在165°C下加熱6 小時(shí)，然后緩冷，得到圓筒狀的UHMWPE燒結(jié)多孔體。接著，將所得到的燒結(jié)多孔體使用車床 進(jìn)行切削加工，制成片。接著，對(duì)所得到的片進(jìn)行除去其應(yīng)變的加熱處理（使用熱壓機(jī)的熱 壓：加壓溫度130°C、載荷3. Okgf/cm2、加壓保持時(shí)間1小時(shí)），得到由UHMWPE微粒相互粘結(jié) 而成的多孔體構(gòu)成的表面層。
[0061] [基層的制作方法A]
[0062] 依照表面層的制作方法B，得到圓筒狀的UHMWPE燒結(jié)多孔體。接著，將所得到的 燒結(jié)多孔體使用車床進(jìn)行切削加工，制成片。接著，對(duì)所得到的片進(jìn)行除去其應(yīng)變的加熱處 理（使用熱壓機(jī)的熱壓：加壓溫度130°C、載荷3. Okgf/cm2、加壓保持時(shí)間1小時(shí)），得到由 UHMWPE微粒相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成的基層。
[0063] [基層的制作方法B]
[0064] 將粘度平均分子量500萬的UHMWPE粉末填充到內(nèi)部具有 100mm(長）X 100mm(寬）X 1. 8mm(深度）的長方體狀空間的模具中，在該模具的開放面上 固定金屬板而使模具內(nèi)部成為密閉狀態(tài)。對(duì)模具的內(nèi)表面和金屬板的面向模具內(nèi)部的表面 預(yù)先實(shí)施了脫模處理。接著，在使模具的內(nèi)部保持密閉狀態(tài)的情況下，在溫度160°C、壓力 0. 49MPa的條件下加熱、加壓，并將該狀態(tài)保持5分鐘。然后，緩冷至室溫，得到由UHMWPE微 粒相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成的基層。
[0065][透氣性粘合劑層的制作方法A]
[0066] 在作為脫模薄膜的聚酯薄膜（日東電工制造，RT-75G)的表面上以0. 49MPa的壓 力以網(wǎng)狀均勻地噴吹加熱至180°C的熱熔膠粘劑（安原化學(xué)制造，Hirodine5132)，制作透 氣性粘合劑層。
[0067] (實(shí)施例1)
[0068] 使用平均粒徑為35μπι的UHMWPE粉末，依照表面層的制作方法A，制作厚度為 200 μ m的表面層。另外，制作表面層時(shí)的涂布膜的厚度設(shè)定為400 μ m。
[0069] 與上述步驟分開地，使用平均粒徑為150 μ m的UHMWPE粉末，依照基層的制作方法 A，制作厚度為1. 8mm的基層。切削加工的厚度設(shè)定為1. 8mm。
[0070] 接著，依照透氣性粘合劑層的制作方法A，制作透氣性粘合劑層。此時(shí)，熱熔膠粘劑 在脫模薄膜上的涂布量設(shè)定為l〇g/m 2。接著，以0. IMPa的壓力將上述制作的表面層粘貼到 所制作的透氣性粘合劑層上。接著，從透氣性粘合劑層上剝離脫模薄膜后，將上述制作的基 層粘貼到該剝離脫模薄膜后的透氣性粘合劑層上，得到吸附用多孔片。
[0071] (實(shí)施例2)
[0072] 除了在表面層的制作中使用平均粒徑為75 μ m的UHMWPE粉末以外，與實(shí)施例1同 樣操作，得到吸附用多孔片。
[0073] (實(shí)施例3)
[0074] 除了將熱熔膠粘劑在脫模薄膜上的涂布量設(shè)定為5g/m2來制作透氣性粘合劑層以 夕卜，與實(shí)施例1同樣操作，得到吸附用多孔片。
[0075] (實(shí)施例4)
[0076] 除了使用平均粒徑為75 μ m的UHMWPE粉末并且依照基層的制作方法B來制作厚 度為1.8mm的基層以外，與實(shí)施例1同樣操作，得到吸附用多孔片。
[0077] (實(shí)施例5)
[0078] 除了將熱熔膠粘劑在脫模薄膜上的涂布量設(shè)定為50g/m2來制作透氣性粘合劑層 以外，與實(shí)施例1同樣操作，得到吸附用多孔片。
[0079] (實(shí)施例6)
[0080] 除了將熱熔膠粘劑在脫模薄膜上的涂布量設(shè)定為30g/m2來制作透氣性粘合劑層 以外，與實(shí)施例1同樣操作，得到吸附用多孔片。
[0081] (比較例1)
[0082] 使用平均粒徑為120 μ m的UHMWPE粉末，依照表面層的制作方法B，制作厚度為 200 μ m的表面層。制作表面層時(shí)的切削加工的厚設(shè)定為200 μ m。
[0083] 與上述步驟分開地，使用平均粒徑為75 μ m的UHMWPE粉末，依照基層的制作方法 B，制作厚度為1. 8mm的基層。
[0084] 接著，依照透氣性粘合劑層的制作方法A，制作透氣性粘合劑層。此時(shí)，熱熔膠粘劑 在脫模薄膜上的涂布量設(shè)定為2. 5g/m2。接著，以0. IMPa的壓力將上述制作的表面層粘貼 到所制作的透氣性粘合劑層上。接著，從透氣性粘合劑層上剝離脫模薄膜后，將上述制作的 基層粘貼到該剝離脫模薄膜后的透氣性粘合劑層上，得到吸附用多孔片。
[0085] (比較例2)
[0086] 將平均粒徑為35 μ m的UHMWPE粉末與甘油和表面活性劑混合，制備該粉末的分散 液。分散液的固體成分設(shè)定為40體積％。接著，使用涂布器將所制作的分散液涂布到表面 實(shí)施電暈處理后的聚酰亞胺薄膜（KaptonlOOH)上。通過涂布形成的涂布膜（包含溶劑） 的厚度設(shè)定為1〇〇 U m。
[0087] 接著，在剛形成該涂布膜之后，在所形成的涂布膜上配置與實(shí)施例1同樣制作的 基層。接著，在基層的與涂布膜相反的一側(cè)的面上配置聚酰亞胺薄膜。將這樣得到的聚酰 亞胺薄膜/涂布膜/基層/聚酰亞胺薄膜的層疊體收容到保持為150°C的干燥機(jī)中，靜置 30分鐘。然后，從干燥機(jī)中取出層疊體，自然冷卻至室溫。接著，從層疊體的兩個(gè)面上剝離 聚酰亞胺薄膜，將剝離后的層疊體浸漬到乙醇中，萃取出殘留在層疊體中的UHMWPE粉末的 分散介質(zhì)。此時(shí)，為了高效地萃取出分散介質(zhì)，對(duì)乙醇和層疊體施加由超聲波引起的振動(dòng)。 然后，在室溫下使乙醇揮發(fā)，得到吸附多孔片。
[0088] 將實(shí)施例1?6和比較例1、2中制作的吸附用多孔片的評(píng)價(jià)結(jié)果與所制作的各層 的平均孔徑的值一同歸納于下述表1、2中。另外，關(guān)于表2的"對(duì)吸附對(duì)象物的影響"一欄 中的"良（〇)"和"不合格（X)"，"良"表示在作為吸附對(duì)象物的鋁箔中未觀察到應(yīng)變，"不 合格"表示在作為吸附對(duì)象物的鋁箔中確認(rèn)到應(yīng)變。
[0089] 表 1
[0090] I平均孔徑[μ m] 實(shí)施例1、3、4、5、6的表面層 ΤΙ 實(shí)施例1、2、3、5、6的基層 39 實(shí)施例2的表面層 ?8 實(shí)施例4、比較例1的基層 ?8 比較例1的表面層 30
[0091] 表 2
[0092] ! 表面粗糙廬Ra|對(duì)暖耐對(duì)象物層閨接合力 軸合劑在表畫層上飾 | [#m] 的影晌 | 隊(duì)25_ I 殘留量W | I 0.3 fe(〇) ? 1.0 I 82 _ 實(shí)施例2 I oi '^iT(〇)^I Γο 7i^-一 實(shí)施倒3 I 03 ft (Ο) I 0.6 I - 82^ - I iii?4 ]...........................a 3 良 ο^I Γο I si 實(shí)施倒5 1 0.3__j (Ο) -I 5.0__78 I 實(shí)施倒 6 I 0.3 良（〇) ] 3.0 __ ^--Γ? T7 不合 i(x) 0.3+ ' ^ 比較f能瀏定 一 [
[0093] 如表2所示，對(duì)于表面層的與吸附對(duì)象物接觸的主面的表面粗糙度（Ra)為Ι.Ομπι 以下（基于實(shí)施例2的值則為0. 9 μ m以下）的實(shí)施例1?6和比較例2而言，在作為吸附 對(duì)象物的鋁箔中未觀察到應(yīng)變的產(chǎn)生，能夠?qū)嵤┝己玫奈?。與此相對(duì)，對(duì)于表面層的與吸 附對(duì)象物接觸的主面的表面粗糙度（Ra)為1.4μπι的比較例1而言，在作為吸附對(duì)象物的 鋁箔中產(chǎn)生了應(yīng)變。
[0094] 另外，對(duì)于基層與表面層之間的接合力（層間接合力）為〇· 5N/25mm以上（基于 實(shí)施例3的值則為0. 6N/25mm以上）的實(shí)施例1?6而言，沒有觀察到因鋁箔的吸附而在 基層與表面層之間發(fā)生剝離、鼓起等接合不良，兩層保持良好的接合狀態(tài)。與此相對(duì)，對(duì)于 層間接合力為〇. 3N/25mm的比較例1而言，確認(rèn)到因鋁箔的吸附而在基層與表面層之間發(fā) 生了輕微的鼓起，在吸附對(duì)象物的吸附時(shí)未能維持兩層充分接合的狀態(tài)。
[0095] 對(duì)于表面層的平均孔徑比基層的平均孔徑小的實(shí)施例1?6而言，確認(rèn)到通過將 表面層從基層上剝離，粘合劑容易殘留在表面層側(cè)。與此相對(duì)，對(duì)于表面層的平均孔徑比基 層的平均孔徑大的比較例1而言，確認(rèn)到通過將表面層從基層上剝離，粘合劑容易殘留在 基層側(cè)。
[0096] 其次，對(duì)于對(duì)吸附對(duì)象物的影響為良的實(shí)施例1?6和比較例2,向剝離表面層后 的基層上粘貼與剝離下來的表面層相同種類的表面層，由此，再次制作吸附用多孔片。對(duì)制 作的吸附用多孔片實(shí)施上述的鋁箔吸附試驗(yàn)，結(jié)果，任何一個(gè)吸附用多孔片均能夠在不產(chǎn) 生應(yīng)變的情況下吸附鋁箔。另外，沒有觀察到因鋁箔的吸附而在基層與表面層之間發(fā)生剝 離、鼓起等接合不良。但是，對(duì)于實(shí)施例5而言，雖然可以沒有問題地進(jìn)行表面層的更換，但 是在將表面層從基層上剝離的過程中，觀察到表面層稍微拉伸的現(xiàn)象。因此，認(rèn)為處于能夠 對(duì)表面層進(jìn)行更換的層間接合力的上限附近。另一方面，對(duì)于通過加熱處理將表面層設(shè)置 在基層上的比較例2而言，表面層與基層熔合，無法進(jìn)行表面層從基層上的剝離和表面層 的更換。
[0097] 產(chǎn)業(yè)實(shí)用性
[0098] 本發(fā)明的吸附用多孔片能夠用于與以往的吸附用多孔片同樣的用途、例如玻璃板 (例如圖像顯示裝置中使用的玻璃基板）、半導(dǎo)體晶片、陶瓷生片等板狀或片狀的物品的吸 附固定、吸附輸送。
[〇〇99] 本發(fā)明可以在不脫離其意圖和本質(zhì)性特征的情況下應(yīng)用于其他實(shí)施方式。本說明 書中公開的實(shí)施方式從任何角度而言都應(yīng)視為說明性的而并不限定于此。本發(fā)明的范圍如 所附的權(quán)利要求書而非上述說明所示，與權(quán)利要求等同的含義和范圍內(nèi)的所有變更均包含 在本發(fā)明中。
【權(quán)利要求】
1. 一種吸附用多孔片，其為通過配置到吸附單元的吸附面上而防止吸附對(duì)象物與所述 吸附面的接觸的吸附用多孔片，其中， 包含具有透氣性的基層和配置在所述基層上的表面層， 所述表面層由樹脂微粒相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成， 所述表面層的與所述基層側(cè)相反的一側(cè)的主面的表面粗糙度（Ra)為l.Oym以下， 所述基層與所述表面層通過配置在該基層與該表面層之間的透氣性粘合劑層接合。
2. 如權(quán)利要求1所述的吸附用多孔片，其中，所述樹脂微粒為超高分子量聚乙烯微粒。
3. 如權(quán)利要求1所述的吸附用多孔片，其中，所述基層由超高分子量聚乙烯構(gòu)成。
4. 如權(quán)利要求1所述的吸附用多孔片，其中，由所述透氣性粘合劑層在所述基層與所 述表面層之間產(chǎn)生的接合力為0. 5N/25mm以上且5. 0N/25mm以下。
5. 如權(quán)利要求1所述的吸附用多孔片，其中， 所述基層由多孔體構(gòu)成， 所述表面層的平均孔徑小于所述基層的平均孔徑。
6. 如權(quán)利要求1所述的吸附用多孔片，其中，所述表面層的厚度小于所述基層的厚度。
7. -種吸附用多孔片中使用的更換用表面層，其通過與具有透氣性的基層接合而形成 吸附用多孔片，所述吸附用多孔片通過配置到吸附單元的吸附面上而防止吸附對(duì)象物與所 述吸附面的接觸， 在將該多孔片配置在所述吸附面上時(shí)，所述更換用表面層成為所述形成的吸附用多孔 片的與所述吸附對(duì)象物接觸的面， 所述更換用表面層中， 所述表面層由樹脂微粒相互粘結(jié)而成的多孔體構(gòu)成， 在所述表面層的一個(gè)主面上配置有將該表面層與所述基層接合的透氣性粘合劑層， 所述表面層的另一個(gè)主面的表面粗糙度（Ra)為Ι.Ομπι以下。
【文檔編號(hào)】C09J201/00GK104114358SQ201380009648
【公開日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2013年2月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年2月17日
【發(fā)明者】塚本克己, 橘俊光 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社