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一種超支化共聚聚酰亞胺/氧化鋅雜化絕緣薄膜的制備方法

文檔序號:8937128閱讀:402來源:國知局
一種超支化共聚聚酰亞胺/氧化鋅雜化絕緣薄膜的制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及高分子材料制備技術(shù)領(lǐng)域,具體設(shè)及一種超支化共聚聚酷亞胺/氧化 鋒雜化絕緣薄膜的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展對材料的種類和性能提出了更高的要求,通過材料的雜 化可W滿足某些特殊性能的需求。雜化材料的特點是綜合了各種組分的優(yōu)勢,并起到多功 能的作用。對聚酷亞胺適當雜化不僅可W保留其優(yōu)異性能,還能具有一些嶄新的特性,W適 應(yīng)現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展對聚酷亞胺性能的更高要求。聚酷亞胺可W有效地阻滯電子遷移,防止化 學(xué)腐蝕增強電子器件的抗潮濕能力W及機械性能等,所W聚酷亞胺可W作為關(guān)鍵的絕緣材 料在電工電子中有著廣泛的應(yīng)用,在常用的電工絕緣中占有獨特的地位?,F(xiàn)代微電子工業(yè) 為了達到更高的集成度,要求忍片尺寸越來越小,忍片中信號傳輸?shù)难舆t時間也會相應(yīng)增 加,運種延遲時間與層間絕緣材料的介電常數(shù)成正比。為了提高信號的傳輸速度,必須將層 間絕緣材料的介電常數(shù)降低至2. 0~2. 6,通常聚酷亞胺材料的介電常數(shù)為3. 0~3. 5,難 W滿足運一要求。
[0003] 為了降低聚酷亞胺的介電常數(shù),現(xiàn)有的研究之中,目前更多的是通過與線性聚酷 亞胺共混的方法得到復(fù)合材料,而此種方法往往由于共混物的小尺寸效應(yīng)較易發(fā)生團聚, 使得到的復(fù)合材料無法有效地提高其介電性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的目的是提供一種超支化共聚聚酷亞胺/氧化鋒雜化絕緣薄膜的制備方 法,通過超支化聚酷亞胺與納米氧化鋒雜化降低其介電常數(shù),增加產(chǎn)品的絕緣性,同時可W 提高其耐熱性能和機械性能,滿足不同電子元件對材料的要求。 陽〇化]為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:
[0006] 一種超支化共聚聚酷亞胺/氧化鋒雜化絕緣薄膜的制備方法,包括如下步驟:
[0007] 1)超支化共聚聚酷胺酸膜(CO-HBPAA)的制備:采用3,3',4,4'-二苯酸四甲酸 二?。∣DPA)、S胺單體1,3, 5-S[4-(4-胺基苯氧基)苯基]苯燈AP0PB)和4,4'-二氨 基二苯酸(ODA)S種單體為原料,Wl: 0.4 : 0.5的摩爾比例進行縮聚反應(yīng):首先用N-甲 基-2-化咯燒酬(NI巧溶解3,3',4,4'-二苯酸四甲酸二酢,待完全溶解后,緩慢滴加到 裝有1,3, 5-S[4-(4-胺基苯氧基)苯基]苯和4,4'-二氨基二苯酸的N-甲基-2-化咯 燒酬溶液中進行縮聚反應(yīng),得到黃色粘稠的透明溶液;然后,將得到的溶液滴在帶有硅膠邊 框的玻璃板上,再放入真空烘箱中干燥(W除去殘余溶劑),得到超支化共聚聚酷胺酸膜, 從玻璃板上剝離備用;
[0008] 2) -步完成超支化共聚聚酷胺酸膜的亞胺化和氧化鋒狂no)納米粒子的形成:配 置氯化鋒狂nCl2)溶液,然后把超支化共聚聚酷胺酸膜完全浸泡在氯化鋒溶液中,浸泡完成 后取出超支化共聚聚酷胺酸膜,用去離子水沖洗(W去除殘留在膜上的化Cl2溶液);用夾 子固定薄膜(防止薄膜在熱亞胺化過程中發(fā)生卷曲)后放入烘箱中烘烤,一步完成超支化 共聚聚酷胺酸膜的亞胺化和氧化鋒納米粒子的形成,制得產(chǎn)品。
[0009] 根據(jù)W上方案,所述3,3',4,4'-二苯酸四甲酸二酢的滴加是在氮氣保護與冰 水浴的條件下進行的,滴加時間為Ih,所述縮聚反應(yīng)為在冰水浴中連續(xù)反應(yīng)12h。
[0010] 根據(jù)W上方案,所述真空烘箱干燥的干燥溫度為60°c,干燥時間為12h。
[0011] 根據(jù)W上方案,所述氯化鋒溶液的濃度為2mol/l,在配置時,還加入適量濃鹽酸直 至溶液剛好澄清透明,W防止由于化Clz顆粒溶于水后水解產(chǎn)生氨氧化鋒化(OH)2絮狀沉 淀,導(dǎo)致Zn2^度降低。
[0012] 根據(jù)W上方案,所述浸泡時間為地。
[0013] 根據(jù)W上方案,所述去離子水沖洗次數(shù)為3次。
[0014] 根據(jù)W上方案,所述烘烤的具體過程為:在150°c、20(rc、25(rc和300°C的溫度下 分別烘烤Ih。
[0015] 本發(fā)明的有益效果是:
[0016] 1)本發(fā)明通過超支化聚酷亞胺的前驅(qū)體超支化聚酷胺酸與氯化鋒溶液發(fā)生離子 交換,每個簇酸為鋒離子提供接入點,在一步熱處理后得到納米氧化鋒,通過物理吸附在酷 亞胺環(huán)上的幾基上,有效減少了納米粒子的團聚,同時基體超支化聚酷亞胺結(jié)構(gòu)中具有很 多空腔結(jié)構(gòu),增加了材料中空氣的成分,所W二者綜合提高了雜化膜的介電性能W及絕緣 性,降低了材料的介電常數(shù);
[0017]2)本發(fā)明中納米粒子的引入提高了材料的熱性能和機械性能,提高了材料的尺寸 穩(wěn)定性,更適合在微電子領(lǐng)域中的應(yīng)用。
【附圖說明】
[0018] 圖1是本發(fā)明的co-HBPI/ZnO雜化薄膜合成路線示意圖;
[0019] 圖2是本發(fā)明的一步制備co-HBPI/ZnO雜化薄膜過程示意圖;
[0020] 圖3是本發(fā)明產(chǎn)品的能量彌散X射線巧D訝能譜圖;
[0021] 圖4是純CO-HBPI膜與本發(fā)明產(chǎn)品在空氣氛下的熱重分析燈GA)曲線圖;
[0022] 圖5是純CO-HBPI膜與本發(fā)明產(chǎn)品的應(yīng)力-應(yīng)變曲線圖;
[0023] 圖6是純CO-HBPI膜與本發(fā)明產(chǎn)品的表面接觸角性能的掃描電鏡(SEM)圖;
[0024]圖7是純CO-HBPI膜與本發(fā)明產(chǎn)品的介電常數(shù)隨頻率的變化曲線圖。
【具體實施方式】
[00巧]下面結(jié)合附圖與實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進行說明。
[00%] 本發(fā)明提供一種超支化共聚聚酷亞胺/氧化鋒雜化絕緣薄膜的制備方法,包括如 下步驟:
[0027] 1)超支化共聚聚酷胺酸膜(CO-HBPAA)的制備:采用0DPA、TAP0PB和孤種單體 為原料,Wl: 0.4 : 0.5的摩爾比例進行縮聚反應(yīng)(如圖1所示):用IOmlNMP溶解0DPA, 待完全溶解后,在成氣氛下冰水浴中,用滴液漏斗在Ih內(nèi)緩慢滴加到裝有IOmlTAPCPB和 ODA的NMP溶液的兩口燒瓶中,滴加完畢,繼續(xù)冰水浴中反應(yīng)12h,得到黃色粘稠的透明溶 液;然后,將得到的溶液滴在帶有硅膠邊框的玻璃板上,放入60°C真空烘箱中12hW除去殘 余溶劑,得到超支化共聚聚酷胺酸膜,從玻璃板上剝離備用; 陽02引 2) -步完成CO-HBPAA的亞胺化和化0納米粒子的形成:先配置2mol/L的氯化鋒 溶液,并加入幾滴濃鹽酸直至溶液剛好澄清透明;把制備的超支化共聚聚酷胺酸膜完全浸 泡在配置好的氯化鋒溶液中地,然后取出薄膜,用去離子水反復(fù)沖洗3遍,W去除殘留在膜 上的化Clz溶液;接著,用夾子固定薄膜放入烘箱中,在150°C,200°C,250°C和300°C的溫度 下分別烘Ih,一步完成CO-HBPAA的亞胺化和ZnO納米粒子的形成,制得到了產(chǎn)品超支化共 聚聚酷亞胺/氧化鋒雜化絕緣薄膜(co-HBPI/ZnO雜化薄膜)(過程示意圖如圖2所示)。
[0029] 為了定量地分析ZnO在CO-HBPI膜中的分布,實驗測定了本發(fā)明產(chǎn)品的邸X圖譜 (見圖3)。結(jié)果表明,測得化的含量為1.46%,說明ZnO確有被引入。
[0030] 熱性能測試:本發(fā)明產(chǎn)品的熱性能通過TGA進行了表征(見圖4)。表1列出了純
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