聚酰亞胺前體樹(shù)脂組合物的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及保存穩(wěn)定性優(yōu)異且所得的固化膜的應(yīng)力低、與基材的密合性優(yōu)異的樹(shù) 脂組合物和使用了該樹(shù)脂組合物的圖案的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 伴隨著半導(dǎo)體集成電路的微細(xì)化，需要用于降低介電常數(shù)的被稱為low-k(低k) 層的層間絕緣膜。由于l〇w-k層具有空孔結(jié)構(gòu)，因此產(chǎn)生了機(jī)械強(qiáng)度降低的問(wèn)題。為了保 護(hù)這樣機(jī)械強(qiáng)度弱的層間絕緣膜，使用由聚酰亞胺樹(shù)脂形成的固化膜。就該固化膜而言，要 求厚膜形成性、高彈性模量化這樣的特性。但是，通過(guò)厚膜化和高彈性模量化，固化后的應(yīng) 力增大，半導(dǎo)體晶片的翹曲變大，有時(shí)在運(yùn)送、晶片固定時(shí)產(chǎn)生不良狀況，因此期望開(kāi)發(fā)應(yīng) 力低的固化膜。
[0003] 為了在維持聚酰亞胺樹(shù)脂的高耐熱性和良好的機(jī)械特性的狀態(tài)下進(jìn)行低應(yīng)力化， 報(bào)道了通過(guò)使聚酰亞胺骨架為剛性且直線的骨架，從而有效降低熱膨脹系數(shù)。
[0004] 另外，從保護(hù)l〇w-k層的觀點(diǎn)考慮，在將樹(shù)脂膜厚膜化的情況下，為了在樹(shù)脂膜上 形成圖案而使用的i線的透射率降低，有不能形成圖案這樣的問(wèn)題。對(duì)此，為了提高涂膜的 i線透射率，有使用含有氟的聚酰亞胺前體的方法。
[0005] 但是，將含有氟的聚酰亞胺前體加熱固化后得到的固化膜，有相對(duì)于用作基材的 硅晶片的密合性低這樣的缺點(diǎn)（例如，專利文獻(xiàn)1、2)。
[0006] 另外，為了賦予與硅晶片優(yōu)異的密合性，報(bào)道了在樹(shù)脂組合物中使用3-異氰酸酯 基丙基二乙氧基硅烷（例如，專利文獻(xiàn)3)。然而，由于具有反應(yīng)性尚的異氛酸醋基，因此有 樹(shù)脂組合物的保存穩(wěn)定性變差的問(wèn)題。
[0007] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)1:日本特許第2826940號(hào)公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn)2:日本特許第4144110號(hào)公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)3:日本特開(kāi)平11-338157號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 本發(fā)明目的在于，為了解決這樣的問(wèn)題而提供保存穩(wěn)定性優(yōu)異、所得的固化膜應(yīng) 力低且與基材的密合性優(yōu)異的樹(shù)脂組合物和使用該樹(shù)脂組合物的固化膜的制造方法。
[0013] 本發(fā)明涉及以下內(nèi)容。
[0014] < 1 >-種含有下述（a)和（b)成分的樹(shù)脂組合物。
[0015] (a)具有下述通式（1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺前體
[0016] (b)下述通式⑵所表示的化合物
[0017][化1]
[0018]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種樹(shù)脂組合物，其含有下述（a)和（b)成分， (a) 具有下述通式（1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺前體 (b) 下述通式（2)所表示的化合物
式中，R1為4價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R2為2價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R3和R4各自獨(dú)立地為氫原子、烷基、環(huán) 烷基、或者具有碳碳不飽和雙鍵的一價(jià)有機(jī)基團(tuán)，
式中，R5表示碳原子數(shù)1~4的烷基，R6各自獨(dú)立地為羥基或者碳原子數(shù)1~4的烷 基，a為O~3的整數(shù)，η為1~6的整數(shù)，R7為下述通式（3)或者（4)中的任一基團(tuán)，
式中，R8為碳原子數(shù)1~10的烷基、或者來(lái)源于羥基烷基硅烷的1價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R9為 碳原子數(shù)1~10的烷基、來(lái)源于氨基烷基硅烷的1價(jià)有機(jī)基團(tuán)或者雜環(huán)基，R8和R9各自可 以具有取代基。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹(shù)脂組合物，所述（b)成分為下述化合物中的至少1種，
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的樹(shù)脂組合物，所述通式（1)中的R2為下述通式（5)所 表不的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)，
式中，Rltl~R 17各自獨(dú)立地表示氫原子、氟原子或者1價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R 1(1~R 17中的至少 一個(gè)為氟原子或者三氟甲基。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂組合物，所述通式（1)中的R2為通式（6) 所表示的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)，
式中，R18和R 19各自獨(dú)立地表示氟原子或者三氟甲基。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂組合物，進(jìn)一步含有通過(guò)活性光線照射產(chǎn) 生自由基的化合物作為（c)成分。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的樹(shù)脂組合物，所述（c)成分為肟酯化合物。
7. -種由權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂組合物形成的固化膜。
8. -種固化膜的制造方法，其包含將權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的樹(shù)脂組合物涂布 在基板上并干燥而形成涂膜的工序、和對(duì)涂膜進(jìn)行加熱處理的工序。
9. 一種由權(quán)利要求5或者6所述的樹(shù)脂組合物形成的圖案固化膜。
10. -種圖案固化膜的制造方法，其包含如下工序：將權(quán)利要求5或者6所述的樹(shù)脂 組合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序；對(duì)通過(guò)所述工序形成的涂膜照射活性光線 后，進(jìn)行顯影而得到圖案樹(shù)脂膜的工序；和對(duì)所述圖案樹(shù)脂膜進(jìn)行加熱處理的工序。
【專利摘要】一種含有下述(a)和(b)成分的樹(shù)脂組合物。(a)具有下述通式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺前體，(b)下述通式(2)所表示的化合物(式中，R1為4價(jià)有機(jī)基團(tuán)、R2為2價(jià)有機(jī)基團(tuán)、R3和R4各自獨(dú)立地為氫原子、烷基、環(huán)烷基或者具有碳碳不飽和雙鍵的一價(jià)有機(jī)基團(tuán)。R5表示碳原子數(shù)1～4的烷基，R6各自獨(dú)立地為羥基或者碳原子數(shù)1～4的烷基，a為0～3的整數(shù)，n為1～6的整數(shù)，R7為通式(3)或者(4)中的任一基團(tuán)。在式(3)或者(4)中，R8為碳原子數(shù)1～10的烷基、或者來(lái)源于羥基烷基硅烷的1價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R9為碳原子數(shù)1～10的烷基、來(lái)源于氨基烷基硅烷的1價(jià)有機(jī)基團(tuán)或者雜環(huán)基。R8和R9分別可以具有取代基)。
【IPC分類(lèi)】C08K5-32, C08L79-08, C08G73-10, C08F290-14, G03F7-075, G03F7-031, C08K5-5455, G03F7-027
【公開(kāi)號(hào)】CN104870565
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380067191
【發(fā)明人】小野敬司, 榎本哲也, 大江匡之, 鈴木佳子, 副島和也, 鈴木越晴
【申請(qǐng)人】日立化成杜邦微系統(tǒng)股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2013年12月13日
【公告號(hào)】WO2014097594A1