專利名稱：一種多晶硅廢酸回收裝置及采用該裝置的pac生產(chǎn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種廢酸回收裝置及采用該裝置的PAC生產(chǎn)裝置，特別是一種多晶娃廢酸回收裝置及采用該裝置的PAC生產(chǎn)裝置。
背景技術(shù)：
近幾年，在國(guó)家的大力支持下，太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)在國(guó)內(nèi)得到了飛速發(fā)展，國(guó)內(nèi)多晶硅的產(chǎn)能呈現(xiàn)爆炸性的增長(zhǎng)。目前國(guó)內(nèi)多晶硅主要采用“改良西門子”法生產(chǎn)，此方法具有高能耗、高污染的特點(diǎn)，它產(chǎn)生的廢氣、液和廢渣對(duì)環(huán)境的危害都較大。廢氣含有大量的氮?dú)?、氫氣、氯化氫和氯硅烷氣體；廢液主要有強(qiáng)腐蝕性的氯硅烷液體、廢鹽酸、廢氫氟酸、廢硝酸等；廢渣主要有硅渣、二氧化硅等。所以，對(duì)多晶硅生產(chǎn)的三廢進(jìn)行合理分類處理，加以回收 利用，具有重要意義。鹽酸是處理多晶硅廢氣廢液過(guò)程中氯硅烷水解生成的產(chǎn)物，現(xiàn)有工藝中水解生成的鹽酸主要用燒堿進(jìn)行中和，但這需要消耗大量的燒堿，不但增加了多晶硅的總體生產(chǎn)成本，而且中和反應(yīng)生成大量的鹽處理困難，造成二次污染，環(huán)保壓力很大。聚合氯化招(Polyaluminium Chloride,簡(jiǎn)稱PAC),是一種無(wú)機(jī)高分子混凝劑。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)上述存在的問(wèn)題，提供一種多晶硅生產(chǎn)過(guò)程廢酸回收濃縮的裝置，并利用回收濃縮的酸生產(chǎn)PAC，這對(duì)多晶硅生產(chǎn)的三廢合理分類利用，減少環(huán)境污染，降低多晶硅生產(chǎn)成本有著重要意義。本實(shí)用新型的一種多晶硅廢酸回收裝置采用的技術(shù)方案如下本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，主要由洗滌裝置、過(guò)濾裝置I和儲(chǔ)槽I順次相連組成。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，洗滌裝置連接于多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)廢氣廢液排放管道上用于廢氣的噴淋洗滌和吸收，廢氣經(jīng)過(guò)所述洗滌裝置內(nèi)洗滌液的噴淋洗滌后，其中大部分酸性氣體得到充分吸收，水解形成低濃度的鹽酸和生成的二氧化硅隨洗滌液進(jìn)入洗滌裝置下部的洗滌池中，廢氣中的氫氣、氮?dú)夂蜆O少量未完全吸收的氯化氫氣體和氯硅烷氣體經(jīng)后續(xù)處理后排空。所述洗滌裝置下部有洗滌池，是洗滌液的儲(chǔ)存場(chǎng)所。所述過(guò)濾裝置I主要用于洗滌液中鹽酸、二氧化硅和其他固體雜質(zhì)的固液分離。所述儲(chǔ)槽I用于進(jìn)一步澄清所述過(guò)濾裝置I過(guò)濾所得的鹽酸，并作為鹽酸的儲(chǔ)存場(chǎng)所。本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，所述洗滌裝置包含至少2個(gè)洗滌塔，所述洗滌塔之間相互串聯(lián)。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，至少2個(gè)串聯(lián)的洗滌塔大大增了所述洗滌裝置中洗滌液和廢氣的相互接觸時(shí)間和接觸面積，使得廢氣在所述洗滌塔中得到充分的吸收，減少了廢酸原料的浪費(fèi)和未吸收的有害氣體對(duì)環(huán)境的污染。所述串聯(lián)，是指洗滌液通過(guò)各個(gè)洗滌塔頂部的管道進(jìn)入塔體內(nèi)部進(jìn)行噴淋洗滌吸收，廢氣從一個(gè)洗滌塔上部或下部進(jìn)入塔內(nèi)進(jìn)行噴淋后，未吸收氣體通過(guò)管道進(jìn)入下一個(gè)洗滌塔的下部或上部繼續(xù)進(jìn)行噴淋洗滌吸收，依次類推。本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，所述洗滌裝置還連接有泵I，泵I的出口連接到各個(gè)洗滌塔的頂部。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，在洗滌液進(jìn)行一次噴淋洗滌吸收后，其中酸濃度不能達(dá)到工藝要求的情況下，用所述泵I將洗滌液循環(huán)輸送到各個(gè)洗滌塔的頂部進(jìn)行循環(huán)噴淋洗滌吸收以增加廢酸濃度，在泵I連接洗滌塔的管路上也設(shè)置有閥門便于控制洗滌液進(jìn)入洗滌塔的量。同時(shí)泵I還可作為洗滌池內(nèi)鹽酸濃度合格的洗滌液的采出泵。本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，所述泵I連接到洗滌塔頂部的管路還與過(guò)濾裝置I連接，且該管路與過(guò)濾裝置I之間連接的管道上設(shè)置有采出閥。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，所述泵I連接到洗滌塔頂部的管路和過(guò)濾裝置I之間的管道作為鹽酸濃度合格的洗滌液采出管道，所述采出閥作為洗滌液采出的控制閥。從泵I輸送出的洗滌液一部分進(jìn)入洗滌塔頂部對(duì)多晶硅廢氣進(jìn)行噴淋洗滌吸收，另一部分通過(guò)采出管道上的采出閥實(shí)現(xiàn)對(duì)洗滌裝置中鹽酸濃度合格的洗滌液的采出，采出閥與去洗滌塔管路上的閥門配合來(lái)控制洗滌液的采出量。在本實(shí)用新型中不對(duì)閥門的類型和控制方式作進(jìn)一步的限定，可以根據(jù)生產(chǎn)具體情況決定采用何種閥門或者何種控制方式。本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，所述儲(chǔ)槽I上還連接有泵II。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)泵II可以實(shí)現(xiàn)符合工藝要求的回收鹽酸的輸送。本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，所述過(guò)濾裝置I為板框式壓濾機(jī)。結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際，優(yōu)先選用板框式壓濾機(jī)，板框式壓濾機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，可靠性高，分離效果好等優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的晶硅廢酸回收裝置，對(duì)多晶硅生產(chǎn)中排放的廢氣廢液采用洗滌裝置循環(huán)噴淋洗滌吸收進(jìn)行鹽酸回收濃縮，并能通過(guò)采出閥控制鹽酸的濃度，通過(guò)過(guò)濾裝置I過(guò)濾得到一定濃度的澄清鹽酸。解決了目前生產(chǎn)中酸堿中和消耗燒堿量大，成本高，污染大等問(wèn)題。本實(shí)用新型的一種采用所述多晶硅廢酸回收裝置的PAC生產(chǎn)裝置采用的技術(shù)方案如下本實(shí)用新型的采用所述多晶硅廢酸回收裝置的PAC生產(chǎn)裝置，主要由所述多晶硅廢酸回收裝置與反應(yīng)裝置、聚合池和儲(chǔ)槽II順次相連組成。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，所述多晶硅廢酸回收裝置與PAC生產(chǎn)裝置相連接，為PAC生產(chǎn)裝置提供原料鹽酸進(jìn)行PAC生產(chǎn)，在所述反應(yīng)裝置中，鹽酸與外加原料氫氧化鋁反應(yīng)生成氯化鋁，再向氯化鋁液中加入鋁酸鈣來(lái)調(diào)節(jié)PH值，將反應(yīng)并調(diào)節(jié)好PH值的反應(yīng)液送入所述聚合池進(jìn)行靜置聚合生成PAC，所述儲(chǔ)槽II與聚合池相連用于儲(chǔ)存PAC。本實(shí)用新型的PAC生產(chǎn)裝置，所述反應(yīng)裝置主要由一級(jí)反應(yīng)釜和二級(jí)反應(yīng)釜順次相連組成。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，所述一級(jí)反應(yīng)釜為鹽酸和外加氫氧化鋁提供反應(yīng)場(chǎng)所生成氯化鋁，生成的氯化鋁液通過(guò)一級(jí)反應(yīng)釜下部的閥門送入所述二級(jí)反應(yīng)釜，在二級(jí)反應(yīng)釜中加入鋁酸鈣粉調(diào)節(jié)PH值，調(diào)節(jié)好PH值的反應(yīng)液通過(guò)二級(jí)反應(yīng)釜下部的閥門送入聚合池。這樣的結(jié)構(gòu)便于分步控制氯化鋁反應(yīng)和PH值調(diào)節(jié)，在一定程度上還保證了生產(chǎn)過(guò)程的連續(xù)性。本實(shí)用新型的PAC生產(chǎn)裝置，所述聚合池和儲(chǔ)槽II之間還連接有過(guò)濾裝置II，所述過(guò)濾裝置II為板框式壓濾機(jī)。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，來(lái)自聚合池的粗制PCA通過(guò)所述過(guò)濾裝置II的過(guò)濾，進(jìn)一步去除了所述多晶硅廢酸回收裝置提供的鹽酸中過(guò)濾不完全的二氧化硅和在PAC生產(chǎn)中引入的其他固體雜質(zhì)，進(jìn)一步提高了產(chǎn)品質(zhì)量。板框式壓濾機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，可靠性高，分離效果好等優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的PAC生產(chǎn)裝置，所述聚合池和過(guò)濾裝置II之間還連接有泵III，所述儲(chǔ)槽II上還連接有泵IV。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)所述泵III和泵IV來(lái)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)中物料的輸送。本實(shí)用新型一種采用所述多晶硅廢酸回收裝置的PAC生產(chǎn)裝置，由所述多晶硅廢酸回收裝置與PAC生產(chǎn)裝置順次相連接而成，將回收的澄清的鹽酸作為原料酸生產(chǎn)PAC，實(shí)現(xiàn)了回收鹽酸的二次利用，產(chǎn)品PAC又成為一個(gè)新的利潤(rùn)增長(zhǎng)點(diǎn)。綜上所述，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉的多晶硅廢氣廢液水解生成的鹽酸回收裝置，并將回收所得鹽酸用于PAC生產(chǎn)。解決了多晶硅生產(chǎn)中廢氣廢液污染環(huán)境，傳統(tǒng)酸堿中和工藝成本高，處理中和反應(yīng)所生成的鹽污染大等難題，同時(shí)回收所得鹽酸為后續(xù)PAC生產(chǎn)提供了一種價(jià)格低廉的原料鹽酸，產(chǎn)品PAC又成為一個(gè)新的利潤(rùn)增長(zhǎng)點(diǎn)，提高了經(jīng)濟(jì)和環(huán)保效益。

圖I是本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置示意圖； 圖2是本實(shí)用新型的PAC生產(chǎn)裝置示意圖；圖3是本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置及采用該裝置的PAC生產(chǎn)裝置示意框圖。圖中標(biāo)記1一洗漆裝置，2—洗漆塔，3—泵I ,4一米出閥,5—過(guò)濾裝置I ,6—儲(chǔ)槽I，7—泵II，8——級(jí)反應(yīng)釜，9—二級(jí)反應(yīng)爸，10—聚合池，11—泵III，12—過(guò)濾裝置II，13—儲(chǔ)槽 II，14—泵IV。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。實(shí)施例I本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，如圖I所示。將多晶硅各工序廢氣廢液排放點(diǎn)的廢氣廢液送入所述洗滌裝置1，通過(guò)2個(gè)串聯(lián)的洗滌塔2塔頂洗滌液噴淋洗滌吸收后，形成的低濃度鹽酸和二氧化硅進(jìn)入洗滌裝置I下部洗滌池中，其中氫氣、氮?dú)狻O少量氯化氫氣體和氯硅烷氣體經(jīng)后續(xù)處理后排空；洗滌池中的含低濃度鹽酸的洗滌液通過(guò)所述泵I 3循環(huán)回各個(gè)洗滌塔2頂部進(jìn)行噴淋洗滌吸收；當(dāng)洗滌液鹽酸濃度達(dá)到10%時(shí)，通過(guò)所述的采出閥4將其送入過(guò)濾裝置I 5中，將其中的鹽酸與二氧化硅等固體雜質(zhì)進(jìn)行分離過(guò)濾，得到的澄清的10%鹽酸送至所述儲(chǔ)槽I 6中儲(chǔ)存。實(shí)施例2本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，如圖I所示。將所述洗滌裝置I的洗滌塔2的個(gè)數(shù)增加到3個(gè)，提高廢氣的洗滌效率，減少原料廢酸的浪費(fèi)和尾氣對(duì)環(huán)境的污染。將多晶硅各工序廢氣廢液排放點(diǎn)的廢氣廢液送入所述洗滌裝置1，通過(guò)3個(gè)或4個(gè)串聯(lián)的洗滌塔2塔頂洗滌液噴淋洗滌吸收后，形成的低濃度鹽酸和二氧化硅進(jìn)入洗滌裝置I下部洗滌池中，其中氫氣、氮?dú)?、極少量氯化氫氣體和氯硅烷氣體經(jīng)后續(xù)處理后排空；洗滌池中的含低濃度鹽酸的洗滌液通過(guò)所述泵I 3循環(huán)回各個(gè)洗滌塔2頂部進(jìn)行噴淋洗滌吸收；當(dāng)洗滌液鹽酸濃度達(dá)到10%時(shí)，通過(guò)所述的采出閥4將其送入過(guò)濾裝置I 5中，將其中的鹽酸與二氧化硅等固體雜質(zhì)進(jìn)行分離過(guò)濾，得到的澄清的10%鹽酸送至所述儲(chǔ)槽I 6中儲(chǔ)存。實(shí)施例3本實(shí)用新型的多晶硅廢酸回收裝置，在實(shí)施例I或?qū)嵤├?的基礎(chǔ)上，當(dāng)洗滌液中鹽酸濃度到達(dá)12%時(shí)，通過(guò)采出閥4采出洗滌液，送入所述過(guò)濾裝置I 5進(jìn)行固液分離后得到不同濃度的鹽酸，將鹽酸輸送至所述儲(chǔ)槽I 6中儲(chǔ)存。實(shí)施例4本實(shí)用新型的采用所述多晶硅廢酸回收裝置的PAC生產(chǎn)裝置，如圖I、圖2、圖3所示。在圖I所示的多晶硅廢酸回收裝置的基礎(chǔ)上連接圖2所示的PAC生產(chǎn)裝置，將多晶硅各工序廢氣廢液排放點(diǎn)的廢氣廢液送入所述洗滌裝置I，通過(guò)2或2個(gè)以上串聯(lián)的洗滌塔2塔頂洗滌液噴淋洗滌吸收后，形成的低濃度鹽酸和二氧化硅進(jìn)入洗滌裝置I下部洗滌池中，其中氫氣、氮?dú)?、極少量氯化氫氣體和氯硅烷氣體經(jīng)后續(xù)處理后排空；洗滌池中的含低濃度鹽酸的洗滌液通過(guò)所述泵I 3循環(huán)回各個(gè)洗滌塔2頂部進(jìn)行噴淋；當(dāng)洗滌液鹽酸濃度達(dá)到10%時(shí)，通過(guò)所述的采出閥4將洗滌液送入過(guò)濾裝置I 5中，將其中的鹽酸與二氧化硅等固體雜質(zhì)進(jìn)行分離過(guò)濾，得到的澄清的10%鹽酸送至所述儲(chǔ)槽I 6中儲(chǔ)存。儲(chǔ)槽I 6中濃度為10%的鹽酸通過(guò)所述泵II 7送入一級(jí)反應(yīng)爸8中，向該一級(jí)反應(yīng)爸中加入適量的氫氧化鋁，采用攪拌的方式使得反應(yīng)更加充分，反應(yīng)并冷卻后得到氯化鋁液通過(guò)一級(jí)反應(yīng)釜8下部的閥門送入所述二級(jí)反應(yīng)釜9中，采用攪拌方式加入鋁酸鈣粉調(diào)節(jié)PH值，待PH值合格后，反應(yīng)液通過(guò)二級(jí)反應(yīng)釜9下部閥門送入所述聚合池10進(jìn)行聚合，得到PAC粗產(chǎn)品，將該產(chǎn)品通過(guò)泵III 11送入所述儲(chǔ)槽II 13中儲(chǔ)存，待檢測(cè)合格后通過(guò)泵IV 14將成品PAC外送。實(shí)施例5本實(shí)用新型的采用所述多晶硅廢酸回收裝置的PAC生產(chǎn)裝置，在所述泵III 11和儲(chǔ)槽II 13之間添加過(guò)慮裝置II 12來(lái)提高產(chǎn)品質(zhì)量。在圖I所示的多晶硅廢酸回收裝置的基礎(chǔ)上連接圖2所示的PAC生產(chǎn)裝置，將多晶硅各工序廢氣廢液排放點(diǎn)的廢氣廢液送入所述洗滌裝置1，通過(guò)2或2個(gè)以上串聯(lián)的洗滌塔2塔頂洗滌液噴淋洗滌吸收后，形成的低濃度鹽酸和二氧化硅進(jìn)入洗滌裝置I下部洗滌池中，其中氫氣、氮?dú)?、極少量氯化氫氣體和氯硅烷氣體經(jīng)后續(xù)處理后排空；洗滌池中的含低濃度鹽酸的洗滌液通過(guò)所述泵I 3循環(huán)回各個(gè)洗滌塔2頂部進(jìn)行噴淋；當(dāng)洗滌液鹽酸濃度達(dá)到10%時(shí)，通過(guò)所述的采出閥4將洗滌液送入過(guò)濾裝置I 5中，將其中的鹽酸與二氧化硅等固體雜質(zhì)進(jìn)行分離過(guò)濾，得到的澄清的10%鹽酸送至所述儲(chǔ)槽I 6中儲(chǔ)存。儲(chǔ)槽I 6中濃度為10%的鹽酸通過(guò)所述泵II 7送入一級(jí)反應(yīng)釜8中，向該一級(jí)反應(yīng)釜中加入適量的氫氧化鋁，采用攪拌的方式使得反應(yīng)更加充分，反應(yīng)并冷卻后得到氯化鋁液通過(guò)一級(jí)反應(yīng)釜8下部的閥門送入所述二級(jí)反應(yīng)釜9中，采用攪拌方式加入鋁酸鈣粉調(diào)節(jié)PH值，待PH值合格后，反應(yīng)液通過(guò)二級(jí)反應(yīng)釜9下部閥門送入所述聚合池10進(jìn)行聚合，得到PAC粗產(chǎn)品，通過(guò)泵III 11將粗制PAC送入所述過(guò)濾裝置II 12進(jìn)行固液分離得到精制PAC產(chǎn)品，將該產(chǎn)品送入所述儲(chǔ)槽II 13中儲(chǔ)存，待檢測(cè)合格后通過(guò)泵IV 14將成品PAC外送。實(shí)施例6本實(shí)用新型的采用所述多晶硅廢酸回收裝置的PAC生產(chǎn)裝置，通過(guò)控制采出閥4采出鹽酸濃度為12%的洗滌液，來(lái)生產(chǎn)不同濃度的PAC產(chǎn)品。在圖I所示的多晶硅廢酸回收裝置的基礎(chǔ)上連接圖2所示的PAC生產(chǎn)裝置，將多晶硅各工序廢氣廢液排放點(diǎn)的廢氣廢液送入所述洗滌裝置1，通過(guò)2或2個(gè)以上串聯(lián)的洗滌塔2塔頂洗滌液噴淋洗滌吸收后，形 成的低濃度鹽酸和二氧化硅進(jìn)入洗滌裝置I下部洗滌池中，其中氫氣、氮?dú)?、極少量氯化氫氣體和氯硅烷氣體經(jīng)后續(xù)處理后排空；洗滌池中的含低濃度鹽酸的洗滌液通過(guò)所述泵I 3循環(huán)回各個(gè)洗滌塔2頂部進(jìn)行噴淋；當(dāng)洗滌液鹽酸濃度達(dá)到12%時(shí)，通過(guò)所述的采出閥4將洗滌液送入過(guò)濾裝置I 5中，將洗滌液送入過(guò)濾裝置I 5進(jìn)行固液分離，將其中的鹽酸與二氧化硅等固體雜質(zhì)進(jìn)行分離過(guò)濾，得到澄清的12%鹽酸送至所述儲(chǔ)槽I 6中儲(chǔ)存。再通過(guò)泵II 7將儲(chǔ)槽I 6中的12%鹽酸送入所述一級(jí)反應(yīng)爸8,向一級(jí)反應(yīng)爸8中加入適量的氫氧化鋁，采用攪拌的方式使得反應(yīng)更加充分，反應(yīng)并冷卻后得到氯化鋁液通過(guò)一級(jí)反應(yīng)釜8下部的閥門送入所述二級(jí)反應(yīng)釜9中，采用攪拌方式加入鋁酸鈣粉調(diào)節(jié)PH值，待PH值合格后，反應(yīng)液通過(guò)二級(jí)反應(yīng)釜9下部閥門送入所述聚合池10進(jìn)行聚合，得到與實(shí)施例4、實(shí)施例5濃度不同的聚合氯化鋁粗產(chǎn)品，用泵III 11將粗制PAC送入所述過(guò)濾裝置II 12進(jìn)行固液分離，得到精制PAC產(chǎn)品，將該產(chǎn)品送入所述儲(chǔ)槽II 13中儲(chǔ)存，待檢測(cè)合格后通過(guò)泵IV 14將成品PAC外送。本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉的多晶硅廢氣廢液回收濃縮鹽酸的裝置，同時(shí)提供了一種采用該裝置的PAC生產(chǎn)裝置，解決了多晶硅生產(chǎn)中廢氣廢液污染環(huán)境，傳統(tǒng)酸堿中和消耗燒堿成本高，處理中和反應(yīng)所生成的鹽污染大等難題，回收所得的符合工藝要求的鹽酸還能為后續(xù)PAC生產(chǎn)提供了一種價(jià)格便宜的原料酸，進(jìn)一步提高了環(huán)保和經(jīng)濟(jì)效益。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.ー種多晶硅廢酸回收裝置，其特征在干主要由洗滌裝置(I)、過(guò)濾裝置I (5)和儲(chǔ)槽I (6)順次相連組成。
2.如權(quán)利要求I所述的多晶硅廢酸回收裝置，其特征在于所述洗滌裝置(I)包含至少2個(gè)洗滌塔(2)，所述洗滌塔(2)之間相互串聯(lián)。
3.如權(quán)利要求2所述的多晶硅廢酸回收裝置，其特征在于所述洗滌裝置(I)還連接有泵I (3)，泵I (3)的出口連接到各個(gè)洗滌塔(2)的頂部。
4.如權(quán)利要求3所述的多晶硅廢酸回收裝置，其特征在干所述泵I(3)連接到洗滌塔頂部的管路還與過(guò)濾裝置I (5)連接，且該管路與過(guò)濾裝置I (5)之間連接有采出閥(4)。
5.如權(quán)利要求I至4任一項(xiàng)所述的多晶硅廢酸回收裝置，其特征在干所述儲(chǔ)槽I(6)上還連接有泵II (7)。
6.如權(quán)利要求5所述的多晶硅廢酸回收裝置，其特征在干所述過(guò)濾裝置I(5)為板框式壓濾機(jī)。
7.ー種采用權(quán)利要求I至6任一項(xiàng)所述的多晶硅廢酸回收裝置的PAC生產(chǎn)裝置，其特征在于主要由所述多晶硅廢酸回收裝置與反應(yīng)裝置、聚合池(10)和儲(chǔ)槽II (13)順次相連組成。
8.如權(quán)利要求7所述的PAC生產(chǎn)裝置，所述反應(yīng)裝置主要由一級(jí)反應(yīng)釜(8)和ニ級(jí)反應(yīng)釜(9)順次相連組成。
9.如權(quán)利要求7或8所述的PAC生產(chǎn)裝置，其特征在于所述聚合池(10)和儲(chǔ)槽II(13)之間還連接有過(guò)濾裝置II (12)，所述過(guò)濾裝置II (12)為板框式壓濾機(jī)。
10.如權(quán)利要求9所述的PAC生產(chǎn)裝置，其特征在于所述聚合池(10)和過(guò)濾裝置II(12)之間還連接有泵IIK11)，所述儲(chǔ)槽II (13)上還連接有泵IV (14)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅廢酸回收裝置及采用該裝置的PAC生產(chǎn)裝置，屬于多晶硅技術(shù)領(lǐng)域。所述多晶硅廢酸回收裝置主要由洗滌裝置、過(guò)濾裝置Ⅰ、儲(chǔ)槽Ⅰ順次相連組成，所述PAC生產(chǎn)裝置主要由所述多晶硅廢酸回收裝置與反應(yīng)裝置、聚合池和儲(chǔ)槽Ⅱ順次相連組成。本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉的多晶硅廢氣廢液回收濃縮鹽酸的裝置，同時(shí)還提供了一種采用該裝置的PAC生產(chǎn)裝置。解決了多晶硅生產(chǎn)中廢氣廢液污染環(huán)境，傳統(tǒng)酸堿中和消耗燒堿成本高，處理中和反應(yīng)生成的鹽污染大等難題，回收所得的符合工藝要求的鹽酸還為后續(xù)PAC生產(chǎn)提供一種價(jià)格便宜的原料酸，進(jìn)一步提高了經(jīng)濟(jì)和環(huán)保效益。
文檔編號(hào)C01B7/07GK202542834SQ20122013658
公開(kāi)日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月31日
發(fā)明者孫明炳, 李仕楊, 李仙壽, 沈偉, 雷嵩 申請(qǐng)人:四川瑞能硅材料有限公司