專利名稱：用于再循環(huán)至供給氣的滲透量可調(diào)整的基于膜的氣體回收系統(tǒng)和方法
用于再循環(huán)至供給氣的滲透量可調(diào)整的基于膜的氣體回收
系統(tǒng)和方法相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本專利申請(qǐng)要求于2009年6月10日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)第61/185，965號(hào)的優(yōu)先權(quán)。
背景技術(shù)：
有很多利用氣體的過(guò)程，在所述過(guò)程中，由于氣體相對(duì)較高的成本，所以希望回收氣體。但是，許多這樣的過(guò)程會(huì)產(chǎn)生變化的供回收的氣體量。因此，理想的回收系統(tǒng)應(yīng)有效而經(jīng)濟(jì)地回收氣體，即使能夠被回收的氣體的量隨時(shí)間變化。這些過(guò)程中的兩種包括用于制造光纖的光纖冷卻塔以及在真空爐中對(duì)部件的熱處理。氣體分離領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)至IJ，有許多產(chǎn)生這種可變的流量的其它過(guò)程，且對(duì)所述過(guò)程來(lái)說(shuō)希望回收相對(duì)昂貴的氣體。在制造光纖時(shí)，熔融的玻璃通過(guò)模具而被擠壓。熔融玻璃利用長(zhǎng)的冷卻塔(退火塔(draw tower))而快速冷卻。為增強(qiáng)冷卻塔內(nèi)的傳熱，氦被用作傳熱介質(zhì)。由于氦的供給短缺且價(jià)格在上漲，因此希望將氦捕集和再循環(huán)。從用于光纖紡絲的冷卻退火塔再循環(huán)氦是很困難的。由于在從塔的回收過(guò)程中空氣進(jìn)入了氦，因此所提取的氦會(huì)含有低至60%體積的氦，而其余為空氣。高純度氦的高回收率是被希望的。從冷卻效率來(lái)說(shuō)，要求再循環(huán)至冷卻塔的是高純度氦產(chǎn)品(例如，> 99%體積/體積)，而從回收過(guò)程的經(jīng)濟(jì)合理性來(lái)說(shuō)，要求有令人滿意的高氮?dú)饣厥章?。典型的光纖紡絲設(shè)備包含多個(gè)塔。每個(gè)塔的氦流量將根據(jù)塔的冷卻需求而變化。 可以想象，每個(gè)塔可具有不同的氦供給流量。出于經(jīng)濟(jì)原因，優(yōu)選由單個(gè)氦回收系統(tǒng)處理多個(gè)塔。這種可能的系統(tǒng)在理想中應(yīng)能夠補(bǔ)償流量的這些變化。因此，這種可能的系統(tǒng)必需能夠在個(gè)別退火塔加入運(yùn)行或不再運(yùn)行而使進(jìn)給流量發(fā)生大幅度變化時(shí)運(yùn)行。氣體分離技術(shù)的一種類型是用膜、特別是聚合物膜進(jìn)行氣體分離?；谀さ臍怏w分離是通過(guò)輸送供給氣至氣體分離膜的入口而執(zhí)行的。根據(jù)聚合物膜的成分，某些氣體 (稱為“快速氣”)會(huì)比其它氣體(稱為“慢速氣”)更大程度地透過(guò)膜?？焖贇獗皇占蓾B透流，而慢速氣被收集成滯留流或殘余流。某些人已提議利用膜從光纖冷卻塔回收氦。在玻璃狀聚合物膜的情況中，氦是快速氣而空氣氣體氧和氮是慢速氣。膜系統(tǒng)通常是基于固定的供給流率而設(shè)計(jì)的。換句話說(shuō)，給定類型的膜的膜組件數(shù)量是基于待處理的供給氣的期望的固定流率而設(shè)計(jì)的。給定的應(yīng)用所需要的膜組件的數(shù)量直接與進(jìn)給流量成比例。對(duì)于高進(jìn)給流量的膜系統(tǒng)，需要大量的膜組件。可調(diào)范圍(Turndown)是一個(gè)參數(shù)，該參數(shù)描述方法或系統(tǒng)應(yīng)對(duì)進(jìn)給流量相對(duì)于最大流量的變化的能力。它可以表達(dá)成下式可調(diào)范圍=(1-實(shí)際進(jìn)給流量/最大進(jìn)給流量)X 100%對(duì)于相對(duì)較大的系統(tǒng)，可通過(guò)激活或停用多個(gè)膜組件中的一個(gè)或多個(gè)而容易地適應(yīng)可調(diào)范圍的變化。簡(jiǎn)而言之，承受供給氣的總的膜表面積被調(diào)整以補(bǔ)償供給流量的變化。對(duì)于相對(duì)較低進(jìn)給流量的系統(tǒng)，例如光纖退火塔，這種多組件的方法是有困難的。 這是因?yàn)樵谧畲罅髁繒r(shí)可僅由單個(gè)市售尺寸的膜組件實(shí)現(xiàn)希望的產(chǎn)品純度和回收率。例如，單個(gè)1英寸或2英寸直徑的膜(通常是最小的市售的膜設(shè)備)可能對(duì)最大流量已經(jīng)足夠了。盡管單個(gè)膜組件的使用就投資費(fèi)用而言可能是有成本效益的，但在顯著低于最大流量的流量下可能表現(xiàn)出不可接受的性能。用來(lái)解決與這種低流量相關(guān)的問(wèn)題的一種可能的解決方案是利用上文所述的多組件方法。為了使多組件方法適應(yīng)這種低流量，需要采用很多定制加工的小滲透件。因此，這變成了高度定制化而低效(就成本而言)的解決方案。在真空爐內(nèi)對(duì)部件的熱處理中，利用惰性冷卻氣體(例如氦)使部件的相對(duì)較高的溫度快速冷卻。根據(jù)需要熱處理的部件數(shù)量，一個(gè)或多個(gè)真空爐可被加入運(yùn)行或不再運(yùn)行。一些人已提出各種策略以便再循環(huán)冷卻氣體，所述策略包括凈化步驟，所述凈化步驟可涉及到氣體分離膜的使用。類似于氦從光纖冷卻塔的再循環(huán)，出于經(jīng)濟(jì)性的原因，優(yōu)選利用單個(gè)氣體回收系統(tǒng)(例如利用氣體分離膜的系統(tǒng))從多個(gè)真空爐再循環(huán)惰性氣體(例如氦)。這種可能的系統(tǒng)在理想中應(yīng)能夠補(bǔ)償當(dāng)個(gè)別真空爐加入使用或不再使用時(shí)進(jìn)給流量的大幅度變化。特別是針對(duì)氦，某些人已在專利文獻(xiàn)中提出各種回收策略。美國(guó)專利第6，517，791號(hào)描述了用于冷噴涂成型的氦回收系統(tǒng)。膜在單個(gè)通道內(nèi)運(yùn)行。系統(tǒng)的凈化目標(biāo)是將氦的含量從約90%的氦增加至97%的氦，這是相對(duì)小范圍的提升。相比之下，用于光纖紡絲的氦回收常常要求相對(duì)較高的氣體富集度。美國(guó)專利第4，448，582號(hào)利用了低溫方法回收氦以便在光纖退火塔中再循環(huán)。美國(guó)專利第5，377，491號(hào)和第5，452，583號(hào)也是關(guān)于氦從光纖退火塔的再循環(huán)。 膜被描述成凈化氦以便在退火塔中再循環(huán)的幾種方法之一。類似的美國(guó)專利第6，092，391 號(hào)和第6，253，575 Bl號(hào)描述了用于整個(gè)光纖紡絲過(guò)程的更完整的氦回收系統(tǒng)，所述光纖紡絲過(guò)程包括強(qiáng)化、退火爐和退火纖維冷卻。膜系統(tǒng)被描述為一種用于回收氦的裝置。美國(guó)專利第5，158，625號(hào)公開(kāi)了一種用于對(duì)物品熱處理的過(guò)程，所述過(guò)程在再循環(huán)氣體介質(zhì)中使物品淬火，所述再循環(huán)氣體與被處理的物品接觸，淬火氣體借助熱交換器而被冷卻，在該種類型中氦被用作淬火氣體。在淬火操作的最后，借助泵從處理外殼中抽取處于終態(tài)的氦直至實(shí)現(xiàn)基本真空。被抽取的氦借助與機(jī)械過(guò)濾器關(guān)聯(lián)的壓縮機(jī)而達(dá)到凈化壓力，在凈化壓力下的氦被送至凈化器，在所述凈化器內(nèi)除去了雜質(zhì)。美國(guó)專利第6，517，791號(hào)公開(kāi)了用于回收和凈化氮?dú)獾娜?jí)過(guò)程，以及用于利用該三級(jí)過(guò)程的系統(tǒng)。來(lái)自冷噴涂成型腔室的氣體被引至顆粒去除裝置以形成無(wú)顆粒的氦氣。無(wú)顆粒氦氣的第一部分再循環(huán)回到腔室。無(wú)顆粒氦氣的第二部分在通過(guò)氦氣凈化膜以形成經(jīng)凈化的氦氣和廢氣之前先通至第一壓縮機(jī)。經(jīng)凈化的氦氣隨后被通至與無(wú)顆粒氦氣的至腔室的第一部分混合。無(wú)顆粒氦氣的第三部分被通至液體分離裝置以除去水，并通至接收器以抑制任何脈動(dòng)，從而形成無(wú)液體的氦氣。無(wú)液體的氦氣再循環(huán)至冷噴涂成型腔室。盡管上述的專利文獻(xiàn)公開(kāi)了各種解決方案，但沒(méi)有一個(gè)公開(kāi)了這樣的方案該方案令人滿意地解決了供給流率的變化幅度大的問(wèn)題。因此，本發(fā)明的目的是提供一種改進(jìn)的用于基于膜的氣體回收的方法和系統(tǒng)，所述方法和系統(tǒng)適于在供給流率的大幅度范圍下實(shí)現(xiàn)足夠高的純度。本發(fā)明的另一目的是提供一種改進(jìn)的用于基于膜的氣體回收的方法和系統(tǒng)，所述方法和系統(tǒng)適于在供給流率的大幅度范圍下實(shí)現(xiàn)足夠高的回收率。本發(fā)明的再一目的是提供一種改進(jìn)的用于基于膜的氣體回收的方法和系統(tǒng)，所述方法和系統(tǒng)適于在供給流率的大幅度范圍下令人滿意地工作而同時(shí)令人滿意地帶來(lái)低投資成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開(kāi)了一種從產(chǎn)生流率變化的廢氣的過(guò)程中回收快速氣的方法，所述廢氣包括快速氣和至少一種慢速氣。方法包括以下步驟提供氣體混合物的多個(gè)來(lái)源，其中氣體混合物包括快速和慢速氣。從來(lái)源中的一個(gè)或多個(gè)獲得了供給氣流，其中供給氣流包括快速和慢速氣，且供給氣流基于有效產(chǎn)生氣體混合物的多個(gè)來(lái)源的數(shù)量而具有可變的流率。 將供給氣流壓縮。經(jīng)壓縮的供給氣被輸送至初始?xì)怏w分離膜。從初始?xì)怏w分離膜提取富含快速氣的初始滲透流和缺乏快速氣的殘余流。初始滲透流的第一部分被引導(dǎo)至壓縮機(jī)，在壓縮機(jī)中第一部分與供給氣流混合并被壓縮。提取初始滲透流的剩余部分以提供成品氣。 基于方法的運(yùn)行參數(shù)而調(diào)整初始滲透流在第一部分和其余部分之間分配的程度。本發(fā)明還公開(kāi)了一種用于從產(chǎn)生流率變化的廢氣的過(guò)程中回收目標(biāo)氣體的系統(tǒng)。 該系統(tǒng)包括廢氣的多個(gè)來(lái)源；與多個(gè)來(lái)源選擇性地流體連通的供給氣導(dǎo)管；具有入口和出口的壓縮機(jī)，所述入口與供給氣導(dǎo)管流體連通；具有入口、滲透物出口和殘余物出口的初始?xì)怏w分離膜；與初始?xì)怏w分離膜的滲透物出口流體連通的初始滲透導(dǎo)管；與初始滲透導(dǎo)管流體連通的成品氣導(dǎo)管；在初始滲透導(dǎo)管和壓縮機(jī)入口之間流體連通的再循環(huán)導(dǎo)管；與初始滲透導(dǎo)管、再循環(huán)導(dǎo)管以及成品氣導(dǎo)管流體連通的再循環(huán)控制閥；以及適于控制再循環(huán)控制閥的比例調(diào)節(jié)的控制器。廢氣包括快速氣和至少一種慢速氣。再循環(huán)控制閥適于調(diào)節(jié)滲透氣被允許從初始滲透導(dǎo)管流動(dòng)至再循環(huán)導(dǎo)管與流動(dòng)至成品氣導(dǎo)管的比例。初始?xì)怏w分離膜的入口與壓縮機(jī)出口流體連通。初始?xì)怏w分離膜對(duì)快速氣比對(duì)至少一種慢速氣更具滲透性。方法和/或系統(tǒng)可包括以下方面的一個(gè)或多個(gè)運(yùn)行參數(shù)從包括以下參數(shù)的集合中選取從中獲得供給氣流的多個(gè)來(lái)源的數(shù)量、 成品氣的純度、通過(guò)執(zhí)行所述方法而實(shí)現(xiàn)的目標(biāo)氣體的回收率、供給氣流的流率、以及供給氣流和初始滲透流的第一部分的組合的壓力。多個(gè)來(lái)源包括多個(gè)光纖冷卻塔，快速氣為氦，慢速氣為空氣。多個(gè)來(lái)源包括多個(gè)氦爐，且快速氣是氦。方法還包括以下步驟將初始?xì)堄嗔鬏斔椭炼?jí)氣體分離膜；從二級(jí)氣體分離膜提取二級(jí)滲透流和二級(jí)殘余流；以及將二級(jí)滲透流引導(dǎo)至壓縮機(jī)，在壓縮機(jī)中二級(jí)滲透流與第一部分和供給氣流一起被壓縮。所述獲得供給氣流的步驟還包括以下步驟將來(lái)自多個(gè)來(lái)源中的一個(gè)或多個(gè)的廢氣流組合；壓縮經(jīng)組合的廢氣流；將經(jīng)壓縮的組合廢氣流輸送至二級(jí)氣體分離膜；以及從二級(jí)氣體分離膜提取富含快速氣的二級(jí)滲透流和缺乏快速氣的二級(jí)殘余流，其中二級(jí)滲透流是供給氣流。
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方法還包括以下步驟設(shè)置與初始滲透流流體連通的控制閥；以及發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表多個(gè)來(lái)源中從中獲得供給氣流的來(lái)源數(shù)量，其中運(yùn)行參數(shù)是多個(gè)來(lái)源中從中獲得供給氣流的來(lái)源數(shù)量；以及控制器根據(jù)信號(hào)經(jīng)由控制閥而控制初始滲透流的第一部分和剩余部分的分配額。方法還包括以下步驟設(shè)置與初始?xì)堄嗔髁黧w連通的適于選擇性地調(diào)節(jié)初始?xì)堄嗔鞯膲毫Φ目刂崎y；測(cè)量成品氣中快速氣的純度；以及發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表所測(cè)量的純度，其中控制器基于所測(cè)量的純度經(jīng)由與初始?xì)堄嗔髁黧w連通的控制閥而控制對(duì)初始?xì)堄嗔鞯膲毫φ{(diào)節(jié)。所述獲得供給氣流的步驟還包括以下步驟將來(lái)自多個(gè)來(lái)源中的一個(gè)或多個(gè)的廢氣流組合；壓縮經(jīng)組合的廢氣流；將經(jīng)壓縮的組合廢氣流輸送至二級(jí)氣體分離膜；以及從二級(jí)氣體分離膜提取富含快速氣的二級(jí)滲透流和缺乏快速氣的二級(jí)殘余流，其中二級(jí)滲透流是供給氣流。方法還包括以下步驟設(shè)置與二級(jí)殘余流流體連通的適于選擇性地調(diào)節(jié)二級(jí)殘余流的壓力的控制閥；測(cè)定成品氣中快速氣的純度；以及發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表所測(cè)量的純度，其中控制器基于所測(cè)量的純度經(jīng)由與二級(jí)殘余流流體連通的控制閥而控制對(duì)二級(jí)殘余流的壓力調(diào)節(jié)。方法還包括以下步驟設(shè)置與初始滲透流流體連通的控制閥；測(cè)定通過(guò)執(zhí)行所述方法而實(shí)現(xiàn)的快速氣回收率；發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表所測(cè)定的回收率，其中運(yùn)行參數(shù)是通過(guò)執(zhí)行所述方法而實(shí)現(xiàn)的目標(biāo)氣體回收率；控制器基于信號(hào)經(jīng)由控制閥而控制初始滲透流的第一部分和剩余部分的分配額。方法還包括以下步驟設(shè)置與初始?xì)堄嗔髁黧w連通的適于選擇性地調(diào)節(jié)初始?xì)堄嗔鞯膲毫Φ目刂崎y；測(cè)量成品氣中快速氣的純度；發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表所測(cè)量的純度，其中控制器基于成品氣純度信號(hào)經(jīng)由與初始?xì)堄嗔髁黧w連通的控制閥而控制對(duì)初始?xì)堄嗔鞯膲毫φ{(diào)節(jié)。所述獲得供給氣流的步驟包括以下步驟將來(lái)自多個(gè)來(lái)源中的一個(gè)或多個(gè)的廢氣流組合；壓縮經(jīng)組合的廢氣流；將經(jīng)壓縮的組合廢氣流輸送至二級(jí)氣體分離膜；以及從二級(jí)氣體分離膜提取富含快速氣的二級(jí)滲透流和缺乏快速氣的二級(jí)殘余流，其中二級(jí)滲透流是供給氣流；以及
方法還包括以下步驟設(shè)置與二級(jí)殘余流流體連通的適于選擇性地調(diào)節(jié)二級(jí)殘余流的壓力的控制閥；測(cè)定成品氣中快速氣的純度；發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表所測(cè)量的純度，其中控制器基于成品氣純度信號(hào)經(jīng)由與二級(jí)殘余流流體連通的控制閥而控制對(duì)二級(jí)殘余流的壓力調(diào)節(jié)。方法還包括以下步驟設(shè)置控制器；在供給氣流具有第一流率的同時(shí)執(zhí)行所述方法的步驟；改變從中獲得供給氣流的冷卻塔的數(shù)量，由此改變供給氣流的流率；發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表從中獲得供給氣的冷卻塔的新數(shù)量；由控制器基于信號(hào)調(diào)整初始滲透流在第一部分和剩余部分之間的分配程度。方法還包括以下步驟測(cè)量組合的供給氣流和滲透流第一部分的壓力；設(shè)置與初始滲透流流體連通的控制閥；以及發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表所測(cè)量的壓力，其中運(yùn)行參數(shù)是組合的供給氣流和滲透流第一部分的壓力；以及控制器基于信號(hào)經(jīng)由控制閥而控制初始滲透流的第一部分和剩余部分的分配額?？焖贇夂吐贇鈴陌韵陆M合的集合中選取=H2和Ne、H2和C02，H2和CH4、H2和 N2、H2 禾口 O2、H2 禾口 02/N2、CO2 禾口 N2、CO2 禾口 O2、CO2 禾口 N2/02、CO2 禾口 CH4、Ne 禾口 N2、Ne 禾口 O2、Ne 禾口 N2/02、He 和 N2、He 和 O2、He 和 N2/02。快速氣是氦而慢速氣是空氣。二級(jí)氣體分離膜具有與初始?xì)怏w分離膜的殘余物出口流體連通的入口、二級(jí)殘余物出口、以及二級(jí)滲透物出口 ；以及二級(jí)滲透導(dǎo)管在二級(jí)氣體分離膜的滲透物出口和再循環(huán)導(dǎo)管之間流體連通。二級(jí)氣體分離膜具有與多個(gè)來(lái)源選擇性流體連通的入口、二級(jí)殘余物出口、以及與供給氣導(dǎo)管流體連通的二級(jí)滲透物出口。
包括有感測(cè)一個(gè)或多個(gè)來(lái)源是否在有效產(chǎn)生廢氣的設(shè)備，其中使控制器進(jìn)一步適于接收來(lái)自傳感設(shè)備的信號(hào)并基于該信號(hào)控制再循環(huán)控制閥的比例調(diào)節(jié)，所述信號(hào)代表正在有效產(chǎn)生廢氣的來(lái)源的數(shù)量。控制器還適于接收來(lái)自傳感設(shè)備的信號(hào)，所述信號(hào)代表通過(guò)所述系統(tǒng)的運(yùn)行而實(shí)現(xiàn)的快速氣回收率；以及基于回收率信號(hào)控制再循環(huán)控制閥的比例調(diào)節(jié)。包括有傳感設(shè)備，所述傳感設(shè)備適于測(cè)量成品氣導(dǎo)管中的成品氣中快速氣的濃度并發(fā)送代表所測(cè)量的濃度的信號(hào)至控制器，其中控制器還適于接收來(lái)自傳感設(shè)備的濃度信號(hào)；以及基于濃度信號(hào)控制再循環(huán)控制閥的比例調(diào)節(jié)。包括有二級(jí)氣體分離膜，所述二級(jí)氣體分離膜具有與初始?xì)怏w分離膜的殘余物出口流體連通的入口、二級(jí)殘余物出口、以及二級(jí)滲透物出口。
二級(jí)滲透導(dǎo)管在二級(jí)氣體分離膜的滲透出口和再循環(huán)導(dǎo)管之間流體連通，其中廢氣來(lái)源是光纖冷卻塔，而快速氣是氦。


為了進(jìn)一步理解本發(fā)明的本質(zhì)和目的，應(yīng)結(jié)合附圖參考下文詳細(xì)的說(shuō)明，在所述附圖中類似的元件被賦予相同或相似的標(biāo)號(hào)，其中圖1是用于從產(chǎn)生大幅度變化流率的過(guò)程中回收目標(biāo)氣體的過(guò)程和系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的示意圖。圖2是用于從產(chǎn)生大幅度變化流率的過(guò)程中回收目標(biāo)氣體的過(guò)程和系統(tǒng)的另一實(shí)施例的示意圖。圖3是用于從產(chǎn)生大幅度變化流率的過(guò)程中回收目標(biāo)氦氣的過(guò)程和系統(tǒng)的另一實(shí)施例的示意圖。圖4是用于從光纖制造過(guò)程中回收氦的過(guò)程和系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例的示意圖。圖5是用于從光纖制造過(guò)程中回收氦的過(guò)程和系統(tǒng)的另一實(shí)施例的示意圖。圖6是用于從光纖制造過(guò)程中回收氦的過(guò)程和系統(tǒng)的另一實(shí)施例的示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的方法和系統(tǒng)旨在利用一個(gè)或兩個(gè)氣體分離膜串聯(lián)級(jí)，所述氣體分離膜串聯(lián)級(jí)利用部分的滲透流再循環(huán)，且能夠從產(chǎn)生流量大幅度變化的混合氣的過(guò)程中以足夠高的回收率實(shí)現(xiàn)目標(biāo)快速氣的足夠高的純度，所述混合氣包括快速氣和一種或多種慢速氣。基于膜的氣體分離領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)到，有許多種氣體混合物和氣體分離膜的組合，所述氣體分離膜將氣體混合物分離成包含快速氣的滲透流和包含一種或多種慢速氣的殘余流。他們應(yīng)認(rèn)識(shí)到，本文公開(kāi)的方法和系統(tǒng)可應(yīng)用于任一種這樣的組合。快速氣和慢速氣組合的具體范例包括但不限于=H2和Nej2和CO2A2和CH4W2和隊(duì)、吐和02、H2和 02/N2、H2 和空氣、CO2 和 N2, CO2 和 02、CO2 和 N2/02、CO2 和空氣、CO2 和 CH4, Ne 和 N2, Ne 和 02、 Ne 禾口 N2/02、Ne 禾口空氣、He 禾口 N2、He 禾口 O2、He 禾口 N2/02、He 禾口空氣。包含快速和慢速氣的氣體混合物來(lái)自以變化的流率產(chǎn)生氣體混合物的過(guò)程?；谀さ臍怏w分離領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)到有許多類型的這種過(guò)程，這種過(guò)程的具體范例包括但不限于在多個(gè)冷卻塔內(nèi)利用氦冷卻的光纖制造過(guò)程和利用來(lái)自多個(gè)真空爐的氦冷卻的過(guò)程。不管氣體混合物是來(lái)源于哪個(gè)具體的過(guò)程，包含快速和慢速氣的氣體混合物都是收集自一個(gè)或多個(gè)氣體混合物來(lái)源(例如冷卻塔或真空爐)從而提供供給氣流以供一個(gè)或多個(gè)氣體分離膜處理。本發(fā)明的方法和系統(tǒng)利用固定的膜面積。這意味著當(dāng)供給氣流率增加或減少時(shí)不增加或除去總膜表面積的任一部分。本發(fā)明的方法和系統(tǒng)能夠在可調(diào)范圍大至0-87. 5%時(shí)保持或超過(guò)令人滿意的產(chǎn)品純度(例如> 99+% )并保持或超過(guò)令人滿意的產(chǎn)品回收率(例如> 90% )。這種出乎意料地好的靈活性是通過(guò)部分的滲透流再循環(huán)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明的方法和系統(tǒng)尤其適用于多個(gè)冷卻塔或等離子爐，所述多個(gè)冷卻塔或等離子爐的每一個(gè)都無(wú)需全時(shí)段運(yùn)行。例如，在光纖生產(chǎn)或爐的運(yùn)行的高峰期，所有的冷卻塔(例如6個(gè))或爐可處于運(yùn)行中。另一方面，在最小量的生產(chǎn)期間，少于全部的冷卻塔(例如1個(gè))或爐可處于運(yùn)行中。下文是參考圖1至圖3對(duì)第一組三個(gè)實(shí)施例的說(shuō)明。參考圖1，系統(tǒng)100包括進(jìn)給流FS，進(jìn)給流包括快速和慢速氣并具有可變的流率， 且進(jìn)給流收集自多個(gè)快速和慢速氣混合物的來(lái)源(未示出)。在一段時(shí)間中，流率可以多達(dá)8 1的系數(shù)變化，其中8代表最大流率，而1代表最小流率。這對(duì)應(yīng)于87.5%的可調(diào)范圍。進(jìn)給流FS可視上游過(guò)程而處于環(huán)境壓力、超環(huán)境壓力、或亞環(huán)境壓力。進(jìn)給流FS被引導(dǎo)至壓縮機(jī)C的入口，在所述壓縮機(jī)內(nèi)進(jìn)給流被壓縮至約為氣體分離膜GSMl的運(yùn)行壓力。在膜GSMl處，目標(biāo)快速氣(例如氦)優(yōu)先透過(guò)膜。因而產(chǎn)生的滲透流PERMl富含快速氣而缺乏慢速氣(例如空氣氣體氧和氮)。氣體混合物的未滲透部分作為殘余流RESl離開(kāi)膜GSMl。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)到，可基于膜GSMl的總表面積(或在圖2至圖3以及圖5 至圖6的實(shí)施例中為膜GSM1、GSM2的總表面積)而計(jì)算膜GSMl的相對(duì)大小(或在圖2至圖 3以及圖5至圖6的實(shí)施例中為膜GSM1、GSM2的相對(duì)大小)，所述總表面積是進(jìn)給流FS的預(yù)期最大流率的一個(gè)因素。換句話說(shuō)，當(dāng)快速和慢速氣混合物的所有來(lái)源(例如冷卻塔或氦爐)滿負(fù)荷運(yùn)行時(shí)所獲得的進(jìn)給流FS的量將決定所采用的膜GSMl的大小(或膜GSM1、 GSM2的大小)。氣體分離領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)到，基于進(jìn)給流FS (即快速和慢速氣)的成分，可為膜GSMl (而在系統(tǒng)200、300的情況中是膜GSiC)選取合適類型的材料。滲透流PERMl被分為兩股。一股與進(jìn)給流FS組合并被送回至壓縮機(jī)C。另一股被引導(dǎo)通過(guò)控制閥CVb以提供成品流PS。分析器A持續(xù)地或每隔一段時(shí)間地提取成品流 PS的一小部分并測(cè)量目標(biāo)快速氣的濃度(或?qū)?yīng)于目標(biāo)氣體濃度的等價(jià)參數(shù)，例如熱傳導(dǎo)率)。在常規(guī)運(yùn)行中，成品流PS具有令人滿意的產(chǎn)品純度(例如99%以上)。代表所測(cè)純度的信號(hào)由分析器A發(fā)送至可編程邏輯控制器PLC。如圖2所示，系統(tǒng)200與系統(tǒng)100不同，因?yàn)樗峁┝舜?lián)布置在氣體分離膜GSMl 下游的第二氣體分離膜GSM2，殘余流RESl被引導(dǎo)至第二膜GSM2的入口。來(lái)自第二膜GSM2 的殘余流RES2通過(guò)控制閥CVa被排出。和上一個(gè)實(shí)施例一樣，滲透流PERMl的一部分被引導(dǎo)通過(guò)控制閥CVb并作為成品流PS被提取，而另一部分與進(jìn)給流FS組合以便在壓縮機(jī) C處壓縮。來(lái)自第二氣體分離膜GSM2的所有滲透流PERM2還與進(jìn)給流FS以及一級(jí)滲透流 PERMl的前文所述部分組合。應(yīng)注意，兩股滲透流PERMl、PERM2相對(duì)于控制閥CVb和壓縮機(jī)C的位置應(yīng)相隔足夠的距離。這允許所有的滲透流PERM2被引導(dǎo)至壓縮機(jī)C而不是流向控制閥CVb。系統(tǒng)200的串聯(lián)布置的有利之處在于，相較于僅有一級(jí)氣體分離膜，它提供了更大的快速氣回收率。應(yīng)注意，可執(zhí)行多于兩級(jí)的基于膜的氣體分離。若采用三個(gè)串聯(lián)的氣體分離膜，則殘余流GSM2將被引導(dǎo)至第三氣體分離膜而不是被排走，而來(lái)自第三氣體分離膜的滲透流將與第一和第二氣體分離膜GSM1、GSM2的滲透流組合。這種概念可擴(kuò)展到其它的級(jí)，由此第二至最后的殘余流被引導(dǎo)至最后級(jí)的入口，而除第一滲透流PERMl以外的所有滲透流再循環(huán)回到壓縮機(jī)C。級(jí)數(shù)的極限將很大程度上取決于壓縮機(jī)C壓縮組合的滲透流以獲得至第一氣體分離膜GSMl的入口且具有足夠高的壓力的供給氣的能力。如圖3中最好地示出，除了采用了兩個(gè)氣體分離膜GSM1、GSM2之外，系統(tǒng)300類似于系統(tǒng)100。進(jìn)給流FS被輸送至第二膜GSM2的入口，目標(biāo)快速氣(例如氦)相較于慢速氣 (例如空氣氣體氧和氮)優(yōu)先滲透通過(guò)第二膜GSM2。來(lái)自第二膜GSM2的殘余流RES2受控制閥CVc控制而被排出，而滲透流PERM2與來(lái)自第一膜GSMl的滲透流PERMl的一部分組合并被引導(dǎo)至壓縮機(jī)C?？刂崎yCVc可由控制器PLC調(diào)節(jié)以輔助實(shí)現(xiàn)希望的快速氣純度和回收率。系統(tǒng)300中采用兩級(jí)基于膜的氣體分離允許在成品流PS中實(shí)現(xiàn)更大的純度，并允許減少壓縮機(jī)C的大小。系統(tǒng)300還允許快速氣的回收率提高，這是因?yàn)闅怏w分離膜GSMl 的回收效率因更高的快速氣濃度而提高，更高濃度是由于利用了來(lái)自氣體分離膜GSM2的滲透流PERM2作為進(jìn)給流FS。參考圖1至圖3的每個(gè)實(shí)施例，方法和系統(tǒng)可由多種方式控制?？赏ㄟ^(guò)操控控制閥CVa、CVb而控制許多不同類型的運(yùn)行參數(shù)?；谀さ臍怏w分離領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)至IJ，對(duì)一個(gè)參數(shù)的控制會(huì)對(duì)另一參數(shù)具有影響。例如，向上調(diào)整成品流PS的純度可能會(huì)對(duì)回收率有不利影響。因此，優(yōu)選為每次同時(shí)或同期地控制多于一個(gè)運(yùn)行參數(shù)?？煽刂瞥善妨鱌S的純度。成品流PS的純度與PERMl的純度相同，并優(yōu)選可通過(guò)這種方法控制通過(guò)由控制器PLC對(duì)控制閥CVa的調(diào)整以增加或減少殘余流RESl (或在系統(tǒng)200的情況中為殘余流RES》處的背壓。當(dāng)控制器PLC確認(rèn)純度低于設(shè)定值時(shí)，它開(kāi)啟 CVa以減少殘余流RESl (或在系統(tǒng)200的情況中為殘余流RES》處的背壓。這增加了快速氣穿過(guò)膜GSMl的驅(qū)動(dòng)力，并由此增加了滲透流PERMl和成品流PS的純度。成品流PS可被排走或被補(bǔ)入純快速氣，直至待回收和重新利用的快速氣的純度達(dá)到希望的設(shè)定值。一旦純度達(dá)到希望的設(shè)定值，控制閥CVa可保持在其當(dāng)前設(shè)置。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)到，向上調(diào)整純度會(huì)具有向下調(diào)整回收率的影響。若純度太過(guò)高于純度設(shè)定值，則可向下調(diào)整控制閥CVa以增加殘余流RESl (或在系統(tǒng)200的情況中為RES2)處的背壓，并由此減少流PERMl 和PS的純度?？蛇x地，可以較不優(yōu)選的方式控制純度調(diào)整控制閥CVb使一部分滲透流PERMl進(jìn)行轉(zhuǎn)向的程度，所述一部分滲透流PERMl再循環(huán)回來(lái)以與供給氣流FS (或在系統(tǒng)200的情況中還與來(lái)自第二膜GSM2的滲透流PER1C)組合。當(dāng)純度過(guò)低時(shí)，控制器PLC調(diào)整控制閥 CVb以減少滲透流PERMl比成品流PS的分?jǐn)?shù)，由此使更大部分再循環(huán)以便與供給氣流FS組合。一旦成品流PS的純度達(dá)到希望的設(shè)定值，控制閥CVb可保持在其當(dāng)前設(shè)置，而滲透流 PERMl再循環(huán)的程度可固定?？煽刂瓶焖贇獾幕厥章?。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)到，可有非常多的方法計(jì)算快速氣的回收率，并且可由這些計(jì)算作出多種數(shù)學(xué)推導(dǎo)，兩種典型的計(jì)算回收率的方法包括以下公式
權(quán)利要求
1.一種從產(chǎn)生流率變化的廢氣的過(guò)程中回收快速氣的方法，所述廢氣包括快速氣和至少一種慢速氣，所述方法包括以下步驟提供氣體混合物的多個(gè)來(lái)源，所述氣體混合物包括快速和慢速氣； 從來(lái)源中的一個(gè)或多個(gè)獲得供給氣流，供給氣流包括快速和慢速氣，供給氣流基于有效產(chǎn)生氣體混合物的多個(gè)來(lái)源的數(shù)量而具有可變的流率； 壓縮供給氣流；將經(jīng)壓縮的供給氣輸送至初始?xì)怏w分離膜；從初始?xì)怏w分離膜提取富含快速氣的初始滲透流和缺乏快速氣的初始?xì)堄嗔鳎?將初始滲透流的第一部分引導(dǎo)至壓縮機(jī)，在壓縮機(jī)中所述第一部分與供給氣流混合并被壓縮；提取初始滲透流的剩余部分以提供成品氣；基于所述方法的運(yùn)行參數(shù)而調(diào)整初始滲透流在所述第一部分和剩余部分之間的分配程度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中運(yùn)行參數(shù)從包括以下參數(shù)的集合中選取從中獲得供給氣流的多個(gè)來(lái)源的數(shù)量、成品氣的純度、通過(guò)執(zhí)行所述方法而實(shí)現(xiàn)的目標(biāo)氣體的回收率、供給氣流的流率、以及供給氣流和初始滲透流的第一部分的組合的壓力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中多個(gè)來(lái)源包括多個(gè)光纖冷卻塔，快速氣為氦，慢速氣為空氣。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中多個(gè)來(lái)源包括多個(gè)氦爐，且快速氣是氦。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括以下步驟 將初始?xì)堄嗔鬏斔椭炼?jí)氣體分離膜；從二級(jí)氣體分離膜提取二級(jí)滲透流和二級(jí)殘余流；以及將二級(jí)滲透流引導(dǎo)至壓縮機(jī)，在壓縮機(jī)中二級(jí)滲透流與第一部分和供給氣流一起被壓縮。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述獲得供給氣流的步驟還包括以下步驟 將來(lái)自多個(gè)來(lái)源中的一個(gè)或多個(gè)的廢氣流組合；壓縮經(jīng)組合的廢氣流；將經(jīng)壓縮的組合廢氣流輸送至二級(jí)氣體分離膜；以及從二級(jí)氣體分離膜提取富含快速氣的二級(jí)滲透流和缺乏快速氣的二級(jí)殘余流，其中二級(jí)滲透流是供給氣流。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括以下步驟 設(shè)置與初始滲透流流體連通的控制閥；以及發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表多個(gè)來(lái)源中從中獲得供給氣流的來(lái)源數(shù)量，其中運(yùn)行參數(shù)是多個(gè)來(lái)源中從中獲得供給氣流的來(lái)源數(shù)量；以及控制器根據(jù)信號(hào)經(jīng)由控制閥而控制初始滲透流的第一部分和剩余部分的分配額。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，還包括以下步驟設(shè)置與初始?xì)堄嗔髁黧w連通的適于選擇性地調(diào)節(jié)初始?xì)堄嗔鞯膲毫Φ目刂崎y； 測(cè)量成品氣中快速氣的純度；以及發(fā)送代表所測(cè)量的純度的信號(hào)至控制器，其中控制器基于所測(cè)量的純度經(jīng)由與初始?xì)堄嗔髁黧w連通的控制閥而控制對(duì)初始?xì)堄嗔鞯膲毫φ{(diào)節(jié)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中a)所述獲得供給氣流的步驟還包括以下步驟 將來(lái)自多個(gè)來(lái)源中的一個(gè)或多個(gè)的廢氣流組合； 壓縮經(jīng)組合的廢氣流；將經(jīng)壓縮的組合廢氣流輸送至二級(jí)氣體分離膜；和從二級(jí)氣體分離膜提取富含快速氣的二級(jí)滲透流和缺乏快速氣的二級(jí)殘余流，其中二級(jí)滲透流是供給氣流；以及b)所述方法還包括以下步驟設(shè)置與二級(jí)殘余流流體連通的適于選擇性地調(diào)節(jié)二級(jí)殘余流的壓力的控制閥； 測(cè)定成品氣中快速氣的純度；和發(fā)送代表所測(cè)量的純度的信號(hào)至控制器，其中控制器基于所測(cè)量的純度經(jīng)由與二級(jí)殘余流流體連通的控制閥而控制對(duì)二級(jí)殘余流的壓力調(diào)節(jié)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括以下步驟 設(shè)置與初始滲透流流體連通的控制閥；測(cè)定通過(guò)執(zhí)行所述方法而實(shí)現(xiàn)的快速氣回收率；發(fā)送代表所測(cè)定的回收率的信號(hào)至控制器，其中運(yùn)行參數(shù)是通過(guò)執(zhí)行所述方法而實(shí)現(xiàn)的目標(biāo)氣體回收率；控制器基于信號(hào)經(jīng)由控制閥而控制初始滲透流的第一部分和剩余部分的分配額。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，還包括以下步驟設(shè)置與初始?xì)堄嗔髁黧w連通的適于選擇性地調(diào)節(jié)初始?xì)堄嗔鞯膲毫Φ目刂崎y； 測(cè)量成品氣中快速氣的純度；發(fā)送代表所測(cè)量的純度的信號(hào)至控制器，其中控制器基于成品氣純度信號(hào)經(jīng)由與初始?xì)堄嗔髁黧w連通的控制閥而控制對(duì)初始?xì)堄嗔鞯膲毫φ{(diào)節(jié)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中a)所述獲得供給氣流的步驟包括以下步驟 將來(lái)自多個(gè)來(lái)源中的一個(gè)或多個(gè)的廢氣流組合； 壓縮經(jīng)組合的廢氣流；將經(jīng)壓縮的組合廢氣流輸送至二級(jí)氣體分離膜；和從二級(jí)氣體分離膜提取富含快速氣的二級(jí)滲透流和缺乏快速氣的二級(jí)殘余流，其中二級(jí)滲透流是供給氣流；以及b)所述方法還包括以下步驟設(shè)置與二級(jí)殘余流流體連通的適于選擇性地調(diào)節(jié)二級(jí)殘余流的壓力的控制閥； 測(cè)定成品氣中快速氣的純度；發(fā)送代表所測(cè)量的純度的信號(hào)至控制器，其中控制器基于成品氣純度信號(hào)經(jīng)由與二級(jí)殘余流流體連通的控制閥而控制對(duì)二級(jí)殘余流的壓力調(diào)節(jié)。
13.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，還包括以下步驟 設(shè)置控制器；在供給氣流具有第一流率的同時(shí)執(zhí)行所述方法的步驟；改變從中獲得供給氣流的冷卻塔的數(shù)量，由此改變供給氣流的流率； 發(fā)送信號(hào)至控制器，所述信號(hào)代表從中獲得供給氣的冷卻塔的新數(shù)量； 由控制器基于信號(hào)調(diào)整初始滲透流在第一部分和剩余部分之間的分配程度。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括以下步驟 測(cè)量供給氣流和滲透流的第一部分的組合的壓力； 設(shè)置與初始滲透流流體連通的控制閥；以及發(fā)送代表所測(cè)量的壓力的信號(hào)至控制器，其中運(yùn)行參數(shù)是供給氣流和滲透流的第一部分的組合的壓力；以及控制器基于信號(hào)經(jīng)由控制閥而控制初始滲透流的第一部分和剩余部分的分配額。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中快速氣和慢速氣從包含以下組合的集合中選取 H2 禾口 Ne、H2 禾口 C02，H2 禾口 CH4、H2 禾口 N2、H2 禾口 O2、H2 禾口 02/N2、CO2 禾口 N2、CO2 禾口 O2、CO2 禾口 N2/02、 CO2 禾口 CH4、Ne 禾口 N2、Ne 禾口 O2、Ne 禾口 N2/02、He 禾口 N2、He 禾口 O2、He 禾口 N2/02。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中快速氣是氦而慢速氣是空氣。
17.—種從產(chǎn)生流率變化的廢氣的過(guò)程中回收目標(biāo)氣體的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括 廢氣的多個(gè)來(lái)源，所述廢氣包括快速氣和慢速氣；與多個(gè)來(lái)源選擇性地流體連通的供給氣導(dǎo)管；具有入口和出口的壓縮機(jī)，所述入口與供給氣導(dǎo)管流體連通；具有入口、滲透物出口和殘余物出口的初始?xì)怏w分離膜，初始?xì)怏w分離膜的入口與壓縮機(jī)出口流體連通，初始?xì)怏w分離膜對(duì)目標(biāo)氣體具有優(yōu)先透過(guò)性； 與初始?xì)怏w分離膜的滲透物出口流體連通的初始滲透導(dǎo)管； 與初始滲透導(dǎo)管流體連通的成品氣導(dǎo)管； 在初始滲透導(dǎo)管和壓縮機(jī)入口之間流體連通的再循環(huán)導(dǎo)管；與初始滲透導(dǎo)管、再循環(huán)導(dǎo)管以及成品氣導(dǎo)管流體連通的再循環(huán)控制閥，再循環(huán)控制閥適于調(diào)節(jié)滲透氣被允許從初始滲透導(dǎo)管流動(dòng)至再循環(huán)導(dǎo)管與流動(dòng)至成品氣導(dǎo)管的比例； 以及適于控制再循環(huán)控制閥的比例調(diào)節(jié)的控制器。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，還包括具有與初始?xì)怏w分離膜的殘余物出口流體連通的入口、二級(jí)殘余物出口、以及二級(jí)滲透物出口的二級(jí)氣體分離膜；以及在二級(jí)氣體分離膜的滲透物出口和再循環(huán)導(dǎo)管之間流體連通的二級(jí)滲透導(dǎo)管。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，還包括二級(jí)氣體分離膜，所述二級(jí)氣體分離膜具有與多個(gè)來(lái)源選擇性流體連通的入口、二級(jí)殘余物出口、以及與供給氣導(dǎo)管流體連通的二級(jí)滲透物出口。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，還包括感測(cè)一個(gè)或多個(gè)來(lái)源是否在有效產(chǎn)生廢氣的設(shè)備，其中使控制器進(jìn)一步適于接收來(lái)自傳感設(shè)備的信號(hào)并基于該信號(hào)控制再循環(huán)控制閥的比例調(diào)節(jié)，所述信號(hào)代表正在有效產(chǎn)生廢氣的來(lái)源的數(shù)量。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其中控制器還適于接收來(lái)自傳感設(shè)備的代表通過(guò)所述系統(tǒng)的運(yùn)行而實(shí)現(xiàn)的快速氣回收率的信號(hào)；以及基于回收率信號(hào)控制再循環(huán)控制閥的比例調(diào)節(jié)。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，還包括傳感設(shè)備，所述傳感設(shè)備適于測(cè)量成品氣導(dǎo)管中的成品氣中快速氣的濃度并發(fā)送代表所測(cè)量的濃度的信號(hào)至控制器，其中控制器還適于接收來(lái)自傳感設(shè)備的濃度信號(hào)；以及基于濃度信號(hào)控制再循環(huán)控制閥的比例調(diào)節(jié)。
23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，還包括二級(jí)氣體分離膜，所述二級(jí)氣體分離膜具有與初始?xì)怏w分離膜的殘余物出口流體連通的入口、二級(jí)殘余物出口、以及二級(jí)滲透物出口 ；以及在二級(jí)氣體分離膜的滲透出口和再循環(huán)導(dǎo)管之間流體連通的二級(jí)滲透導(dǎo)管，其中廢氣來(lái)源是光纖冷卻塔，而快速氣是氦。
全文摘要
利用氣體分離膜從含有快速氣和至少一種慢速氣的供給氣中回收快速氣。控制器可控制與來(lái)自膜的滲透氣的部分再循環(huán)相關(guān)聯(lián)的控制閥以便與供給氣組合?？刂破骺煽刂婆c來(lái)自膜的殘余氣的背壓相關(guān)聯(lián)的控制閥。
文檔編號(hào)C01B3/50GK102458612SQ201080035245
公開(kāi)日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2010年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月10日
發(fā)明者D·J·哈賽, E·S·小桑德斯, I·C·羅馬, I·蒙達(dá)爾, M·D·貝內(nèi)特, S·加德雷 申請(qǐng)人:喬治洛德方法研究和開(kāi)發(fā)液化空氣有限公司