一種雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)。雙電缸倒置安裝，同步控制，兩側(cè)提供舉升力開啟腔體上蓋板。屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備在調(diào)試或生產(chǎn)時需要進(jìn)行零部件的拆裝及維護(hù)，因此設(shè)備的腔蓋需要能夠?qū)崿F(xiàn)開啟及關(guān)閉以便進(jìn)行開腔操作。在不存在自動傳片的小型實(shí)驗(yàn)設(shè)備中，往往需要通過開、關(guān)腔蓋來進(jìn)行取、送晶圓的操作。
[0003]因?yàn)榍惑w的蓋板并不是獨(dú)立存在的，其上往往安裝了其他附屬的功能部件或管路等，僅憑手動實(shí)現(xiàn)開關(guān)腔的操作可能會造成人體的疲勞、損傷，這樣的設(shè)計(jì)是不完善的，而且也比較容易出現(xiàn)安全事故，傷及人員或設(shè)備。
[0004]現(xiàn)有的設(shè)備往往是翻轉(zhuǎn)式蓋板操作，有使用氣彈簧增力或是使用其他電動或氣動結(jié)構(gòu)進(jìn)行開關(guān)腔動作，以便減少對人體的傷害及提高效率。
[0005]但對于一些半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備在進(jìn)行沉積反應(yīng)時，為節(jié)約寶貴的特氣資源及加快反應(yīng)時間、提高設(shè)備效率，往往對腔內(nèi)體積有較嚴(yán)格的控制要求。所以半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的腔內(nèi)結(jié)構(gòu)往往設(shè)計(jì)的非常緊湊。腔內(nèi)沒有空間可以容納翻轉(zhuǎn)式開腔結(jié)構(gòu)。
[0006]針對上述現(xiàn)象的存在所以有些設(shè)備會選擇垂直式的開腔方式，這樣可以避免翻轉(zhuǎn)動作造成的設(shè)備損傷或碰撞。因?yàn)榘雽?dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的腔體屬于精密部件，應(yīng)最大限度的避免部件碰撞，這就需要腔體開腔時，蓋板平穩(wěn)、準(zhǔn)確的移動。蓋板因受力不均而產(chǎn)生的彎曲變形是不被容許的。以往的垂直升降式開腔方式往往采用單動力源控制，即選用一個電缸或氣缸做為升降動作的執(zhí)行部件。因?yàn)樵O(shè)備的中心往往有重要的功能部件占據(jù)，升降執(zhí)行部件僅能安裝在腔體一側(cè)，這樣就會使整個設(shè)備在升降過程中單邊受力造成偏載，腔體蓋板在開腔過程中不能完全保持水平，造成部件碰撞的隱患。
[0007]半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備功能復(fù)雜，構(gòu)件眾多，配件布局必須合理緊湊，使設(shè)備體積盡量縮小，并且維修方便。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種解決現(xiàn)有的垂直開腔方式不能平穩(wěn)的開腔的問題的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)。
[0009]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)，包括:
[0010]上蓋板，設(shè)置在腔體上，用于開啟與開閉；
[0011 ] 兩個電機(jī)，分別固定安裝在兩個電缸主體上，與電缸主體一起倒置設(shè)置在上蓋板的上方，通過電缸主體與上蓋板固定；
[0012]電缸推桿，穿過上蓋板與電機(jī)的輸出軸連接，其端部固定安裝在腔體上。
[0013]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)，電缸推桿對稱安裝在上蓋板的一側(cè)，兩導(dǎo)桿與電缸推桿相對應(yīng)穿過上蓋板的另一側(cè)后固定在腔體上。
[0014]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)，上蓋板沿著電缸推桿可滑動。
[0015]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)，上蓋板沿著導(dǎo)桿可滑動。
[0016]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，有益效果在于:
[0017]本實(shí)用新型通過雙電缸倒置式安裝，兩側(cè)提供舉升力，避免單邊受力造成上蓋板扭曲變形。電缸推桿安裝在腔體上，電缸主體安裝在上蓋板上，運(yùn)動過程中，杠桿伸出，使電缸主體與上蓋板一起運(yùn)動。倒置式安裝方式，節(jié)省設(shè)備下方所需空間。
[0018]通過雙電缸垂直升降帶動上蓋板開啟達(dá)到平穩(wěn)開腔的目的。雙電缸配合導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)，開腔時整個腔體上蓋板受力均勻，避免偏載導(dǎo)致的變形。
[0019]通過倒置的電機(jī)結(jié)構(gòu)，整個結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)即可適用于小型精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備又可應(yīng)用于大型生產(chǎn)設(shè)備。具有穩(wěn)定、準(zhǔn)確的控制能力及靈活、簡單的適應(yīng)性。對設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性的提升及生產(chǎn)率的提高有較大的益處。
【附圖說明】
[0020]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)正視圖
[0021]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)等軸測圖
[0022]圖中標(biāo)號為:1、電機(jī)；2、電缸主體；3、上蓋板；4、電缸推桿；5、腔體；6、導(dǎo)桿。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例以及附圖，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0024]實(shí)施例
[0025]參見圖1結(jié)合圖2，雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)，在腔體的頂部設(shè)置上蓋板3，用于腔體5的開啟與開閉，在上蓋板3的四個角設(shè)置導(dǎo)軌，上蓋板3隨著導(dǎo)軌滑動實(shí)現(xiàn)升降，其中一側(cè)的導(dǎo)軌通過實(shí)現(xiàn)上蓋板3上下移動的電機(jī)1的電缸推桿4來實(shí)現(xiàn)，另一側(cè)的兩個導(dǎo)軌通過兩個獨(dú)立的導(dǎo)桿6來實(shí)現(xiàn)，電缸推桿4對稱安裝在上蓋板3的一側(cè)，兩導(dǎo)桿6與電缸推桿4相對應(yīng)穿過上蓋板3的另一側(cè)后固定在腔體5上，在上蓋板3的上下移動過程中，由于四個角的支撐作用，受力不會偏載，上蓋板3在開腔過程中能完全保持水平，避免了造成部件碰撞的隱患。
[0026]兩個電缸推桿4穿過上蓋板后一側(cè)與腔體5固定在一起，起到支撐的作用，電缸推桿4穿過上蓋板3與電機(jī)1的輸出軸連接，其端部固定安裝在腔體5上，在上蓋板的上方倒置設(shè)置電機(jī)，電機(jī)固定安裝在兩個電缸主體2上，電缸主體2也在上蓋板3的上方，電缸主體2與上蓋板3固定，在電機(jī)1啟動時，電缸推桿4推起電缸主體2與電機(jī)1向上運(yùn)行，此時帶動上蓋板一起隨著電缸主體向上運(yùn)行。
[0027]要實(shí)現(xiàn)上蓋板的上下移動，上蓋板沿著電缸推桿要實(shí)現(xiàn)可滑動，但也要避免完全松動或者結(jié)合過于緊。同理，要保證上蓋板沿著導(dǎo)桿可滑動，但也要避免完全松動或者結(jié)合過于緊。
[0028]參見圖1，兩個電機(jī)要對稱設(shè)置，同時設(shè)置在電缸主體的內(nèi)側(cè)或者外側(cè)，保證受力的一致性。
[0029]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括: 上蓋板，設(shè)置在腔體上，用于開啟與開閉； 兩個電機(jī)，分別固定安裝在兩個電缸主體上，與電缸主體一起倒置設(shè)置在上蓋板的上方，通過電缸主體與上蓋板固定； 電缸推桿，穿過上蓋板與電機(jī)的輸出軸連接，其端部固定安裝在腔體上。2.按照權(quán)利要求1所述的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，電缸推桿對稱安裝在上蓋板的一側(cè)，兩導(dǎo)桿與電缸推桿相對應(yīng)穿過上蓋板的另一側(cè)后固定在腔體上。3.按照權(quán)利要求1所述的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，上蓋板沿著電缸推桿可滑動。4.按照權(quán)利要求1所述的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)，其特征在于，上蓋板沿著導(dǎo)桿可滑動。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)。雙電缸倒置安裝，同步控制，兩側(cè)提供舉升力開啟腔體上蓋板。屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。包括：上蓋板，設(shè)置在腔體上，用于開啟與開閉；兩個電機(jī)，分別固定安裝在兩個電缸主體上，與電缸主體一起倒置設(shè)置在上蓋板的上方，通過電缸主體與上蓋板固定；電缸推桿，穿過上蓋板與電機(jī)的輸出軸連接，其端部固定安裝在腔體上。本實(shí)用新型通過雙電缸倒置式安裝，兩側(cè)提供舉升力，避免單邊受力造成上蓋板扭曲變形。電缸推桿安裝在腔體上，電缸主體安裝在上蓋板上，運(yùn)動過程中，杠桿伸出，使電缸主體與上蓋板一起運(yùn)動。倒置式安裝方式，節(jié)省設(shè)備下方所需空間。
【IPC分類】C23C16/44, C23C14/56
【公開號】CN205077134
【申請?zhí)枴緾N201520710956
【發(fā)明人】陳英男, 姜崴, 鄭旭東, 關(guān)帥, 李景舒, 霍陽陽
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年9月14日