一種旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)及晶圓減薄機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅片超精密磨削技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)及晶圓減薄機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體專用設(shè)備制造過程中，承片臺(tái)的角度調(diào)整是實(shí)現(xiàn)磨削晶圓質(zhì)量的關(guān)鍵技術(shù)。在現(xiàn)代化的生產(chǎn)設(shè)備中，承片臺(tái)角度調(diào)整一般是通過拆卸承片臺(tái)或是通過擰緊、松開承片臺(tái)座的安裝螺釘來達(dá)到。這種調(diào)整手段往往浪費(fèi)大量寶貴時(shí)間，影響設(shè)備磨削的工作效率，造成人力物力的損失。另外，在拆卸過程中往往會(huì)影響到整個(gè)承片臺(tái)系統(tǒng)定位精度及軸向精度，影響磨削質(zhì)量，從而影響設(shè)備的穩(wěn)定性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)及晶圓減薄機(jī)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中承片臺(tái)的角度調(diào)整方法浪費(fèi)工時(shí)、效率低且影響承片臺(tái)穩(wěn)定性的問題。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例提供的一種旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，包括:
[0005]與承片臺(tái)座可拆卸連接的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體，所述承片臺(tái)座位于所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體的上表面；
[0006]與所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體可拆卸連接的固定連接板，所述固定連接板位于所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體的下表面;其中，
[0007]所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體內(nèi)設(shè)置有聯(lián)軸器，所述聯(lián)軸器連接有旋轉(zhuǎn)螺桿以及電機(jī)的電機(jī)軸；
[0008]所述固定連接板上連接有所述電機(jī)的電機(jī)本體以及電機(jī)保護(hù)套，所述電機(jī)本體套設(shè)于所述電機(jī)保護(hù)套內(nèi)。
[0009]其中，所述電機(jī)為壓電陶瓷電機(jī)。
[0010]其中，所述旋轉(zhuǎn)螺桿的一端與所述聯(lián)軸器連接，所述旋轉(zhuǎn)螺桿的另一端與所述承片臺(tái)座連接。
[0011]其中，所述電機(jī)上設(shè)置有第一安裝孔，所述電機(jī)通過所述第一安裝孔與所述固定連接板固定連接。
[0012]其中，所述電機(jī)保護(hù)套上設(shè)置有第三安裝孔，所述電機(jī)保護(hù)套通過所述第三安裝孔與所述固定連接板固定連接。
[0013]其中，所述固定連接板上設(shè)置有與所述第一安裝孔相對應(yīng)的第二安裝孔，以及與所述第三安裝孔相對應(yīng)的第四安裝孔。
[0014]其中，所述固定連接板上還設(shè)置有第五安裝孔以及第六安裝孔，所述固定連接板通過所述第五安裝孔與所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體連接，所述電機(jī)軸穿過所述第六安裝孔與所述聯(lián)軸器連接。
[0015]其中，所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體的上表面上設(shè)置有四個(gè)所述承片臺(tái)座。
[0016]其中，與所述承片臺(tái)座相對應(yīng)的所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體的下表面上設(shè)置有兩個(gè)所述固定連接板。
[0017]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種晶圓減薄機(jī)，包括:承片臺(tái)、控制主機(jī)以及如上述所述的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)；
[0018]其中，所述控制主機(jī)與所述電機(jī)電連接。
[0019]本發(fā)明的上述技術(shù)方案的有益效果如下:
[0020]本發(fā)明實(shí)施例的方案中，通過晶圓減薄機(jī)上的控制主機(jī)控制電機(jī)的電機(jī)軸旋轉(zhuǎn)，從而通過聯(lián)軸器帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)螺桿向上或向下運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而調(diào)整承片臺(tái)座左右高低，實(shí)現(xiàn)微調(diào)承片臺(tái)角度的目的。避免了傳統(tǒng)拆卸承片臺(tái)重新打表的繁瑣過程，提高了設(shè)備的整體使用效率及穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0021]圖1為本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的剖視圖；
[0022]圖2為本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的立體結(jié)構(gòu)示意圖一；
[0023]圖3為本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的立體結(jié)構(gòu)示意圖二；
[0024]圖4為本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體的下表面局部放大示意圖；
[0025]圖5為本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)中旋轉(zhuǎn)螺桿的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖6為本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)中的電機(jī)保護(hù)套的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]附圖標(biāo)記說明:
[0028]1-承片臺(tái)座；2-旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體;3-固定連接板;4-聯(lián)軸器;5-旋轉(zhuǎn)螺桿;6_電機(jī)；7-電機(jī)軸;8-電機(jī)本體;9-電機(jī)保護(hù)套;10-圓形凹槽;11-圓形通孔。
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例，基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0030]本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，如圖1所示，該旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)包括:與承片臺(tái)座I可拆卸連接的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體2，所述承片臺(tái)座I位于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體2的上表面；
[0031]這里需說明的是，承片臺(tái)包括承片臺(tái)座I及位于承片臺(tái)座I上的承片臺(tái)座本體，該承片臺(tái)本體固定安裝于承片臺(tái)座I上。
[0032]這里，承片臺(tái)座I上設(shè)置有多個(gè)安裝孔，用于將該承片臺(tái)座I與旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體2固定連接。
[0033]與旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體2可拆卸連接的固定連接板3，固定連接板3位于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體2的下表面;其中，
[0034]旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體2內(nèi)設(shè)置有聯(lián)軸器4，聯(lián)軸器4連接有旋轉(zhuǎn)螺桿5以及電機(jī)6的電機(jī)軸7。也就是說，旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)本體2上設(shè)置有放置該聯(lián)軸器4的限位結(jié)構(gòu)。如圖4所示，該限位結(jié)構(gòu)為內(nèi)部中空的圓形凹槽10。圓形凹槽10的底部設(shè)置有一圓形通孔11，旋轉(zhuǎn)螺桿5穿過該圓形通孔11與承片臺(tái)座I連接。
[0035]這里，本發(fā)明實(shí)施例中聯(lián)軸器4優(yōu)先地為彈性聯(lián)軸器。當(dāng)然不僅限于此類型的聯(lián)軸器，其他可放置于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上的聯(lián)軸器均可采用。
[0036]如圖5所示，該旋轉(zhuǎn)螺桿5為一端外設(shè)有螺紋的圓柱桿，作為聯(lián)軸器4上的從動(dòng)軸。本發(fā)明實(shí)施例中旋轉(zhuǎn)螺桿5的一端與聯(lián)軸器4連接，另一端與承片臺(tái)座I連接。
[0037]固定連接板3上連接有電機(jī)6的電機(jī)本體8以及電機(jī)保護(hù)套9，電機(jī)本體8套設(shè)于電機(jī)保護(hù)套9內(nèi)。
[0038]本發(fā)明實(shí)施例中電機(jī)6包括電機(jī)本機(jī)8以及電機(jī)軸7，優(yōu)選地為壓電陶瓷電機(jī)。當(dāng)然不僅限于該類型的電機(jī)，其他可實(shí)現(xiàn)高定位精度、高穩(wěn)定性、體積小、重量輕的電機(jī)均可采用。
[0039]這里需說明的是，該