本實(shí)用新型涉及研磨機(jī)或拋光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種研磨機(jī)或拋光機(jī)的上下盤自平衡機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

單面研磨機(jī)/拋光機(jī)是目前硬脆材料，半導(dǎo)體平面加工的主要設(shè)備，因加工材料的特殊性，要求設(shè)備有很高的加工精度。上下盤的平行度對(duì)工件的表面質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。

現(xiàn)有的研磨機(jī)或拋光機(jī)，上、下盤系統(tǒng)相對(duì)獨(dú)立安裝，很難保證上下盤之間的平行度，無法滿足市場對(duì)硬脆材料，半導(dǎo)體等日益提高的工件表面質(zhì)量要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供一種研磨機(jī)或拋光機(jī)的上下盤自平衡機(jī)構(gòu)，保證上下盤的平行度，從而保證加工精度和工件成品的表面質(zhì)量。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種研磨機(jī)或拋光機(jī)的上下盤自平衡機(jī)構(gòu)，包括上盤系統(tǒng)、頂臺(tái)、主支座和下箱體，所述上盤系統(tǒng)固接在頂臺(tái)上，所述頂臺(tái)和主支座之間通過多個(gè)立柱組件連接，所述主支座下端設(shè)有多個(gè)減震器，所述減震器一端固接在下箱體的頂面上。

進(jìn)一步的，所述主支座的下方連接有動(dòng)力系統(tǒng)。

進(jìn)一步的，所述主支座以懸掛方式連接下方的動(dòng)力系統(tǒng)。

進(jìn)一步的，所述頂臺(tái)與主支座之間設(shè)有四個(gè)立柱組件。

進(jìn)一步的，所述主支座與下箱體之間設(shè)有四個(gè)減震器。

本實(shí)用新型的有益效果是:

本實(shí)用新型的自平衡系統(tǒng)，合理的利用了減震器的彈性，有效的保證了設(shè)備在研磨拋光過程中，上盤和下盤之間的平行度，實(shí)現(xiàn)了上下盤在不同的工況下的自適應(yīng)找正功能，保證了研磨，拋光加工過程穩(wěn)定性，從而保證了加工效果，并且結(jié)構(gòu)簡單，保證了加工精度和工件成品的表面質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中標(biāo)號(hào)說明：1、上盤系統(tǒng)，2、頂臺(tái)，3、立柱組件，4、主支座，5、減震器，6、下箱體，7、動(dòng)力系統(tǒng)。

具體實(shí)施方式

下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。

參照?qǐng)D1所示，一種研磨機(jī)或拋光機(jī)的上下盤自平衡機(jī)構(gòu)，包括上盤系統(tǒng)1、頂臺(tái)2、主支座4和下箱體6，所述上盤系統(tǒng)1固接在頂臺(tái)2上，所述頂臺(tái)2和主支座4之間通過多個(gè)立柱組件3連接，所述主支座4下端設(shè)有多個(gè)減震器5，所述減震器5一端固接在下箱體6的頂面上。

所述主支座4的下方連接有動(dòng)力系統(tǒng)7。

所述主支座4以懸掛方式連接下方的動(dòng)力系統(tǒng)7。

所述頂臺(tái)2與主支座4之間設(shè)有四個(gè)立柱組件3。

所述主支座4與下箱體6之間設(shè)有四個(gè)減震器5。

以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。