板玻璃的端面加工裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種板玻璃的端面加工裝置，即便在基準輸送機以及限制輥的上游側(cè)，板玻璃的位置大幅偏離，也不會因與該限制輥等接觸而產(chǎn)生劃痕、缺口等，而能夠利用上述的基準輸送機以及限制輥將板玻璃的位置限制在規(guī)定位置。通過按壓板玻璃的另一方的端面而朝向基準輸送機(基準部)推動板玻璃的定位機構(gòu)部(推動機構(gòu))具有配置在搬運方向上游側(cè)且按壓板玻璃的按壓輥、以及配置在搬運方向下游側(cè)且限制板玻璃的限制輥。
【專利說明】
板玻璃的端面加工裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實用新型涉及一種板玻璃的端面加工裝置的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，例如在液晶顯示裝置、有機EL顯示裝置等的平板顯示器中使用板玻璃(玻璃基板)。
[0003]這樣的板玻璃的制造工序一般來說包括:將成形后的板玻璃切斷成矩形狀且規(guī)定大小的切斷工序、對切斷后的板玻璃的切斷端面進行研磨的端面加工工序、以及通過對切斷端面被研磨后的板玻璃進行清洗/干燥處理而得到作為最終產(chǎn)品的玻璃基板的清洗/干燥工序等。
[0004]然而，在實施所述端面加工工序的板玻璃的端面加工裝置中，對于例如被上下一對環(huán)狀的搬運輸送機沿厚度方向夾持并一邊保持水平姿態(tài)一邊被搬運的板玻璃，使研磨輪按壓在該玻璃板的寬度方向(俯視時與搬運方向正交的方向)的端面，由此進行該端面的研磨加工。
[0005]在此，為了實現(xiàn)研磨加工的加工精度的提高，板玻璃相對于研磨輪的搬運位置、SP板玻璃相對于上下一對搬運輸送機的位置是規(guī)定位置這一點非常重要。
[0006]基于這樣的情況，在以往的板玻璃的端面加工裝置中構(gòu)成為，例如環(huán)狀的基準輸送機以及多個限制輥分別配置在上述的上下一對搬運輸送機的上游側(cè)，且分別在所述寬度方向?qū)χ门渲?，利用上述的基準輸送機以及限制輥來限制被搬運的板玻璃的位置，并且向所述上下一對環(huán)狀的搬運輸送機導(dǎo)入該板玻璃，實施研磨加工。
[0007]在先技術(shù)文獻
[0008]專利文獻
[0009]專利文獻I:日本特開2012-106295公報
[0010]根據(jù)由以上這樣結(jié)構(gòu)構(gòu)成的以往的板玻璃的端面加工裝置，由于板玻璃一邊被基準輸送機以及限制輥預(yù)先限制在規(guī)定位置一邊被導(dǎo)入至上下一對環(huán)狀的搬運輸送機，因此板玻璃相對于該上下一對搬運輸送機的位置大致可靠地成為規(guī)定位置，能夠?qū)崿F(xiàn)研磨加工的加工精度的提高。
[0011]然而，例如在基準輸送機以及限制輥的上游側(cè)發(fā)生板玻璃的位置大幅偏離的情況下，該板玻璃在不受上述的基準輸送機以及限制輥限制位置的情況下與該限制輥等接觸，存在引起劃痕、缺口等的可能性。
【實用新型內(nèi)容】
[0012]實用新型要解決的課題
[0013]本實用新型是鑒于以上所示的現(xiàn)有問題點而完成的，其課題在于提供一種板玻璃的端面加工裝置，即便在基準輸送機以及限制輥的上游側(cè)發(fā)生板玻璃的位置大幅偏離的情況下，也不會發(fā)生板玻璃因與該限制輥等接觸而產(chǎn)生劃痕、缺口等的情況，能夠利用上述的基準輸送機以及限制輥將板玻璃的位置限制在規(guī)定位置。
[0014]用于解決課題的手段
[0015]本實用新型所要解決的課題如上，接下來說明用于解決該課題的手段。
[0016]S卩，本實用新型所涉及的板玻璃的端面加工裝置一邊將矩形狀的板玻璃以水平姿態(tài)搬運一邊對該板玻璃的端面實施研磨加工，所述板玻璃的端面加工裝置具備:搬運機構(gòu)，其以保持板玻璃的下表面的狀態(tài)搬運該板玻璃;基準部，其通過與該板玻璃的一方的端面抵接從而相對于所述搬運機構(gòu)對所述板玻璃進行定位；以及推動機構(gòu)，其通過按壓所述板玻璃的另一方的端面從而朝向所述基準部推動所述板玻璃，所述板玻璃的端面加工裝置的特征在于，所述推動機構(gòu)具有:按壓輥，其配置在搬運方向上游側(cè)且按壓所述板玻璃；以及限制輥，其配置在搬運方向下游側(cè)且限制所述板玻璃。
[0017]通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，例如即便在基準部(基準輸送機)以及推動機構(gòu)(限制輥)的上游側(cè)，板玻璃相對于搬運機構(gòu)的位置大幅偏離，也能夠通過設(shè)置于所述按壓機構(gòu)的按壓輥將所述板玻璃推動到規(guī)定位置，不存在板玻璃因與該限制輥等接觸而產(chǎn)生劃痕、缺口等的情況。
[0018]另外，在本實用新型所涉及的板玻璃的端面加工裝置中，優(yōu)選為，所述搬運機構(gòu)由環(huán)狀的傳送帶構(gòu)成。
[0019]通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，傳送帶與板玻璃的下表面接觸的接觸部位是面接觸，因此能夠穩(wěn)定地保持板玻璃的姿態(tài)。
[0020]另外，在本實用新型所涉及的板玻璃的端面加工裝置中，優(yōu)選為，所述基準部由環(huán)狀的傳送帶構(gòu)成，所述基準部的搬運面朝向所述板玻璃的一方的端面配置。
[0021]通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，由于能夠與通過所述搬運機構(gòu)搬運的板玻璃相應(yīng)地使與該板玻璃的端面抵接的所述基準部的抵接部位(搬運面)移動，因此，例如能夠防止因板玻璃的端面相對于所述基準部滑動等而在該板玻璃上產(chǎn)生劃痕、缺口等。
[0022]另外，在本實用新型所涉及的板玻璃的端面加工裝置中，優(yōu)選為，所述按壓輥設(shè)置為能夠朝向所述板玻璃進退，所述按壓輥在所述板玻璃的搬運方向側(cè)的端面被所述限制輥限制之后退離。
[0023]這樣，通過在利用限制輥可靠地保持板玻璃的位置之后使按壓輥退離，例如即便在剛剛從基于該按壓輥的按壓狀態(tài)釋放之后也不會出現(xiàn)板玻璃的位置再次偏離的情況，能夠可靠地保持定位后的板玻璃的位置。
[0024]另外，在本實用新型所涉及的板玻璃的端面加工裝置中，優(yōu)選為，所述按壓輥具備氣缸，該氣缸能夠使所述按壓棍進行朝向所述板玻璃的進退動作。
[0025]通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，無需另行設(shè)置大規(guī)模的進退裝置，能夠利用簡易的結(jié)構(gòu)使按壓輥進退，比較經(jīng)濟。
[0026]另外，在本實用新型所涉及的板玻璃的端面加工裝置中，優(yōu)選為，所述限制輥具有施加朝向所述板玻璃的作用力的彈簧構(gòu)件。
[0027]通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，無需另行設(shè)置大規(guī)模的施力裝置，能夠利用簡易的結(jié)構(gòu)對限制輥施加作用力，比較經(jīng)濟。
[0028]實用新型的效果
[0029]作為本實用新型的效果，起到以下所示的效果。
[0030]S卩，根據(jù)本實用新型所涉及的板玻璃的端面加工裝置，即便在基準輸送機以及限制輥的上游側(cè)發(fā)生板玻璃的位置大幅偏離的情況下，也不會發(fā)生板玻璃因與該限制輥等接觸而出現(xiàn)劃痕、缺口等的情況，能夠利用上述的基準輸送機以及限制輥將板玻璃的位置限制在規(guī)定位置
【附圖說明】

[0031]圖1是示出本實用新型所涉及的板玻璃的端面加工裝置的整體結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0032]圖2是隨時間經(jīng)過而示出在實施端面加工處理前進行的板玻璃的定位動作的圖，
(a)是示出板玻璃即將到達按壓輥之前的狀態(tài)的俯視圖，(b)是示出剛剛利用按壓輥按壓板玻璃之后的狀態(tài)的俯視圖，(C)是示出板玻璃到達限制輥后的狀態(tài)的俯視圖。
[0033]附圖標記說明
[0034]I 端面加工裝置
[0035]11下側(cè)搬運輸送機(搬運機構(gòu))
[0036]20基準輸送機(基準部)
[0037]30定位機構(gòu)部(推動機構(gòu))
[0038]31按壓輥
[0039]32限制輥
[0040]G 板玻璃
【具體實施方式】
[0041]接下來，使用圖1以及圖2對用于將本實用新型具體化的實施方式進行說明。
[0042]需要說明的是，關(guān)于以下說明，為了方便，將圖1以及圖2中的箭頭A的方向規(guī)定為板玻璃G的搬運方向而進行記述。
[0043][端面加工裝置I]
[0044]首先，使用圖1對本實施方式的板玻璃的端面加工裝置I(以下簡稱為“端面加工裝置I”)的結(jié)構(gòu)進行說明。
[0045]端面加工裝置I是用于一邊將在前工序中切斷成矩形狀且規(guī)定大小的板玻璃G以水平姿態(tài)搬運一邊對該板玻璃G的切斷端面實施研磨加工的裝置。
[0046]端面加工裝置I主要包括搬運機構(gòu)部10、基準機構(gòu)部(基準輸送機)20、定位機構(gòu)部30以及研磨機構(gòu)部40等。
[0047]搬運機構(gòu)部1用于以水平姿態(tài)的狀態(tài)搬運被投入到裝置內(nèi)的板玻璃G。
[0048]搬運機構(gòu)部10包括沿水平方向并列設(shè)置的多個(例如，本實施方式中是三臺)下側(cè)搬運輸送機11、11、11、以及在上述下側(cè)搬運輸送機11、11、11的上方對置設(shè)置的多個(例如，本實施方式中是三臺)上側(cè)搬運輸送機12、12、12等。
[0049]下側(cè)搬運輸送機11是在保持板玻璃G的下表面的狀態(tài)下進行搬運的搬運機構(gòu)的一個例子，例如由環(huán)狀的傳送帶構(gòu)成。
[0050]需要說明的是，下側(cè)搬運輸送機11的結(jié)構(gòu)并不特別限定，但在由傳送帶構(gòu)成的情況下，由于與板玻璃G的下表面接觸的接觸部位是面接觸，因此能夠穩(wěn)定地保持板玻璃G的姿態(tài)。
[0051]上側(cè)搬運輸送機12是保持板玻璃G的搬運姿態(tài)的保持機構(gòu)的一個例子，例如由環(huán)狀的傳送帶構(gòu)成。
[0052]另外，上側(cè)搬運輸送機12設(shè)定為與下側(cè)搬運輸送機11相比機長(從驅(qū)動帶輪的外側(cè)到從動帶輪的外側(cè)的尺寸)較短，且配置在該下側(cè)搬運輸送機11的下游部的上方。
[0053]需要說明的是，如后文所述，在下側(cè)搬運輸送機11的下游部配設(shè)有研磨機構(gòu)部40。
[0054]接下來，對基準輸送機20進行說明。
[0055]基準輸送機20是通過使板玻璃G的一方的端面抵接而相對于下側(cè)搬運輸送機11對板玻璃G進行定位的基準部的一個例子，用于與后述的定位機構(gòu)部30—起限制通過搬運機構(gòu)部1搬運的板玻璃G的位置。
[0056]基準輸送機20例如由環(huán)狀的傳送帶等構(gòu)成，在下側(cè)搬運輸送機11的上游部、即上側(cè)搬運輸送機12的上游側(cè)，與搬運機構(gòu)部10的一側(cè)(本實施方式中是沿搬運方向觀察時的左側(cè))相鄰地配設(shè)。
[0057]具體地說，基準輸送機20—邊在水平方向上進行卷繞一邊沿搬運方向(圖1中的箭頭A的方向)延伸配置，搬運機構(gòu)部1側(cè)(本實施方式中沿搬運方向觀察時的右側(cè))的外周面(搬運面)與通過搬運機構(gòu)部10搬運的板玻璃G的寬度方向(俯視時與搬運方向正交的方向)的一側(cè)(本實施方式中沿搬運方向觀察時的左側(cè))的端面抵接，并且伴隨著該板玻璃G的移動，基準輸送機20的外周面也旋轉(zhuǎn)移動。
[0058]需要說明的是，在基準輸送機20的內(nèi)部設(shè)置有平臺21，基準輸送機20在平臺21上滑動，以使得基準輸送機20不會因與板玻璃G的端面抵接而撓曲。
[0059]并且，通過使板玻璃G的端面與基準輸送機20的外周面抵接而將該板玻璃G的位置限制在規(guī)定的位置。
[0060]通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，由于能夠與通過下側(cè)搬運輸送機11搬運的板玻璃G相應(yīng)地使與該板玻璃G的端面抵接的基準輸送機20的抵接部位(搬運面)移動，因此，能夠防止例如因板玻璃G的端面相對于基準輸送機20滑動等而在該板玻璃G上產(chǎn)生劃痕、缺口等。
[0061 ]接下來，對定位機構(gòu)部30進行說明。
[0062]定位機構(gòu)部30是通過按壓板玻璃G的另一端面而朝向基準輸送機20推動該板玻璃G的推動機構(gòu)的一個例子，用于與上述的基準輸送機20—起限制通過搬運機構(gòu)部10搬運的板玻璃G的位置。
[0063]定位機構(gòu)部30由從搬運方向的上游側(cè)朝向下游側(cè)依次配置的按壓輥31以及多個限制輥32、32...等構(gòu)成，在下側(cè)搬運輸送機11的上游部、即上側(cè)搬運輸送機12的上游側(cè)，與搬運機構(gòu)部1的另一側(cè)(本實施方式中是沿搬運方向觀察時的右側(cè))相鄰地配設(shè)。
[0064]換句話說，定位機構(gòu)部30以將搬運機構(gòu)部10夾在中間的方式與基準輸送機20對置配置。
[0065]按壓輥31例如由圓柱形狀的聚氨酯樹脂等構(gòu)成，以軸心方向作為上下方向并被支承為能夠以該軸心作為中心而旋轉(zhuǎn)。
[0066]另外，按壓輥31具備例如由氣缸等構(gòu)成的致動器33，按壓輥31能夠借助該致動器33朝向基準輸送機20側(cè)(本實施方式中是沿搬運方向觀察時的左側(cè))、即被搬運的板玻璃G側(cè)進退。
[0067]并且，通過按壓輥31向通過下側(cè)搬運輸送機11搬運的板玻璃G進行按壓，由此該板玻璃G與基準輸送機20抵接而朝向規(guī)定的位置移動。
[0068]限制輥32例如由圓柱形狀的聚氨酯樹脂等構(gòu)成，以軸心方向作為上下方向并被支承為能夠以該軸心作為中心而旋轉(zhuǎn)。
[0069]另外，限制輥32具備例如由彈簧構(gòu)件等構(gòu)成的施力構(gòu)件34，通過該施力構(gòu)件34，限制輥32形成為一直被朝向基準輸送機20側(cè)(本實施方式中是沿搬運方向觀察時的左側(cè))、即被搬運的板玻璃G側(cè)、更具體地說是相對于搬運方向(箭頭A的方向)略微傾斜的方向施力的狀態(tài)。
[0070]并且，限制輥32、32...在一組定位機構(gòu)部30中配備有多個，在上述的按壓輥31的下游側(cè)沿搬運方向呈一直線狀地配置。
[0071 ]通過被由這樣的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的多個限制輥32、32...朝向基準輸送機20側(cè)(本實施方式中是沿搬運方向觀察時的左側(cè))施力，通過按壓輥31向規(guī)定的位置移動后的板玻璃G之后也繼續(xù)與基準輸送機20抵接，從而被限制在規(guī)定的位置。
[0072]接下來，對研磨機構(gòu)部40進行說明。
[0073]研磨機構(gòu)部40用于對通過搬運機構(gòu)部10搬運的板玻璃G的寬度方向的端面實施研磨加工。
[0074]研磨機構(gòu)部40由在下側(cè)搬運輸送機11的下游部分別配備在搬運機構(gòu)部10的寬度方向的兩側(cè)的多個(圖1中記載有兩個)研磨輪41、41等構(gòu)成。
[0075]研磨輪41設(shè)置為以軸心方向作為上下方向，并且被未圖示的驅(qū)動馬達等驅(qū)動為能夠以該軸心作為中心而旋轉(zhuǎn)。
[0076]并且，由這樣的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的研磨輪41一邊旋轉(zhuǎn)驅(qū)動一邊向以被下側(cè)搬運輸送機11以及上側(cè)搬運輸送機12夾持的狀態(tài)搬運的板玻璃G的寬度方向的端面按壓。
[0077]由此，對通過搬運機構(gòu)部10搬運的板玻璃G的寬度方向的端面實施研磨加工。
[0078][動作步驟]
[0079]接下來，使用圖1以及圖2，說明本實施方式的端面加工裝置I中的、即將研磨加工之前進行的板玻璃的位置限制的動作步驟。
[0080]首先，在搬運機構(gòu)部10中，下側(cè)搬運輸送機11以及上側(cè)搬運輸送機12均形成為運轉(zhuǎn)狀態(tài)，從搬運方向的上游側(cè)朝向下游側(cè)進行運轉(zhuǎn)。
[0081]另外，基準輸送機20也形成為運轉(zhuǎn)狀態(tài)，與下側(cè)搬運輸送機11相同地從搬運方向的上游側(cè)朝向下游側(cè)進行運轉(zhuǎn)。
[0082]此外，在定位機構(gòu)部30中，按壓輥31形成為在與搬運機構(gòu)部10最大程度分離的位置(以下，酌情記載為“返回極限位置”)停止的狀態(tài)。
[0083]在這樣的狀況下，如圖2(a)所示那樣，投入至端面加工裝置I的板玻璃G被載置在下側(cè)搬運輸送機11上，以水平姿態(tài)的狀態(tài)朝向下游側(cè)、即研磨機構(gòu)部40(參照圖1)搬運。
[0084]需要說明的是，在該時刻下，存在板玻璃G未載置于下側(cè)搬運輸送機11上的規(guī)定位置的情況，例如在本實施方式中，板玻璃G以向定位機構(gòu)部30側(cè)(搬運方向上的右側(cè))大幅偏離的方式載置。
[0085]當被搬運的板玻璃G的下游側(cè)端面Ga略微通過按壓輥31時，該按壓輥31朝向與搬運機構(gòu)部1接近的接近方向(沿搬運方向觀察時的左方向)移動。
[0086]由此，如圖2(b)所示，板玻璃G被按壓輥31按壓而與基準輸送機20抵接，向規(guī)定位置移動。
[0087]在板玻璃G向規(guī)定位置移動之后，按壓輥31依然保持為朝向搬運機構(gòu)部10側(cè)移動后的狀態(tài)、即朝向基準輸送機20按壓板玻璃G的狀態(tài)。
[0088]另外，在該狀態(tài)下，板玻璃G被下側(cè)搬運輸送機11進一步向下游側(cè)搬運。
[0089]然后，如圖2(c)所示，當板玻璃G的下游側(cè)端面Ga通過多個限制輥32、32...內(nèi)的位于上游側(cè)的若干個(本實施方式中是兩個)限制輥32、32(以下，酌情記載為“上游側(cè)限制輥32A” )時，按壓輥31朝向與搬運機構(gòu)部10遠離的遠離方向(沿搬運方向觀察時的右方向)移動，之后再次到達“返回極限位置”并停止。
[0090]這樣，在本實施方式中形成為如下結(jié)構(gòu)，利用基準輸送機20以及若干個上游側(cè)限制輥32A、32A在寬度方向上夾持板玻璃G的搬運方向側(cè)的端面(下游側(cè)端面Ga)，限制下側(cè)搬運輸送機11上的板玻璃G的位置，之后按壓棍31從該板玻璃G退咼。
[0091]其結(jié)果是，在利用上游側(cè)限制輥32A、32A可靠地保持板玻璃G的位置之后使按壓輥31退離，例如在剛從基于按壓輥31的按壓狀態(tài)釋放之后，板玻璃G的位置也不會再次偏離，能夠可靠地保持定位后的板玻璃G的位置。
[0092]在板玻璃G的下游側(cè)端面Ga通過上游側(cè)限制輥32A、32A之后，板玻璃G被下側(cè)搬運輸送機11進一步向下游側(cè)搬運。
[0093]與此相伴，板玻璃G隨著趨向下游側(cè)而逐漸進入基準輸送機20與多個限制輥32、32…之間，對板玻璃G施力的限制輥32、32…的個數(shù)逐漸增加。
[0094]然后，如圖丨所示那樣，在即將到達研磨機構(gòu)部40之前，板玻璃G被基準輸送機20與全部的限制輥32、32...完全夾持，形成下側(cè)搬運輸送機11上的板玻璃G的位置可靠地被限制的狀態(tài)。
[0095]由此，在即將實施研磨加工之前進行的板玻璃G的位置限制結(jié)束。
[0096]需要說明的是，板玻璃G之后進一步朝向下游側(cè)搬運，被上下一對下側(cè)搬運輸送機11以及上側(cè)搬運輸送機12在厚度方向(上下方向)上夾持。
[0097]由此，板玻璃G—邊保持被基準輸送機20與多個限制輥32、32...限制的規(guī)定位置一邊向下游側(cè)搬運。
[0098]然后，在被上述的下側(cè)搬運輸送機11以及上側(cè)搬運輸送機12搬運的同時，板玻璃G的寬度方向的端面被研磨輪41實施研磨加工，在該研磨加工結(jié)束后從端面加工裝置I搬出。
[0099]工業(yè)實用性
[0100]本實用新型能夠適當?shù)赜糜诎宀ＡУ亩嗣婕庸ぱb置中，該板玻璃的端面加工裝置在例如液晶顯示裝置、有機EL顯示裝置等平板顯示器的板玻璃的制造工序中，能夠一邊將切斷成矩形狀且規(guī)定大小的板玻璃以水平姿態(tài)搬運一邊對該板玻璃的切斷端面實施研磨加工。
【主權(quán)項】
1.一種板玻璃的端面加工裝置，其一邊將矩形狀的板玻璃以水平姿態(tài)搬運一邊對該板玻璃的端面實施研磨加工， 所述板玻璃的端面加工裝置具備: 搬運機構(gòu)，其以保持板玻璃的下表面的狀態(tài)搬運該板玻璃； 基準部，其通過與該板玻璃的一方的端面抵接從而相對于所述搬運機構(gòu)對所述板玻璃進行定位；以及 推動機構(gòu)，其通過按壓所述板玻璃的另一方的端面從而朝向所述基準部推動所述板玻璃， 所述板玻璃的端面加工裝置的特征在于， 所述推動機構(gòu)具有: 按壓輥，其配置在搬運方向上游側(cè)且按壓所述板玻璃；以及 限制輥，其配置在搬運方向下游側(cè)且限制所述板玻璃。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板玻璃的端面加工裝置，其特征在于， 所述搬運機構(gòu)由環(huán)狀的傳送帶構(gòu)成。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板玻璃的端面加工裝置，其特征在于， 所述基準部由環(huán)狀的傳送帶構(gòu)成， 所述基準部的搬運面朝向所述板玻璃的一方的端面配置。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板玻璃的端面加工裝置，其特征在于， 所述按壓輥設(shè)置為能夠朝向所述板玻璃進退， 所述按壓輥在所述板玻璃的搬運方向側(cè)的端面被所述限制輥限制之后退離。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板玻璃的端面加工裝置，其特征在于， 所述按壓輥具備氣缸，該氣缸能夠使所述按壓輥進行朝向所述板玻璃的進退動作。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板玻璃的端面加工裝置，其特征在于， 所述限制輥具有施加朝向所述板玻璃的作用力的彈簧構(gòu)件。
【文檔編號】B24B41/02GK205703599SQ201620607775
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月20日
【發(fā)明人】奧隼人, 北島浩市, 下津浩, 下津浩一
【申請人】日本電氣硝子株式會社