本發(fā)明屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動(dòng)密封頂升結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體薄膜的制備中，反應(yīng)腔體內(nèi)部會(huì)有一些功能性運(yùn)動(dòng)部件，這些部件的驅(qū)動(dòng)在腔體之外，通過升降裝置帶動(dòng)其進(jìn)行動(dòng)作。在以往的腔內(nèi)運(yùn)動(dòng)部件設(shè)計(jì)中，常常為了保證運(yùn)動(dòng)處的密封性而使得設(shè)計(jì)變得復(fù)雜，裝配難度上升，維護(hù)困難。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動(dòng)密封頂升結(jié)構(gòu)，采用簡(jiǎn)易的密封結(jié)構(gòu)，利用動(dòng)密封形式，解決動(dòng)作連桿運(yùn)動(dòng)時(shí)的密封要求，簡(jiǎn)化了自身結(jié)構(gòu)，使整個(gè)機(jī)構(gòu)的裝配變得簡(jiǎn)便，易于設(shè)備的維護(hù)。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動(dòng)密封頂升結(jié)構(gòu)，其特征在于，動(dòng)密封頂升結(jié)構(gòu)包括固定裝置和驅(qū)動(dòng)裝置，固定裝置包括直線軸承座和連接基座，直線軸承座與反應(yīng)腔體固定連接，驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐導(dǎo)桿、支撐導(dǎo)桿連接件和驅(qū)動(dòng)部件，支撐導(dǎo)桿插入直線軸承座內(nèi)，驅(qū)動(dòng)部件與連接基座進(jìn)行連接，連接基座與直線軸承座進(jìn)行連接，支撐導(dǎo)桿與支撐導(dǎo)桿連接件進(jìn)行連接；

將動(dòng)密封膠圈安裝在直線軸承座的膠圈槽內(nèi)，密封膠圈安裝在直線軸承基座的膠圈槽內(nèi)。

進(jìn)一步地，驅(qū)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)時(shí)，支撐導(dǎo)桿連接件帶動(dòng)支撐導(dǎo)桿進(jìn)行升降的周 期性運(yùn)動(dòng)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，采用簡(jiǎn)易的密封結(jié)構(gòu)，利用動(dòng)密封形式，解決動(dòng)作連桿運(yùn)動(dòng)時(shí)的密封要求，簡(jiǎn)化了自身結(jié)構(gòu)，使整個(gè)機(jī)構(gòu)的裝配變得簡(jiǎn)便，易于設(shè)備的維護(hù)。

附圖說明

下面結(jié)合附圖及實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明：

圖1為本發(fā)明提供的動(dòng)密封頂升結(jié)構(gòu)剖面示意圖；

圖2為本發(fā)明提供的動(dòng)密封頂升結(jié)構(gòu)主視圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面結(jié)合附圖實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

參考圖1和圖2，本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動(dòng)密封頂升結(jié)構(gòu)，所述動(dòng)密封頂升結(jié)構(gòu)包括固定裝置和驅(qū)動(dòng)裝置，固定裝置包括直線軸承座3和連接基座4，直線軸承座3與反應(yīng)腔體1固定連接，驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐導(dǎo)桿2、支撐導(dǎo)桿連接件5和驅(qū)動(dòng)部件6，支撐導(dǎo)桿2插入直線軸承座3內(nèi)，驅(qū)動(dòng)部件6與連接基座4進(jìn)行連接，連接基座4與直線軸承座3進(jìn)行連接，支撐導(dǎo)桿2與支撐導(dǎo)桿連接件5進(jìn)行連接；

將動(dòng)密封膠圈8安裝在直線軸承座3的膠圈槽內(nèi)，密封膠圈7安裝在直線軸承座3的膠圈槽內(nèi)。

當(dāng)反應(yīng)腔體內(nèi)部進(jìn)行薄膜沉積反應(yīng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)支撐導(dǎo)桿連接件帶動(dòng)支撐導(dǎo)桿進(jìn)行升降的周期性運(yùn)動(dòng)，滿足腔體內(nèi)的運(yùn)動(dòng)需求。