用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，包括底座，底座上固定設(shè)置有導(dǎo)軌；導(dǎo)軌的兩端分別活動連接有滑塊；每個滑塊的頂部固定設(shè)置有定位爪，兩個定位爪相對設(shè)置；兩個滑塊通過氣缸實(shí)現(xiàn)驅(qū)動；兩個定位爪之間固定設(shè)置有吸臺；吸臺設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生裝置；負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接一負(fù)壓傳感器；負(fù)壓傳感器通過信號線連接氣缸；吸臺設(shè)置有一位置傳感器；位置傳感器連接負(fù)壓產(chǎn)生裝置。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)石英晶片在全自動高速磨邊機(jī)上的自動定位裝夾功能。
【專利說明】用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種石英晶片的加工設(shè)備，具體涉及一種用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]全自動高速磨邊機(jī)在工作過程中需要通過夾具將石英晶片夾持固定。由于磨邊機(jī)在工作過程中高速運(yùn)轉(zhuǎn)，要求其夾具能夠穩(wěn)定可靠地對晶片進(jìn)行定位操作。但是，現(xiàn)有的磨邊機(jī)的夾具的定位精度低，在對石英晶片進(jìn)行磨邊時，由于不能準(zhǔn)確定位，造成晶片的磨邊精度低，產(chǎn)品合格率隨之降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，它可以提高夾具的定位精度。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具的技術(shù)解決方案為:
包括底座，底座上固定設(shè)置有導(dǎo)軌；導(dǎo)軌的兩端分別活動連接有滑塊；每個滑塊的頂部固定設(shè)置有定位爪，兩個定位爪相對設(shè)置；兩個滑塊通過氣缸實(shí)現(xiàn)驅(qū)動；兩個定位爪之間固定設(shè)置有吸臺；吸臺設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生裝置；負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接一負(fù)壓傳感器；負(fù)壓傳感器通過信號線連接氣缸；吸臺設(shè)置有一位置傳感器；位置傳感器連接負(fù)壓產(chǎn)生裝置。
[0005]所述吸臺的上表面覆蓋有硫化氫化丁腈橡膠層。
[0006]通過機(jī)械手抓取石英晶片并將石英晶片放在所述吸臺上；吸臺的負(fù)壓產(chǎn)生裝置產(chǎn)生一負(fù)壓吸住吸臺上的石英晶片；負(fù)壓傳感器檢測到負(fù)壓信號后，向氣缸發(fā)送信號，氣缸帶動滑塊沿導(dǎo)軌向吸臺方向移動，在兩個定位爪的共同作用下推動石英晶片移動，將石英晶片推動到工作位置；當(dāng)石英晶片移動到位后，位置傳感器檢測到石英晶片的位置信號，向吸臺的負(fù)壓產(chǎn)生裝置發(fā)送信號，吸臺產(chǎn)生另一更大的負(fù)壓吸力，固定住吸臺上的石英晶片；負(fù)壓傳感器檢測到負(fù)壓信號后，向氣缸發(fā)送信號，氣缸反向移動，兩個定位爪松開對石英晶片的夾持。
[0007]本發(fā)明可以達(dá)到的技術(shù)效果是:
本發(fā)明能夠達(dá)到0.05mm以內(nèi)的定位精度,實(shí)現(xiàn)石英晶片的自動定位操作。
[0008]本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)石英晶片在全自動高速磨邊機(jī)上的自動定位裝夾功能。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明:
圖1是本發(fā)明用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具的示意圖。
[0010]圖中附圖標(biāo)記說明:
I為定位爪，2為導(dǎo)軌，
3為吸臺，4為氣缸， 5為位置傳感器，6為負(fù)壓傳感器，
7為底座，8為進(jìn)氣臺，
9為滑塊。
【具體實(shí)施方式】
[0011]如圖1所示，本發(fā)明用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，包括底座7，底座7上固定設(shè)置有導(dǎo)軌2 ;導(dǎo)軌2的兩端活動連接兩個滑塊9 ;每個滑塊9的頂部固定設(shè)置有定位爪1，兩個定位爪I相對設(shè)置；兩個滑塊9通過氣缸4實(shí)現(xiàn)驅(qū)動；
導(dǎo)軌2的中部固定設(shè)置有進(jìn)氣臺8，進(jìn)氣臺8上固定設(shè)置有吸臺3 ;吸臺3位于兩個定位爪I之間；
吸臺3設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生裝置；負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接一負(fù)壓傳感器6 ;負(fù)壓傳感器6通過信號線連接氣缸4 ；
吸臺3設(shè)置有一位置傳感器5 ;位置傳感器5連接負(fù)壓產(chǎn)生裝置。
[0012]吸臺3的上表面覆蓋有一層硫化氫化丁腈橡膠。
[0013]本發(fā)明的工作原理如下:
通過機(jī)械手抓取石英晶片并將石英晶片放在吸臺3上；吸臺3的負(fù)壓產(chǎn)生裝置產(chǎn)生一負(fù)壓吸住吸臺3上的石英晶片，防止其滑動或掉落；
吸臺3處的負(fù)壓傳感器6檢測到該負(fù)壓信號后，向氣缸4發(fā)送信號，氣缸4帶動滑塊9沿導(dǎo)軌2向吸臺方向移動，在兩個滑塊9上定位爪I的共同作用下推動石英晶片移動，將石英晶片推動到工作位置；
當(dāng)石英晶片移動到位后，位置傳感器5檢測到石英晶片的位置信號，向吸臺3的負(fù)壓產(chǎn)生裝置發(fā)送信號，吸臺3產(chǎn)生另一更大的負(fù)壓吸力，固定住吸臺3上的石英晶片；吸臺3處的負(fù)壓傳感器6檢測到該負(fù)壓信號后，向氣缸4發(fā)送信號,氣缸4反向移動,兩個滑塊9上的定位爪I松開對石英晶片的夾持，此時可以對石英晶片進(jìn)行磨邊加工。
[0014]本發(fā)明適用于高速磨邊機(jī)以固定石英晶片。
【權(quán)利要求】
1.一種用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，其特征在于:包括底座，底座上固定設(shè)置有導(dǎo)軌；導(dǎo)軌的兩端分別活動連接有滑塊；每個滑塊的頂部固定設(shè)置有定位爪，兩個定位爪相對設(shè)置；兩個滑塊通過氣缸實(shí)現(xiàn)驅(qū)動； 兩個定位爪之間固定設(shè)置有吸臺； 吸臺設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生裝置；負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接一負(fù)壓傳感器；負(fù)壓傳感器通過信號線連接氣缸； 吸臺設(shè)置有一位置傳感器；位置傳感器連接負(fù)壓產(chǎn)生裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，其特征在于:所述吸臺的上表面覆蓋有硫化氫化丁腈橡膠層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，其特征在于:通過機(jī)械手抓取石英晶片并將石英晶片放在所述吸臺上；吸臺的負(fù)壓產(chǎn)生裝置產(chǎn)生一負(fù)壓吸住吸臺上的石英晶片; 負(fù)壓傳感器檢測到負(fù)壓信號后，向氣缸發(fā)送信號，氣缸帶動滑塊沿導(dǎo)軌向吸臺方向移動，在兩個定位爪的共同作用下推動石英晶片移動，將石英晶片推動到工作位置； 當(dāng)石英晶片移動到位后，位置傳感器檢測到石英晶片的位置信號，向吸臺的負(fù)壓產(chǎn)生裝置發(fā)送信號，吸臺產(chǎn)生另一更大的負(fù)壓吸力，固定住吸臺上的石英晶片；負(fù)壓傳感器檢測到負(fù)壓信號后，向氣缸發(fā)送信號，氣缸反向移動，兩個定位爪松開對石英晶片的夾持。
【文檔編號】B24B41/06GK103506911SQ201310485956
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年10月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月17日
【發(fā)明者】王維銳, 李廣平, 范建偉, 鄢光明, 汪盈 申請人:浙江大學(xué)臺州研究院