專利名稱：無擴散泵式復合膜鍍膜機的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及加熱技術領域，具體涉及一種真空鍍膜機。
背景技術：
在卷繞式真空鍍膜機中，裝有送料輥、冷卻滾筒，以及展平輥。送料輥上裝有基體膜卷。基體膜卷上的基體膜依次繞過冷卻滾筒、展平輥。通過展平輥對基體膜進行展平，在展平后對通過蒸發(fā)源將金屬蒸汽蒸到基體膜上，完成鍍膜操作。在鍍膜工作中至少有送料輥、冷卻滾筒、展平輥，三個旋轉部件需要精確配合工作。因為基體膜非常薄，非常脆弱，在這些旋轉部件進料速度出現(xiàn)差池后，很容易造成基體膜撕裂的故障。要精確控制三個部件的進料速度完全同步非常困難，需要復雜的機械機構，·以及自動化系統(tǒng)進行支持，會帶來成本高。另外傳統(tǒng)的真空鍍膜機，采用的真空泵都是擴散泵。擴散泵存在耗能高、啟動時間長、抽真空效果差等問題。擴散泵所消耗的能耗，已經(jīng)占據(jù)了整個真空鍍膜機的能耗的一大部分。在鍍膜工作中至少有送料輥、冷卻滾筒、展平輥，三個旋轉部件需要精確配合工作。因為基體膜非常薄，非常脆弱，在這些旋轉部件進料速度出現(xiàn)差池后，很容易造成基體膜撕裂的故障。要精確控制三個部件的進料速度完全同步非常困難，需要復雜的機械機構，以及自動化系統(tǒng)進行支持，會帶來成本高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種無擴散泵式復合膜鍍膜機，以解決上述技術問題。本發(fā)明所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現(xiàn)無擴散泵式復合膜鍍膜機，包括抽真空系統(tǒng)、鍍膜室，所述抽真空系統(tǒng)連接所述鍍膜室為所述鍍膜室抽取真空，其特征在于所述抽真空系統(tǒng)中設有真空泵系統(tǒng)，所述真空泵采用羅茨泵系統(tǒng)。羅茨泵相對于傳統(tǒng)的擴散泵，具有能耗低、性能穩(wěn)定、抽真空效果好、即時啟動等優(yōu)點。有助于提高整個無擴散泵式復合膜鍍膜機的性能穩(wěn)定性，并提高鍍膜質(zhì)量，以及大大降低能耗。所述羅茨泵系統(tǒng)采用高真空多級羅茨泵系統(tǒng)，所述高真空多級羅茨泵系統(tǒng)由至少兩臺羅茨泵單體逐級連接構成；所述羅茨泵單體包括一羅茨泵主體，所述羅茨泵主體設有一進氣口，以及一出氣口，所述羅茨泵主體包括一羅茨泵腔，所述羅茨泵腔底部設有一底座，所述進氣口和所述出氣口分別設置在所述羅茨泵腔兩側。原有的羅茨泵單體的進氣口和出氣口都是分別設置在上方和下方。在將多個羅茨泵單體組合成高真空多級羅茨泵時，因為受到高度限制，只能是將多個羅茨泵單體水平放置。多個水平放置的羅茨泵單體連接過程中需要用到大量連接管路以及轉彎接頭。連接管路和轉彎接頭造成系統(tǒng)復雜化，同時會為空氣流動造成阻力，影響抽真空效果。本發(fā)明將進氣口和出氣口設置在兩側，各個羅茨泵單體間可以較為直接的進行多級連接，省去大量連接管路和轉彎接頭，進而簡化系統(tǒng)，降低空氣流通阻力，提高抽真空效果。所述進氣口設有鎖緊接頭，所述出氣口設有與所述鎖緊接頭配套的鎖緊接口。組合成高真空多級羅茨泵過程中，在連接多個羅茨泵主體時，可以直接將上級羅茨泵主體的所述出氣口上的所述鎖緊接口，連接次級羅茨泵主體的所述進氣口的所述鎖緊接頭。從而直接省略連接管路，進一步簡化結構，降低空氣流通阻力，和提供抽真空效果。所述鎖緊接頭與所述鎖緊接口距離所述底座的底部的高度相等。以便于在平整的底面上直接對接安裝。 所述羅茨泵主體還包括一提供動力的電機，所述電機設有電機外殼，所述電機外殼為密封腔體結構，所述電機外殼與所述羅茨泵腔聯(lián)通。因為將電機封存在所述電機外殼內(nèi)，而所述電機外殼與所述述羅茨泵腔聯(lián)通，所以可以省去電機轉軸與羅茨泵主體內(nèi)的轉子連接時使用的密封系統(tǒng)，并提高系統(tǒng)可靠性，以及提供工作效率。但是這會使電機處于真空狀態(tài)下運行。所以需要使用真空電機。所述電機采用一水冷式真空密封電機，所述水冷式真空密封電機包括轉子和定子，所述定子上設有由導線繞制而成的定子線圈，所述導線外套有塑料套管。通過塑料套管將導線密封，進而實現(xiàn)與外部的絕緣，杜絕因為電離離子或者導電粒子的存在造成短路燒毀電機的風險。所述轉子上設有有導線繞制而成的轉子線圈，繞制所述轉子線圈的導線外套有塑
料套管。也可以，所述轉子采用永磁轉子。水冷式真空密封電機構成永磁電機結構，以節(jié)省能源，并減小提交。還包括一水冷系統(tǒng)，所述水冷系統(tǒng)包括一水循環(huán)系統(tǒng)和一驅動水循環(huán)的驅動系統(tǒng)，所述水循環(huán)系統(tǒng)包括一散熱管，所述散熱管繞制在所述定子上。通過散熱管吸收定子上的熱量，進而避免定子因無法散熱而造成過熱，損壞設備，甚至燒毀。所述塑料套管采用橡膠套管。以保證結構牢固。所述鍍膜室內(nèi)設有高低可調(diào)節(jié)蒸發(fā)箱系統(tǒng)，所述蒸發(fā)箱系統(tǒng)內(nèi)設有作為蒸發(fā)源的蒸發(fā)箱，所述蒸發(fā)箱設置在一蒸發(fā)箱支架上，所述蒸發(fā)箱通過一升降機構連接所述蒸發(fā)箱支架。通過上述設計，允許蒸發(fā)箱在升降機構的作用下調(diào)整高度，以便于實現(xiàn)對鍍層的厚度、均勻度調(diào)整。相對一傳統(tǒng)的結構，本發(fā)明所生產(chǎn)的產(chǎn)品更加豐富。所述升降機構采用一電動升降機構，所述電動升降機構包括一連接所述蒸發(fā)箱的升降部件，所述升降部件通過一減速機構連接一伺服電機，所述伺服電機的控制端連接一控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)設有一人機交互機構。通過人機交互系統(tǒng)，控制伺服電機的工作狀態(tài)，進而控制升降部件升降，再進而控制所述蒸發(fā)箱升降。
所述電動升降機構還設有一定位鎖緊機構，所述定位鎖緊機構設有一鎖緊部件，所述鎖緊部件連接一電動機構，所述電動機構的控制端連接所述控制系統(tǒng)，受所述控制系統(tǒng)控制。在蒸發(fā)箱的高度調(diào)整到合適位置時，通過所述鎖緊機構對升降機構進行鎖緊，進而實現(xiàn)牢固定位，以便于穩(wěn)定工作。所述鍍膜室內(nèi)設有送料輥、冷卻滾筒、展平輥，所述展平輥采用滑差式展平輥，所述滑差式展平輥包括一展平輥輥體，所述展平輥輥體連接轉軸，所述展平輥輥體包括一輥筒、一輥芯，所述輥筒為筒狀，所述輥芯為管狀；所述輥筒套接在所述輥芯外，構成滑動連接；所述轉軸連接到所述輥芯上。
通過上述設計，將展平輥輥體分成輥筒與輥芯兩部分，并且構成滑動連接關系。在展平輥主體與其他部件在進料速度上出現(xiàn)不匹配時，在基體膜的拉力下，所述輥筒相對于輥芯產(chǎn)生相對滑動，在轉動關系上產(chǎn)生滑差，通過滑差消除展平輥主體與其他部件在進料速度上出現(xiàn)的不匹配關系，從而避免基體膜在拉力下?lián)p壞的可能性。所述輥筒套接在所述輥芯外，并在所述輥筒套接與所述輥芯之間填充阻尼油。通過阻尼油實現(xiàn)阻尼作用。還可以，所述輥筒與所述輥芯之間設有阻尼器件，通過所述阻尼器件所述輥筒與所述輥芯連接在一起。所述阻尼器件可以采用軸承，軸承的滾珠與軸承支架間充有阻尼油。通過阻尼油實現(xiàn)阻尼作用。通過上述設計，有效消除了展平輥與其他轉動部件在進料時因為進料速度不匹配，造成對基體膜不匹配的問題。相對于以往通過復雜的機械機構和自動化系統(tǒng)進行支持的方式，具有結構簡單、成本低、性能穩(wěn)定等特點。所述冷卻滾筒采用伸縮冷卻滾筒，包括一輥筒套、一冷卻滾筒芯，所述輥筒套在所述冷卻滾筒芯外，所述輥筒套為筒狀，所述冷卻滾筒芯為管狀；所述輥筒套接在所述輥芯外；還包括一冷卻液輸送管路，所述冷卻液輸送管路呈螺旋狀繞制在所述冷卻滾筒芯外側。上述設計中通過螺旋狀的冷卻液輸送管路，為冷卻滾筒芯輸送冷卻液，進而使套在外部的輥筒套獲得冷卻，再進而使繞在上面的基體膜獲得冷卻。所述冷卻液輸送管路采用金屬波紋管。可以采用鋼制的金屬波紋管。通過金屬波紋管上的波紋結構的彈性，吸收掉熱脹冷縮帶來的長度變化，避免因為長度變化造成的設備損壞。所述冷卻液輸送管路固定在所述冷卻滾筒芯外側，所述輥筒套在所述冷卻液輸送管路外，并與所述冷卻滾筒芯轉動連接。所述輥筒套圍繞所述冷卻滾筒芯轉動。還可以是，所述冷卻滾筒芯上設有一轉軸，所述冷卻滾筒芯與所述輥筒套固定連接。伸縮冷卻滾筒通過轉軸實現(xiàn)轉動。所述蒸發(fā)箱上排列有至少兩個蒸發(fā)舟，所述蒸發(fā)箱上方為長方形結構，所述蒸發(fā)舟設有長方形開口；
至少兩個所述蒸發(fā)舟在所述蒸發(fā)箱上方的長方形結構中斜向平行排布。傳統(tǒng)的蒸發(fā)舟放置方式都是與長方形結構的寬度方向一致。這種排布方式因為在需要鍍膜的膜體傳送過程中，存在鍍膜間隙，可能會存在鍍層不均勻的問題，并且鍍層厚度難以精確控制。會有較多金屬蒸汽碰到蒸發(fā)舟壁，并凝固在上面。不便于提高金屬蒸汽的利用率。因為金屬蒸汽會散發(fā)到周圍空間，所以會對周圍環(huán)境造成污染。采用本發(fā)明中的技術后，則解決了上述問題。所述蒸發(fā)舟排成兩排，一排靠近所述長方形結構的左側一邊，另一排靠近所述長方形結構的右側一邊；且兩排中的各所述蒸發(fā)舟交錯排布。以避免膜體的局部鍍膜部分過熱。所述蒸發(fā)箱外側設有至少兩個送絲盤，所述蒸發(fā)箱內(nèi)側設有至少導向支架，所述導向支架設有進絲口和出絲口，所述出絲口朝向所述蒸發(fā)舟。在工作過程中，通過出絲口不 斷為所述蒸發(fā)舟送絲。所述送絲盤上繞制有鋁絲。為所述蒸發(fā)舟內(nèi)不斷提供鋁絲，進而產(chǎn)生鋁蒸汽，在膜體上鍍上鋁膜鍍層。所述展平輥采用熱漲式鋁導輥，包括一鋁導輥基體，所述鋁導輥基體外附著有一鐵質(zhì)層，所述鐵質(zhì)層外鍍有硬質(zhì)金屬層。所述硬質(zhì)金屬層可以是鎳層，或者是鈦層。本發(fā)明采用鋁制的鋁制導輥基體，因為鋁具有密度小的特點，因此作為基體能夠滿足質(zhì)量輕的要求?？梢允箤л伨哂休^小的質(zhì)量，進而就有很小的慣性，能夠迅速調(diào)整轉動速度，以迅速適應鍍膜時產(chǎn)生的各種狀況。鋁硬度低，很容易劃傷，容易損壞，硬度難以滿足要求。為了提高硬度，需要在外層鍍硬度高的金屬層，但是鋁很容易氧化，很難在鋁層外鍍上金屬。本發(fā)明中在鋁導輥基體外附著了一層鐵質(zhì)層，將鐵質(zhì)層作為過渡層，以便于鍍上硬質(zhì)金屬層，比如鎳金屬層或者鈦金屬層。


圖1為高真空多級羅茨泵系統(tǒng)的結構示意圖；圖2為水冷式真空密封電機定子部分剖視圖；圖3為高低可調(diào)節(jié)蒸發(fā)箱系統(tǒng)的結構示意圖；圖4為滑差式展平輥主視結構示意圖；圖5為滑差式展平輥側視結構示意圖；圖6為滑差式展平輥內(nèi)部結構示意圖；圖7為蒸發(fā)舟排布結構示意圖；圖8為熱漲式鋁導輥結構示意圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明實現(xiàn)的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示進一步闡述本發(fā)明。參照圖1，無擴散泵式復合膜鍍膜機，包括抽真空系統(tǒng)、鍍膜室，抽真空系統(tǒng)連接鍍膜室為鍍膜室抽取真空，抽真空系統(tǒng)中設有真空泵系統(tǒng)，真空泵采用羅茨泵系統(tǒng)。羅茨泵相對于傳統(tǒng)的擴散泵，具有能耗低、性能穩(wěn)定、抽真空效果好、即時啟動等優(yōu)點。有助于提高整個無擴散泵式復合膜鍍膜機的性能穩(wěn)定性，并提高鍍膜質(zhì)量，以及大大降低能耗。羅茨泵系統(tǒng)采用高真空多級羅茨泵系統(tǒng)a，高真空多級羅茨泵系統(tǒng)a由至少兩臺羅茨泵單體al逐級連接構成。羅茨泵單體al包括一羅茨泵主體，羅茨泵主體設有一進氣口 a2，以及一出氣口 a3，羅茨泵主體包括一羅茨泵腔a5，羅茨泵腔a5底部設有一底座a4，進氣口 a2和出氣口 a3分別設置在羅茨泵腔a5兩側。原有的羅茨泵單體al的進氣口 a2和出氣口 a3都是分別設置在上方和下方。在將多個羅茨泵單體al組合成高真空多級羅茨泵時，因為受到高度限制，只能是將多個羅茨泵單體al水平放置。多個水平放置的羅茨泵單體al連接過程中需要用到大量連接管路以及轉彎接頭。連接管路和轉彎接頭造成系統(tǒng)復雜化，同時會為空氣流動造成阻力，影響抽真空效果。
本發(fā)明將進氣口 a2和出氣口 a3設置在兩側，各個羅茨泵單體al間可以較為直接的進行多級連接，省去大量連接管路和轉彎接頭，進而簡化系統(tǒng)，降低空氣流通阻力，提高抽真空效果。進氣口 a2設有鎖緊接頭，出氣口 a3設有與鎖緊接頭配套的鎖緊接口。組合成高真空多級羅茨泵過程中，在連接多個羅茨泵主體時，可以直接將上級羅茨泵主體的出氣口 a3上的鎖緊接口，連接次級羅茨泵主體的進氣口 a2的鎖緊接頭。從而直接省略連接管路，進一步簡化結構，降低空氣流通阻力，和提供抽真空效果。鎖緊接頭與鎖緊接口距離底座a4的底部的高度相等。以便于在平整的底面上直接對接安裝。羅茨泵主體還包括一提供動力的電機，電機設有電機外殼，電機外殼為密封腔體結構，電機外殼與羅茨泵腔a5聯(lián)通。因為將電機封存在電機外殼內(nèi)，而電機外殼與述羅茨泵腔a5聯(lián)通，所以可以省去電機轉軸與羅茨泵主體內(nèi)的轉子連接時使用的密封系統(tǒng)，并提高系統(tǒng)可靠性，以及提供工作效率。但是這會使電機處于真空狀態(tài)下運行。所以需要使用真空電機。參照圖2，電機采用一水冷式真空密封電機，水冷式真空密封電機包括轉子和定子，定子上設有由導線b61繞制而成的定子線圈，導線b61外套有塑料套管b62。通過塑料套管b62將導線b61密封，進而實現(xiàn)與外部的絕緣，杜絕因為電離離子或者導電粒子的存在造成短路燒毀電機的風險。轉子上設有有導線b61繞制而成的轉子線圈，繞制轉子線圈的導線b61外套有塑料套管b62。也可以，轉子采用永磁轉子。水冷式真空密封電機構成永磁電機結構，以節(jié)省能源，并減小提交。還包括一水冷系統(tǒng)，水冷系統(tǒng)包括一水循環(huán)系統(tǒng)和一驅動水循環(huán)的驅動系統(tǒng)，水循環(huán)系統(tǒng)包括一散熱管b63,散熱管b63繞制在定子上。通過散熱管b63吸收定子上的熱量，進而避免定子因無法散熱而造成過熱，損壞設備，甚至燒毀。塑料套管b62采用橡膠套管。以保證結構牢固。參照圖3，鍍膜室內(nèi)設有高低可調(diào)節(jié)蒸發(fā)箱系統(tǒng)，蒸發(fā)箱系統(tǒng)內(nèi)設有作為蒸發(fā)源的蒸發(fā)箱Cl，蒸發(fā)箱Cl設置在一蒸發(fā)箱支架上，蒸發(fā)箱Cl通過一升降機構連接蒸發(fā)箱支架。通過上述設計，允許蒸發(fā)箱Cl在升降機構的作用下調(diào)整高度，以便于實現(xiàn)對鍍層的厚度、均勻度調(diào)整。相對一傳統(tǒng)的結構，本發(fā)明所生產(chǎn)的產(chǎn)品更加豐富。
升降機構采用一電動升降機構，電動升降機構包括一連接蒸發(fā)箱Cl的升降部件，升降部件通過一減速機構連接一伺服電機，伺服電機的控制端連接一控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)設有一人機交互機構。通過人機交互系統(tǒng)，控制伺服電機的工作狀態(tài)，進而控制升降部件升降，再進而控制蒸發(fā)箱Cl升降。電動升降機構還設有一定位鎖緊機構，定位鎖緊機構設有一鎖緊部件，鎖緊部件連接一電動機構，電動機構的控制端連接控制系統(tǒng)，受控制系統(tǒng)控制。在蒸發(fā)箱Cl的高度調(diào)整到合適位置時，通過鎖緊機構對升降機構進行鎖緊，進而實現(xiàn)牢固定位，以便于穩(wěn)定工作。參照圖4、圖5、圖6，鍍膜室內(nèi)設有送料輥、冷卻滾筒、展平輥，展平輥采用滑差式展平輥，滑差式展平輥包括一展平輥輥體dl，展平輥輥體dl連接轉軸dll，展平輥輥體dl包括一輥筒d2、一輥芯d3，輥筒d2為筒狀，輥芯d3為管狀；輥筒d2套接在輥芯d3外，構成滑動連接；轉軸dll連接到輥芯d3上。 通過上述設計，將展平輥輥體dl分成輥筒d2與輥芯d3兩部分，并且構成滑動連接關系。在展平輥主體與其他部件在進料速度上出現(xiàn)不匹配時，在基體膜的拉力下，輥筒d2相對于輥芯d3產(chǎn)生相對滑動，在轉動關系上產(chǎn)生滑差，通過滑差消除展平輥主體與其他部件在進料速度上出現(xiàn)的不匹配關系，從而避免基體膜在拉力下?lián)p壞的可能性。輥筒d2套接在輥芯d3外，并在輥筒d2套接與輥芯d3之間填充阻尼油。通過阻尼油實現(xiàn)阻尼作用。還可以，輥筒d2與輥芯d3之間設有阻尼器件，通過阻尼器件輥筒d2與輥芯d3連接在一起。阻尼器件可以采用軸承，軸承的滾珠與軸承支架間充有阻尼油。通過阻尼油實現(xiàn)阻尼作用。通過上述設計，有效消除了展平輥與其他轉動部件在進料時因為進料速度不匹配，造成對基體膜不匹配的問題。相對于以往通過復雜的機械機構和自動化系統(tǒng)進行支持的方式，具有結構簡單、成本低、性能穩(wěn)定等特點。冷卻滾筒采用伸縮冷卻滾筒，包括一輥筒d2套、一冷卻滾筒芯，輥筒d2套在冷卻滾筒芯外，輥筒d2套為筒狀，冷卻滾筒芯為管狀；輥筒d2套接在輥芯d3外；還包括一冷卻液輸送管路，冷卻液輸送管路呈螺旋狀繞制在冷卻滾筒芯外側。上述設計中通過螺旋狀的冷卻液輸送管路，為冷卻滾筒芯輸送冷卻液，進而使套在外部的輥筒d2套獲得冷卻，再進而使繞在上面的基體膜獲得冷卻。冷卻液輸送管路采用金屬波紋管?？梢圆捎娩撝频慕饘俨y管。通過金屬波紋管上的波紋結構的彈性，吸收掉熱脹冷縮帶來的長度變化，避免因為長度變化造成的設備損壞。冷卻液輸送管路固定在冷卻滾筒芯外側，輥筒d2套在冷卻液輸送管路外，并與冷卻滾筒芯轉動連接。輥筒d2套圍繞冷卻滾筒芯轉動。還可以是，冷卻滾筒芯上設有一轉軸，冷卻滾筒芯與輥筒d2套固定連接。伸縮冷卻滾筒通過轉軸實現(xiàn)轉動。參照圖7，蒸發(fā)箱Cl上排列有至少兩個蒸發(fā)舟c3，蒸發(fā)箱Cl上方為長方形結構，蒸發(fā)舟c3設有長方形開口。至少兩個蒸發(fā)舟c3在蒸發(fā)箱Cl上方的長方形結構中斜向平行排布。傳統(tǒng)的蒸發(fā)舟c3放置方式都是與長方形結構的寬度方向一致。這種排布方式因為在需要鍍膜的膜體傳送過程中，存在鍍膜間隙，可能會存在鍍層不均勻的問題，并且鍍層厚度難以精確控制。會有較多金屬蒸汽碰到蒸發(fā)舟c3壁，并凝固在上面。不便于提高金屬蒸汽的利用率。因為金屬蒸汽會散發(fā)到周圍空間，所以會對周圍環(huán)境造成污染。采用本發(fā)明中的技術后，則解決了上述問題。蒸發(fā)舟c3排成兩排，一排靠近長方形結構的左側一邊，另一排靠近長方形結構的右側一邊；且兩排中的各蒸發(fā)舟c3交錯排布。以避免膜體的局部鍍膜部分過熱。蒸發(fā)箱Cl外側設有至少兩個送絲盤，蒸發(fā)箱Cl內(nèi)側設有至少導向支架，導向支架設有進絲口和出絲口，出絲口朝向蒸發(fā)舟C3。在工作過程中 ，通過出絲口不斷為蒸發(fā)舟c3送絲。送絲盤上繞制有鋁絲。為蒸發(fā)舟C3內(nèi)不斷提供鋁絲，進而產(chǎn)生鋁蒸汽，在膜體上鍍上鋁膜鍍層。參照圖8，展平輥采用熱漲式鋁導輥，包括一鋁導輥基體el，鋁導輥基體el外附著有一鐵質(zhì)層e2，鐵質(zhì)層e2外鍍有硬質(zhì)金屬層e3。硬質(zhì)金屬層e3可以是鎳層，或者是鈦層。本發(fā)明采用鋁制的鋁制導輥基體，因為鋁具有密度小的特點，因此作為基體能夠滿足質(zhì)量輕的要求?？梢允箤л伨哂休^小的質(zhì)量，進而就有很小的慣性，能夠迅速調(diào)整轉動速度，以迅速適應鍍膜時產(chǎn)生的各種狀況。鋁硬度低，很容易劃傷，容易損壞，硬度難以滿足要求。為了提高硬度，需要在外層鍍硬度高的金屬層，但是鋁很容易氧化，很難在鋁層外鍍上金屬。本發(fā)明中在鋁導輥基體el外附著了一層鐵質(zhì)層e2，將鐵質(zhì)層e2作為過渡層，以便于鍍上硬質(zhì)金屬層e3，比如鎳金屬層或者鈦金屬層。以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
權利要求
1.無擴散泵式復合膜鍍膜機，包括抽真空系統(tǒng)、鍍膜室，所述抽真空系統(tǒng)連接所述鍍膜室為所述鍍膜室抽取真空，其特征在于所述抽真空系統(tǒng)中設有真空泵系統(tǒng)，所述真空泵采用羅茨泵系統(tǒng)。
2.根據(jù)權利要求1所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述羅茨泵系統(tǒng)采用高真空多級羅茨泵系統(tǒng)，所述高真空多級羅茨泵系統(tǒng)由至少兩臺羅茨泵單體逐級連接構成；所述羅茨泵單體包括一羅茨泵主體，所述羅茨泵主體設有一進氣口，以及一出氣口，所述羅茨泵主體包括一羅茨泵腔，所述羅茨泵腔底部設有一底座，所述進氣口和所述出氣口分別設置在所述羅茨泵腔兩側。
3.根據(jù)權利要求2所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述羅茨泵主體還包括一提供動力的電機，所述電機設有電機外殼，所述電機外殼為密封腔體結構，所述電機外殼與所述羅茨泵腔聯(lián)通；所述電機采用一水冷式真空密封電機，所述水冷式真空密封電機包括轉子和定子，所述定子上設有由導線繞制而成的定子線圈，所述導線外套有塑料套管；還包括一水冷系統(tǒng)，所述水冷系統(tǒng)包括一水循環(huán)系統(tǒng)和一驅動水循環(huán)的驅動系統(tǒng)，所述水循環(huán)系統(tǒng)包括一散熱管，所述散熱管繞制在所述定子上。
4.根據(jù)權利要求1所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述鍍膜室內(nèi)設有高低可調(diào)節(jié)蒸發(fā)箱系統(tǒng)，所述高低可調(diào)節(jié)蒸發(fā)箱系統(tǒng)內(nèi)設有作為蒸發(fā)源的蒸發(fā)箱，所述蒸發(fā)箱設置在一蒸發(fā)箱支架上，所述蒸發(fā)箱通過一升降機構連接所述蒸發(fā)箱支架。
5.根據(jù)權利要求1所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述鍍膜室內(nèi)設有送料輥、冷卻滾筒、展平輥，所述展平輥采用滑差式展平輥，所述滑差式展平輥包括一展平輥輥體，所述展平輥輥體連接轉軸，所述展平輥輥體包括一輥筒、一輥芯，所述輥筒為筒狀，所述輥芯為管狀；所述輥筒套接在所述輥芯外，構成滑動連接；所述轉軸連接到所述輥芯上；所述輥筒套接在所述輥芯外，并在所述輥筒套接與所述輥芯之間填充阻尼油。
6.根據(jù)權利要求5所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述冷卻滾筒采用伸縮冷卻滾筒，包括一輥筒套、一冷卻滾筒芯，所述輥筒套在所述冷卻滾筒芯外，所述輥筒套為筒狀，所述冷卻滾筒芯為管狀；所述輥筒套接在所述輥芯外；還包括一冷卻液輸送管路，所述冷卻液輸送管路呈螺旋狀繞制在所述冷卻滾筒芯外側。
7.根據(jù)權利要求4所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述蒸發(fā)箱上排列有至少兩個蒸發(fā)舟，所述蒸發(fā)箱上方為長方形結構，所述蒸發(fā)舟設有長方形開口 ；至少兩個所述蒸發(fā)舟在所述蒸發(fā)箱上方的長方形結構中斜向平行排布。
8.根據(jù)權利要求6所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述展平輥采用熱漲式鋁導輥，包括一鋁導輥基體，所述鋁導輥基體外附著有一鐵質(zhì)層，所述鐵質(zhì)層外鍍有硬質(zhì)金屬層。
9.根據(jù)權利要求8所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述硬質(zhì)金屬層為鎳層。
10.根據(jù)權利要求8所述的無擴散泵式復合膜鍍膜機，其特征在于，所述硬質(zhì)金屬層為鈦層。
全文摘要
本發(fā)明涉及加熱技術領域，具體涉及一種真空鍍膜機。無擴散泵式復合膜鍍膜機，包括抽真空系統(tǒng)、鍍膜室，抽真空系統(tǒng)連接鍍膜室為鍍膜室抽取真空，抽真空系統(tǒng)中設有真空泵系統(tǒng)，真空泵采用羅茨泵系統(tǒng)。羅茨泵相對于傳統(tǒng)的擴散泵，具有能耗低、性能穩(wěn)定、抽真空效果好、即時啟動等優(yōu)點。有助于提高整個無擴散泵式復合膜鍍膜機的性能穩(wěn)定性，并提高鍍膜質(zhì)量，以及大大降低能耗。羅茨泵系統(tǒng)采用高真空多級羅茨泵系統(tǒng)，高真空多級羅茨泵系統(tǒng)由至少兩臺羅茨泵單體逐級連接構成。
文檔編號C23C14/56GK102994957SQ20121043731
公開日2013年3月27日 申請日期2012年11月6日 優(yōu)先權日2012年11月6日
發(fā)明者陳生販, 陳顯東, 江裕捺, 陳生鎮(zhèn), 陳發(fā)杰 申請人:上海宏昊企業(yè)發(fā)展有限公司