專利名稱：：傳感器安裝結(jié)構(gòu)以及真空成膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在真空室內(nèi)在基體上成膜時(shí)的基體上安裝利用傳感器檢測(cè)與在基體上成膜相關(guān)的物理量用的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，以及具備該傳感器安裝結(jié)構(gòu)的真空成膜裝置。
背景技術(shù)：
：向來，為了在基體上形成膜，采用真空成膜裝置。在這里，為了取得真空成膜裝置的內(nèi)部信息，特別是取得真空室內(nèi)的基體周邊的信息，有必要將傳感器安裝于真空室內(nèi)部，將該傳感器取得的物理量利用變換器變換為傳送信號(hào)發(fā)送到真空室外。但是，在這種情況下，基體在真空成膜裝置內(nèi)移動(dòng)時(shí)，有必要從真空成膜裝置外部向傳感器拉電纜等，同時(shí)需要實(shí)現(xiàn)真空密封，就存在使裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的問題。在這里，(專利文獻(xiàn)1)公開了配設(shè)測(cè)量真空室內(nèi)的信息用的傳感器，利用傳感器信息處理裝置(變換器)將該傳感器測(cè)量的信息變換為無線信息向真空室外發(fā)送，在真空室外設(shè)置接收機(jī)進(jìn)行接收，以此將真空室內(nèi)的信息傳遞到真空室外的信息測(cè)量方法。又，(專利文獻(xiàn)2)公開了在關(guān)于被處理基板的表面狀態(tài)或被處理基板周圍的環(huán)境的信息的測(cè)量手段中，具備作為被處理基板信息測(cè)量手段的傳感器、以及將信息測(cè)量處理電路(變換器)的一部分或全部配置于上述被處理基板上的信息測(cè)量手段被處理基板。利用這樣的信息測(cè)量方法和被處理基板，即使是非處理基板在真空成膜裝置內(nèi)移動(dòng)的情況下，也能夠取得真空成膜裝置內(nèi)部的信息，例如被處理基板的溫度等{曰息。又，在專利文獻(xiàn)3公開了使在真空室內(nèi)進(jìn)行離子注入、其他處理的基板隔著襯墊(PAD)與利用循環(huán)水循環(huán)冷卻的冷卻板的前表面接觸，對(duì)隨著該處理而升高溫度的基板進(jìn)行冷卻的裝置，該裝置中，該襯墊是A1或其他金屬薄膜的疊層體構(gòu)成的基板冷卻用襯墊。又，專利文獻(xiàn)4公開了安裝基體的基體支架利用不凍液對(duì)基體進(jìn)行循環(huán)冷卻的技術(shù)。專利文獻(xiàn)l:特開平6—76193號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開平6—163340號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:實(shí)公平4一18197號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:特開2005_82837號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容但是，在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2的結(jié)構(gòu)中，變換器由于具備電路等耐熱性低，在將與傳感器構(gòu)成一體的變換器設(shè)置于真空室內(nèi)的情況下，有可能由于溫度的上升造成變換器被損壞。因此為了冷卻變換器，有必要從真空成膜裝置的外部向變換器連接冷卻用配管等，存在裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的問題。又，在專利文獻(xiàn)3和專利文獻(xiàn)4中，其發(fā)明是以對(duì)基板或基體進(jìn)行冷卻為目的，對(duì)于變換器的冷卻沒有提及。本發(fā)明是為了解決上述存在問題而作出的，其目的在于提供即使在將與傳感器形成一體的變換器設(shè)置于真空室內(nèi)的情況下，裝置的結(jié)構(gòu)也不復(fù)雜化，而又能夠防止耐熱性低的變換器受到破壞的傳感器安裝結(jié)構(gòu)以及具備這樣的結(jié)構(gòu)的真空成膜裝置。為了解決上述存在問題，本發(fā)明的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，具備支持基體，利用流過其內(nèi)部的冷卻流體進(jìn)行冷卻的基體支架、以及檢測(cè)與在所述基體上成膜相關(guān)的物理量(下述成膜相關(guān)物理量)的傳感器、與所述傳感器形成一體，能夠傳遞所述成膜相關(guān)物理量，而且將所述成膜相關(guān)物理量變換為傳送信號(hào)的變換器、將所述變換器收容于其內(nèi)部，而且使所述傳感器露出于其外部的容器；將所述容器安裝于所述基體支架上，而且使得能夠利用所述冷卻流體對(duì)該容器進(jìn)行冷卻。在這里，所謂"成膜相關(guān)物理量"是指基體的溫度、基體周邊的溫度、基體周邊的等離子體密度、基體支架等與等離子體之間的電位差、形成于基體上的厚度、形成于基體上的膜透過的光或形成于基體上的膜反射的光等。又，"容器"用熱傳導(dǎo)性材料構(gòu)成。本發(fā)明的所謂"容器"的概念，包含作為用熱傳導(dǎo)性材料的金屬材料等構(gòu)成的能夠容納變換器的容器，而且也包含用熱傳導(dǎo)性的柔軟材料形成能夠(例如樹脂材料等)覆蓋(收容)變換器的結(jié)構(gòu)的容器。采取這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，流過基體支架內(nèi)部的冷卻流體的熱量傳給容器，該熱量再傳給變換器，因此變換器得到冷卻。因此可以防止變換器受到損壞。也可以是上述容器收容所述變換器和冷卻劑，將該變換器浸入該冷卻劑中。采取這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，變換器被浸入冷卻劑中，因此變換器的冷卻效率得到提高，更加可以防止變換器受到損壞。5也可以所述容器被安裝于該基體支架上，以在該容器與所述基體支架之間夾住熱傳導(dǎo)片，并且所述容器的至少與所述熱傳導(dǎo)片接觸的壁由熱傳導(dǎo)性材料構(gòu)成。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，熱傳導(dǎo)片容易將冷卻流體的熱量傳給容器，因此容器而且還可使收容于其內(nèi)部的變換器的冷卻效率得到提高。借助于此，更加可以防止變換器受到損壞。也可以所述變換器連接于輻射其變換的傳送信號(hào)的電磁波輻射器。在這里，所謂"電磁波輻射器"是指將利用變換器變換的傳送信號(hào)變換為電磁波，然后將其輻射的裝置。在這里，電磁波是例如電波(高頻波等)，紅外線、可見光等。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠在無線情況下取得關(guān)于成膜相關(guān)物理量的信息。這樣，將傳送信號(hào)引出到真空成膜裝置外部不需要電纜，從而也不需要對(duì)該電纜等采取耐熱對(duì)策。也可以所述電磁波輻射器是LED、高頻振蕩器、紅外線輻射器中的任一種。又可以所述傳感器是溫度傳感器、光傳感器、電壓傳感器中的任一種。也可以所述基體支架能夠借助于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠?qū)⑴c傳感器形成一體的變換器安裝于旋轉(zhuǎn)的基體支架上的同時(shí)，不必另行設(shè)置提供對(duì)變換器進(jìn)行冷卻用的冷卻流體的冷卻用配管等，因此裝置結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。也可以所述基體支架能夠借助于移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，在例如將基體支架使用于在線式真空成膜裝置時(shí)，能夠?qū)⑴c傳感器形成一體的變換器安裝于移動(dòng)的基體支架上的同時(shí)，不必另行設(shè)置提供對(duì)變換器進(jìn)行冷卻用的冷卻流體的冷卻用配管等，因此裝置結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。本發(fā)明的真空成膜裝置，具備上述任一項(xiàng)所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)、其內(nèi)部具有所述傳感器安裝結(jié)構(gòu)的能夠減壓的腔室、在所述腔室內(nèi)部配置，使成膜材料蒸發(fā)的蒸發(fā)源、以及使所述基體支架旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；一邊利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使所述基體支架旋轉(zhuǎn)，一邊在所述基體上利用蒸發(fā)源蒸發(fā)的成膜材料成膜。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，一邊使基體支架旋轉(zhuǎn)，一邊在基體上成膜的情況下，能夠在不使裝置復(fù)雜化的條件下，將與傳感器形成一體的變換器安裝于基體支架上。而且可以防止安裝于基體支架上的變換器損壞。借助于此，能夠長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)成膜過程中的成膜相關(guān)物理量。又，本發(fā)明的真空成膜裝置，具備上述任一項(xiàng)所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)、其內(nèi)部具有所述傳感器安裝結(jié)構(gòu)的能夠減壓的腔室、在所述腔室內(nèi)部配置，使成膜材料蒸發(fā)的蒸發(fā)源、以及使所述基體支架移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；一邊利用所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述基體支架移動(dòng)，一邊在所述基體上利用蒸發(fā)源蒸發(fā)的成膜材料成膜。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，即使是像例如在線式真空成膜裝置那樣，一邊使基體支架移動(dòng)，一邊在基體上成膜的情況下，也能夠不使裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜化而將與傳感器形成一體的變換器安裝于基體支架上。又能夠防止安裝于基體支架上的變換器受到損壞。借助于此，能夠長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)成膜中的成膜相關(guān)物理量。本發(fā)明的上述目的、其他目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)從參照附圖對(duì)下述理想的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行的詳細(xì)說明中能夠清楚了解到。本發(fā)明的傳感器安裝結(jié)構(gòu)和真空成膜裝置，即使是將與傳感器形成一體的變換器設(shè)置于真空室內(nèi)的情況下，也能夠?qū)崿F(xiàn)不使裝置復(fù)雜化而防止耐熱性差的變換器受到損壞。圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施形態(tài)的真空成膜裝置的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖2是表示圖1的真空成膜裝置中的基體支架放大的部分剖面圖。圖3是圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第1實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖4是表示圖3的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中將傳感器和變換器安裝于基體支架上用的容器的立體圖。圖5是表示圖3的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中變換器進(jìn)行的處理的方框圖。圖6是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第2實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖7是表示圖6的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中變換器進(jìn)行的處理的方框圖。圖8是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第3實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖9是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第4實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖10是表示圖9的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中將傳感器和變換器安裝于基體支架上用的容器的立體圖。圖11是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第5實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖12是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第6實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖13是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第7實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖14是圖13的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中的變換器的處理的方框圖。<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>17固定構(gòu)件18絕緣構(gòu)件19油密封20a、20b、20c0形環(huán)21a基體22排出管23冷卻管24、25連接配管26、28三通閥27輸液泵29a熱鹽水箱2%冷鹽水箱36固定構(gòu)件50傳感器安裝結(jié)構(gòu)52容器52a臺(tái)座部52b突出部53、53a、53b、貫通孔54變換器55傳感器56溫度檢測(cè)器58電磁波輻射器(天線)60物理量傳遞媒體62傳送信號(hào)傳遞媒體64致冷劑65熱傳導(dǎo)片66(55)光纖(傳感器)68(55)光電二極管(傳導(dǎo)器)100真空成膜裝置c旋轉(zhuǎn)中心Co隔直電容器Lo高頻扼流線圈具體實(shí)施方式下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的理想的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說明。實(shí)施形態(tài)1圖1是表示本發(fā)明第1實(shí)施形態(tài)的真空成膜裝置的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖2是表示圖1的真空成膜裝置中的基體支架放大的部分剖面圖。下面參照?qǐng)D1和圖2對(duì)本實(shí)施形態(tài)的真空成膜裝置進(jìn)行說明。如圖1所示，本實(shí)施形態(tài)的真空成膜裝置100用離子鍍裝置構(gòu)成。該真空成膜裝置100中，在導(dǎo)電性材料構(gòu)成的真空室1內(nèi)部，配設(shè)使成膜材料蒸發(fā)用的蒸發(fā)源2a和2b，與該蒸發(fā)源2a、2b相對(duì)配置由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的圓板狀的基體支架6a。在基體支架6a上，利用規(guī)定的固定構(gòu)件36將基體21a固定于基體支架6a的基體安裝面上?；w21a在這里采用硅晶片。又，蒸發(fā)源2a和2b在這里由配設(shè)成膜材料的坩堝部(八一7部)5a和5b、以及設(shè)置于坩堝部5a和5b近旁的電子槍(未圖示)構(gòu)成。又，在該蒸發(fā)源2a和2b上方，利用旋轉(zhuǎn)軸4a和4b可自如旋轉(zhuǎn)地分別配設(shè)可移動(dòng)性擋板(shutter)3a和3b。另一方面，如圖1和圖2所示，基體支架6a的背面上，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的圓柱狀的旋轉(zhuǎn)軸體7a延伸出。該旋轉(zhuǎn)體7a貫通真空室1的上部的真空室壁la，向外部延伸地配設(shè)。該旋轉(zhuǎn)軸體7a的向真空室壁la外側(cè)突出的部分(以下稱為突出部)，通過橫輥軸承9和油密封19，旋轉(zhuǎn)自如地支持于下述外殼10上，以利用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8驅(qū)動(dòng)。在這里，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8(馬達(dá)M)、下述平齒輪8a、橫輥軸承9、以及外殼10構(gòu)成基體支架6a的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。又，油密封19配設(shè)于旋轉(zhuǎn)軸體7a與外殼10之間，借助于此，將真空室1的內(nèi)部保持于規(guī)定的真空狀態(tài)。又如圖1和圖2所示，為了對(duì)旋轉(zhuǎn)軸體7a的突出部的前端外周部上設(shè)置的饋電環(huán)7t施加下述高頻電力和直流電力，在上述饋電環(huán)7t上直接接觸地配設(shè)作為電力傳遞結(jié)構(gòu)的碳刷ll。該碳刷ii利用規(guī)定的固定手段固定于外殼io上的規(guī)定位置上。也就是說，借助于此，保持碳刷11與旋轉(zhuǎn)軸體7a的電氣導(dǎo)通狀態(tài)。而且如圖l所示，碳刷11通過電纜12連接于隔直電容器Co和高頻扼流圈Lo。而且，隔直電容Co通過匹10配電路13連接于高頻電源14。又，高頻扼流圈Lo連接于直流電源15。還有，高頻電源14的一個(gè)端子、直流電源15的正極端子、以及真空室l分別接地。又，在旋轉(zhuǎn)軸體7a的突出部的前端外周部上，安裝圓筒狀的齒輪16以與例如電動(dòng)機(jī)M構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8具有的平齒輪8a嚙合。這樣，借助于平齒輪8a與齒輪16嚙合，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8動(dòng)作而平齒輪8a旋轉(zhuǎn)時(shí)，相應(yīng)于該平齒輪8a的轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)軸體7a也轉(zhuǎn)動(dòng)。也就是說，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8動(dòng)作時(shí)，由于基體支架6a轉(zhuǎn)動(dòng)，基體21a以旋轉(zhuǎn)中心C為旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)。還有，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8按規(guī)定的固定方法固定于外殼10的規(guī)定位置上。然后，配設(shè)導(dǎo)電性材料構(gòu)成的外殼10，以將碳刷11的一部分、旋轉(zhuǎn)軸體7a的突出部、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8加以覆蓋。該外殼IO具有上端封閉下端開放的大致為圓筒狀的形狀。而且在真空室1的上部的真空室壁la上，隔著絕緣材料18利用固定構(gòu)件17將其固定。借助于此，使外殼IO與真空室1電氣絕緣。因此，即使是對(duì)碳刷ll施加高頻電力和直流電力，而且通過旋轉(zhuǎn)軸體7a和橫輥軸承9對(duì)外殼10施加高頻電力和直流電力，真空室也經(jīng)常保持電氣接地狀態(tài)。下面參照?qǐng)D2對(duì)本實(shí)施形態(tài)的真空成膜裝置100的基體支架的冷卻路徑進(jìn)行說明。如圖2所示，在旋轉(zhuǎn)軸體7a上的突出部的外圍上的規(guī)定位置，形成槽部7b和7c。這些槽部7b和7c在旋轉(zhuǎn)軸體7a的整個(gè)一周上形成環(huán)狀。這些槽部7b和7c的上部和下部配設(shè)0型環(huán)20a、20b、20c。這些0型環(huán)20a、20b、20c配設(shè)于旋轉(zhuǎn)軸體7a與外殼10之間。也就是說，上述槽部7b和7c由上述0型環(huán)20a、20b、20c和外殼10被封閉。而且，在槽部7b和7c各自的底部形成開口部，該開口部和與旋轉(zhuǎn)中心C同軸形成的管環(huán)("^7''J>夕"，pipering)7d和7e連通。而且，管7f和7g從管環(huán)7d和7e向旋轉(zhuǎn)軸體7a的半徑方向延伸，這些管7f和7g從規(guī)定的位置向旋轉(zhuǎn)軸體7a的旋轉(zhuǎn)方向延伸。管7f和7g—旦到達(dá)基體支架6a,在基體支架6a的大致中心部和與旋轉(zhuǎn)中心C同軸形成的管環(huán)7h和7i連接。而且，在基體支架6a的內(nèi)部配置多支冷卻管，以7j使其向該基體支架6a的半徑方向呈U字形延伸。該冷卻管7j設(shè)置于基體支架6a內(nèi)部，以使管環(huán)7h與7i連通。也就是說，冷卻管7j從管環(huán)7h的外周部向基體支架6a的端部輻射狀多支延伸，在基體支架6a的端部作U型轉(zhuǎn)彎后向管環(huán)7i延伸，連接于該管環(huán)7i的外周部。還有，在旋轉(zhuǎn)軸體7a的外周上，為了向與旋轉(zhuǎn)中心C同軸形成的槽部7b和7c提供控制基體支架6a的溫度用的規(guī)定的防凍液，在外殼10上配設(shè)與槽部7b、7c連通的排出管22和供給管23。另一方面，如圖2所示，在排出管22上，連接在這里用實(shí)線表示的連接配管24的一端。又，在供給管23上連接在這里用實(shí)線表示的連接配管25的一端。而且如圖l所示，將連接配管24的另一端連接于三通閥26，從該三通閥26延伸出的兩條連接配管，分別連接于熱鹽水箱(7'，^>夕>，brinetank)29a和冷鹽水箱29b。又，從供給管23延伸出的連接配管25的中途，配設(shè)輸液泵27。在連接配管25的另一端連接三通閥28，從該三通闊28延伸出的兩條連接配管分別連接于熱鹽水箱29a和冷鹽水箱29b。在這里，在熱鹽水箱29a和冷鹽水箱29b中分別貯存防凍液。而且在熱鹽水箱29a中，利用規(guī)定的溫度控制裝置(未圖示)實(shí)施溫度控制，以使防凍液的液體溫度保持于約25t:。又，在冷鹽水箱29b中，利用規(guī)定的溫度控制裝置(未圖示)實(shí)施溫度控制，以使防凍液的液體溫度保持于約一5'C。在本實(shí)施形態(tài)以及下述其他實(shí)施形態(tài)中，在下面的說明中有時(shí)候?qū)⒈豢刂?例如將一5'C的防凍液與25'C的防凍液適當(dāng)混合、進(jìn)行溫度控制)于液體溫度為一5'C25'C溫度范圍中的任意溫度的防凍液稱為"冷卻流體"。還有，防凍液的溫度不限于上述溫度范圍，可以根據(jù)下述變換器54的耐熱性適當(dāng)變更。下面參照?qǐng)D1和圖2對(duì)如上所述構(gòu)成的真空成膜裝置100的一般動(dòng)作進(jìn)行說明。使用真空成膜裝置100在基體21a上成膜的情況下，操作者在進(jìn)行該成膜之前，用規(guī)定的固定構(gòu)件36將基體21a安裝于基體支架6a的基體安裝面上。這時(shí)，將基體21a安裝于基體支架6a，以使基體21a的背面與基體安裝面接觸。又，在將基體21a安裝于基體支架6a之際，為了防止基體支架6a因大氣中的水分而結(jié)露，適當(dāng)操作三通閥28和三通閥26，并且使輸液泵27動(dòng)作，而使熱鹽水箱29a中貯存的控制于約25'C的防凍液(例如乙二醇等)流入連接配管25。流入連接配管25的防凍液被提供給供給管23。提供給供給管23的防凍液充填于槽部7c。接著，該防凍液充填于管環(huán)7e的內(nèi)部。然后，防凍液流過管7g的內(nèi)部，從基體支架6a的中央部向端部流過多條冷卻管7j的內(nèi)部。其后，在基體支架6a上，從該基體支架6a的端部向中央部流過冷卻管7j的內(nèi)部的防凍液，流過管7f的內(nèi)部，充填于管環(huán)7d的內(nèi)部。充填于管環(huán)7d的防凍液充填到槽部7b內(nèi)部，流過排出管22，通過連接配管24流動(dòng)。通過連接配管24流動(dòng)的防凍液借助于三通閥26返回?zé)猁}水箱29a。這樣，基體支架6a借助于大約25。C的防凍液加溫，因此能夠防止由大氣中的水分造成結(jié)露。而且在這樣將基體21a安裝于基體支架6a上之后，使規(guī)定的排氣手段(未圖示)動(dòng)作，將真空室1的內(nèi)部抽真空到規(guī)定的真空度。這時(shí)，為了使抽真空時(shí)基體21a容易排出氣體，從熱鹽水箱29a對(duì)基體支架6a持續(xù)提供上述控制于約25。C的防凍液。借助于此，可以有效去除吸附于基體21a上的氣體。還有，對(duì)基體支架6a提供防凍液一直持續(xù)到抽真空完成。其后，在確認(rèn)真空室1的內(nèi)部確實(shí)處于真空狀態(tài)后，使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8動(dòng)作，而使平齒輪8a以規(guī)定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。于是，借助于該平齒輪8a的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸體7a以旋轉(zhuǎn)中心C為旋轉(zhuǎn)中心旋轉(zhuǎn)。也就是說，借助于此，安裝于旋轉(zhuǎn)軸體7a下端的基體支架6a會(huì)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)基體21a以旋轉(zhuǎn)中心C為旋轉(zhuǎn)中心也會(huì)旋轉(zhuǎn)。另一方面，使高頻電源H和直流電源15動(dòng)作。于是，高頻電源14輸出的高頻電力通過匹配電路13和隔直電容Co提供給電纜12。又，直流電源15輸出的直流電力通過高頻扼流圈Lo提供給電纜12。于是，高頻電力和直流電力通過電纜12提供給碳刷11。借助于此，將高頻電力和直流電力提供給碳刷11，而且將高頻電力和直流電力傳送到與碳刷11接觸的饋電環(huán)7t。傳遞到該饋電環(huán)7t的高頻電力和直流電力通過導(dǎo)電性的旋轉(zhuǎn)軸體7a傳遞到基體支架6a。借助于此，向基體支架6a和真空室1之間提供高頻電力和直流電力。接著，使蒸發(fā)源2a和2b中未圖示的各電子槍動(dòng)作，電子束以規(guī)定的強(qiáng)度向坩堝部5a和5b內(nèi)的各薄膜形成材料照射。于是，各薄膜形成材料利用所照射的電子束的能量預(yù)熱到規(guī)定的溫度。然后，在使各薄膜形成材料向真空室1內(nèi)部交互擴(kuò)散時(shí)，蒸發(fā)源2a和2b的各電子槍射出的電子束的照射強(qiáng)度交替加強(qiáng)，借助于此，使坩堝部5a和5b內(nèi)的各薄膜形成材料交替熔化。又，這時(shí)由使旋轉(zhuǎn)軸4a和4b交替旋轉(zhuǎn)，以只被熔化的薄膜形成材料的上方打開，使擋板3a和3b交替向蒸發(fā)源2a和2b上方移動(dòng)。這樣，由于真空室1內(nèi)部實(shí)際上已經(jīng)處于真空狀態(tài)，各薄膜形成材料將從蒸發(fā)源2a和2b交替向真空室l內(nèi)部擴(kuò)散。于是，擴(kuò)散的薄膜形成材料被高頻電力所產(chǎn)生的等離子體激發(fā)，該激發(fā)的薄膜形成材料被直流電產(chǎn)生的，基體支架6a與真空室1之間的電場(chǎng)所加速，沖擊附著于基體21b的表面上。借助于此，在基體21a的表面上交替形成致密薄膜。也就是說，在基體21a的蒸鍍面上形成致密的薄膜構(gòu)成的疊層膜。在這里，形成多層膜時(shí)，為了防止蒸發(fā)源2a和2b來的輻射熱導(dǎo)致基體21溫度過度上升，適當(dāng)操作三通閥28和三通閥26，并且使輸液泵27工作，使貯留于冷鹽水箱2%的控制于約一5。C的防凍液流向連接配管25。以此控制于約一5'C的防凍液，在形成于旋轉(zhuǎn)軸體7a和基體支架6a內(nèi)部的管7f和7g以及冷卻管7j內(nèi)部流動(dòng)。也就是說，基體21a由控制于約一5。C的防凍液通過基體支架6a間接冷卻。因此能夠有效地防止基體21a的溫度上升。在基體21a的蒸鍍面上形成規(guī)定的多層膜后，向真空室1內(nèi)部導(dǎo)入大氣使其恢復(fù)常壓狀態(tài)。這時(shí)，為了防止基體21a因大氣中的水分而結(jié)露，適當(dāng)操作三通閥28和三通閥26，并且使輸液泵27工作，使貯留于熱鹽水箱29a的控制于約25'C的防凍液流向連接配管25。以此使控制于約25'C的防凍液在形成于旋轉(zhuǎn)軸體7a和基體支架6a內(nèi)部的管7f和7g以及冷卻管7j內(nèi)部流動(dòng)。也就是說，基體21a由控制于約25'C的防凍液通過基體支架6a間接加溫。因此能夠有效地防止基體21a結(jié)露。下面對(duì)如上所述構(gòu)成的在基體支架上安裝傳感器安裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖3是圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第1實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖4是表示圖3的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中將傳感器和變換器安裝于基體支架上用的容器的立體圖。圖5是表示圖3的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中變換器進(jìn)行的處理的方框圖。下面參照?qǐng)D3圖5對(duì)本發(fā)明的傳感器安裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖3所示，在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，在與傳感器55形成一體的變換器54被收容于容器52內(nèi)部，而且傳感器(下述物理量傳遞媒體60和溫度檢測(cè)部56)55露出于容器外部的狀態(tài)下，該容器52被安裝于基體支架6a上。被收容的變換器54其一部分接觸其52的底部。變換器54具備將傳感器55檢測(cè)出的檢測(cè)信號(hào)變換為傳送信號(hào)的電路。變換器54具備作為電路電源的電池。該電池可以使用原電池或二次電池。變換器54與檢測(cè)成膜相關(guān)物理量的傳感器55形成一體。在本實(shí)施形態(tài)中，傳感器55是作為溫度傳感器的熱電偶，成膜相關(guān)物理量是基體21a的背面的溫度。在本實(shí)施形態(tài)中，傳感器55由溫度檢測(cè)部56和物理量傳遞媒體60構(gòu)成。溫度檢測(cè)部56是將兩片金屬構(gòu)成的檢測(cè)片(未圖示)接合構(gòu)成的。該接合部分(溫度檢測(cè)部56)設(shè)置于物理量傳遞媒體60的前端，物理量傳遞媒體的后端安裝在變換器54上。物理量傳遞媒體60由上述檢測(cè)片和連接于上述檢測(cè)片上的電線(未圖示)構(gòu)成。溫度檢測(cè)部56和物理量傳遞媒體60被插入基體支架6a上形成的貫通孔6b。通過將溫度檢測(cè)部56插入貫通孔6b，將其設(shè)置為與基體21a的背面接觸。貫通孔6b避開基體支架6a上形成的冷卻管7j形成。還有，在貫通孔6b與基體支架6a上形成的冷卻管7j接觸的情況下，通過設(shè)置密封構(gòu)件(未圖示)防止冷卻液體泄漏。又在變換器54上安裝電磁波輻射器58。電磁波輻射器58在本實(shí)施形態(tài)中由LED構(gòu)成。在這里，所輻射的電磁波是光(可見光)。電磁波輻射器58通過傳送信號(hào)傳遞媒體62安裝于變換器54上。具體地說，電磁波輻射器58安裝于傳送信號(hào)傳遞媒體1462的前端，傳送信號(hào)傳遞媒體62的后端安裝于變換器54上。傳送信號(hào)傳遞媒體62用例如電線(cord)構(gòu)成。電磁波輻射器58安裝為露出于容器52的底部外。電磁波輻射器58被安裝于下述突出部52b的上表面。容器52由導(dǎo)電性材料、例如銅構(gòu)成。還有，容器52也可以采用鋁等金屬材料構(gòu)成。容器52如圖3、4所示，由短圓筒狀的臺(tái)座部52a和從該臺(tái)座部52a的上表面同心地向上方延伸的圓筒狀的突出部52b構(gòu)成。還有，臺(tái)座部52a的內(nèi)部與突出部52b的內(nèi)部連通。該連通的容器52a的內(nèi)部(臺(tái)座部52a與突出部52b的內(nèi)部)，充填致冷劑64。致冷劑64采用例如fluorinert(商品名，美國(guó)3M公司制造)。借助于此，容器52收容變換器54，以將變換器54浸入充填于容器內(nèi)部的致冷劑64中，臺(tái)座部52a的下表面的大致中心設(shè)置貫通孔53a。貫通孔53a中插入物理量傳遞媒體60。在這単，物理量媒體傳遞媒體60與設(shè)置于該物理量媒體60前端的溫度檢測(cè)部56從容器52的臺(tái)座部52a的下表面向容器52的外部露出。借助于此，如上所述，溫度檢測(cè)部56與基體21a的背面接觸。另一方面，在突出部52b的上表面的大致中心設(shè)置貫通孔53b。在貫通孔53b中插入傳送信號(hào)傳遞媒體62。在這里，傳送信號(hào)傳遞媒體62的前端上安裝的電磁波輻射器58從容器52的突出部52b的上表面向容器52的外部露出。還有，貫通孔53a與物理量傳遞媒體60之間、以及貫通孔53b與傳送信號(hào)傳遞媒體62之間實(shí)施水密封，以使致冷劑64不泄漏。利用這樣的手段將變換器54收容于容器52內(nèi)部。于是，容器52的臺(tái)座部52b的底面與基體支架6a接觸，容器52安裝于基體支架6a。下面對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50的變換器54的冷卻機(jī)構(gòu)進(jìn)行說明。如上所述，在基體支架6a的內(nèi)部流通冷卻流體。該冷卻流體的熱量首先傳遞給容器52。接著，這樣傳遞的熱傳遞給致冷劑64。這樣，傳遞到容器52和致冷劑64的冷卻流體的熱傳遞給變換器54。變換器54因此得到冷卻。還有，如上所述，冷卻流體的溫度可以相應(yīng)于變換器54的耐熱性適當(dāng)改變。下面參照?qǐng)D5對(duì)變換器54將傳感器55檢測(cè)出的物理量加以變換的處理進(jìn)行說明。如圖5所示，傳感器55(溫度檢測(cè)部56)檢測(cè)基體21a的溫度(熱量)(物理量)。這樣檢測(cè)出的溫度在通過物理量傳遞媒體60進(jìn)行傳遞的過程中變成檢測(cè)信號(hào)(電信號(hào))，被輸入到變換器54。變換器54在這里是驅(qū)動(dòng)電路。變換器(驅(qū)動(dòng)電路)54將輸入的檢測(cè)信號(hào)(電信號(hào))變化為傳送信號(hào)(驅(qū)動(dòng)電流)，輸入到電磁波輻射器(LED)58。電磁波輻射器58輻射與驅(qū)動(dòng)電流相應(yīng)的光信號(hào)，被輻射的光信號(hào)利用設(shè)置于真空室1外部的未圖示的接收器接收。借助于此，基體21a的溫度信息被取出到真空室1的外部。本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，由于采取如上所述的結(jié)構(gòu)，流過基體支架6a內(nèi)部的冷卻流體的熱量傳到容器52和致冷劑64，由于該熱量傳到變換器54，變換器54得到冷卻。借助于此可以防止變換器的損壞。又，在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，由于變換器54與電磁波輻射器58連接，因此能夠借助于無線方式取得涉及成膜相關(guān)物理量的信息。因此不需要將傳送信號(hào)引出到真空成膜裝置100外部用的電纜等，也就不需要為該電纜的防熱采取對(duì)策。而且在本實(shí)施形態(tài)的真空成膜裝置100中，不必另行設(shè)置使冷卻器54冷卻用的提供冷卻流體的冷卻用配管等，因此結(jié)構(gòu)不會(huì)復(fù)雜化，能夠在旋轉(zhuǎn)式的基體支架6a上安裝耐熱性低的變換器54。借助于此，可以防止變換器54的損壞，能夠長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)成膜過程中的成膜相關(guān)物理量。還有，在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，電磁波輻射器58采用LED，但是也可以采用紅外線輻射器。紅外線輻射器有例如紅外線LED、紅外線激光等。在這種情況下，輻射的電磁波為紅外線。第2實(shí)施形態(tài)圖6是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第2實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖7是表示圖6的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中變換器進(jìn)行的處理的方框圖。下面參照?qǐng)D6和圖7對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖6所示，在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，發(fā)送變換器54變換的傳送信號(hào)的電磁波輻射器58，用高頻振蕩器(天線)構(gòu)成。高頻振蕩器輻射與傳送信號(hào)相應(yīng)的電波信號(hào)。電磁波輻射器58插通設(shè)置于容器52的貫通孔53b。電磁波輻射器58的前端從容器52的突出部52b的上表面露出到容器52的外部。另一方面，電磁波輻射器58的另一端連接于變換器54。此外的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同。下面參照?qǐng)D7對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中的變換器54的處理進(jìn)行說明。如圖7所示，傳感器55(溫度檢測(cè)部56)檢測(cè)基體21a的溫度(物理量)。這樣檢測(cè)出的溫度在通過物理量傳遞媒體60傳遞的過程中變成檢測(cè)信號(hào)(電氣信號(hào))，被輸入到變換器54。變換器54在這里是無線發(fā)送器。變換器(無線發(fā)送器)54將輸入的檢測(cè)信號(hào)(電信號(hào))變換為傳送信號(hào)，輸入到電磁波輻射器(天線)58。在這里，傳送信號(hào)是在高頻電流上疊加檢測(cè)信號(hào)的信號(hào)。輸入到電磁波輻射器(天線)58的傳送信號(hào)變成電波信號(hào)后輻射。該輻射的電波信號(hào)利用設(shè)置于真空室1的外部的未圖示的接收器接收。借助于此，基體21a的溫度信息被取出到真空室l外部。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，也能夠得到與第1實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同的效果。也就是說，可以在旋轉(zhuǎn)的基體支架6a上安裝耐熱性低的變換器54，而且能夠得到防止該變換器54破損的效果。又，由于將在傳感器55檢測(cè)出的溫度信息(檢測(cè)信號(hào))疊加于高頻電流，利用天線(電磁波輻射器58)作為電磁波輻射，因此能夠提高信息的獲得效率。第3實(shí)施形態(tài)圖8是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第3實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。下面參照?qǐng)D8對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖8所示，本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，改變第2實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的構(gòu)成。具體地說，與第2實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相比，沒有分開設(shè)置電磁波輻射器。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，從變換器54來的傳送信號(hào)的輸出端子(未圖示)連接于容器52。又，容器52如上所述用作為導(dǎo)電性材料的銅構(gòu)成。而且基體支架6a如上所述用導(dǎo)電性材料構(gòu)成。而且容器52和基體支架6a被安裝為容器52的臺(tái)座部52b的底面與基體支架6a接觸。此外的其他結(jié)構(gòu)與上述第2實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，也能夠得到與第1實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同的效果。也就是說，可以在旋轉(zhuǎn)的基體支架6a上安裝耐熱性低的變換器54，而且可以有防止該變換器54損壞的效果。又，如果采取這樣的結(jié)構(gòu)，傳感器55檢測(cè)出的檢測(cè)信號(hào)利用變換器54疊加于高頻電流，該高頻電流流入容器52和基體支架6a，從基體支架6a作為電波信號(hào)輻射。也就是說，在這種情況下，基體支架6a被作為電磁波輻射器(天線)58使用，從該基體支架6a輻射電波信號(hào)。還有，在容器52上形成未圖示的貫通孔，通過該貫通孔直接從變換器54來的傳送信號(hào)的輸出端子(未圖示)也可以連接于基體支架6a。采用這樣的結(jié)構(gòu)也能夠得到與上面所述相同的效果。第4實(shí)施形態(tài)圖9是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第4實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖10是表示圖9的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中將傳感器和變換器安裝于基體支架上用的容器的立體圖。下面參照?qǐng)D9和圖IO對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖9和圖IO所示，在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，收容變換器54的正方體容器52安裝于基體支架6a的周邊部。容器52用熱傳導(dǎo)性材料構(gòu)成，在本實(shí)施形態(tài)中用銅構(gòu)成。還有，容器52也可以用鋁等金屬材料等構(gòu)成。容器52其底部與基體支架6a接觸著安裝。在容器52內(nèi)部充填致冷劑64。致冷劑64可以采用與第1實(shí)施形態(tài)使用的致冷劑相同的致冷劑。容器52收容變換器54,將變換器54浸在容器內(nèi)部充填的致冷劑64中，變換器54被收容，以其一部分接觸容器52的底部。從變換器54來的傳送信號(hào)的輸出端子(未圖示)連接于容器52。還有，變換器54來的傳送信號(hào)的輸出端子通過形成于容器52的未圖示的貫通孔，直接連接于基體支架6a也可以。因此，基體支架6a被用作電磁波輻射器(天線)58。變換器54與檢測(cè)成膜相關(guān)物理量的傳感器55通過物理量傳遞媒體60形成一體。在本實(shí)施形態(tài)中，傳感器55是作為溫度傳感器的熱電偶，成膜相關(guān)物理量是基體21a的周邊溫度。在本實(shí)施形態(tài)中，傳感器55由溫度檢測(cè)部56和物理量傳遞媒體60構(gòu)成。與第l實(shí)施形態(tài)相同。溫度檢測(cè)部56設(shè)置于物理量傳遞媒體60的前端，物理量傳遞媒體60的另一端連接于變換器54。物理量傳遞媒體60被插入容器52的底面上設(shè)置的貫通孔53。貫通孔6b形成于基體支架6a上安裝的基體21a的周邊近旁。因此，物理量傳遞媒體60和設(shè)置于其前端溫度檢測(cè)部56，從容器52的底面露出到容器52外部。還有，貫通孔53與物理量傳遞媒體60之間形成水密封以避免致冷劑60泄漏。而且露出于容器52外部的物理量傳遞媒體60和溫度檢測(cè)器56被插入基體支架6a上形成的貫通孔6b，而且使溫度檢測(cè)器56曝露于成膜空間地將容器52安裝于基體支架6a。利用上述結(jié)構(gòu)，傳感器55(溫度檢測(cè)部56)檢測(cè)出基體21a周邊的溫度(物理量)。這樣檢測(cè)出的溫度在通過物理量傳遞媒體60傳遞的過程中變成檢測(cè)信號(hào)(電氣信號(hào))被輸入到變換器54。變換器54在這里是無線發(fā)送器。變換器(無線發(fā)送器)54將被輸入的檢測(cè)信號(hào)(無線信號(hào))變換為傳送信號(hào)，輸入到基體支架6a(電磁波輻射器(天線)58)。在這里，傳送信號(hào)是在高頻電流上重疊檢測(cè)信號(hào)的信號(hào)。被輸入到電磁波輻射器(天線)58的傳送信號(hào)變成電波信號(hào)輻射。該輻射的電波信號(hào)利用設(shè)置于真空室1外部的未圖示的接收器接收。借助于此，將基體21a的周邊溫度信息取出到真空室1外部。而且，根據(jù)這樣取出的基體21a的周邊溫度信息，也可以知道基體21a周邊的等離子體密度狀態(tài)。還有，在本實(shí)施形態(tài)中，也可以傳感器55采用電壓傳感器。在這種情況下，傳感器55將上述溫度檢測(cè)部56置換為電壓檢測(cè)器。采取這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，利用電壓傳感器檢測(cè)出基體支架6a(或容器52、或變換器54)與成膜空間中的等離子體之間的電位差(物理量)。該電位差的信息與上面所述一樣被取出到真空室1的外部。根據(jù)這樣取出的電位差信息，可以知道基體21a周邊的等離子體的密度狀態(tài)。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，也可以取得與實(shí)施形態(tài)1的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同的效果。也就是說，可以在旋轉(zhuǎn)的基體支架6a上安裝耐熱性低的變換器54，而且能夠得到防止該變換器54損壞的效果。第5實(shí)施形態(tài)圖11是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第5實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。以下參照?qǐng)Dll對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，變更第4實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)。也就是說，收容變換器54的容器52和基體支架6a隔著熱傳導(dǎo)片65安裝。熱傳導(dǎo)片65可以使用碳系熱傳導(dǎo)片、硅系熱傳導(dǎo)片等。又，從變換器54來的傳送信號(hào)的輸出端子(未圖示)，通過容器52和熱傳導(dǎo)片65上形成的未圖示的貫通孔連接于基體支架6a。借助于此，將基體支架6a作為電磁波輻射器(天線)58使用。除此以外的結(jié)構(gòu)與第4實(shí)施形態(tài)的安裝結(jié)構(gòu)相同。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，也能夠得到與第1實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同的效果。也就是說，可以在旋轉(zhuǎn)的基體支架6a上安裝耐熱性低的變換器54，而且能夠發(fā)揮防止該變換器54破損的作用。容器52通過熱傳導(dǎo)片65安裝于基體支架6a，因此流過基體支架6a的冷卻流體對(duì)容器52的冷卻得到促進(jìn)。伴隨這種情況，容器52中收容的變換器54的冷卻也得到促進(jìn)，因此能夠進(jìn)一步防止變換器54的破損。第6實(shí)施形態(tài)圖12是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的，第6實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。下面參照?qǐng)D12對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，收容變換器54的容器52用熱傳導(dǎo)片構(gòu)成。具體地說，如圖12所示，用熱傳導(dǎo)片包圍變換器54周圍，該熱傳導(dǎo)片構(gòu)成容器52。還有，本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，作為容器52的熱傳導(dǎo)片與變換器54之間沒有充滿致冷劑。而且在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，如圖12所示，在容器52與變換器54之間形成間隙，但是當(dāng)然也可以采用沒有形成該間隙的形態(tài)。作為熱傳導(dǎo)片，采用與上述第5實(shí)施形態(tài)使用的相同的構(gòu)件。又，從變換器54來的傳送信號(hào)的輸出端子通過熱傳導(dǎo)片構(gòu)成的容器的未圖示的貫通孔連接于基體支架6a。借助于此，將基體支架6a作為電磁波輻射器(天線)58使用。除此以外的結(jié)構(gòu)與圖8(第3實(shí)施形態(tài))的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同。采用這樣的構(gòu)成時(shí)，流過基體支架6a的冷卻流體的熱量傳遞給熱傳導(dǎo)片構(gòu)成的容器52，該熱量傳遞給變換器54,變換器54得到冷卻。因此可以防止變換器54的破損。又，由于容器52用熱傳導(dǎo)片構(gòu)成，所以將變換器54收容于容器52變得容易。也就是說，在本實(shí)施形態(tài)中，利用柔軟的材料熱傳導(dǎo)片覆蓋變換器54構(gòu)成容器52。這樣，構(gòu)成容器52變得容易，同時(shí)將變換器54收容于容器52變得容易。而且由于利用熱傳導(dǎo)片提高熱傳導(dǎo)性，能夠進(jìn)一步防止變換器54的損壞。第7實(shí)施形態(tài)圖13是表示圖2的基體支架上安裝傳感器和變換器的第7實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)的部分剖面圖。圖14是圖13的傳感器安裝結(jié)構(gòu)中的變換器的處理的方框圖。下面參照?qǐng)D13和圖14對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，與變換器54形成一體的傳感器55采用光傳感器。傳感器55由作為檢測(cè)元件的光纖66、將該光纖66檢測(cè)出的光(測(cè)量光)變換為檢測(cè)信號(hào)(電信號(hào))的光電二極管68構(gòu)成。還有，也可以在光纖66與發(fā)光二極管68之間設(shè)置取出特定波長(zhǎng)的未圖示的分光器(濾光鏡、棱鏡等)。在這種情況下，光纖66、未圖示的分光器、發(fā)光二極管68構(gòu)成傳感器55。光纖66構(gòu)成接收未圖示的發(fā)光部來的光線的受光部。在這里，光傳感器可以用透過型或反射型中的任意一種構(gòu)成。在本實(shí)施形態(tài)中，基體21a采用作為透明材料的玻璃構(gòu)成的構(gòu)件。在本實(shí)施形態(tài)中，成膜相關(guān)物理量是形成于基體21a的膜反射的光或形成于基體21a的膜透過的光。又，變換器54是將傳感器55檢測(cè)出的檢測(cè)信號(hào)變換為傳送信號(hào)的無線通信器。又，本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，傳感器55的光線66露出于容器52的外部，同時(shí)與傳感器55形成一體的變換器54收容于容器52中，而且位于容器52底部。在光線66的后端連接發(fā)光二極管68。該發(fā)光二極管68連接于變換器54。還有，如上所述，也可以在光纖66與發(fā)光二極管68之間設(shè)置取出特定波長(zhǎng)的分光器。在這種情況下，在光纖66的后端連接分光器，同時(shí)在該分光器上連接發(fā)光二極管68，將該發(fā)光二極管68連接于變換器54。這樣將傳感器55和變換器54形成一體。光纖66被插入到形成于容器52的貫通孔53a。這樣，使光纖66露出到容器52的外面。又，在光纖66的前端與基體支架6a上安裝的基體21a的背面之間，保持規(guī)定的間隔。在光纖66與貫通孔53a之間，形成水密封以使容器52中充填的致冷劑64不泄漏。此外的其他結(jié)構(gòu)與圖8(第3實(shí)施形態(tài))的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同。下面參照?qǐng)D14對(duì)本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中的變換器54的處理進(jìn)行說明。如圖14所示，光纖66檢測(cè)出的測(cè)定光原封不動(dòng)地通過光纖66中，被輸入到發(fā)光二極管68。被輸入到發(fā)光二極管68的測(cè)定光被變換為檢測(cè)信號(hào)(電信號(hào))，被輸入到變換器(無線發(fā)送器)54。被輸入變換器54的檢測(cè)信號(hào)重疊于高頻電流成為傳送信號(hào)，從作為電磁波輻射器(天線)58的基體支架6a作為電波信號(hào)輻射出去。天線58輻射的電波信號(hào)被真空室1外部設(shè)定的接收器所接收。根據(jù)這樣接收的測(cè)定光的信息，可以知道在基體21a上形成的膜的厚度。在本實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50中，也能夠取得與第1實(shí)施形態(tài)的傳感器安裝結(jié)構(gòu)相同的效果。也就是說，可以在旋轉(zhuǎn)的基體支架6a上安裝耐熱性低的變換器54，而且能夠得到防止該變換器54損壞的效果。還有，在上述各實(shí)施例中，對(duì)旋轉(zhuǎn)式基體支架6a上安裝與傳感器55形成一體的變換器54的情況進(jìn)行了說明。但是，本發(fā)明的傳感器安裝結(jié)構(gòu)50當(dāng)然也可以使用于在例如用于在線式真空成膜裝置的基體支架上安裝與傳感器55形成一體的變換器54的情況。如果采取這樣的結(jié)構(gòu)，可以在移動(dòng)的基體支架6a上安裝耐熱性低的變換器54，而且能夠取得防止該變換器54受到損壞的效果。根據(jù)上面所述，對(duì)于本行業(yè)的普通技術(shù)人員來說，本發(fā)明的許多改良和其他實(shí)施形態(tài)是顯然的。從而，上面的說明只應(yīng)該解釋為例示，是以對(duì)本行業(yè)的普通技術(shù)人員示教執(zhí)行本發(fā)明的最佳形態(tài)為目的而提供的。在不超越本發(fā)明的精神的條件下其構(gòu)造以及/或功能的細(xì)節(jié)可以有實(shí)質(zhì)性的變更。工業(yè)應(yīng)用性本發(fā)明傳感器安裝結(jié)構(gòu)和真空成膜裝置，在與傳感器形成一體的變換器設(shè)置于真空室內(nèi)的情況下也能夠不使裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，作為能夠防止耐熱性低的變換器受到破壞的傳感器安裝結(jié)構(gòu)以及真空成膜裝置是有用的。又，本發(fā)明的傳感器安裝結(jié)構(gòu)以及真空成膜裝置即使是基體支架在真空成膜裝置中旋轉(zhuǎn)或移動(dòng)的情況下，也能夠不使裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，作為能夠?qū)⒆儞Q器安裝于基體支架上的傳感器安裝結(jié)構(gòu)以及真空成膜裝置是有用的。權(quán)利要求1.一種傳感器安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，具備支持基體，利用流過其內(nèi)部的冷卻流體進(jìn)行冷卻的基體支架、以及檢測(cè)與在所述基體上成膜相關(guān)的物理量(下述為成膜相關(guān)物理量)的傳感器、與所述傳感器形成一體，能夠傳遞所述成膜相關(guān)物理量，而且將所述成膜相關(guān)物理量變換為傳送信號(hào)的變換器、將所述變換器收容于其內(nèi)部，而且使所述傳感器露出于其外部的容器，將所述容器安裝于所述基體支架上，而且使得能夠利用所述冷卻流體對(duì)該容器進(jìn)行冷卻。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述容器收容所述變換器和冷卻劑，以將該變換器浸入該冷卻劑中。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述容器被安裝于該基體支架上，以在該容器與所述基體支架之間夾住熱傳導(dǎo)片，并且所述容器的至少與所述熱傳導(dǎo)片接觸的壁由熱傳導(dǎo)性材料構(gòu)成。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述變換器連接于輻射其變換的傳送信號(hào)的電磁波輻射器。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電磁波輻射器是LED、高頻振蕩器、紅外線輻射器中的任一種。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述傳感器是溫度傳感器、光傳感器、電壓傳感器中的任一種。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基體支架能夠借助于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基體支架能夠借助于移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)。9.一種真空成膜裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求16所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)、其內(nèi)部具有所述傳感器安裝結(jié)構(gòu)的能夠減壓的腔室、在所述腔室內(nèi)部配置，使成膜材料蒸發(fā)的蒸發(fā)源、以及使所述基體支架旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；一邊利用所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使所述基體支架旋轉(zhuǎn)，一邊在所述基體上利用蒸發(fā)源蒸發(fā)的成膜材料成膜。10.—種真空成膜裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求16所述的傳感器安裝結(jié)構(gòu)、其內(nèi)部具有所述傳感器安裝結(jié)構(gòu)的能夠減壓的腔室、在所述腔室內(nèi)部配置，使成膜材料蒸發(fā)的蒸發(fā)源、以及使所述基體支架移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；一邊利用所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述基體支架移動(dòng)，一邊在所述基體上利用蒸發(fā)源蒸發(fā)的成膜材料成膜。全文摘要本發(fā)明的傳感器安裝結(jié)構(gòu)(50)具備支持基體(21a)，利用流過其內(nèi)部的冷卻流體進(jìn)行冷卻的基體支架(6a)、檢測(cè)與在基體(21a)上成膜相關(guān)的物理量(下述為成膜相關(guān)物理量)的傳感器(55)、與傳感器(55)形成一體，能夠傳遞成膜相關(guān)物理量，而且將成膜相關(guān)物理量變換為傳送信號(hào)的變換器(54)、將變換器(54)收容于其內(nèi)部，而且使傳感器(55)露出于其外部的容器(52)；將容器安裝于基體支架(6a)上，而且使得能夠利用冷卻流體對(duì)容器(52)進(jìn)行冷卻。文檔編號(hào)C23C14/32GK101558185SQ20088000109公開日2009年10月14日申請(qǐng)日期2008年3月7日優(yōu)先權(quán)日2007年3月29日發(fā)明者小泉康浩,能勢(shì)功一申請(qǐng)人:新明和工業(yè)株式會(huì)社