專利名稱：：磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造方法及制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及對方向性電磁鋼板的表面照射激光束而改善磁特性的方向性電磁鋼板的制造技術(shù)，特別涉及適合于以高速的制造線速度制造方向性電磁鋼板的情況的技術(shù)。
背景技術(shù)：
：結(jié)晶的磁化容易軸在整個鋼板上統(tǒng)一為大致相同的方向的電磁鋼板稱作方向性電磁鋼板，磁化容易軸的方向與鋼板的軋制方向一致。這樣的鋼板作為磁化方向一定的變壓器鐵心的材料是非常好的。將方向性電磁鋼板通過交流磁化時的鐵損分為渦電流損失和磁滯損失，渦電流損失還分為古典渦電流損失和異常渦電流損失。古典渦電流損失與鋼板的板厚成比例，所以通過減薄材料的板厚來降低古典渦電流損失。異常渦電流損失是因磁壁的移動而局部產(chǎn)生的較大的渦電流帶來的損失，與在軋制方向上細長的磁區(qū)即180°磁區(qū)的磁壁間隔成比例地變小。所以，為了實現(xiàn)低鐵損化而考慮了將磁區(qū)細分化的各種技術(shù)。通過大致垂直于軋制方向的直線狀、并且沿軋制方向?qū)︿摪灞砻娓浇┘又芷谛缘膽?yīng)變，180°磁壁間隔變窄。所以，例如如日本特公平6-19112號公報中公開那樣，考慮將聚光的激光束沿板寬方向掃描、照射、對鋼板施加應(yīng)變的方法，當(dāng)前已供作使用。該激光磁區(qū)控制法是通過應(yīng)力應(yīng)變減少鐵損的方法，不會帶來熔融部或槽的形成等的電磁鋼板的形狀變化，所以如果進行應(yīng)變消除退火，則應(yīng)變施加效果消失。但是，在不進行應(yīng)變消除退火時，容易得到10%以上的鐵損改善效果，所以通過該方法所制造的電磁鋼板作為在制造工序中不包括退火的累積變壓器用的材料需求很高。另一方面，磁滯損失是磁化曲線即磁滯曲線的損失，是對鋼板的應(yīng)變敏感的鐵損成分。因此，有通過激光照射進行的應(yīng)變施加會帶來磁滯損失的增加的問題。所以，為了盡量抑制不需要的應(yīng)變，優(yōu)選地在盡可能窄小的區(qū)域中導(dǎo)入有效的應(yīng)變。例如，在WO2004/083465號公報中所示的技術(shù)中，通過使電磁鋼板上的激光束的聚光斑的軋制方向直徑為0.2mm以下，對窄小的區(qū)域施加應(yīng)變而得到良好的特性。但是，如果使聚光直徑在圓形的狀態(tài)下變小，則聚光斑的光強密度增大，但聚光斑通過鋼板上的任意的點上的時間、即將束徑除以掃描速度的時間的束滯留時間變短，在幾乎不發(fā)生向鋼板板厚方向的熱傳導(dǎo)的期間內(nèi)束通過。在這樣的情況下，熱僅過量地進入到鋼板的極表層，根據(jù)情況而發(fā)生表層的熔融。但是，由于在板厚深度方向上幾乎沒有傳熱，所以升溫區(qū)域被限制在表面附近，所以有不能將為了使磁區(qū)細分化而需要的應(yīng)變充分導(dǎo)入到鋼板中的問題。所以，如在WO2004/083465號公報中公開的那樣，考慮使聚光斑的形狀成為在束的掃描方向上較長的橢圓的方法。在該方法中，能夠在軋制方向的應(yīng)變幅度較窄的狀態(tài)下抑制光強密度，并且也能夠增加照射點上的束滯留時間，所以在鋼板厚度方向上也能夠施加充分的應(yīng)變，能夠得到良好的鐵損特性。但是，在通過鋼板沿軋制方向以高速移動的制造設(shè)備實施使這樣的聚光斑的形狀成為在束的掃描方向上較長的橢圓的方法的情況下，產(chǎn)生如下的問題。圖3是表示在通過將軋制方向直徑dl較窄、板寬方向直徑dc較長的聚光斑LS(以下稱作橢圓形斑)聚光在鋼板上、將該光斑沿大致垂直于軋制方向L的方向C以速度Vc掃描、將激光束照射在鋼板上的方法中、使橢圓形斑的長軸方向S與掃描方向C一致、鋼板沿軋制方向L以速度VI移動的情況下的、橢圓形斑LS的位置和殘留在鋼板上的激光束照射痕TC的示意圖。在此情況下，假設(shè)在時間t=0時束的開頭通過了鋼板上的某點A，則在時間t=ts時束的最末尾通過A點附近時A點因鋼板的移動而沿軋制方向移動了H，束的最末尾通過A'點。因此，鋼板上的激光束照射痕TC、即鋼板實際感受到激光束的軌跡如圖3所示，成為以對V1與Vc的比成比例的角度e傾斜、具有與h成比例的寬度的軌跡。即，即使以低鐵損為目的而使橢圓束的短軸dl盡可能變細，在鋼板高速移動的情況下，鋼板實際感受的實效的激光照射寬度也成為與h成比例的寬度，不能使實效的激光照射寬度變窄。并且，由于h用VlXdc/Vc表示，所以鋼板的移動速度的影響在鋼板的軋制方向線速度V1較大的情況下、即在生產(chǎn)速度較快的情況下變大。此外，如果為了更高的磁特性的改善而設(shè)為更細的短軸的橢圓束，則需要為了抑制光強密度而使長軸變長。結(jié)果，束滯留時間變長，所以鋼板移動對實效的激光照射寬度的影響變大。即存在磁特性越好并且生產(chǎn)能力越高的制造設(shè)備、影響越大的問題。
發(fā)明內(nèi)容所以，本發(fā)明在通過對電磁鋼板照射激光束來降低鐵損的磁特性的改善技術(shù)中，為了在高速的制造線中使激光束的聚光斑變得細長時也穩(wěn)定地使鐵損變小，其特征如下。在本發(fā)明的第一技術(shù)方案中，是一種方向性電磁鋼板的制造方法，將激光束在以規(guī)定的速度移動的方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑，將聚光的橢圓形斑沿方向性電磁鋼板的板寬方向掃描、照射來改善磁特性，其特征在于，在上述橢圓形斑的掃描方向與橢圓形斑的長軸方向之間設(shè)置傾斜角es，來掃描、照射激光束。此外，在第一技術(shù)方案中，其特征在于，根據(jù)方向性電磁鋼板的制造線速度V1、和方向性電磁鋼板上的激光束的橢圓形斑的掃描速度Vc，調(diào)節(jié)上述傾斜角es，以使方向性電磁鋼板上的激光照射寬度變??；進而，其特征在于，根據(jù)上述速度vi、Vc基于下述式(i)求出上述傾斜角es，基于求出的es值調(diào)節(jié)上述橢圓形斑的長軸方向。0s,n-1(Vl/Vc)(1)此外，在第一技術(shù)方案中，其特征在于，根據(jù)上述傾斜角9s調(diào)節(jié)方向性電磁鋼板的制造線速度V1或方向性電磁鋼板上的激光束的橢圓形斑的掃描速度VC，以使方向性電磁鋼板上的激光照射寬度變??；進而，其特征在于，根據(jù)上述速度vi及上述傾斜角es，基于下述式(2)求出上述速度Vc，基于求出的VC值調(diào)節(jié)上述橢圓形斑的掃描速度；以及，其特征在于，根據(jù)上述速度VC及上述傾斜角0S，基于下述式(3)求出上述速度VI，基于求出的VI值調(diào)節(jié)制造線速度。Vc=Vl/tan9s(2)Vl=VcXtan0s(3)在本發(fā)明的第二技術(shù)方案中，是一種方向性電磁鋼板的制造裝置，將激光朿在方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑，將聚光的橢圓形斑沿方向性電磁鋼板的板寬方向掃描、照射來改善磁特性，其特征在于，具備橢圓束成形部，用來將激光束成形為橢圓形；束掃描部，將從上述橢圓束成形部射出的橢圓束偏轉(zhuǎn)、掃描；束聚光部，將從上述束掃描部射出的掃描束在方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑；以及橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)，調(diào)節(jié)上述橢圓形斑的長軸方向以使其相對于橢圓形斑的掃描方向以傾斜角9s傾斜。此外，在第二技術(shù)方案中，其特征在于，上述橢圓束成形部具有由母線方向一致的兩片圓筒透鏡、和為了變更上述橢圓形斑的長軸長度而變更上述兩片圓筒透鏡的間隔的透鏡間隔調(diào)節(jié)機構(gòu)構(gòu)成的圓筒透鏡望遠鏡；進而，其特征在于，上述橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)具有能夠以激光束的行進方向為旋轉(zhuǎn)軸變更其傾斜角度地支撐上述圓筒透鏡望遠鏡的旋轉(zhuǎn)支撐部、和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動上述旋轉(zhuǎn)支撐部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。在本發(fā)明的第三技術(shù)方案中，是一種方向性電磁鋼板的制造裝置，將激光束在方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑，將聚光的橢圓形斑沿方向性電磁鋼板的板寬方向掃描、照射來改善磁特性，其特征在于，具備橢圓束成形部，用來將激光束成形為橢圓形；束掃描部，將從上述橢圓束成形部射出的橢圓束偏轉(zhuǎn)、掃描；束聚光部，將從上述束掃描部射出的掃描束在方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑；橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)，調(diào)節(jié)上述橢圓形斑的長軸方向以使其相對于橢圓形斑的掃描方向以傾斜角eS傾斜；以及橢圓傾斜角度控制部，根據(jù)方向性電磁鋼板的制造線速度VI、和方向性電磁鋼板上的橢圓形斑的掃描速度Vc，驅(qū)動控制橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)，將上述傾斜角0S調(diào)節(jié)為使方向性電磁鋼板上的激光照射寬度變小那樣的傾斜角。此外，在第三技術(shù)方案中，其特征在于，上述橢圓傾斜角度控制部具有以上述速度VI、VC為輸入信號、基于下述式(1)計算傾斜角es并輸出的計算部、和基于輸出的傾斜角es驅(qū)動控制上述橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)的驅(qū)動控制部；進而，其特征在于，上述橢圓束成形部具有由母線方向一致的兩片圓筒透鏡、和為了變更上述橢圓形斑的長軸長度而變更上述兩片圓筒透鏡的間隔的透鏡間隔調(diào)節(jié)機構(gòu)構(gòu)成的圓筒透鏡望遠鏡；上述橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)具有能夠以激光束的行進方向為旋轉(zhuǎn)軸變更其傾斜角度地支撐上述圓筒透鏡望遠鏡的旋轉(zhuǎn)支撐部、和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)支撐部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部；上述橢圓傾斜角度控制部驅(qū)動控制橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。根據(jù)本發(fā)明，沿板寬方向所掃描的橢圓束的通過點能夠配合鋼板的軋制方向移動而移動，能夠總是使鋼板上的激光感受點的寬度成為大致與橢圓的短軸長度一致的寬度。結(jié)果，抑制了起因于鋼板的高速移動的實效的激光照射寬度的增大，所以不論鋼板的軋制方向線速度、或者束的聚光形狀如何，都能夠總是穩(wěn)定地制造磁特性良好的方向性電磁鋼板。圖1是本發(fā)明的激光束的橢圓形斑的角度配置與橢圓方斑的掃描方向的說明圖。圖2是本發(fā)明的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造裝置的光學(xué)部件配置的一例。圖3是以往的橢圓形斑的掃描方法的示意圖。圖4是橢圓傾斜角度控制裝置的一例的框圖。具體實施例方式9利用附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。圖1是表示使激光束的橢圓形斑LS沿著掃描方向軸C以速度Vc掃描在以制造線速度VI向紙面上方移動的電磁鋼板上時、對于橢圓形斑LS與電磁鋼板上的某點(設(shè)為束感受點A)、各自的隨著時間經(jīng)過的移動的狀況、和殘留在鋼板上的激光束的照射痕Tc的示意圖，圖1(a)表示在時間t二0、束的前端開始通過A點、圖l(c)表示在t^ts、束的最末尾通過時的A點與橢圓形斑LS的配置。圖l(b)是tn為其之間的任意的時間時的配置。如圖1所示，橢圓形斑LS將其長軸S配置為使其相對于圓形斑的掃描方向軸C成傾斜角Gs。這里，傾斜角9s設(shè)定為由對應(yīng)于電磁鋼板的線速度VI和激光束的掃描速度Vc的式(1)所給出的值。es=tan-1(Vl/Vc)(1)通過這樣設(shè)定傾斜角9s，如圖1(a)、圖1(b)及圖1(c)所示，配合束感受點A點隨著時間經(jīng)過的移動，橢圓形斑的通過位置也移動，所以束感受點A點在橢圓形斑通過的時間中總是成為束聚光直徑而大致感受橢圓形斑的短軸徑dl的值，鋼板以等于短軸徑dl的激光束照射寬度被掃描。這是如果基于式(1)設(shè)定傾斜角es、則即使鋼板的線速度Vl變?yōu)楦咚伲⑶壹词辜す馐木酃庵睆絛l變?yōu)闃O小也成立的性質(zhì)。因此，即使是具有高速的線速度的設(shè)備，也能夠維持以較細的聚光直徑聚光的有效性，能夠制造良好的鐵損特性的電磁鋼板。另外，基于上述式(1)設(shè)定傾斜角0s，但殘留在鋼板上的激光束照射痕的寬度為了得到鐵損的改善效果而優(yōu)選地設(shè)為O.lmm以下，更優(yōu)選地設(shè)為0.08mm以下，進一步優(yōu)選地設(shè)為0.06mm以下。如果考慮通常所使用的橢圓形斑的短軸徑是0.05mm左右，則不需要嚴密地按照式(1)設(shè)定傾斜角9s，只要基于由上述式(1)得到的傾斜角es進行設(shè)定以使殘留在鋼板上的激光束照射痕的寬度為0.08mm以下就可以。以上，對根據(jù)制造線速度VI及橢圓形斑的掃描速度Vc設(shè)定上述傾斜角9s(橢圓形斑的長軸方向)的方法進行了說明，但本發(fā)明并不限于此。不使上述傾斜角es(橢圓形斑的長軸方向)變化、而通過調(diào)節(jié)制造線速度VI或橢圓形斑的掃描速度Vc的任一個，也能夠使方向性電磁鋼板上的激光照射寬度變小。艮口，在變更制造線速度VI的情況下，根據(jù)下述式(2)由要變更為當(dāng)前的傾斜角0S的制造線速度VI求出新的橢圓形斑的掃描速度VC，基于求出的Vc值調(diào)節(jié)橢圓形斑的掃描速度。Vc=Vl/tan9s(2)此外，在變更橢圓形斑的掃描速度Vc的情況下也同樣，通過下述式(3)求出新的制造線速度，基于求出的VI值調(diào)節(jié)制造線速度。VKVcXtan9s(3)接著，利用圖2說明如上述那樣在電磁鋼板上使橢圓形斑傾斜而掃描的方向性電磁鋼板的制造裝置的實施方式的一例。在本實施方式中，基本結(jié)構(gòu)包括組合了凸面的圓筒透鏡8和凹面的圓筒透鏡9作為用來使激光束成為橢圓形的橢圓束成形部的圓筒透鏡望遠鏡l;作為將激光束反射并偏轉(zhuǎn)、掃描的束掃描部的旋轉(zhuǎn)多角鏡2;以及作為將掃描束聚光到特定平面上的束聚光部的f9透鏡3，各光學(xué)部件沿著光軸Z依次設(shè)置。兩圓筒透鏡8、9的透鏡面的母線與X軸一致，從激光裝置(未圖示)輸出的激光束LB通過圓筒透鏡8、9成形，來自圓筒透鏡的輸出束僅向與X軸正交的Y軸方向收斂或者發(fā)散。圓筒透鏡望遠鏡1在傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)4的作用下以Z軸(激光束LB的行進方向)為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，能夠改變其傾斜角度。傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)4由可傾斜移動地支撐圓筒透鏡望遠鏡1的旋轉(zhuǎn)支撐部15、和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)支撐部15的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部13構(gòu)成。此外，透鏡間隔調(diào)節(jié)機構(gòu)5具有變更透鏡間距離、調(diào)節(jié)橢圓形斑的形狀的功能。激光束通過旋轉(zhuǎn)多角鏡2反射、偏轉(zhuǎn)，被fe透鏡3聚光、掃描到電磁鋼板7上。與圓筒透鏡8、9的X軸方向?qū)?yīng)的鋼板上的方向上的聚光直徑僅由fe透鏡的焦點距離f決定。另一方面，對應(yīng)于圓筒透鏡的Y軸方向的鋼板上的方向上的聚光直徑由圓筒透鏡望遠鏡1的發(fā)散或收斂與fe透鏡3的焦點距離f的合成決定。因此，聚光斑形狀在圓筒透鏡的XY軸方向上成為不同的聚光直徑，成為橢圓形斑。在本發(fā)明中，通過設(shè)在圓筒透鏡望遠鏡1上的傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)4，能夠變更橢圓的長軸方向S相對于橢圓形斑的掃描方向C所成的傾斜角0S。即，能夠通過鋼板上的坐標(biāo)調(diào)節(jié)上述長軸方向S。在上述那樣的裝置結(jié)構(gòu)中，橢圓形斑的掃描方向C被旋轉(zhuǎn)多角鏡2的旋轉(zhuǎn)方向決定，所以只要有鋼板的制造線速度VI和橢圓形斑的掃描速度Vc的信息，就能夠通過式(1)求出傾斜角0s，基于該值設(shè)定es。另外，在本實施例中，作為橢圓束成形部而使用由兩片圓筒透鏡構(gòu)成的圓筒透鏡望遠鏡，但該部件的目的是對束施加僅在Y方向上的發(fā)散、收斂，也可以使用1片圓筒透鏡或3片以上的透鏡組。此外，也可以使用圓筒面反射鏡來代替圓筒透鏡。通過由透鏡間隔調(diào)節(jié)機構(gòu)5變更本發(fā)明的圓筒透鏡望遠鏡1的透鏡間距離g，來自圓筒透鏡的射出束的收斂或發(fā)散角變化。能夠通過該機構(gòu)進行橢圓形斑的長軸方向的長度dc的調(diào)節(jié)，所以能夠變更鋼板上的實效束滯留時間t^dc/Vc。由于實效滯留時間ts給鋼板的加熱冷卻特性帶來影響，所以能夠調(diào)節(jié)對鋼板的應(yīng)變施加量。由此能夠通過導(dǎo)入適當(dāng)?shù)膽?yīng)變來抑制磁滯損失，渦電流損失降低而提高磁特性。接著，利用圖2及圖4說明本發(fā)明的方向性電磁鋼板制造裝置的另一實施方式。上述實施方式在鋼板沿軋制方向L以一定速度移動時是有效的，但實際的通板方向(L方向)的鋼板的移動速度V1、或者橢圓形斑的掃描速度Vc有時會變動。本實施方式是為了不將橢圓形束長軸方向與掃描方向所成的傾斜角9s固定而配合VI、Vc的變動來動態(tài)地調(diào)節(jié)的實施方式。在本實施方式中，如圖4所示，基于例如電磁鋼板7的輸送用輥14的旋轉(zhuǎn)檢測器10的制造線速度信號a檢測制造線設(shè)備的制造線的速度Vl值，并且基于旋轉(zhuǎn)反射鏡2的旋轉(zhuǎn)速度掃描速度信號b檢測束掃描速度Vc值。接著，輸入旋轉(zhuǎn)速度信號a和旋轉(zhuǎn)速度信號b，通過計算部ll利用式(1)算出適當(dāng)?shù)膬A斜角es。以該傾斜角es為目標(biāo)值，通過來自旋轉(zhuǎn)控制部12的控制信號C控制傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)4的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部13的動作，使旋轉(zhuǎn)支撐部15上的束成形部旋轉(zhuǎn)來調(diào)節(jié)橢圓形束的長軸的方向。將上述計算部11、旋轉(zhuǎn)控制部12合在一起作為橢圓傾斜角度控制部6。另外，橢圓傾斜角度控制部6既可以收納在一個箱體中，也可以分割。實施例關(guān)于進行激光照射后的電磁鋼板的鐵損特性，將通過使用本發(fā)明的方法和裝置的情況和不是的情況進行比較的實施例在表1中表示。本實施例的橢圓束聚光斑的形狀是橢圓長軸dc=1.0mm、短軸dl=0.05mm。掃描速度Vc=30m/s，鋼板的軋制方向速度Vl=1.5m/s。激光光強是300W，照射線的軋制方向間距是5mm。在表l中，B8是在800A/m的磁力下產(chǎn)生的鋼板的磁通密度。W17/50是交流勵磁的頻率50Hz、最大磁通密度1.7T的鐵損。比較例是不使用本發(fā)明的方法、而使朿掃描方向與橢圓的長軸方向一致進行激光照射的情況下的鐵損特性。此外，實施例是按照本發(fā)明、設(shè)橢圓長軸與掃描方向所成的角為9s^tan"(Vl/Vc)=2.86°的情況下的鐵損特性。這里，所謂的鐵損值W17/50是1.7T、50Hz的交流磁場下的最大鐵損值。此外，B8是在激光照射前的坯材中、當(dāng)施加了0.8A/m的磁場時產(chǎn)生的磁通密度的大小，是表示坯材的結(jié)晶方向性的指標(biāo)。此外，該值在激光照射后幾乎不變化。如表1所示，對于同樣的坯材，通過利用本發(fā)明的方法，能夠得到更低的鐵損特性。在比較例中，鋼板所感受的實效的照射束寬為O.lmm，是以往的束寬的2倍。另一方面，本發(fā)明的情況下的實效寬度為大致0.05mm。因此，能夠得到更細的應(yīng)變的本發(fā)明更能夠抑制磁滯損失的增加，能夠得到較低的鐵損。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>工業(yè)實用性當(dāng)對方向性電磁鋼板的表面照射激光束來改善磁特性時，根據(jù)本發(fā)明，即使使鋼板高速移動，起因于此的實效的激光照射寬度的增大也被抑制，所以有不論鋼板的軋制方向線速度或束的聚光形狀如何都能夠總是穩(wěn)定地制造磁特性良好的方向性電磁鋼板的、在工業(yè)上有用的效果。權(quán)利要求1、一種磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造方法，將激光束在以規(guī)定的速度移動的方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑，對聚光的橢圓形斑沿方向性電磁鋼板的板寬方向進行掃描、照射來改善磁特性，其特征在于，在上述橢圓形斑的掃描方向與橢圓形斑的長軸方向之間設(shè)置傾斜角θS，來掃描、照射激光束。2、如權(quán)利要求i所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造方法，其特征在于，根據(jù)方向性電磁鋼板的制造線速度vi、和方向性電磁鋼板上的激光束的橢圓形斑的掃描速度Vc，調(diào)節(jié)上述傾斜角0s，以使方向性電磁鋼板上的激光照射寬度變小。3、如權(quán)利要求2所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造方法，其特征在于，由上述速度V1、Vc、基于下述式(1)求出上述傾斜角6s，基于求出的es值調(diào)節(jié)上述橢圓形斑的長軸方向。es=tan"(Vl/Vc)(1)4、如權(quán)利要求l所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造方法，其特征在于，根據(jù)上述傾斜角es調(diào)節(jié)方向性電磁鋼板的制造線速度vi或方向性電磁鋼板上的激光束的橢圓形斑的掃描速度Vc，以使方向性電磁鋼板上的激光照射寬度變小。5、如權(quán)利要求4所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造方法，其特征在于，由上述速度vi及上述傾斜角es、基于下述式(2)求出上述速度Vc，基于求出的Vc值調(diào)節(jié)上述橢圓形斑的掃描速度。Vc=Vl/tan9s(2)6、如權(quán)利要求4所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造方法，其特征在于，由上述速度Vc及上述傾斜角9s、基于下述式(3)求出上述速度V1，基于求出的VI值調(diào)節(jié)制造線速度。Vl=VcXtan9s(3)7、一種磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造裝置，將激光束在方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑，將聚光的橢圓形斑沿方向性電磁鋼板的板寬方向掃描、照射來改善磁特性，其特征在于，具備橢圓束成形部，用來將激光束成形為橢圓形；束掃描部，將從上述橢圓束成形部射出的橢圓束偏轉(zhuǎn)、掃描；朿聚光部，將從上述束掃描部射出的掃描束在方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑；以及橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)，調(diào)節(jié)上述橢圓形斑的長軸方向以使其相對于橢圓形斑的掃描方向以傾斜角eS傾斜。8、如權(quán)利要求7所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造裝置，其特征在于，上述橢圓束成形部具有由母線方向一致的兩片圓筒透鏡、和為了變更上述橢圓形斑的長軸長度而變更上述兩片圓筒透鏡的間隔的透鏡間隔調(diào)節(jié)機構(gòu)構(gòu)成的圓筒透鏡望遠鏡。9、如權(quán)利要求8所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造裝置，其特征在于，上述橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)具有能夠以激光束的行進方向為旋轉(zhuǎn)軸變更其傾斜角度地支撐上述圓筒透鏡望遠鏡的旋轉(zhuǎn)支撐部；和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)支撐部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。10、一種磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造裝置，將激光束在方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑，將聚光的橢圓形斑沿方向性電磁鋼板的板寬方向掃描、照射來改善磁特性，其特征在于，具備橢圓束成形部，用來將激光束成形為橢圓形；束掃描部，將從上述橢圓束成形部射出的橢圓束偏轉(zhuǎn)、掃描；束聚光部，將從上述束掃描部射出的掃描束在方向性電磁鋼板上聚光為橢圓形斑；橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)，調(diào)節(jié)上述橢圓形斑的長軸方向，以使其相對于橢圓形斑的掃描方向以傾斜角eS傾斜；以及橢圓傾斜角度控制部，根據(jù)方向性電磁鋼板的制造線速度VI、和方向性電磁鋼板上的橢圓形斑的掃描速度Vc，驅(qū)動控制橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)，將上述傾斜角9S調(diào)節(jié)為使方向性電磁鋼板上的激光照射寬度變小的傾斜角。11、如權(quán)利要求io所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造裝置，其特征在于，上述橢圓傾斜角度控制部具有以上述V1、Vc為輸入信號、基于下述式(i)計算傾斜角es并輸出的計算部、和基于輸出的傾斜角es驅(qū)動控制上述橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)的驅(qū)動控制部。0s=tan-'(Vl/Vc)(1)12、如權(quán)利要求10或11所述的磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造裝置，其特征在于，上述橢圓束成形部具有由母線方向一致的兩片圓筒透鏡、和為了變更上述橢圓形斑的長軸長度而變更上述兩片圓筒透鏡的間隔的透鏡間隔調(diào)節(jié)機構(gòu)構(gòu)成的圓筒透鏡望遠鏡；上述橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)具有能夠以激光束的行進方向為旋轉(zhuǎn)軸變更其傾斜角度地支撐上述圓筒透鏡望遠鏡的旋轉(zhuǎn)支撐部、和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)支撐部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部；上述橢圓傾斜角度控制部驅(qū)動控制橢圓傾斜角度調(diào)節(jié)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。全文摘要本發(fā)明提供一種磁特性良好的方向性電磁鋼板的制造方法及制造裝置，在將設(shè)為橢圓形斑的激光束在沿板寬方向以Vc掃描照射在沿軋制方向以速度Vl移動的方向性電磁鋼板上來改善磁方向性電磁鋼板的鐵損的技術(shù)中，基于θs＝tan^-1(Vl/Vc)式調(diào)節(jié)橢圓束的掃描方向與橢圓的長軸所成的角θs，并且通過依次配置有圓筒透鏡望遠鏡、掃描反射鏡、fθ透鏡的激光照射用光學(xué)裝置、變更圓筒透鏡望遠鏡相對于掃描反射鏡的掃描方向的角度的裝置、和變更透鏡間距離的裝置構(gòu)成用來調(diào)節(jié)該θs的裝置。文檔編號C21D8/12GK101297050SQ20068004007公開日2008年10月29日申請日期2006年8月29日優(yōu)先權(quán)日2005年11月1日發(fā)明者坂井辰彥,濱村秀行申請人:新日本制鐵株式會社