一種變線寬激光振鏡掃描快速刻蝕方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種變線寬激光振鏡掃描快速刻蝕方法及裝置，本發(fā)明利用激光束離焦后功率密度梯度變小光斑變大的原理以及高速振鏡掃描誤差精確矯正方法，通過設(shè)置不同的在焦和離焦激光加工距離及對應(yīng)功率參數(shù)和激光振鏡掃描參數(shù)來控制激光光斑大小，對圖形填充區(qū)采用離焦后的大光斑光柵掃描填充，然后對圖形輪廓進行矢量掃描勾勒。本發(fā)明針對不同的工作距離預(yù)先進行振鏡掃描誤差矯正，生成高精度振鏡掃描定位表，確保在不同激光加工距離獲得同等高精度的振鏡掃描定位效果。本發(fā)明能實現(xiàn)不同粗細線寬圖形的快速精密刻蝕，兼顧了刻蝕精度和加工速度，可廣泛應(yīng)用于平面刻蝕系統(tǒng)和三維激光刻蝕系統(tǒng)，提高裝備的加工效率。
【專利說明】一種變線寬激光振鏡掃描快速刻蝕方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光加工【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及激光振鏡掃描精密加工技術(shù)，具體為一種變線寬激光振鏡掃描快速刻蝕方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在激光先進制造領(lǐng)域，人們越來越多地通過將激光振鏡掃描加工頭串接到機器人或機床運動軸上組成更為靈活的三維激光加工系統(tǒng)，以完成更復(fù)雜的三維激光加工功能。如
【發(fā)明者】蔣明, 何英, 曾曉雁, 王曦照, 柯善浩, 孫曉, 段軍, 張菲 申請人:華中科技大學(xué)