玻璃基板的切斷方法、固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃的制作方法
【專利摘要】提供一種用于獲得具有機械強度和潔凈度的玻璃基板的切斷方法。該玻璃基板的切斷方法包括：以聚焦點對準(zhǔn)包括在板厚方向上相對的兩個透光面的玻璃基板的內(nèi)部的方式照射激光，并沿著所述玻璃基板的預(yù)定切斷線在所述玻璃基板的板厚方向內(nèi)部形成作為切斷起點的裂縫區(qū)域的工序；以及以所述裂縫區(qū)域為起點產(chǎn)生在所述玻璃基板的厚度方向上生成的破裂，并沿著所述預(yù)定切斷線對所述玻璃基板進行切斷的工序，所述裂縫區(qū)域遠離至少一方的所述透光面。
【專利說明】玻璃基板的切斷方法、固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具有較高的機械強度和潔凈度的玻璃基板的切斷方法及固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃。
【背景技術(shù)】
[0002]作為使用固態(tài)攝像裝置的數(shù)碼相機，已知有單反式相機。在該類型的相機中，附著于防塵過濾器等光學(xué)玻璃的透光面的粉塵、灰塵會進入拍攝圖像中，因此，大多裝設(shè)有使光學(xué)玻璃振動以將粉塵、灰塵彈落的所謂灰塵去除裝置。
[0003]另外，光學(xué)玻璃還被用作對收納有攝像元件的封裝件進行氣密地封接的蓋玻璃。在使用攝像元件的固態(tài)攝像裝置的制造工序中，在臨時固定蓋玻璃之后，基于來自攝像元件的輸出圖像信息來檢查是否存在附著于元件表面的塵埃。然后，在判斷為含有塵埃的情況下，將臨時固定的蓋玻璃從封裝件上拆下，并清洗攝像元件(專利文獻I)。
[0004]在上述過程中，均會對玻璃作用彎曲應(yīng)力，因此，對玻璃要求能經(jīng)得住該彎曲應(yīng)力的強度。
[0005]近年來，因要求數(shù)碼相機的小型化而較多地使用0.3~0.5mm左右的較薄板厚的上述用途的光學(xué)玻璃，存在當(dāng)利用灰塵去除裝置施加強振動時、以端部的微小缺口為起點產(chǎn)生裂紋這樣的可靠性方面的技術(shù)問題。
[0006]另外，使用固態(tài)攝像元件的固態(tài)攝像裝置不斷實現(xiàn)小型化、高像素數(shù)量化、高像素面積化。伴隨著固態(tài)攝像裝置及其裝設(shè)設(shè)備的薄型、大面積化，要求所使用的光學(xué)玻璃的外形較大、在固態(tài)攝像裝置的縱深方向上施加影響的光學(xué)玻璃的壁厚非常薄。
[0007]在專利文獻2中記載了，固態(tài)攝像元件用蓋玻璃在板厚方向上相對的兩個透光面中的至少一個面上具有覆蓋膜，蓋玻璃的外周端面由被激光切斷后的面構(gòu)成，覆蓋膜是在激光切斷以前通過成膜而成的。藉此，能獲得具有較高的機械強度、較高的光學(xué)性能及更穩(wěn)定的化學(xué)性能且清潔度較高的固態(tài)攝像元件用蓋玻璃。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0009]專利文獻
[0010]專利文獻1:日本專利特開2006-303954號公報
[0011]專利文獻2:日本專利特開2008-187170號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0013]然而，在專利文獻2所公開的使用激光的切斷方法中，存在以下問題。
[0014]在該切 斷方法中，將作為玻璃的切斷起點的切入部形成于玻璃表面，因此，存在玻璃的彎曲強度的偏差較大這樣的問題。其理由是，在將由激光產(chǎn)生切入部的玻璃表面設(shè)為下側(cè)進行四點彎曲試驗的情況下，破裂的起點是通過激光加工后的切斷面的棱線中的任一部位。因此，當(dāng)激光的切入狀態(tài)有時會突發(fā)性地較大或較深時，這成為玻璃的彎曲強度大幅降低的主要原因。
[0015]另外，在該切斷方法中，利用激光在玻璃表面和形成于該表面的覆蓋膜這兩者上形成切入部，因此，存在會在切斷面上產(chǎn)生利用激光加工出的、因覆蓋膜而產(chǎn)生的毛邊這樣的突起部、或上述切斷面隆起這樣的問題，此外還存在即便通過切斷后的洗凈處理等也難以去除上述突起部這樣的問題。產(chǎn)生這樣的突起部的玻璃基板在組裝于固態(tài)攝像裝置時突起物可能會脫離玻璃基板而混入裝置內(nèi)部或附著于透光面。
[0016]另外，當(dāng)固態(tài)攝像裝置的縱深方向尺寸變小時，從光學(xué)玻璃的表面到固態(tài)攝像元件為止的距離變短，斜向射入固態(tài)攝像元件的光變多。因此，在斜向射入固態(tài)攝像元件的光在固態(tài)攝像元件的表面反射的情況下，該光可能會成為散射光而在固態(tài)攝像裝置內(nèi)反射，從而對拍攝圖像產(chǎn)生不良影響。通常，光學(xué)玻璃的透光面設(shè)有對于可視區(qū)域的光具有防止反射功能的光學(xué)多層膜。然而，光學(xué)玻璃的側(cè)面并未被特別處理，因此，可能使散射光反射。
[0017]本發(fā)明鑒于上述情況而作，其目的在于提供一種玻璃基板的切斷方法，以用于獲得具有較高的機械強度和潔凈度的玻璃基板。
[0018]解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0019]本發(fā)明的玻璃基板的切斷方法包括:以將聚焦點對準(zhǔn)包括在板厚方向上相對的兩個透光面的玻璃基板的內(nèi)部方式照射激光，并沿著上述玻璃基板的預(yù)定切斷線，在上述玻璃基板的板厚方向內(nèi)部形成作為切斷起點的裂縫區(qū)域的工序；以及以上述裂縫區(qū)域為起點產(chǎn)生在上述玻璃基板的厚度方向上生成的破裂，并沿著上述預(yù)定切斷線對上述玻璃基板進行切斷的工序，上述切斷方法的特征是，上述裂縫區(qū)域遠離至少一方的上述透光面。[0020]本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃是具有在板厚方向上相對的兩個透光面和位于上述兩個透光面之間的側(cè)面的玻璃基板，其特征是，上述側(cè)面是通過以將聚焦點對準(zhǔn)玻璃基板的內(nèi)部的方式照射激光，以沿著預(yù)定切斷線在上述玻璃基板的板厚方向內(nèi)部形成作為切斷起點的裂縫區(qū)域，并使上述裂縫區(qū)域延展而形成的切斷面，上述側(cè)面的上述裂縫區(qū)域與至少一方的上述透光面的距離處于上述玻璃基板的板厚的20%以上。
[0021]發(fā)明效果
[0022]根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板的切斷方法，能提供具有較高的機械強度和潔凈度(即、切斷時難以在玻璃基板上產(chǎn)生加工屑)的玻璃基板。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是表示本發(fā)明的玻璃基板的切斷方法的概況的剖視圖。
[0024]圖2是使用有通過本發(fā)明的玻璃基板的切斷方法切斷后的玻璃基板的固態(tài)攝像裝置的剖視圖。
【具體實施方式】
[0025]本發(fā)明的玻璃基板的切斷方法(以下有時稱為本發(fā)明的切斷方法)涉及如圖1那樣對包括在板厚方向上相對的兩個透光面6、6的玻璃基板的切斷。
[0026]本發(fā)明的切斷方法包括以下工序，從而能以不在玻璃基板的切斷部的棱線上形成裂紋的方式進行切斷，因此，能獲得機械強度較高、且透光面的潔凈度較高的玻璃基板。
[0027]本發(fā)明的切斷方法包括:以將聚焦點對準(zhǔn)包括在板厚方向上相對的兩個透光面6、6的玻璃基板的內(nèi)部的方式照射激光，并沿著上述玻璃基板的預(yù)定切斷線，在上述玻璃基板的板厚方向內(nèi)部形成作為切斷起點的裂縫區(qū)域的工序；以及以上述裂縫區(qū)域為起點產(chǎn)生在上述玻璃基板的厚度方向上生成的破裂，并沿著上述預(yù)定切斷線對上述玻璃基板進行切斷的工序。此外，在形成裂縫區(qū)域的工序中，具有裂縫區(qū)域遠離至少一方的透光面這樣的特征。
[0028]以下，使用圖1詳細說明各工序。
[0029]在形成裂縫區(qū)域的工序中，通過以將聚焦點對準(zhǔn)玻璃基板I的內(nèi)部的方式照射激光2，而在玻璃基板I的內(nèi)部形成裂縫區(qū)域3。當(dāng)將具有規(guī)定能量強度的激光2以聚焦到上述玻璃基板I的內(nèi)部的方式照射至玻璃基板I時，激光2所聚焦的部分被激光2加熱而發(fā)生膨脹。藉此，朝激光2所聚焦的區(qū)域周圍施加由熱膨脹產(chǎn)生的壓力。然而，由于不會對因熱膨脹而被加壓的部分的外側(cè)區(qū)域、即未照射到激光2的區(qū)域產(chǎn)生激光2的加熱影響，因此，該未照射到激光2的區(qū)域會對因熱膨脹而被加壓的部分進行約束。其結(jié)果是，在激光2所聚焦的區(qū)域與未照射到激光2的區(qū)域之間會產(chǎn)生熱應(yīng)變，從而在玻璃基板I的內(nèi)部形成有裂縫區(qū)域3。此處，激光2所聚焦的區(qū)域成為裂縫區(qū)域3的起點。此外，裂縫從該起點朝透光面伸長而形成裂縫區(qū)域3。 [0030]形成于玻璃基板I的內(nèi)部的裂縫區(qū)域3遠離上述玻璃基板I的至少一方的透光面6是重要的。如上述在現(xiàn)有的玻璃基板的切斷方法中所說明的那樣，當(dāng)使用利用激光器、劃線器等將作為切斷起點的裂紋形成于玻璃基板的預(yù)定切斷線上的透光面6的現(xiàn)有的切斷方法時，在切斷后的玻璃基板的切斷部的棱線上會產(chǎn)生裂紋(在與透光面平行或正交的方向上延展的裂縫)。當(dāng)在玻璃基板I的切斷部的棱線上存在裂紋時，在彎曲應(yīng)力施加于玻璃基板I的情況下，玻璃基板I容易以該裂紋為起點破裂。
[0031]與此相對，在本發(fā)明的切斷方法中的形成裂縫區(qū)域的工序中，如上所述，通過以將聚焦點對準(zhǔn)玻璃基板I的內(nèi)部的方式照射激光2而在玻璃基板I的內(nèi)部形成裂縫區(qū)域3。具體而言，利用激光2在玻璃基板I的內(nèi)部形成裂縫區(qū)域3的起點，并由從該裂縫區(qū)域3的起點朝透光面6伸長的裂縫形成裂縫區(qū)域3。由此，即便有時裂縫區(qū)域3會到達玻璃基板的預(yù)定切斷線的棱線，由于不會如現(xiàn)有方法那樣通過物理的方法將作為切斷的起點的裂縫形成于玻璃基板的預(yù)定切斷線上的透光面6，因此，也難以在玻璃基板的切斷部的棱線上產(chǎn)生裂紋。藉此，在玻璃基板I上施加了彎曲應(yīng)力的情況下，由于作為起點的裂紋幾乎不存在，因此，玻璃基板I不容易破裂。
[0032]在本發(fā)明的切斷方法的形成裂紋區(qū)域的工序中，較為理想的是，形成于玻璃基板I的內(nèi)部的裂紋區(qū)域3與至少一方的上述透光面6之間的距離遠離上述玻璃基板I的板厚20%以上的距離。通過采用上述結(jié)構(gòu)，難以在切斷時在與裂紋區(qū)域3分離的透光面6的切斷部的棱線上產(chǎn)生裂紋。因此，在以抑制了裂紋產(chǎn)生的透光面6—側(cè)變?yōu)橥範(fàn)顟B(tài)的方式朝玻璃基板I施加彎曲應(yīng)力的情況下，玻璃基板I破裂的可能性較低，彎曲強度變大。另外，將本發(fā)明中的至少一方的上述透光面6設(shè)為在使用玻璃基板時以變?yōu)橥範(fàn)顟B(tài)的方式朝玻璃基板I施加彎曲應(yīng)力的情況下，變?yōu)橥剐螤钜粋?cè)的透光面6是較為理想的。
[0033]當(dāng)上述裂縫區(qū)域3與上述透光面6的距離低于上述玻璃基板I的板厚的20%時，在切斷玻璃基板I時從裂縫區(qū)域3延展出的裂縫可能會作為裂紋形成于透光面6的切斷部的棱線。當(dāng)在切斷部的棱線上形成有裂紋時，玻璃基板I的彎曲強度會降低，因此并不理想。另外，上述裂縫區(qū)域3與上述透光面6之間的距離處于上述玻璃基板I的板厚的25%以上是較為理想的，處于28%以上是更為理想的。
[0034]形成于玻璃基板I的內(nèi)部的裂縫區(qū)域3是指因激光2的照射而形成的、在玻璃基板I的內(nèi)部產(chǎn)生裂縫的部分。因此，在裂縫沿著玻璃基板I的板厚方向延伸的情況下，裂縫的從上側(cè)前端到下側(cè)前端為止的區(qū)域成為本發(fā)明中所述的裂縫區(qū)域3。
[0035]裂縫區(qū)域3是沿著玻璃基板I的預(yù)定切斷線而形成的。即，一邊使激光2聚焦在玻璃基板I的內(nèi)部，一邊使激光2在與玻璃基板I的透光面6平行的方向上移動,從而來進行掃描。藉此，沿著玻璃基板I的預(yù)定切斷線連續(xù)地形成裂縫區(qū)域3。另外，沿著玻璃基板I的預(yù)定切斷線形成的裂縫區(qū)域3相對于一根預(yù)定切斷線可以是單條，也可以是多條。SP，沿著玻璃基板I的預(yù)定切斷線形成裂縫區(qū)域3，接著，將激光2聚焦在沿板厚方向與之前形成的激光2的聚焦點不同的位置上，以再次形成裂縫區(qū)域。也可通過反復(fù)進行上述步驟而相對于預(yù)定切斷線形成多條裂縫區(qū)域3。
[0036]本發(fā)明的切斷方法中使用的激光2使用脈沖激光是較為理想的。在使用脈沖激光的情況下，可根據(jù)玻璃基板I的板厚、形成的裂縫區(qū)域3的大小等，任意地設(shè)定波長、脈沖寬度、重復(fù)頻率、照射時間及能量強度。
[0037]作為激光2，能優(yōu)選使用例如脈沖寬度進入5ps~IOps (ps:皮秒)的范圍的所謂皮秒激光。這種激光2因一次激光2的照射而形成于玻璃基板I的內(nèi)部的裂縫較小。當(dāng)提高上述激光2的重復(fù)頻率時，能形成由許多個微小的裂縫構(gòu)成的裂縫區(qū)域3。上述裂縫區(qū)域3在將玻璃基板I切斷之后難以從玻璃基板I的側(cè)面產(chǎn)生加工屑等，有助于提高玻璃基板I的潔凈度。
[0038]在對玻璃基板I進行切斷的工序中，通過施加`使上述裂縫區(qū)域3和上述透光面6的距離較近一側(cè)的透光面6a形成為凸形狀這樣的彎曲負載來將上述玻璃基板I折斷。即，在圖1中，對于玻璃基板I朝其大致垂直上方向，將用于折斷的彎曲負載從下側(cè)的透光面6b朝向上側(cè)的透光面6a施加。通過折斷對玻璃基板I施加應(yīng)力，并以形成于玻璃基板I的內(nèi)部的裂縫區(qū)域3為起點使該裂縫在板厚方向上延展，從而沿著玻璃基板I的預(yù)定切斷線來切斷玻璃基板。在圖1中，裂縫區(qū)域3與透光面6b之間的距離8比裂縫區(qū)域3與透光面6a之間的距離7大，因而下側(cè)的透光面6b與上側(cè)的透光面6a相比更加遠離裂縫區(qū)域3。
[0039]在對玻璃基板I進行切斷的工序中施加使上述裂縫區(qū)域3和上述透光面6的距離較近一側(cè)的透光面6a形成為凸形狀這樣的彎曲應(yīng)力的理由是，能利用較小的彎曲應(yīng)力將玻璃基板I切斷。當(dāng)將玻璃基板I折斷時，在玻璃基板I的切斷面上會因切斷時的沖擊而產(chǎn)生裂紋、缺口。因此，通過用較小的彎曲應(yīng)力進行折斷，能抑制在透光面6的切斷部的棱線上產(chǎn)生裂紋、缺口，因而切斷后的玻璃基板I具有較高的機械強度和潔凈度。另外，當(dāng)施加使上述裂縫區(qū)域3與上述透光面6的距離較遠一側(cè)的透光面6b形成為凸形狀這樣的彎曲應(yīng)力時，由于上述裂紋區(qū)域3與上述透光面6b的距離較遠，因此，從裂縫區(qū)域3延展出的裂縫有可能會脫離預(yù)定切斷線或蛇行等，導(dǎo)致切斷后的玻璃基板I的形狀精度變差。
[0040]玻璃基板I的切斷方法并不限定為通過上述折斷進行切斷的方法，也能使用公知的切斷方法。例如，也可使用通過將玻璃基板I粘合在具有伸縮性的粘接片上并拉伸該粘接片，從而在玻璃基板I的平面方向上施加應(yīng)力以進行切斷的方法。
[0041]作為本發(fā)明的切斷方法中使用的玻璃的材質(zhì)，無論何種材質(zhì)都能使用。例如，能恰當(dāng)?shù)厥褂门鸸杷猁}玻璃、石英玻璃、無堿玻璃、鋁硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃、氟磷酸鹽玻璃、鈉鈣玻璃等各種玻璃材質(zhì)。另外，作為玻璃基板，能優(yōu)選使用光學(xué)特性優(yōu)異的超白玻璃(日文:白板力' 7 >)、吸收紅外線的紅外線吸收玻璃。
[0042]另外，也可在玻璃基板I的透光面6上設(shè)置功能膜。作為功能膜，其是由單層或多層的金屬氧化物、金屬氟化物構(gòu)成的光學(xué)膜，且具有防止反射、隔斷紅外線、隔斷紫外線、隔斷紫外線及紅外線等合適的光學(xué)特性。
[0043]通過本發(fā)明的切斷方法切斷的玻璃基板能優(yōu)選用于較薄的板厚、且使用時施加有彎曲應(yīng)力的用途，例如上述固態(tài)攝像裝置的蓋玻璃、光學(xué)濾波器(將它們總稱為固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃)。此時，將裂縫區(qū)域與透光面的距離較近一側(cè)的透光面6a設(shè)為與固態(tài)攝像裝置的封裝件、其它光學(xué)濾波器貼合的貼合側(cè)是較為理想的。
[0044]作為其理由，裂縫區(qū)域與透光面的距離較近一側(cè)的透光面的切斷部的棱線與另一個透光面的切斷部的棱線相比，會產(chǎn)生較多裂紋。因此，通過將裂縫區(qū)域3與透光面的距離較近一側(cè)的透光面6a與其它構(gòu)件固接，能固定該透光面的切斷部的棱線，因此，可在彎曲應(yīng)力作用于玻璃基板時、抑制裂紋的延展。與此相對，裂縫區(qū)域與透光面的距離較遠一側(cè)的透光面的棱線的裂紋非常少，因此，即便有使該面形成為凸形狀這樣的彎曲應(yīng)力作用于玻璃基板，也難以產(chǎn)生以裂紋為起點的玻璃基板的破損，藉此，玻璃基板能表現(xiàn)出較高的彎曲強度。
[0045]圖2中示出了固態(tài)攝像裝置10的剖視圖。固態(tài)攝像裝置10將保護用光透過構(gòu)件13氣密地封接于內(nèi)置有由(XD、CM0S構(gòu)成的攝像元件11的封裝件12。另外，光學(xué)濾波器即近紅外線隔斷濾光玻璃15與低通濾波器14被設(shè)成貼合在封裝件12的被拍攝體一側(cè)。在使用本發(fā)明的玻璃基板的切斷方法將保護用光透過構(gòu)件13切斷的情況下，保護用光透過構(gòu)件13的與封裝件12貼合的貼合面為裂縫區(qū)域與透光面的距離較近一側(cè)的透光面6a是較為理想的。另外，在使用本發(fā)明的切斷方法將近紅外線隔斷濾光玻璃15切斷的情況下，近紅外線隔斷濾光玻璃15的與低通濾波器14貼合的貼合面為裂縫區(qū)域與透光面的距離較近一側(cè)的透光面6a是較為理想的。通過采用上述結(jié)構(gòu)，根據(jù)上述理由，在固態(tài)攝像裝置10中使用保護用光透過構(gòu)件13、近紅外線隔斷濾光玻璃15的情況下，能抑制各玻璃基板的破損等。
[0046]本發(fā)明的玻璃基板的切斷方法以裂縫區(qū)域遠離至少一方的透光面為特征，但除此之外，也可使裂縫區(qū)域遠離另一方的透光面。在上述情況下，在兩個透光面的切斷部的棱線上幾乎不存在裂紋，因此，即便有使任一透光面形成為凸形狀這樣的彎曲應(yīng)力施加于玻璃基板，在任一情況下，玻璃基板都難以破損，因而具有較高的機械強度。
[0047]這樣，在上述裂縫區(qū)域3遠離上述玻璃基板I的兩表面的透光面6、6而形成于玻璃基板的內(nèi)部的情況下，上述裂縫區(qū)域3形成為遠離上述玻璃基板I的兩表面的透光面6、6相當(dāng)于上述玻璃基板I的板厚的5%以上50%以下的距離是較為理想的。
[0048]本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃是具有在板厚方向上相對的兩個透光面和位于上述兩個透光面之間的側(cè)面的玻璃基板。上述側(cè)面是通過以聚焦點對準(zhǔn)玻璃基板的內(nèi)部的方式照射激光，以沿著預(yù)定切斷線在上述玻璃基板的板厚方向內(nèi)部形成作為切斷起點的裂縫區(qū)域，并使上述裂縫區(qū)域延展而形成的切斷面。此外，上述側(cè)面的上述裂紋區(qū)域與至少一方的上述透光面的距離`處于上述玻璃基板的板厚的20%以上是較為理想的。通過采用上述結(jié)構(gòu)，難以在切斷時與裂紋區(qū)域3分離的透光面6的切斷部的棱線上產(chǎn)生裂紋。
[0049]另外，在玻璃基板的制造過程、使用狀況下，假設(shè)存在彎曲應(yīng)力作用于玻璃基板而使透光面變?yōu)橥剐螤畹那闆r，較為理想的是，將上述裂縫區(qū)域與上述透光面之間的距離遠離上述玻璃基板的板厚的20%以上的透光面設(shè)為變成上述凸形狀的透光面。
[0050]本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃的側(cè)面中的上述裂縫區(qū)域的表面粗糙度Ra為1.0~3.0μ m，其側(cè)面中的上述裂縫區(qū)域與上述透光面之間的非裂縫區(qū)域的表面粗糙度Ra為0.01~0.5μ m是較為理想的。通過采用上述結(jié)構(gòu)，透光面與側(cè)面之間的棱線處于裂紋非常少的狀態(tài)，能提高玻璃的彎曲強度。另外，非裂縫區(qū)域是指玻璃的側(cè)面中的除了裂縫區(qū)域之外的部位。本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃在側(cè)面中，在裂縫區(qū)域與至少一方的上述透光面之間具有非裂縫區(qū)域。另外，在上下的透光面與裂縫區(qū)域之間分別具有非裂縫區(qū)域是更為理想的。若非裂縫區(qū)域的表面粗糙度Ra低于0.01 μ m，則難以加工。另外，若超過0.5 μ m，則可能會降低玻璃的機械強度。非裂縫區(qū)域的表面粗糙度Ra為0.02~
0.3 μ m是較為理想的。
[0051]本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃的上述側(cè)面的上述裂縫區(qū)域在板厚方向上的寬度處于上述玻璃基板的板厚的15%~60%是較為理想的。當(dāng)固態(tài)攝像裝置從透鏡側(cè)射入光時，在固態(tài)攝像元件的表面反射的光成為散射光，并在裝置內(nèi)多次反射，有時會對拍攝圖像產(chǎn)生影響。此處，由于玻璃側(cè)面的一部分成為裂縫區(qū)域，因此能使射入玻璃側(cè)面的散射光漫反射，從而能減小對拍攝圖像的影響。當(dāng)玻璃側(cè)面的裂縫區(qū)域的表面粗糙度Ra低于
1.0 μ m時,使散射光漫反射的效果較低，當(dāng)超過3.0 μ m時,可能會在搬運玻璃的過程中產(chǎn)生來自裂縫區(qū)域的玻璃屑。玻璃的側(cè)面的裂縫區(qū)域的表面粗糙度Ra為1.2~2.5 μ m是更為理想的。
[0052]本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃為高透過玻璃(通稱為超白玻璃)是較為理想的。超白玻璃是指將含有較少鐵成分等雜質(zhì)的高純度的原料熔融而制成的玻璃，并在可視區(qū)域的波長范圍中具有較高的透過率`。具體而言，是指B270玻璃(肖特(schott)公司制)、BK7玻璃(肖特公司制)、具有與上述玻璃類似的特性的玻璃。另外，超白玻璃在至少一方的透光面包括防止反射膜、紅外線隔斷膜是較為理想的。
[0053][實施例]
[0054]以下，基于本發(fā)明的實施例進行詳細說明，但本發(fā)明并不僅限定于這些實施例。
[0055]在以下的各實施例(例I~例3)及各比較例(例4、例5)中，作為切斷前的玻璃基板1，準(zhǔn)備了超白玻璃(肖特公司制、B270玻璃、尺寸:6英寸X6英寸、厚度:0.3mm)。
[0056]例I~例4在以下所述的條件下將玻璃基板I切斷為50mmX20mm的矩形狀。各例中使用的裂縫區(qū)域形成工序的條件為激光(波長:1064nm、脈沖寬度30pseC (皮秒)、頻率1MHz)、加工速度:100mm/sec、透鏡:ΝΑ0.7。另外，在切斷玻璃基板的工序中，通過折斷而沿著預(yù)定切斷線切斷為單片。另外，以形成表1所示的裂縫區(qū)域3的方式設(shè)定激光的焦距4、掃描次數(shù)。使激光的焦點對準(zhǔn)玻璃基板I的板厚方向中心附近。在例I及例4中，上表面透光面與裂縫區(qū)域的距離為Oμ m，但這是指用激光在玻璃基板的中心附近形成裂縫區(qū)域的起點，但以從該裂縫區(qū)域的起點到達上表面透光面的方式使裂縫延伸。
[0057]例5使用切割裝置以#600刀片、加工速度3mm/SeC的條件將玻璃基板I切斷成50mmX20mm的矩形。另外,在切斷玻璃基板的工序中，與例I~例4相同地通過折斷沿著預(yù)定切斷線切斷為單片。
[0058]接著，對成為單片的各例的玻璃基板的從各透光面到裂縫區(qū)域為止的距離(從上側(cè)透光面到裂縫區(qū)域為止的距離7以及從下側(cè)透光面到裂縫區(qū)域為止的距離8)及彎曲強度進行了測定。關(guān)于彎曲強度，根據(jù)JIS R1601:2008 “精密陶瓷的彎曲強度試驗方法”中記載的三點彎曲強度試驗，測定出斷裂載荷P (N)，并算出彎曲強度(MPa)。在彎曲強度試驗中，使表1的上側(cè)透光面朝向上方而進行了彎曲強度試驗。另外，裂縫區(qū)域與各透光面的距離及彎曲強度表示測定完各五片后的平均值。另外，表1的上側(cè)透光面是指使用于彎折玻璃基板的彎曲應(yīng)力作用的面，下側(cè)透光面是指該上側(cè)透光面的相反面。
[0059](表1)
[0060]
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃基板的切斷方法，包括: 以將聚焦點對準(zhǔn)包括在板厚方向上相對的兩個透光面的玻璃基板的內(nèi)部的方式照射激光，并沿著所述玻璃基板的預(yù)定切斷線，在所述玻璃基板的板厚方向內(nèi)部形成作為切斷起點的裂縫區(qū)域的工序；以及 以所述裂縫區(qū)域為起點產(chǎn)生在所述玻璃基板的厚度方向上生成的破裂，并沿著所述預(yù)定切斷線對所述玻璃基板進行切斷的工序， 所述切斷方法的特征在于， 所述裂縫區(qū)域遠離至少一方的所述透光面。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板的切斷方法，其特征在于， 所述裂縫區(qū)域與至少一方的所述透光面的距離處于所述玻璃基板的板厚的20%以上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板的切斷方法，其特征在于， 在切斷所述玻璃基板的工序中，通過施加使所述裂縫區(qū)域與所述透光面的距離較近一側(cè)的透光面形成為凸形狀這樣的彎曲負載，來將所述玻璃基板折斷。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的玻璃基板的切斷方法，其特征在于， 所述激光是皮秒激光。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的玻璃基板的切斷方法，其特征在于， 所述裂縫區(qū)域以遠離所述玻璃基板的兩面的透光面的方式形成于玻璃基板的內(nèi)部。
6.一種固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃，是具有在板厚方向上相對的兩個透光面和位于所述兩個透光面之間的側(cè)面的玻璃基板，其特征在于， 所述側(cè)面是通過以將聚焦點對準(zhǔn)玻璃基板的內(nèi)部的方式照射激光，以沿著預(yù)定切斷線在所述玻璃基板的板厚方向內(nèi)部形成作為切斷起點的裂縫區(qū)域，并使所述裂縫區(qū)域延展而形成的切斷面， 所述側(cè)面的所述裂縫區(qū)域與至少一方的所述透光面的距離處于所述玻璃基板的板厚的20%以上。
7.如權(quán)利要求6所述的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃，其特征在于， 所述側(cè)面的所述裂縫區(qū)域的表面粗糙度Ra為1.0~3.0 μ m，所述裂縫區(qū)域與所述透光面之間的非裂縫區(qū)域的表面粗糙度Ra為0.01~0.5 μ m。
8.如權(quán)利要求6或7所述的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃，其特征在于， 所述側(cè)面的所述裂縫區(qū)域在板厚方向上的寬度處于所述玻璃基板的板厚的15%~60%。
9.如權(quán)利要求6至8中任一項所述的固態(tài)攝像裝置用光學(xué)玻璃，其特征在于， 所述玻璃基板是超白玻璃。
【文檔編號】B23K26/38GK103732550SQ201280040273
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2012年8月16日 優(yōu)先權(quán)日:2011年8月19日
【發(fā)明者】大澤光生, 小花芳樹, 久野一秀 申請人:旭硝子株式會社