光源裝置的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具備有放電燈的光源裝置，特別涉及一種在放電燈射出的光的光路上設有光圈及快門的光源裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]從很早以前開始，在光學零件的粘合、涂料或膠粘劑的硬化、半導體制造的晶圓周邊曝光等方面所使用的光源裝置中，一直采用放電燈作為光源。該種類的放電燈是一種例如在氙燈中使氙(Xe)氣發(fā)光、在超高壓水銀燈中使水銀發(fā)光、在金屬齒化物燈中使水銀及金屬鹵化物發(fā)光的放電燈，以比發(fā)光管的直徑要短的電弧，即以較短的電極間距離放電，產(chǎn)生非常高亮度的光。
[0003]從放電燈射出的光通過反射鏡的反射、聚光被導光至光源裝置的射出口，并通過連接在射出口的光纖束等導光裝置射出外部。從放電燈放射出的光的光量，通過設在放電燈與射出口之間的光圈機構(gòu)進行調(diào)整。此外，從放電燈放射出的光的開啟/關(guān)閉(即光的射出/遮斷)，通過設在放電燈與射出口之間的快門機構(gòu)進行控制(例如專利文獻I)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0005]【專利文獻I】特開2000-057816號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的問題:
[0007]一般而言，光圈機構(gòu)或快門機構(gòu)通過旋轉(zhuǎn)螺線管等致動器驅(qū)動，但該致動器因受長時間使用引起的發(fā)熱或振動的影響、此外還因長時間不使用而引起的潤滑脂老化等影響而會出現(xiàn)經(jīng)年老化，因此需要定期更換。
[0008]專利文獻I所述光源裝置，構(gòu)成為:在放電燈與射出口之間設有內(nèi)箱，將由快門板或快門驅(qū)動部(旋轉(zhuǎn)螺線管)等構(gòu)成的快門機構(gòu)一體固定在該內(nèi)箱的蓋部(內(nèi)箱蓋)。并且，在更換快門機構(gòu)時，連同內(nèi)箱蓋一起更換，因此不需要進行更換時的快門定位等復雜操作。
[0009]不過，專利文獻I所述的光源裝置中，替換快門機構(gòu)時，需要進行以下一系列的操作:(1)拆下殼體的上面蓋、(2)從內(nèi)箱上拆下內(nèi)箱蓋、(3)拆下電氣配線(連接器)、⑷更換成新內(nèi)箱蓋、(5)連接電氣配線、(6)在內(nèi)箱上安裝內(nèi)箱蓋、(7)在殼體上安裝上面蓋等，因此存在替換快門機構(gòu)時所產(chǎn)生的停工時間(非運轉(zhuǎn)時間)依然未被縮短的問題。
[0010]本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于，提供一種可輕松替換快門機構(gòu)或光圈機構(gòu)，且可縮短停工時間(down time)的光源裝置。
[0011]解決問題的手段:
[0012]為達成上述目的，本發(fā)明的光源裝置，其特征在于，具備有:放電燈；橢圓反射鏡，其對放電燈放射出的光進行反射；箱形機殼，其收納放電燈及橢圓反射鏡，且在其前面板上設有射出光的射出口 ；及光量調(diào)整單元，其具有控制光的光量的光圈機構(gòu)、控制穿過光圈機構(gòu)的光的射出與遮斷的快門機構(gòu)、及支撐快門機構(gòu)與光圈機構(gòu)的大致箱形的外殼構(gòu)件。機殼一側(cè)面板上具有可插入光量調(diào)整單元的安裝開口部，外殼構(gòu)件在光量調(diào)整單元的插入方向后端，且外殼構(gòu)件具有可覆蓋安裝開口部的蓋體，光量調(diào)整單元從安裝開口部插入在機殼內(nèi)，以蓋體覆蓋安裝開口部的方式安裝在機殼一側(cè)面板上。
[0013]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，無需卸下機殼面板，便可替換光量調(diào)整單元，因此可大幅縮短停工時間。
[0014]此外，可構(gòu)成為:外殼構(gòu)件具有第I板狀構(gòu)件，其安裝在機殼一側(cè)面板上時，設置在橢圓反射鏡一側(cè)，具有使光通過的第I開口部；第2板狀構(gòu)件，其被安裝在機殼的側(cè)面板上時，以與第I板狀構(gòu)件相對的方式設置在第I板狀構(gòu)件與前面板之間，具有使光通過的第2開口部；及隔板，其將第I板狀構(gòu)件與第2板狀構(gòu)件之間的空間隔為:使第I開口部與第2開口部連通而使光通過的光透射區(qū)域、及用于遮光的遮光區(qū)域。這種情況下，優(yōu)選為隔板將第I開口部及第2開口部的周圍圍成槽形，光透射區(qū)域形成在由隔板包圍的空間內(nèi)。此夕卜，在這種情況下，優(yōu)選地，由隔板包圍的空間朝與光的光路呈正交的方向敞開。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在第I板狀構(gòu)件與第2板狀構(gòu)件之間的空間內(nèi)可輕松形成光透射區(qū)域及遮光區(qū)域，可將容易因光線中所含紫外線引起老化的電機零件設置在遮光區(qū)域內(nèi)。
[0015]此外，可構(gòu)成為:光圈機構(gòu)具有設置在光的光路上，用于改變透光量的調(diào)光元件；及用于驅(qū)動調(diào)光元件的第I致動器，第I致動器設置在遮光區(qū)域內(nèi)，調(diào)光元件設置在第2板狀構(gòu)件的外側(cè)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可避免第I致動器因光線中所含紫外線所導致的老化現(xiàn)象。
[0016]此外，調(diào)光元件可具備有:以橫穿光的光路方式設置的圓盤狀旋轉(zhuǎn)板、及開口面積沿著旋轉(zhuǎn)板的圓周方向連續(xù)變化而形成的網(wǎng)狀開口部。
[0017]此外，調(diào)光元件可具備有:以橫穿光的光路方式設置的圓盤狀旋轉(zhuǎn)板、及以沿旋轉(zhuǎn)板的圓周方向連續(xù)變化而形成的光學濾光片部。
[0018]此外，優(yōu)選地，第I致動器為使旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)的電機。
[0019]此外，可構(gòu)成為:快門機構(gòu)具有設置在光的光路上，且進行遮光的快門板；及將快門板在光的光路上進行前后驅(qū)動的第2致動器，第2致動器設置在遮光區(qū)域，快門板設置在第2板狀構(gòu)件的外側(cè)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可避免第2致動器因光線中所含紫外線所導致的老化現(xiàn)象。
[0020]此外，優(yōu)選地，調(diào)光元件設置在第2板狀構(gòu)件與快門板之間。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，從放電燈到快門板的距離比到調(diào)光元件的距離要長，因此可用較小的快門板對光量調(diào)整單元射出的光進行遮光。
[0021]此外，可構(gòu)成為:光源裝置具有吸入機殼外部空氣的進氣口 ；及將進氣口吸入的空氣排向機殼外部的排氣口，遮光區(qū)域形成有將進氣口吸入的空氣向排氣口流動的流道。這種情況下，優(yōu)選地，光量調(diào)整單元具備有連接構(gòu)件，其以在蓋體與外殼構(gòu)件之間形成中空部的方式，將蓋體與外殼構(gòu)件連接，中空部與遮光區(qū)域連通，當光量調(diào)整單元安裝在機殼一側(cè)面板上時，中空部及遮光區(qū)域形成有將進氣口吸入的空氣向排氣口流動的流道。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可有效冷卻設置在遮光區(qū)域的部件。
[0022]此外，優(yōu)選地，夕卜殼構(gòu)件與蓋體相對的一面，具有與快門機構(gòu)及光圈機構(gòu)作電性連接的第I連接機構(gòu)，機殼具有在該機殼的內(nèi)部與第I連接機構(gòu)配合的第2連接機構(gòu)，第I連接機構(gòu)或第2連接機構(gòu)的至少任意一方相對外殼構(gòu)件或機殼，留有規(guī)定間隙并固定。此外，在這種情況下，優(yōu)選地，第I連接機構(gòu)或第2連接機構(gòu)的至少任意一方，具有引導任意另一方并輔助相互之間的配合的導向機構(gòu)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于光量調(diào)整單元的加工誤差、裝配誤差、安裝位置誤差等通過間隙而吸收，因此光量調(diào)整單元被準確地定位在機殼內(nèi)。此外，第I連接機構(gòu)與第2連接機構(gòu)的配合可以順利地、準確地進行。
[0023]此外，可構(gòu)成為:機殼具有導軌，其當光量調(diào)整單元插入在機殼內(nèi)時，引導外殼構(gòu)件的插入。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可輕松插入光量調(diào)整單元。
[0024]發(fā)明效果:
[0025]如上所示，根據(jù)本發(fā)明的光源裝置，可輕松替換快門機構(gòu)及光圈機構(gòu)，且可大幅縮短光源裝置的停工時間。
[0026]【附圖說明】圖1是本發(fā)明的實施方式所涉及的光源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖2是說明本發(fā)明的實施方式所涉及的光源裝置的示意性結(jié)構(gòu)的透視圖。
[0028]圖3是說明本發(fā)明的實施方式的光源裝置所收納的致動器單元的示意性結(jié)構(gòu)的透視圖。
[0029]圖4是圖3所示致動器單元的分解透視圖。
[0030]圖5是說明本發(fā)明的實施方式所涉及的光源裝置的內(nèi)部空氣流動的圖。
[0031]圖6是圖5的A-A剖面圖。
[0032]圖7是示出了圖3所示致動器單元的變形例的透視圖。
[0033]圖8是示出了圖7所示致動器單元的變形例的分解透視圖。
[0034]圖中:
[0035]1:光源裝置
[0036]10:機殼
[0037]1a:前面板
[0038]1b:背面板
[0039]1c:右側(cè)面板
[0040]1d:左側(cè)面板
[0041]1da:開口部
[0042]1f:上面蓋
[0043]1e:底板
[0044]12:光連接器部
[0045]12a:射出口
[0046]14:燈單元
[0047]14a:前面板
[0048]14b:背面板
[0049]14c:右側(cè)面板
[0050]14ca:開口部
[0051]14d:左側(cè)面板
[0052]14g:遮光罩
[0053]15a ?15f、16:隔板
[0054]17:導軌
[0055]18:連接器
[0056]30:放電燈
[0057]31:接口
[0058]32:接口
[0059]40:橢圓反射鏡
[0060]50:驅(qū)動電路
[0061]51:AC 入口
[0062]100:致動器單元
[0063]100M:致動器單元
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