技術(shù)編號：8908968
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具備有放電燈的光源裝置，特別涉及一種在放電燈射出的光的光路上設(shè)有光圈及快門的光源裝置。背景技術(shù)從很早以前開始，在光學(xué)零件的粘合、涂料或膠粘劑的硬化、半導(dǎo)體制造的晶圓周邊曝光等方面所使用的光源裝置中，一直采用放電燈作為光源。該種類的放電燈是一種例如在氙燈中使氙(Xe)氣發(fā)光、在超高壓水銀燈中使水銀發(fā)光、在金屬齒化物燈中使水銀及金屬鹵化物發(fā)光的放電燈，以比發(fā)光管的直徑要短的電弧，即以較短的電極間距離放電，產(chǎn)生非常高亮度的光。從放電燈射出的光通過反...
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