專利名稱：一種離子源燈絲及其夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種離子源燈絲及其夾持裝置，特別適合于半導體工藝設(shè)備中的離子注入機。
背景技術(shù)：
離子注入機是半導體工藝中離子摻雜的典型設(shè)備，離子源產(chǎn)生需要摻雜的離子束，離子束再經(jīng)過質(zhì)量分析、校正、加速，傳輸?shù)教幱诎惺医K端工藝腔體的硅片表面。隨著半導體器件集成度越來越高，半導體工藝設(shè)備越來越復雜，對離子源的的束流要求也越來越高，因此對于離子源燈絲的要求也越來越高。對于注入工藝，低能量大束流
的離子注入機是發(fā)展的方向，而適用于該類離子注入機的離子源需要產(chǎn)生寬帶束或扁狀帶束。本發(fā)明正是基于應(yīng)用該類離子源而設(shè)計。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有半導體工藝中離子注入機設(shè)備發(fā)展的要求，本發(fā)明設(shè)計一種用于離子注入機離子源的燈絲及其夾持裝置。該裝置涉及到一種用于離子源的特別燈絲，用于發(fā)射強電子，以激發(fā)電極產(chǎn)出大量電子。該裝置亦涉及到一種夾持燈絲的的夾持裝置，該裝置包括燈絲聯(lián)接桿和絲夾，其中絲夾設(shè)計采用特別的刀形狀，用于夾持燈絲聯(lián)接桿；燈絲兩端嵌入燈絲聯(lián)接桿中。該裝置亦設(shè)計到一種電源輸入帶與絲夾的聯(lián)接，其采用雙螺栓聯(lián)接。本發(fā)明有以下幾個顯著特點I.功能效果明顯；2.結(jié)構(gòu)簡單，便于加工制造；


圖I是一種用于離子源燈絲及其夾持裝置組件的等軸測視圖。圖2是離子源燈絲的正視圖。圖3是絲夾的正視圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，但不作為對本發(fā)明專利的限定。本發(fā)明公開了一種用于離子注入機的離子源的燈絲及其夾持裝置，如圖I所示，和離子注入機用離子源一起使用。該離子源可以產(chǎn)生寬帶束或扁狀帶束。該裝置為使其正常工作強電子流。該裝置主要包括燈絲(I)、燈絲聯(lián)接桿(2)、石墨支撐板(3)、絕緣陶瓷座(4)、絲夾(5)和電源輸入帶(6)等。如圖I所示燈絲(I)嵌于燈絲聯(lián)接桿(2)上；其中燈絲(I)采用迷宮式旋轉(zhuǎn)對稱結(jié)構(gòu)，如圖2所示，通過此種結(jié)構(gòu)增加電流通過的長度，以使燈絲產(chǎn)生大量的電子。采用特別的絲夾(5)聯(lián)接燈絲聯(lián)接桿(2)和電源輸入帶(6)，其中絲夾(5)采用刀形結(jié)構(gòu)，如圖2所示，這樣的結(jié)構(gòu)既可以牢固的夾持燈絲聯(lián)接桿(2)，又有很好的導電性。石墨支撐板(3)安裝在絕緣陶瓷座(4)上，用來支撐附屬結(jié)構(gòu)。絕緣陶瓷座(4)與絲夾(5)采用雙螺栓聯(lián)接，增加聯(lián)接的緊固。其中，，絕緣陶瓷座(4)用于整個燈絲結(jié)構(gòu)與其他裝置的聯(lián)接，并起到隔離高電壓的作用。電源輸入帶￠)與絲夾(5)通過雙螺栓聯(lián)接，其中電源輸入帶(6)采用可變形金 屬材料，易于和電源相接。本發(fā)明的特定實施例已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應(yīng)的法律責任。
權(quán)利要求
1.一種離子源燈絲極其夾持裝置，特別適用于離子注入機用離子源。一種離子注入機用離子源，可以產(chǎn)生寬帶束或扁狀帶束，為使其正常工作發(fā)明一種燈絲及燈絲夾持裝置，以產(chǎn)生穩(wěn)定的強電子。主要包括燈絲(I)、燈絲聯(lián)接桿(2)、石墨支撐板(3)、絕緣陶瓷座(4)、絲夾(5)和電源輸入帶(6)等。
2.如權(quán)力要求I所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置，該裝置特征在于，采用特別的燈絲(I)安裝于燈絲聯(lián)接桿(2)上。
3.如權(quán)力要求I所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置，該裝置特征在于，采用特別的絲夾(5)聯(lián)接燈絲聯(lián)接桿(2)和電源輸入帶(6)。
4.如權(quán)力要求I所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置，該裝置特征在于，絲夾(5)與電源輸入帶(6)通過雙螺栓聯(lián)接。
5.如權(quán)力要求2所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置，該裝置特征在于，離子源的燈絲(I)采用迷宮式旋轉(zhuǎn)對稱結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)力要求3所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置，該裝置特征在于，絲夾(5)采用刀形結(jié)構(gòu)，既可以牢固的夾持燈絲聯(lián)接桿(2)，又有很好的導電性。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于離子注入機的離子源燈絲及其夾持裝置。一種離子注入機用離子源，可以產(chǎn)生寬帶束或扁狀帶束，為使其正常工作發(fā)明一種燈絲及燈絲夾持裝置，以產(chǎn)生穩(wěn)定的強電子。主要包括燈絲(1)、燈絲聯(lián)接桿(2)、石墨支撐板(3)、絕緣陶瓷座(4)、絲夾(5)和電源輸入帶(6)等。該裝置特征在于，采用特別的燈絲(1)安裝于燈絲聯(lián)接桿(2)上，并采用特別的絲夾(5)聯(lián)接燈絲聯(lián)接桿(2)和電源輸入帶(6)；燈絲(1)的設(shè)計可以發(fā)射高強度電子，絲夾(5)可以牢固的固定燈絲聯(lián)接桿(2)，并起到輸送高壓的作用。說明書對裝置工作原理進行了詳細的說明，并給出了具體的實施方案。
文檔編號H01J37/08GK102956421SQ20111024113
公開日2013年3月6日 申請日期2011年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月22日
發(fā)明者胡寶富, 彭立波, 伍三忠 申請人:北京中科信電子裝備有限公司