光罩除塵設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種光罩除塵設(shè)備，包括微處理器、激光探測棒、吸塵系統(tǒng)、導(dǎo)軌及驅(qū)動裝置；激光探測棒、吸塵系統(tǒng)與導(dǎo)軌均設(shè)置在光罩的正上方，激光探測棒與微處理器連接，激光探測棒用于檢測光罩上是否有異物并將檢測結(jié)果發(fā)送至微處理器；吸塵系統(tǒng)與驅(qū)動裝置均與微處理器連接，吸塵系統(tǒng)安裝在導(dǎo)軌上并且吸塵系統(tǒng)的吸塵口朝向光罩，驅(qū)動裝置安裝在導(dǎo)軌上用于驅(qū)動吸塵系統(tǒng)沿著導(dǎo)軌移動；微處理器用于根據(jù)激光探測棒的檢測結(jié)果控制驅(qū)動裝置及吸塵系統(tǒng)的作動。本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備可以對光罩進(jìn)行實(shí)時檢測，在發(fā)現(xiàn)光罩上有異物時對光罩進(jìn)行吸塵處理，從而提升面板的合格率。
【專利說明】
光罩除塵設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及光罩除塵技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光罩除塵設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著光學(xué)技術(shù)和半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display,IXD)已被廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品顯示裝置上。從一般的桌上型計(jì)算機(jī)所使用的小型液晶顯示器到被越來越多的人所青睞的液晶電視乃至于大型液晶顯示器，液晶顯示面板的尺寸越來越大。
[0003]由于目前平面顯示器的面板尺寸越來越大，因此，其光罩尺寸也必須隨之增大，與此同時，其制造成本也更為昂貴。當(dāng)進(jìn)行微影工序時，光罩表面的圖案若有異物(Particle)，其結(jié)果將使面板制造過程中成品率下降，甚至整個面板因此而報廢。
[0004]而，LCD曝光機(jī)在對面板進(jìn)行處理時，安裝光罩的吸附平臺上，吸附平臺帶動光罩來回移動，LCD曝光機(jī)內(nèi)部存在的Particle可能會掉落到光罩的上方，產(chǎn)生異常產(chǎn)品，只有等此生產(chǎn)工序結(jié)束時，才可以通過鐳射光檢測工序檢測光罩是否有異物，無法做到時時監(jiān)控，容易使面板的不良率提升。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于，提供一種光罩除塵設(shè)備，以解決上述技術(shù)問題。
[0006]本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種光罩除塵設(shè)備，包括微處理器、激光探測棒、吸塵系統(tǒng)、導(dǎo)軌及驅(qū)動裝置;其中，所述激光探測棒、所述吸塵系統(tǒng)與所述導(dǎo)軌均設(shè)置在光罩的正上方，所述激光探測棒與所述微處理器連接，所述激光探測棒用于檢測所述光罩上是否有異物并將檢測結(jié)果發(fā)送至所述微處理器;所述吸塵系統(tǒng)與所述驅(qū)動裝置均與所述微處理器連接，所述吸塵系統(tǒng)安裝在所述導(dǎo)軌上并且所述吸塵系統(tǒng)的吸塵口朝向所述光罩，所述驅(qū)動裝置安裝在所述導(dǎo)軌上用于驅(qū)動所述吸塵系統(tǒng)沿著所述導(dǎo)軌移動;微處理器用于根據(jù)所述激光探測棒的檢測結(jié)果控制所述驅(qū)動裝置及所述吸塵系統(tǒng)的作動。
[0007]進(jìn)一步地，所述光罩除塵設(shè)備還包括位置傳感器，所述位置傳感器與所述微處理器連接，用于感應(yīng)所述吸塵系統(tǒng)在所述導(dǎo)軌上的位置并將該應(yīng)到的位置信息發(fā)送至所述微處理器，所述微處理器根據(jù)位置信息控制所述驅(qū)動裝置的作動。
[0008]進(jìn)一步地，所述位置傳感器的數(shù)量為兩個并分布在所述導(dǎo)軌相對的兩端。
[0009]進(jìn)一步地，所述激光探測棒的數(shù)量為兩個，兩個激光探測棒平行且間隔地設(shè)置。
[0010]進(jìn)一步地，所述驅(qū)動裝置為馬達(dá)。
[0011]進(jìn)一步地，所述光罩除塵設(shè)備還包括支架，所述支架設(shè)置在LCD曝光機(jī)的吸附平臺上，所述激光探測棒與所述導(dǎo)軌均安裝在支架上。
[0012]本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備具有以下有益效果是:
[0013]本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備通過設(shè)置激光探測棒與微處理器連接，吸塵系統(tǒng)與驅(qū)動裝置及與微處理器連接，激光探測棒可以對光罩進(jìn)行實(shí)時檢測以檢測光罩上是否有異物并將檢測結(jié)果發(fā)送至微處理器，微處理器根據(jù)檢測結(jié)果控制吸塵系統(tǒng)與驅(qū)動裝置的作動，以在發(fā)現(xiàn)光罩上有異物時對光罩進(jìn)行吸塵處理，從而提升面板的合格率。
[0014]另外，本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備采用自動化控制，可以大大降低人力成本。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的光罩除塵設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型實(shí)施方式作進(jìn)一步地描述。
[0017]請參考圖1，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種光罩除塵設(shè)備，包括微處理器1、激光探測棒2、吸塵系統(tǒng)3、導(dǎo)軌4及驅(qū)動裝置(圖未示出)。
[0018]其中，激光探測棒2、吸塵系統(tǒng)3、導(dǎo)軌4均設(shè)置在光罩6的正上方。激光探測棒2與微處理器I連接并用于檢測光罩6上是否有異物，并將其檢測的結(jié)果發(fā)送至微處理器I。具體地，激光探測棒2上設(shè)置有鐳射光接收器，激光探測棒2首先發(fā)出鐳射光照射在光罩6上，當(dāng)光罩6上有異物時，則反射鐳射光至鐳射光接收器，激光探測棒2依據(jù)反射的鐳射光數(shù)量和時間，確定異物位置和大小，并在異物大于設(shè)定值，則確認(rèn)存在，然后鐳射光接收器將光罩6上存在異物的信號傳送給微處理器。
[0019]吸塵系統(tǒng)3與驅(qū)動裝置均與微處理器I連接，吸塵系統(tǒng)3安裝在導(dǎo)軌4上并且吸塵系統(tǒng)3的吸塵口朝向光罩6，驅(qū)動裝置安裝在導(dǎo)軌4上并用于驅(qū)動吸塵系統(tǒng)3沿著導(dǎo)軌4引動。微處理器I在接收到激光探測棒2采集到光罩6上有異物時，微處理器I控制吸塵系統(tǒng)3開始吸塵，并且控制驅(qū)動裝置驅(qū)動吸塵系統(tǒng)3沿著導(dǎo)軌4移動，在激光探測棒2檢測到光罩6上不再有異物時，微處理器I控制吸塵系統(tǒng)3停止吸塵并控制驅(qū)動裝置停止驅(qū)動吸塵系統(tǒng)3沿著導(dǎo)軌4移動，從而使得本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備可以對光罩6進(jìn)行實(shí)時檢測，在發(fā)現(xiàn)光罩6上有異物時對光罩6進(jìn)行吸塵處理，從而提升面板的良率。
[0020]在本實(shí)施例中，本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備還包括位置傳感器，位置傳感器與微處理器I連接，用于感應(yīng)吸塵系統(tǒng)3在導(dǎo)軌4上的位置信息并將該應(yīng)到的位置信息發(fā)送至微處理器I，微處理器I根據(jù)位置信息控制驅(qū)動裝置作動。具體地，位置傳感器的數(shù)量為兩個并設(shè)置于導(dǎo)軌4的第一端與第二端，當(dāng)微處理器I接收到激光探測棒2感應(yīng)到光罩6上存在異物的信號后，微處理器I開啟吸塵系統(tǒng)3對光罩6進(jìn)行除異物，同時微處理器I控制驅(qū)動裝置驅(qū)動吸塵系統(tǒng)3沿著導(dǎo)軌4移動，當(dāng)其中位于導(dǎo)軌4第一端的位置傳感器感應(yīng)到吸塵系統(tǒng)3后，即吸塵系統(tǒng)3被驅(qū)動至導(dǎo)軌4的第一端，然后微處理器I控制驅(qū)動裝置驅(qū)動吸塵系統(tǒng)3沿著導(dǎo)軌4向?qū)к?的第二端移動，至位于導(dǎo)軌4第二端的位置傳感器感應(yīng)到吸塵系統(tǒng)3后，即吸塵系統(tǒng)3被驅(qū)動至導(dǎo)軌4的第二端，此時微處理器I控制驅(qū)動裝置驅(qū)動吸塵系統(tǒng)3沿著導(dǎo)軌4向?qū)к?的第一端移動，如此吸塵系統(tǒng)3在導(dǎo)軌4上往復(fù)運(yùn)動對光罩6進(jìn)行反復(fù)去除異物，至激光探測棒2探測出光罩6上沒有異物時，微處理器I關(guān)閉驅(qū)動裝置，使驅(qū)動裝置不再驅(qū)動吸塵系統(tǒng)3移動，同時微處理器I關(guān)閉吸塵系統(tǒng)3，使吸塵系統(tǒng)停止工作。
[0021]在本實(shí)施例中，激光探測棒2的數(shù)量為兩個，兩個激光探測棒2平行且間隔地設(shè)置，以解決單個激光探測棒2無法檢測到光罩6的死角問題，提高探測異物的精度，從而提高面板的生產(chǎn)良率。
[0022]在本實(shí)施例中，驅(qū)動裝置可以為馬達(dá)，在其他實(shí)施例中，驅(qū)動裝置可以為氣缸、油缸等。
[0023]在本實(shí)施例中，本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備還包括支架，激光探測棒2與導(dǎo)軌4均安裝在支架上，激光探測棒2與導(dǎo)軌4通過支架設(shè)置在光罩6的上方?？梢岳斫獾氖牵Ъ茉O(shè)置在LCD曝光機(jī)的吸附平臺上，以保證整本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備可以隨著光罩6移動，對光罩6進(jìn)行實(shí)時檢測及實(shí)時處理光罩6上的異物。
[0024]本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備具有以下有益效果:
[0025]本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備通過設(shè)置激光探測棒2與微處理器I連接，吸塵系統(tǒng)3與驅(qū)動裝置與微處理器I連接，激光探測棒2可以對光罩6進(jìn)行實(shí)時檢測以檢測光罩6上是否有異物并將檢測結(jié)果發(fā)送至微處理器I，微處理器I根據(jù)檢測結(jié)果控制吸塵系統(tǒng)3與驅(qū)動裝置的作動，以在發(fā)現(xiàn)光罩6上有異物時對光罩6進(jìn)行吸塵處理，從而提升面板的良率。
[0026]另外，本實(shí)用新型的光罩除塵設(shè)備采用自動化控制，可以大大降低人力成本。
[0027]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光罩除塵設(shè)備，其特征在于，包括微處理器(I)、激光探測棒(2)、吸塵系統(tǒng)(3)、導(dǎo)軌(4)及驅(qū)動裝置;其中，所述激光探測棒(2)、所述吸塵系統(tǒng)(3)與所述導(dǎo)軌(4)均設(shè)置在光罩(6)的正上方，所述激光探測棒(2)與所述微處理器(I)連接，所述激光探測棒(2)用于檢測所述光罩(6)上是否有異物并將檢測結(jié)果發(fā)送至所述微處理器(I);所述吸塵系統(tǒng)(3)與所述驅(qū)動裝置均與所述微處理器(I)連接，所述吸塵系統(tǒng)(3)安裝在所述導(dǎo)軌(4)上并且所述吸塵系統(tǒng)(3)的吸塵口朝向所述光罩(6)，所述驅(qū)動裝置安裝在所述導(dǎo)軌(4)上用于驅(qū)動所述吸塵系統(tǒng)(3)沿著所述導(dǎo)軌(4)移動;微處理器(I)用于根據(jù)所述激光探測棒(2)的檢測結(jié)果控制所述驅(qū)動裝置及所述吸塵系統(tǒng)(3)的作動。2.如權(quán)利要求1所述的光罩除塵設(shè)備，其特征在于，所述光罩除塵設(shè)備還包括位置傳感器，所述位置傳感器與所述微處理器(I)連接，用于感應(yīng)所述吸塵系統(tǒng)(3)在所述導(dǎo)軌(4)上的位置并將該應(yīng)到的位置信息發(fā)送至所述微處理器(I)，所述微處理器(I)根據(jù)位置信息控制所述驅(qū)動裝置的作動。3.如權(quán)利要求1所述的光罩除塵設(shè)備，其特征在于，所述位置傳感器的數(shù)量為兩個并分布在所述導(dǎo)軌(4)相對的兩端。4.如權(quán)利要求1所述的光罩除塵設(shè)備，其特征在于，所述激光探測棒(2)的數(shù)量為兩個，兩個激光探測棒(2)平行且間隔地設(shè)置。5.如權(quán)利要求1所述的光罩除塵設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動裝置為馬達(dá)。6.如權(quán)利要求1所述的光罩除塵設(shè)備，其特征在于，所述光罩除塵設(shè)備還包括支架，所述支架設(shè)置在LCD曝光機(jī)的吸附平臺上，所述激光探測棒(2)與所述導(dǎo)軌(4)均安裝在支架上。
【文檔編號】G03F1/82GK205539918SQ201620049300
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月19日
【發(fā)明人】朱成磊, 孫磊
【申請人】昆山龍騰光電有限公司