具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及曝光設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。在計算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。
[0003]通常，曝光機(jī)照度調(diào)節(jié)采用手動調(diào)節(jié)的方式。具體調(diào)節(jié)過程是:測試曝光照度，根據(jù)測試結(jié)果調(diào)整光照度不符合要求的區(qū)域?qū)?yīng)的狹縫的寬度，重新測試曝光照度，如該區(qū)域的曝光照片仍不符合要求，再根據(jù)以上步驟反復(fù)地進(jìn)行調(diào)整和測試，一般手動調(diào)整六次認(rèn)上才能達(dá)到目的。因此，現(xiàn)有技術(shù)的曝光機(jī)在手動調(diào)節(jié)程序繁瑣復(fù)雜，難以控制調(diào)節(jié)精度，影響產(chǎn)品質(zhì)量，縮短設(shè)備使用壽命。
[0004]另外，現(xiàn)有技術(shù)的曝光機(jī)的智能化程度不高，在進(jìn)行機(jī)械工作時，沒有設(shè)置有效的安全測控功能，工作臺與光掩膜板易發(fā)生碰撞，損壞等離子面板和光掩膜板，將會對設(shè)備造成嚴(yán)重影響。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的是解決以上缺陷，提供具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其智能化程度高，提高精度和效率，可減少人工調(diào)整所需的時間。
[0006]本實(shí)用新型的目的是通過以下方式實(shí)現(xiàn)的:
[0007]具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺，機(jī)座的中端為曝光腔室，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)，操作平臺的底部設(shè)有控制電箱，操作平臺的頂部設(shè)有雙工位臺框、CCD自動對位裝置和操控面板，CCD自動對位裝置位于雙工位臺框的上方，雙工位臺框通過滑軌交替滑入曝光腔室內(nèi)，曝光腔室的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺和散熱裝置，散熱裝置位于曝光光源組的側(cè)面，該散熱裝置與冷卻機(jī)構(gòu)相連。
[0008]所述雙工位臺框上設(shè)有安全測控機(jī)構(gòu)和自動升降機(jī)構(gòu)，曝光光源組上設(shè)置有照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)，安全測控機(jī)構(gòu)、自動升降機(jī)構(gòu)、照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)組合構(gòu)成智能控制系統(tǒng)。其中，安全測控機(jī)構(gòu)包括用于檢測雙工位臺框位置的位移傳感器和報警器，當(dāng)檢測到雙工位臺框的位置未到達(dá)預(yù)設(shè)范圍時報警器進(jìn)行報警提醒。自動升降機(jī)構(gòu)包括位于雙工位臺框兩側(cè)的接觸式檢測探頭、安裝于雙工位臺框前后兩末端的位置檢測器和安裝于滑軌上的升降調(diào)整裝置。照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由光敏傳感器、縱向間距調(diào)節(jié)裝置和照度調(diào)節(jié)旋鈕構(gòu)成，縱向間距調(diào)節(jié)裝置位于曝光光源組的兩側(cè)，使曝光光源組能夠縱向微調(diào)，照度調(diào)節(jié)旋鈕包括手動微調(diào)旋鈕和分段自動調(diào)節(jié)旋鈕。
[0009]上述說明中，作為優(yōu)選的方案，所述分段自動調(diào)節(jié)旋鈕包括分段控制器和定位傳感器，該定位傳感器與光敏傳感器均與分段控制器連接。
[0010]上述說明中，作為優(yōu)選的方案，所述縱向間距調(diào)節(jié)裝置包括驅(qū)動器、傳動座、螺紋旋桿、縱向氣缸和縱向氣缸臂，傳動座與螺紋旋桿傳動連接，縱向氣缸固定在傳動座上，縱向氣缸臂設(shè)置在縱向氣缸上并與驅(qū)動器連接。
[0011 ] 上述說明中，作為優(yōu)選的方案，該智能控制系統(tǒng)還包括文件自動檢查機(jī)構(gòu)，該文件自動檢查機(jī)構(gòu)設(shè)置在控制電箱內(nèi)，其包括文件存儲模塊、信息導(dǎo)出模塊、打印模塊和數(shù)據(jù)處理模塊。
[0012]上述說明中，作為優(yōu)選的方案，所述CCD自動對位裝置包括由桿件和板件構(gòu)成支撐架，支撐架內(nèi)設(shè)有平面移動平臺，平面移動平臺上垂直設(shè)有旋轉(zhuǎn)支撐軸，旋轉(zhuǎn)支撐軸上端連接有真空吸附基板，旋轉(zhuǎn)支撐軸連接有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，支撐架上設(shè)有邊緣感測器，邊緣感測器設(shè)在真空吸附基板的一側(cè)。
[0013]上述說明中，作為優(yōu)選的方案，在支撐架上還設(shè)有調(diào)整滑道，調(diào)整滑道上設(shè)有用于安裝邊緣感測器的支撐框架，邊緣感測器與支撐框架連接。
[0014]本實(shí)用新型所產(chǎn)生的有益效果如下:
[0015]I)可根據(jù)控制信息對照度進(jìn)行調(diào)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)自動調(diào)控，從而簡化照度調(diào)節(jié)程序，便于實(shí)現(xiàn)對每個照度調(diào)節(jié)的單獨(dú)控制，提高了了照度調(diào)節(jié)的精度和效率；
[0016]2)智能控制系統(tǒng)的設(shè)計有利于提高產(chǎn)品的良品率，同時減少人為調(diào)節(jié)所需的時間；
[0017]3)安全測控機(jī)構(gòu)能夠確保曝光機(jī)在工作時的出錯率，同時確保出現(xiàn)錯誤時對產(chǎn)品本身的身我保護(hù)；
[0018]4)通過曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)可時刻監(jiān)控曝光過程的所有數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)透切的監(jiān)控過程，避免出現(xiàn)任何錯誤和問題，進(jìn)而提高了曝光機(jī)的正確率和工作效率。
【附圖說明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中智能控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框架圖；
[0021]圖中，I為操作平臺，2為曝光腔室，3為冷卻機(jī)構(gòu)，4為控制電箱，5為雙工位臺框，6為滑軌。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖與【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0023]本實(shí)施例，參照圖1和圖2，其具體實(shí)施的曝光機(jī)包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺1，機(jī)座的中端為曝光腔室2，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)3。操作平臺I的底部設(shè)有控制電箱4，操作平臺I的頂部設(shè)有雙工位臺框5、CCD自動對位裝置和操控面板，CCD自動對位裝置位于雙工位臺框5的上方，雙工位臺框5通過滑軌6交替滑入曝光腔室2內(nèi)，曝光腔室2的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺和散熱裝置，散熱裝置位于曝光光源組的側(cè)面，該散熱裝置與冷卻機(jī)構(gòu)3相連。
[0024]為了提高本實(shí)用新型的曝光機(jī)的智能控制能力，確保智能化操作，其增設(shè)有由安全測控機(jī)構(gòu)、自動升降機(jī)構(gòu)、照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)組合構(gòu)成的智能控制系統(tǒng)。另外，該智能控制系統(tǒng)還包括文件自動檢查機(jī)構(gòu)，該文件自動檢查機(jī)構(gòu)設(shè)置在控制電箱4內(nèi)，其包括文件存儲模塊、信息導(dǎo)出模塊、打印模塊和數(shù)據(jù)處理模塊。
[0025]其中，雙工位臺框5上設(shè)有安全測控機(jī)構(gòu)和自動升降機(jī)構(gòu)，曝光光源組上設(shè)置有照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)。安全測控機(jī)構(gòu)包括用于檢測雙工位臺框5位置的位移傳感器和報警器，當(dāng)檢測到雙工位臺框5的位置未到達(dá)預(yù)設(shè)范圍時報警器進(jìn)行報警提醒。自動升降機(jī)構(gòu)包括位于雙工位臺框5兩側(cè)的接觸式檢測探頭、安裝于雙工位臺框5前后兩末端的位置檢測器和安裝于滑軌6上的升降調(diào)整裝置。照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由光敏傳感器、縱向間距調(diào)節(jié)裝置和照度調(diào)節(jié)旋鈕構(gòu)成，縱向間距調(diào)節(jié)裝置位于曝光光源組的兩側(cè)，使曝光光源組能夠縱向微調(diào)，照度調(diào)節(jié)旋鈕包括手動微調(diào)旋鈕和分段自動調(diào)節(jié)旋鈕。分段自動調(diào)節(jié)旋鈕包括分段控制器和定位傳感器，該定位傳感器與光敏傳感器均與分段控制器連接。所述縱向間距調(diào)節(jié)裝置包括驅(qū)動器、傳動座、螺紋旋桿、縱向氣缸和縱向氣缸臂，傳動座與螺紋旋桿傳動連接，縱向氣缸固定在傳動座上，縱向氣缸臂設(shè)置在縱向氣缸上并與驅(qū)動器連接。
[0026]以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施例對本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不能認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說明。對于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺，機(jī)座的中端為曝光腔室，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)，操作平臺的底部設(shè)有控制電箱，操作平臺的頂部設(shè)有雙工位臺框、CCD自動對位裝置和操控面板，CCD自動對位裝置位于雙工位臺框的上方，雙工位臺框通過滑軌交替滑入曝光腔室內(nèi)，曝光腔室的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺和散熱裝置，散熱裝置位于曝光光源組的側(cè)面，該散熱裝置與冷卻機(jī)構(gòu)相連，其特征在于:所述雙工位臺框上設(shè)有安全測控機(jī)構(gòu)和自動升降機(jī)構(gòu)，曝光光源組上設(shè)置有照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)，安全測控機(jī)構(gòu)、自動升降機(jī)構(gòu)、照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)組合構(gòu)成智能控制系統(tǒng)；其中，安全測控機(jī)構(gòu)包括用于檢測雙工位臺框位置的位移傳感器和報警器，當(dāng)檢測到雙工位臺框的位置未到達(dá)預(yù)設(shè)范圍時報警器進(jìn)行報警提醒，自動升降機(jī)構(gòu)包括位于雙工位臺框兩側(cè)的接觸式檢測探頭、安裝于雙工位臺框前后兩末端的位置檢測器和安裝于滑軌上的升降調(diào)整裝置；照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由光敏傳感器、縱向間距調(diào)節(jié)裝置和照度調(diào)節(jié)旋鈕構(gòu)成，縱向間距調(diào)節(jié)裝置位于曝光光源組的兩側(cè)，使曝光光源組能夠縱向微調(diào)，照度調(diào)節(jié)旋鈕包括手動微調(diào)旋鈕和分段自動調(diào)節(jié)旋鈕。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:所述分段自動調(diào)節(jié)旋鈕包括分段控制器和定位傳感器，該定位傳感器與光敏傳感器均與分段控制器連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:所述縱向間距調(diào)節(jié)裝置包括驅(qū)動器、傳動座、螺紋旋桿、縱向氣缸和縱向氣缸臂，傳動座與螺紋旋桿傳動連接，縱向氣缸固定在傳動座上，縱向氣缸臂設(shè)置在縱向氣缸上并與驅(qū)動器連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:該智能控制系統(tǒng)還包括文件自動檢查機(jī)構(gòu)，該文件自動檢查機(jī)構(gòu)設(shè)置在控制電箱內(nèi)，其包括文件存儲模塊、信息導(dǎo)出模塊、打印模塊和數(shù)據(jù)處理模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:所述CCD自動對位裝置包括由桿件和板件構(gòu)成支撐架，支撐架內(nèi)設(shè)有平面移動平臺，平面移動平臺上垂直設(shè)有旋轉(zhuǎn)支撐軸，旋轉(zhuǎn)支撐軸上端連接有真空吸附基板，旋轉(zhuǎn)支撐軸連接有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，支撐架上設(shè)有邊緣感測器，邊緣感測器設(shè)在真空吸附基板的一側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述具有智能控制系統(tǒng)的曝光機(jī)，其特征在于:在支撐架上還設(shè)有調(diào)整滑道，調(diào)整滑道上設(shè)有用于安裝邊緣感測器的支撐框架，邊緣感測器與支撐框架連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了曝光設(shè)備領(lǐng)域的曝光機(jī)，包括機(jī)座，機(jī)座的前端為操作平臺，機(jī)座的中端為曝光腔室，機(jī)座的后端為冷卻機(jī)構(gòu)，操作平臺的頂部設(shè)有雙工位臺框、CCD自動對位裝置和操控面板，曝光腔室的內(nèi)部設(shè)有曝光光源組、位于曝光光源組下方的曝光臺和散熱裝置，所述雙工位臺框上設(shè)有安全測控機(jī)構(gòu)和自動升降機(jī)構(gòu)，曝光光源組上設(shè)置有照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)，安全測控機(jī)構(gòu)、自動升降機(jī)構(gòu)、照度自動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和曝光能量監(jiān)控機(jī)構(gòu)組合構(gòu)成智能控制系統(tǒng)。智能控制系統(tǒng)的設(shè)計有利于提高產(chǎn)品的良品率，同時減少人為調(diào)節(jié)所需的時間；同時確保出現(xiàn)錯誤時對產(chǎn)品本身的身我保護(hù)；避免出現(xiàn)任何錯誤和問題，進(jìn)而提高了曝光機(jī)的正確率和工作效率。
【IPC分類】G03F7-20
【公開號】CN204347433
【申請?zhí)枴緾N201420807123
【發(fā)明人】袁強(qiáng), 劉長征
【申請人】東莞市海圣光電科技有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2014年12月17日