光刻膠桶輔助裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于光刻膠桶的裝置，具體是一種光刻膠桶輔助裝置，屬于光刻膠桶配件技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，導(dǎo)體黃光工藝包含上光阻、曝光以及顯影三道工序。其中，上光阻是指在晶元上涂抹光刻膠，形成光刻膠膜的過(guò)程；曝光是利用曝光光束將覆有光刻膠膜的晶元進(jìn)行照射，形成圖案；而顯影則是最后的操作，具體是將曝光形成的圖案再經(jīng)顯影工序顯現(xiàn)出來(lái)。
[0003]目前，一般使用旋轉(zhuǎn)式涂布機(jī)去完成第一道的上光阻工序，晶元旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，一定量的光刻膠噴涂于晶元中心部位，并借助離心力作用，均勻由內(nèi)向外擴(kuò)散到晶元邊緣部位，完成整個(gè)上光阻工序。操作時(shí)，為了防止污染環(huán)境，供給旋轉(zhuǎn)式涂布機(jī)的光刻膠A—般裝在光刻膠桶I內(nèi)，如圖1所示，光刻膠桶I放置在固定支架3內(nèi)，光刻膠桶I內(nèi)插有引流導(dǎo)管2，桶內(nèi)的光刻膠A經(jīng)引流導(dǎo)管2通過(guò)引流抽取的方式供給于旋轉(zhuǎn)式涂布機(jī)；待光刻膠桶I內(nèi)的光刻膠A使用殆盡，則更換新的光刻膠桶I即可。但在實(shí)際操作過(guò)程中，光刻膠桶I底部的光刻膠A將有殘余，在光刻膠A無(wú)法完全利用的狀態(tài)下更換膠桶，造成光刻膠的浪費(fèi)。而光刻膠屬于高成本物料，無(wú)法利用的光刻膠在一定程度上增加了生產(chǎn)成本，降低了光刻膠的利用率。
[0004]此外，因光刻膠A對(duì)光照比較敏感，為防止光照進(jìn)入光刻膠桶I內(nèi)，光刻膠桶I 一般選用深色系顏色，操作者無(wú)法從外部直接觀測(cè)光刻膠桶I內(nèi)光刻膠A的含量。而光刻膠桶I外側(cè)也沒(méi)有設(shè)置可以測(cè)量液位的傳感器，故無(wú)法獲知光刻膠桶I內(nèi)光刻膠A的殘余量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種光刻膠桶輔助裝置，能夠最大限度地減少光刻膠桶內(nèi)光刻膠的殘余量，提高光刻膠的利用率。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架，固定支架內(nèi)側(cè)放置有光刻膠桶，光刻膠桶內(nèi)插有引流導(dǎo)管，還包括驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和控制結(jié)構(gòu)，所述固定支架安裝在驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)上方，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝在固定支架的下方，用于調(diào)整固定支架的傾斜度；所述控制結(jié)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)連接，用于控制驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)工作。
[0007]所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括左側(cè)驅(qū)動(dòng)軸和右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸，所述左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸分別位于固定支架下兩側(cè)，通過(guò)調(diào)節(jié)固定支架左右兩側(cè)的高度調(diào)整固定支架的傾斜度。
[0008]所述控制結(jié)構(gòu)以時(shí)間為基準(zhǔn)設(shè)置固定支架及固定支架內(nèi)光刻膠桶的傾斜角度，固定支架及固定支架內(nèi)的光刻膠桶在驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的作用下根據(jù)事前設(shè)置的幅度傾斜。
[0009]所述控制結(jié)構(gòu)包括馬達(dá)和控制器，所述控制器根據(jù)內(nèi)設(shè)的時(shí)間控制馬達(dá)的工作狀況，帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)工作調(diào)整固定支架及光刻膠桶的傾斜度。
[0010]所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)上還安裝有停止感應(yīng)器，當(dāng)固定支架的底部觸碰到停止感應(yīng)器時(shí)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)停止工作，固定支架及光刻膠桶將停止傾斜。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過(guò)用于調(diào)節(jié)固定支架傾斜度的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和用于控制驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)工作的控制結(jié)構(gòu)，可將固定支架內(nèi)的光刻膠桶傾斜放置，充分利用光刻膠桶內(nèi)的光刻膠，隨著光刻膠桶傾斜的角度越來(lái)越大，光刻膠桶內(nèi)光刻膠的殘余量越來(lái)越少，直至耗盡重發(fā)被利用，進(jìn)而最大限度地減少光刻膠的殘余量，提高光刻膠的利用率。同時(shí)，光刻膠的充分利用，減少了排出的光刻膠廢液，從而減輕了對(duì)環(huán)境的污染。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為現(xiàn)有光刻膠桶使用方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型使用方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3為本實(shí)用新型后期使用方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖中:1、光刻膠桶，2、引流導(dǎo)管，3、固定支架，4、驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，4A、左側(cè)驅(qū)動(dòng)軸，4B、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸，5、控制結(jié)構(gòu)，A、光刻膠。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0017]如圖2和圖3所示，一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架3，固定支架3內(nèi)側(cè)放置有光刻膠桶1，光刻膠桶I內(nèi)插有引流導(dǎo)管2，還包括驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4和控制結(jié)構(gòu)5，所述固定支架3安裝在驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4上方，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4安裝在固定支架3的下方，用于調(diào)整固定支架3的傾斜度；所述控制結(jié)構(gòu)5與驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4連接，用于控制驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4工作。
[0018]如圖2所示，啟動(dòng)控制結(jié)構(gòu)5，控制結(jié)構(gòu)5帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4工作，對(duì)固定支架3進(jìn)行傾斜度調(diào)整，固定支架3內(nèi)的光刻膠桶I會(huì)連同固定支架3 —同傾斜。這樣，可以保證光刻膠桶I內(nèi)光刻膠A的量逐漸減少，通過(guò)將光刻膠桶I傾斜放置來(lái)增加光刻膠A的使用量，進(jìn)而最大限度的減少了光刻膠桶I內(nèi)光刻膠A的殘余量，提高了光刻膠的利用率。其中，控制結(jié)構(gòu)5的設(shè)置能夠保證傾斜角度的準(zhǔn)確性。
[0019]優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4可包括左側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A和右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4B，所述左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A、4B分別位于固定支架3下兩側(cè)，可通過(guò)調(diào)節(jié)固定支架3左右兩側(cè)的高度來(lái)調(diào)整固定支架3及光刻膠桶I的傾斜度，因在控制結(jié)構(gòu)5的控制下，可分別對(duì)左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A、4B進(jìn)行高度調(diào)節(jié)，即左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A、4B可完成不同幅度的上下升降工作，故能夠?qū)崿F(xiàn)固定支架3及光刻膠桶I不同程度的傾斜。
[0020]所述控制結(jié)構(gòu)5可以以時(shí)間為基準(zhǔn)設(shè)置固定支架3及固定支架3內(nèi)光刻膠桶I的傾斜角度，固定支架3及固定支架3內(nèi)的光刻膠桶I在驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4的作用下根據(jù)事前設(shè)置的幅度傾斜。通過(guò)時(shí)間設(shè)定，控制結(jié)構(gòu)5向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4發(fā)送信號(hào)，控制驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4進(jìn)行傾斜度調(diào)節(jié)工作，即根據(jù)時(shí)間的設(shè)定，光刻膠桶I逐漸發(fā)生傾斜；如:可向左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A、4B發(fā)送信號(hào)，控制左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A、4B進(jìn)行不同幅度的上下升降動(dòng)作；控制結(jié)構(gòu)5內(nèi)時(shí)間的設(shè)定可與左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A、4B的高度相關(guān)，左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A、4B根據(jù)時(shí)間的社東，其高度作出相應(yīng)的變化，從而實(shí)現(xiàn)光刻膠桶I的可控性傾斜。其中，時(shí)間設(shè)定的最小單位為I小時(shí)，最大單位為48小時(shí)，光刻膠A使用周期的變化，不會(huì)影響本實(shí)用新型光刻膠桶輔助裝置的使用。
[0021]所述控制結(jié)構(gòu)5包括馬達(dá)和控制器，所述控制器根據(jù)內(nèi)設(shè)的時(shí)間控制馬達(dá)的工作狀況，帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4工作調(diào)整固定支架3及光刻膠桶I的傾斜度。馬達(dá)在控制器內(nèi)程序命令指引下，帶動(dòng)左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸4A、4B完成相應(yīng)幅度的上下升降動(dòng)作，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)固定支架3及光刻膠桶I傾斜度的調(diào)整。
[0022]因光刻膠桶I在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4工作過(guò)程中逐漸發(fā)生傾斜，為了防止光刻膠桶I過(guò)度傾斜而傾倒，可在所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4上安裝停止感應(yīng)器，當(dāng)固定支架3的底部觸碰到停止感應(yīng)器時(shí)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)4停止工作，固定支架3及光刻膠桶I將不再傾斜，能最大限度的減少光刻膠桶I內(nèi)光刻膠A的殘余量，提高了光刻膠的利用率。
[0023]由上述結(jié)構(gòu)可見(jiàn)，本實(shí)用新型通過(guò)增設(shè)用于調(diào)節(jié)固定支架傾斜度的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和用于控制驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)工作的控制結(jié)構(gòu)，可將固定支架內(nèi)的光刻膠桶傾斜放置，充分利用光刻膠桶內(nèi)的光刻膠，隨著光刻膠桶傾斜的角度越來(lái)越大，光刻膠桶內(nèi)光刻膠的殘余量越來(lái)越少，直至耗盡無(wú)法被利用，進(jìn)而最大限度的減少光刻膠的殘余量，提高光刻膠的利用率。而排出的光刻膠廢液的減少，某種程度上降低了對(duì)環(huán)境的污染。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架⑶，固定支架⑶內(nèi)側(cè)放置有光刻膠桶⑴，光刻膠桶(I)內(nèi)插有引流導(dǎo)管(2)，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)和控制結(jié)構(gòu)(5)，所述固定支架(3)安裝在驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)上方，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)安裝在固定支架(3)的下方，用于調(diào)整固定支架(3)的傾斜度；所述控制結(jié)構(gòu)(5)與驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)連接，用于控制驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)工作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)包括左側(cè)驅(qū)動(dòng)軸(4A)和右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸(4B)，所述左、右側(cè)驅(qū)動(dòng)軸(4A、4B)分別位于固定支架(3)下兩側(cè)，通過(guò)調(diào)節(jié)固定支架(3)左右兩側(cè)的高度調(diào)整固定支架(3)的傾斜度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述控制結(jié)構(gòu)(5)以時(shí)間為基準(zhǔn)設(shè)置固定支架(3)及固定支架(3)內(nèi)光刻膠桶(I)的傾斜角度，固定支架(3)及固定支架(3)內(nèi)的光刻膠桶(I)在驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)的作用下根據(jù)事前設(shè)置的幅度傾斜。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述控制結(jié)構(gòu)(5)包括馬達(dá)和控制器，所述控制器根據(jù)內(nèi)設(shè)的時(shí)間控制馬達(dá)的工作狀況，帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)工作調(diào)整固定支架(3)及光刻膠桶(I)的傾斜度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)上還安裝有停止感應(yīng)器，當(dāng)固定支架(3)的底部觸碰到停止感應(yīng)器時(shí)，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)停止工作，固定支架(3)及光刻膠桶(I)將停止傾斜。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架(3)，固定支架(3)內(nèi)側(cè)放置有光刻膠桶(1)，光刻膠桶內(nèi)插有引流導(dǎo)管(2)，還包括驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(4)和控制結(jié)構(gòu)(5)，固定支架安裝在驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)上方，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝在固定支架的下方，用于調(diào)整固定支架的傾斜度；控制結(jié)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)連接，用于控制驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)工作。本實(shí)用新型通過(guò)增設(shè)用于調(diào)節(jié)固定支架傾斜度的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)和用于控制驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)工作的控制結(jié)構(gòu)，可將固定支架內(nèi)的光刻膠桶傾斜放置，充分利用光刻膠桶內(nèi)的光刻膠，隨著光刻膠桶傾斜的角度越來(lái)越大，光刻膠桶內(nèi)光刻膠的殘余量越來(lái)越少，直至耗盡無(wú)法被利用，進(jìn)而最大限度的減少光刻膠的殘余量，提高光刻膠的利用率。
【IPC分類】G03F7-16
【公開(kāi)號(hào)】CN204331288
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420797611
【發(fā)明人】崔相玉, 魏明德, 金惠東, 金度亨
【申請(qǐng)人】徐州同鑫光電科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月13日
【申請(qǐng)日】2014年12月16日