感光性樹脂材料和樹脂膜的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種感光性樹脂材料和樹脂膜，具體而言，涉及一種用于形成永久膜 的感光性樹脂材料。
【背景技術(shù)】
[0002] 作為形成構(gòu)成再布線層的絕緣層等構(gòu)成電子裝置的永久膜的材料，有時(shí)使用感光 性樹脂材料。作為這樣的技術(shù)，例如可以舉出專利文獻(xiàn)1和2中記載的技術(shù)。
[0003] 專利文獻(xiàn)1中記載的技術(shù)涉及一種用于形成永久抗蝕劑的感光性樹脂組合物。在 專利文獻(xiàn)2中記載了一種含有特定結(jié)構(gòu)的酰亞胺化的四羧酸、二胺和/或異氰酸酯系化合 物、感光性樹脂以及光聚合引發(fā)劑，且粘度在25°C時(shí)為lOOmPa*s以下的感光性樹脂組合物 溶液。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2008-180992號(hào)公報(bào)
[0007] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2010-006864號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 發(fā)明所要解決的課題
[0009] 對(duì)使用感光性樹脂材料所形成的樹脂膜，例如使用光刻進(jìn)行圖案化。然而，有時(shí)起 因于顯影所使用的溶解液，在樹脂膜表面產(chǎn)生相對(duì)于該溶解液為難溶的白化層。此時(shí)，在圖 案化時(shí)，擔(dān)心難以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的加工性。因此，關(guān)于使用感光性樹脂材料所形成的樹脂膜，要 求維持作為永久膜的性能，并且實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的加工性。
[0010] 用于解決課題的技術(shù)方案
[0011] 根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于形成永久膜的感光性樹脂材料，其含有具有酚性羥基 的堿可溶性樹脂（A)和感光劑（B)，通過(guò)無(wú)火焰原子吸光分析所測(cè)得的、鐵相對(duì)于不揮發(fā)成 分整體的含量為〇? 005ppm以上80ppm以下。
[0012] 根據(jù)本發(fā)明，提供一種樹脂膜，其是使上述的感光性樹脂材料固化而得到的。
[0013] 根據(jù)本發(fā)明，提供一種樹脂膜，其構(gòu)成永久膜，該樹脂膜是使含有具有酚性羥基的 堿可溶性樹脂（A)和感光劑（B)的感光性樹脂材料固化而得到的，并且通過(guò)無(wú)火焰原子吸 光分析所測(cè)得的鐵的含量為〇. 〇〇5ppm以上80ppm以下。
[0014] 發(fā)明效果
[0015] 根據(jù)本發(fā)明，關(guān)于使用感光性樹脂材料所形成的樹脂膜，能夠維持作為永久膜的 性能，并且實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的加工性。
【附圖說(shuō)明】
[0016] 上述的目的及其它的目的、特征及優(yōu)點(diǎn)通過(guò)如下所述的優(yōu)選實(shí)施方式及其附帶的 以下附圖更明了。
[0017] 圖1是表示本實(shí)施方式涉及的電子裝置的一個(gè)例子的剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018] 下面，使用附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，在所有的附圖中，對(duì)同樣的構(gòu)成要素 賦予同樣的符號(hào)，適當(dāng)省略說(shuō)明。
[0019] 本實(shí)施方式涉及的感光性樹脂材料為用于形成永久膜的感光性樹脂材料，含有具 有酚性羥基的堿可溶性樹脂（A)和感光劑（B)。另外，感光性樹脂材料的通過(guò)無(wú)火焰原子吸 光分析所測(cè)得的、鐵相對(duì)于不揮發(fā)成分整體的含量為〇. 〇〇5ppm以上80ppm以下。
[0020] 本發(fā)明人新發(fā)現(xiàn)，通過(guò)將感光性樹脂材料的鐵相對(duì)于不揮發(fā)成分整體的含量設(shè)為 上述范圍，關(guān)于使用感光性樹脂材料所形成的樹脂膜，能夠維持作為永久膜的性能，并且抑 制光刻時(shí)的白化層的產(chǎn)生。所謂作為永久膜的性能，例如可以舉出通過(guò)HAST試驗(yàn)等所評(píng)價(jià) 的耐久性。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，關(guān)于使用感光性樹脂材料所形成的樹脂膜，能夠維持作 為永久膜的性能，并且實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的加工性。
[0021] 下面，對(duì)本實(shí)施方式涉及的感光性樹脂材料以及具備通過(guò)感光性樹脂材料所形成 的永久膜的電子裝置的構(gòu)成，進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。
[0022] 首先，對(duì)本實(shí)施方式涉及的感光性樹脂材料進(jìn)行說(shuō)明。
[0023] 感光性樹脂材料可以用于形成永久膜。通過(guò)使感光性樹脂材料固化能夠得到構(gòu)成 永久膜的樹脂膜。在本實(shí)施方式中，例如將通過(guò)感光性樹脂材料所構(gòu)成的涂膜通過(guò)曝光和 顯影而圖案化成所期望的形狀后，通過(guò)熱處理等使該涂膜固化，由此形成永久膜。
[0024] 作為使用感光性樹脂材料所形成的永久膜，例如可以舉出：層間膜、表面保護(hù)膜或 壩材（dammaterial)。永久膜的用途不限定于此，但不包括作為彩色濾光片和黑矩陣等對(duì) 可見(jiàn)光具有較高的遮光性的膜的用途。
[0025] 層間膜是指多層結(jié)構(gòu)中所設(shè)的絕緣膜，其種類沒(méi)有特別限定。作為層間膜，例如 可以舉出：構(gòu)成半導(dǎo)體元件的多層布線結(jié)構(gòu)的層間絕緣膜、構(gòu)成電路板的積層（built-up) 或者芯層等半導(dǎo)體裝置用途中所使用的膜。另外，作為層間膜，例如可以舉出：覆蓋顯示裝 置中的薄膜晶體管（TFT(ThinFilmTransistor))的平坦化膜、液晶取向膜、MVA(Multi DomainVerticalAlignment)型液晶顯示裝置的彩色濾光片基板上所設(shè)的突起或者用于 形成有機(jī)EL元件的陰極的隔壁等顯示裝置用途中所使用的膜。
[0026] 表面保護(hù)膜是指形成在電子部件、電子裝置的表面，用于保護(hù)該表面的絕緣膜，其 種類沒(méi)有特別限定。作為這樣的表面保護(hù)膜，例如可以舉出：半導(dǎo)體元件上所設(shè)的鈍化膜或 者緩沖涂層或柔性基板上所設(shè)的蓋涂層。另外，壩材為被用于形成用于在基板上配置光學(xué) 元件等的中空部分的間隔物。
[0027] 感光性樹脂材料含有鐵。具體而言，通過(guò)無(wú)火焰原子吸光分析所測(cè)得的、感光性樹 脂材料的鐵相對(duì)于不揮發(fā)成分整體的含量為〇. 〇〇5ppm以上80ppm以下。通過(guò)將鐵的含量 設(shè)為上述下限值以上，能夠抑制在對(duì)使用感光性樹脂材料所形成的樹脂膜進(jìn)行曝光、顯影 時(shí)產(chǎn)生相對(duì)于顯影液為難溶的白化層。因此，能夠謀求提高圖案化中的加工性。另外，也能 夠提高使用感光性樹脂材料所形成的樹脂膜的耐溫度循環(huán)性。另一方面，通過(guò)將鐵的含量 設(shè)為上述上限值以下，關(guān)于使用感光性樹脂材料所形成的樹脂膜能夠提高耐濕可靠性等， 實(shí)現(xiàn)具有優(yōu)異的耐久性的永久膜。另外，在圖案化時(shí)也能夠抑制圖案不良的產(chǎn)生。進(jìn)而，通 過(guò)將感光性樹脂材料的鐵相對(duì)于不揮發(fā)成分整體的含量設(shè)為上述范圍內(nèi)，也能夠抑制起因 于從樹脂膜形成工序至曝光、顯影工序的耗用時(shí)間的不均使光刻特性產(chǎn)生不均。
[0028] 在本實(shí)施方式中，從謀求維持耐久性等作為永久膜的性能、并且提高圖案化中的 加工性的觀點(diǎn)考慮，感光性樹脂材料的鐵相對(duì)于不揮發(fā)成分整體的含量更優(yōu)選為0.oippm 以上50ppm以下，特別優(yōu)選為0? 03ppm以上45ppm以下。
[0029] 在本實(shí)施方式中，感光性樹脂材料的鐵相對(duì)于不揮發(fā)成分整體的含量可以由例如 通過(guò)無(wú)火焰原子吸光分析所測(cè)得的清漆（varnish)狀感光性樹脂材料中的鐵含量算出。需 要說(shuō)明的是，在無(wú)火焰原子吸光分析中，例如可以使用通過(guò)NMP(N-甲基吡咯烷酮）等稀釋 清漆狀感光性樹脂材料而成的物質(zhì)。
[0030] 另外，感光性樹脂材料中的不揮發(fā)成分的比例（質(zhì)量％ )例如可以如下測(cè)定。首 先，在測(cè)定了質(zhì)量（m。）的鋁杯中量取作為試樣的感光性樹脂材料l.Og。此時(shí)，將試樣和鋁 杯的總質(zhì)量設(shè)為叫。接著，將鋁杯在調(diào)整為210°C的熱風(fēng)干燥機(jī)中、常壓下保持1小時(shí)后，從 熱風(fēng)干燥機(jī)取出冷卻至室溫。接著，對(duì)冷卻的試樣和鋁杯的總質(zhì)量（m2)進(jìn)行測(cè)定。然后， 由以下的式子算出感光性樹脂材料中的不揮發(fā)成分的比例（質(zhì)量％)。
[0031] 不揮發(fā)成分（質(zhì)量％ ) = (n^-nO/Onfm。）X100
[0032] 作為感光性樹脂材料中存在的鐵，例如含有非離子性的鐵。由此，在對(duì)使用感光性 樹脂材料所形成的樹脂膜進(jìn)行曝光、顯影時(shí)，能夠有效地抑制白化層的產(chǎn)生而謀求加工性 的提高。作為非離子性的鐵，例如可以舉出：由鐵和/或其化合物構(gòu)成的顆粒、或由鐵和其 它的金屬的合金構(gòu)成的顆粒等含鐵顆粒。作為鐵的化合物，例如可以舉出氧化鐵。另外，作 為其它的金屬，例如可以舉出鎳。在本實(shí)施方式中，例如使鐵顆粒、氧化鐵顆粒或鐵合金顆 粒等含鐵顆?；烊敫泄庑詷渲牧现?，由此得到這樣的構(gòu)成。作為這樣的含鐵顆粒，例如可 以舉出：市售的Sigma-Aldrich公司制、Attotec(株）制和日本QuantumDesign(株）制 的納米顆粒。
[0033] 在感光性樹脂材料中含有非離子性的鐵的情況下，感光性樹脂材料的非離子性的 鐵相對(duì)于不揮發(fā)成分整體的含量例如優(yōu)選為〇? 〇〇5ppm以上80ppm以下，更優(yōu)選為0?Oippm 以上50ppm以下，特別優(yōu)選為0? 0