專利名稱：利用文件服務(wù)器的自動(dòng)化系統(tǒng)及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及自動(dòng)化系統(tǒng)及其控制方法，特別是涉及有關(guān)制造半導(dǎo)體或薄膜晶體管液晶顯示器(thin film transistor liquid crystal display；以下稱TFT-LCD)等時(shí)使用的自動(dòng)化系統(tǒng)及其控制方法。
過(guò)去用于制造TFT-LCD等工程時(shí)使用的自動(dòng)化系統(tǒng)如

圖1所示，它包括多個(gè)設(shè)備30a-30n；與多個(gè)設(shè)備一對(duì)一連接的多個(gè)設(shè)備服務(wù)器20a-20n；和，控制設(shè)備服務(wù)器的主機(jī)10。
多個(gè)設(shè)備30a-30n在多個(gè)設(shè)備服務(wù)器20a-20n的控制下，對(duì)作業(yè)對(duì)象的組合物(如，盒)40)內(nèi)的作業(yè)對(duì)象(如，玻璃、晶片等)進(jìn)行作業(yè)。然后，設(shè)備30a-30n把作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)傳送給相對(duì)應(yīng)的設(shè)備服務(wù)器20a-20n。
下面參照?qǐng)D1，以TFT-LCD的作業(yè)過(guò)程為例，對(duì)過(guò)去使用的自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行說(shuō)明。在圖1中，假設(shè)第1設(shè)備30a為檢測(cè)器，第2設(shè)備30b為補(bǔ)修器。
首先，檢測(cè)器30a從自動(dòng)運(yùn)送裝置(圖中未示出)運(yùn)來(lái)的盒40(作業(yè)對(duì)象組合物)中取出玻璃，對(duì)各玻璃進(jìn)行檢測(cè)。把檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在檢測(cè)器內(nèi)的硬盤中。檢測(cè)完的盒40被自動(dòng)運(yùn)送裝置運(yùn)送到補(bǔ)修器30b。
補(bǔ)修器30b有必要根據(jù)檢測(cè)器30a的檢測(cè)結(jié)果對(duì)玻璃進(jìn)行補(bǔ)修。所以，在使用以往的系統(tǒng)時(shí)，工作人員先用軟盤50復(fù)制檢測(cè)器內(nèi)的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)，然后輸入到補(bǔ)修器。這樣，補(bǔ)修器根據(jù)檢測(cè)器的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)對(duì)玻璃進(jìn)行補(bǔ)修。
如上所述的現(xiàn)有系統(tǒng)中，存在如下缺點(diǎn)第一，把檢測(cè)器所進(jìn)行的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在檢測(cè)器內(nèi)的硬盤，工作人員必須親自用軟盤50復(fù)制該硬盤內(nèi)的數(shù)據(jù)，再輸入到補(bǔ)修器內(nèi)；第二，因可能發(fā)生的軟盤50錯(cuò)誤而耽誤不必要的時(shí)間。第三，因工作人員手動(dòng)操作軟盤50，所以，有可能輸入別的作業(yè)物的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)，從而使補(bǔ)修器執(zhí)行錯(cuò)誤的命令。
為了解決上述問(wèn)題，在現(xiàn)有技術(shù)中，采用了利用RS-232C電纜等串行通信線代替軟盤來(lái)連接檢測(cè)器和補(bǔ)修器，以將檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)直接傳送到補(bǔ)修器的方法。
但是，因RS-232C電纜是以一對(duì)一的傳遞方式使用的，所以數(shù)據(jù)只能在RS-232C電纜連接的檢測(cè)器與補(bǔ)修理器之間傳送。所以，在使用RS-232C電纜的現(xiàn)有技術(shù)中，要使其他多個(gè)設(shè)備也利用其中一個(gè)設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)是不可能的，所以只能是工作人員親自移動(dòng)軟盤。另外，當(dāng)利用RS-232C電纜的方式時(shí)，因其傳送速度緩慢，所以在傳送容量大的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)時(shí)需要相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間。
本發(fā)明為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，把每個(gè)設(shè)備通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與文件服務(wù)器相連接，使所有設(shè)備共享其中一個(gè)設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，從而使每個(gè)設(shè)備可以自由地使用其他設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明設(shè)置了與各設(shè)備相聯(lián)網(wǎng)的文件服務(wù)器，把各設(shè)備所執(zhí)行完的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在文件服務(wù)器內(nèi)，從而使后執(zhí)行的設(shè)備可以自由地使用前一設(shè)備所執(zhí)行完的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面的自動(dòng)化系統(tǒng)包括對(duì)作業(yè)對(duì)象進(jìn)行不同作業(yè)的多個(gè)設(shè)備；與多個(gè)設(shè)備聯(lián)網(wǎng)的存儲(chǔ)各設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的一個(gè)以上的文件服務(wù)器；與多個(gè)設(shè)備一對(duì)一連接的控制各設(shè)備的多個(gè)設(shè)備服務(wù)器；和，向相應(yīng)各設(shè)備服務(wù)器提供各設(shè)備作業(yè)所需數(shù)據(jù)的主機(jī)。
在這里，每個(gè)設(shè)備可以通過(guò)文件服務(wù)器共享其他各設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，所以，各設(shè)備可以自由地利用其他設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)而進(jìn)行作業(yè)。
另外，上述自動(dòng)化系統(tǒng)還可包含自動(dòng)運(yùn)送作業(yè)物到各設(shè)備的自動(dòng)運(yùn)送裝置，該自動(dòng)運(yùn)送裝置受從主機(jī)得到指令的自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器的控制。
另外，上述自動(dòng)化系統(tǒng)還可包括與文件服務(wù)器相連系的接口(interface)，可使工作人員直接利用文件服務(wù)器內(nèi)的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明第二方面的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)包括為了檢查基片而設(shè)的包括檢測(cè)器在內(nèi)的多個(gè)設(shè)備；與多個(gè)設(shè)備聯(lián)網(wǎng)，存儲(chǔ)各設(shè)備對(duì)基片的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，并使該數(shù)據(jù)讓各設(shè)備共享的一個(gè)以上的文件服務(wù)器；與各設(shè)備一對(duì)一連接的控制各設(shè)備作業(yè)的多個(gè)設(shè)備服務(wù)器；和，與設(shè)備服務(wù)器聯(lián)網(wǎng)，向各設(shè)備服務(wù)器提供各設(shè)備作業(yè)所需數(shù)據(jù)的主機(jī)。在這里，主機(jī)有自己的數(shù)據(jù)庫(kù)，它以基片固有的編號(hào)為基礎(chǔ)通過(guò)訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù)而獲得有關(guān)的數(shù)據(jù)。
另外，上述多個(gè)設(shè)備中還可包括以檢測(cè)器的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，對(duì)基片進(jìn)行補(bǔ)修工作的補(bǔ)修器。這時(shí)，檢測(cè)器把對(duì)基片的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)，而補(bǔ)修器從文件服務(wù)器中讀取檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)，并利用其進(jìn)行補(bǔ)修工作，然后把補(bǔ)修結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)。
另外，在上述自動(dòng)化系統(tǒng)中，還可以包括可以利用通過(guò)檢測(cè)器存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)，對(duì)基片的檢測(cè)內(nèi)容直接觀察的肉眼觀測(cè)裝置，并且，可以讓該肉眼觀測(cè)裝置自動(dòng)移到不良曲線圖，而使工作人員得以直接觀測(cè)。
另外，上述微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)還可以包括與文件服務(wù)器相連，可以使工作人員直接利用存儲(chǔ)在文件服務(wù)器內(nèi)的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的接口部；和，受主機(jī)控制的能夠把基片自動(dòng)運(yùn)送到各設(shè)備的自動(dòng)運(yùn)送裝置。
根據(jù)本發(fā)明第三方面的工程控制方法包括辨認(rèn)裝載到第1設(shè)備的作業(yè)物的步驟從控制器獲得讓第1設(shè)備開始作業(yè)的命令的步驟；從文件服務(wù)器內(nèi)讀取第1設(shè)備作業(yè)所需的其他設(shè)備的前一作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的步驟；利用前一設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)在第1設(shè)備上進(jìn)行作業(yè)的步驟；和，把在第1設(shè)備中完成的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)的步驟。
在這里，文件服務(wù)器與包括第1設(shè)備在內(nèi)的多個(gè)設(shè)備是聯(lián)機(jī)的。
根據(jù)本發(fā)明第四方面的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法包括把基片裝載到第1設(shè)備的第1步驟；第1設(shè)備對(duì)基片進(jìn)行作業(yè)，并把作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)的第2步驟；從第1設(shè)備卸去基片的第3步驟；搬運(yùn)基片并裝載到第2設(shè)備的第4步驟；第2設(shè)備作業(yè)前從文件服務(wù)器中讀取第1設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，并利用該數(shù)據(jù)進(jìn)行作業(yè)，而后把在第2設(shè)備完成的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)的第5步驟；和，從第2設(shè)備卸去基片的第6步驟。在這里，文件服務(wù)器與多個(gè)設(shè)備聯(lián)網(wǎng)，使得各設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)了共享。
參照附圖對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，附圖中圖1是以往系統(tǒng)的示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)的通信結(jié)構(gòu)圖；圖3是使用在本發(fā)明實(shí)施例的設(shè)備示意圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明第1實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖5是根據(jù)本發(fā)明第2實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；圖6是圖5中文件服務(wù)器的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖；圖7是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法的簡(jiǎn)單流程圖；圖8a至圖8c是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法的局部流程圖；及圖9是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法的信息流程圖。
下面參照附圖并根據(jù)本發(fā)明最佳實(shí)施例對(duì)自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行說(shuō)明。為方便起見，下面以制作TFT-LCD為例對(duì)自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行說(shuō)明。
如圖2所示，主機(jī)100是通過(guò)TCP/IP與設(shè)備服務(wù)器200、文件服務(wù)器400及自動(dòng)運(yùn)送裝置(AGV)控制器500聯(lián)網(wǎng)，并通過(guò)預(yù)定的信息互相交換數(shù)據(jù)或下達(dá)控制指令。
自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器500得到主機(jī)100的指令后通過(guò)無(wú)線通信向自動(dòng)運(yùn)送裝置600發(fā)出指令。自動(dòng)運(yùn)送裝置600根據(jù)自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器500的指令向指定的設(shè)備300輸送盒或從指定的設(shè)備300自動(dòng)運(yùn)走完成作業(yè)的盒到下一設(shè)備。在完成上述作業(yè)后，自動(dòng)運(yùn)送裝置600通過(guò)無(wú)線通信方法向自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器500發(fā)送信息。這時(shí)，自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器500通過(guò)網(wǎng)絡(luò)再向主機(jī)100傳送相應(yīng)的信息，從而使主機(jī)100能夠有效地管理自動(dòng)運(yùn)送裝置600。
設(shè)備300與設(shè)備服務(wù)器200以一對(duì)一的SECS(Semiconductor EquipmentCommunication Standard，半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)通信)通信方式連接，與文件服務(wù)器400通過(guò)TCP/IP方式相連接。設(shè)備300有多個(gè)待作業(yè)所(queue)310a-310n，每個(gè)待作業(yè)所310a-310n占用設(shè)備300的一個(gè)端口(port)。
當(dāng)自動(dòng)運(yùn)送裝置600把盒運(yùn)到第1待作業(yè)所310a時(shí)，第1待作業(yè)所310a所使用的端口1發(fā)生事件(Event)(即，表示第1待作業(yè)所置有盒的事件)。這時(shí)，設(shè)備300得到發(fā)生事件的信息，并向設(shè)備服務(wù)器200傳送要求對(duì)運(yùn)到第一待作業(yè)所310a的盒進(jìn)行作業(yè)的信息。用這種方法，設(shè)備300內(nèi)的各端口在待作業(yè)所310a-310n中，如果有盒運(yùn)來(lái)，則發(fā)出端口正在使用的事件，而盒被搬走時(shí)則發(fā)出端口沒(méi)有盒的事件。
圖3是表示圖2中設(shè)備300的詳細(xì)圖。
如圖3所示，設(shè)備300中有實(shí)際進(jìn)行作業(yè)的工作臺(tái)340和可以使工作人員通過(guò)直接觀察而操作設(shè)備的控制面板360。工作臺(tái)340上設(shè)有用于閱讀盒內(nèi)玻璃(作業(yè)對(duì)象Mm)編號(hào)(以下稱玻璃編號(hào))的校驗(yàn)碼閱讀器(VCR)350。另外，在設(shè)備300的多個(gè)待作業(yè)所310a-310n中，設(shè)有能夠與各自的自動(dòng)運(yùn)輸裝置進(jìn)行無(wú)線通信的傳感器320a-320n，還有，為了讀出運(yùn)送到待作業(yè)所310a-310n的盒的編號(hào)而設(shè)的條形碼閱讀器330a-330n。
放在待作業(yè)所的盒中的玻璃，以一個(gè)或者n個(gè)為單位的集合(稱為一批量，lot)運(yùn)到工作臺(tái)進(jìn)行處理。即，搬運(yùn)機(jī)器人370從放在待作業(yè)所的盒中取出一個(gè)玻璃或一批量。把它搬運(yùn)到工作臺(tái)340上。然后，安裝在工作臺(tái)上的VCR 350就讀出一個(gè)玻璃的編號(hào)(玻璃編號(hào))或一批量的編號(hào)(一批量編號(hào))，并把其數(shù)據(jù)顯示在設(shè)備控制面板360上。
下面根據(jù)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的自動(dòng)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖做說(shuō)明。
圖4是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
如圖4所示，根據(jù)本發(fā)明的第1實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)包括多個(gè)設(shè)備300a、300b、300c、300d；與多個(gè)設(shè)備一對(duì)一連接的多個(gè)設(shè)備服務(wù)器200a、200b、200c、200d；保存多個(gè)設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的文件服務(wù)器400；和，與多個(gè)設(shè)備服務(wù)器相連接的主機(jī)100。
圖4中，主機(jī)100具有自己的數(shù)據(jù)庫(kù)110，它根據(jù)盒的編號(hào)以及玻璃編號(hào)(或者一批量編號(hào))，通過(guò)訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù)110來(lái)執(zhí)行必要的作業(yè)，然后，把作業(yè)結(jié)果通過(guò)預(yù)定的信息向各設(shè)備服務(wù)器200a、200b、200c、200d下達(dá)指令。另外，主機(jī)通過(guò)控制自動(dòng)運(yùn)送裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)盒在各設(shè)備300a、300b、300c、300d之間按規(guī)定的順序自由移動(dòng)。即，主機(jī)向自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器發(fā)出指令，要求自動(dòng)運(yùn)送裝置移動(dòng)到所指定的設(shè)備，如300a，自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器通過(guò)無(wú)線通信來(lái)使自動(dòng)運(yùn)送裝置移到指定的設(shè)備300a。
各設(shè)備服務(wù)器200a、200b、200c、200d，在各設(shè)備300a、300b、300c、300d與主機(jī)100之間，通過(guò)對(duì)盒與盒內(nèi)多個(gè)玻璃或者一批量的信息的連接來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)各設(shè)備300a、300b、300c、300d的控制。
下面，假設(shè)第1設(shè)備300a為檢測(cè)器，第二設(shè)備300b為補(bǔ)修器，通過(guò)補(bǔ)修器如何使用檢測(cè)器的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)(第一作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù))來(lái)說(shuō)明本系統(tǒng)的工作過(guò)程。
首先，主機(jī)100通過(guò)控制自動(dòng)運(yùn)送裝置600來(lái)將盒650運(yùn)送到檢測(cè)器300a。如果內(nèi)裝有多個(gè)玻璃的盒650被移到檢測(cè)器300a，那么，因檢測(cè)器300a與檢測(cè)器服務(wù)器200a及主機(jī)100相連接，所以受其控制而進(jìn)行作業(yè)。
當(dāng)檢測(cè)器300a對(duì)盒650內(nèi)所有玻璃或者部分玻璃進(jìn)行不良檢查(比如短路或斷線等)后，把檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)傳送到文件服務(wù)器400。這時(shí)，被傳送到文件服務(wù)器100的數(shù)據(jù)是以未加工的數(shù)據(jù)(以下簡(jiǎn)稱‘未加工數(shù)據(jù)’)的形式保存的。這種未加工數(shù)據(jù)可以包括各玻璃的不良坐標(biāo)數(shù)據(jù)、不良圖像數(shù)據(jù)或不良內(nèi)容(如，短路，斷線等)數(shù)據(jù)等。另外，檢測(cè)器300a把在檢測(cè)過(guò)程中發(fā)生的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)，經(jīng)過(guò)加工后，通過(guò)一對(duì)一通信方式傳送給檢測(cè)器服務(wù)器200a。比如它可包括不良玻璃的個(gè)數(shù)等。
這時(shí)，從檢測(cè)器300a傳送到文件服務(wù)器400的未加工數(shù)據(jù)一般容量很大，所以本發(fā)明的第1實(shí)施例中文件服務(wù)器400與檢測(cè)器300a之間是以TCP/IP方式連接的，從檢測(cè)器300a傳送到檢測(cè)器服務(wù)器200a的已加工的數(shù)據(jù)因容量小，所以使用SECS通信方法連接。
當(dāng)檢測(cè)器300a檢查完盒650內(nèi)的玻璃時(shí)，主機(jī)100控制自動(dòng)運(yùn)送裝置600把盒650運(yùn)送到補(bǔ)修器300b，這時(shí)補(bǔ)修器300b從文件服務(wù)器400中讀取上述盒(正確地說(shuō)，應(yīng)該是盒內(nèi)的玻璃)的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)(未加工數(shù)據(jù))，這時(shí)，補(bǔ)修器300b根據(jù)盒的編號(hào)從文件服務(wù)器400中讀取檢測(cè)器300a對(duì)盒650的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)。
補(bǔ)修器300b利用對(duì)盒的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)，對(duì)盒內(nèi)的玻璃進(jìn)行補(bǔ)修作業(yè)。與檢測(cè)器300a相同，補(bǔ)修器300b也是通過(guò)補(bǔ)修器服務(wù)器200b及主機(jī)100相連接，從而控制作業(yè)的進(jìn)行。
當(dāng)補(bǔ)修器300b完成補(bǔ)修作業(yè)后，補(bǔ)修作業(yè)結(jié)果中容量大的未加工數(shù)據(jù)(如，補(bǔ)修完的坐標(biāo)數(shù)據(jù)、補(bǔ)修內(nèi)容等)保存在文件服務(wù)器中，而加工的數(shù)據(jù)(如，補(bǔ)修完的玻璃數(shù)等)傳送給補(bǔ)修器服務(wù)器200b。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的第1實(shí)施例，在檢測(cè)器300a中完成的檢測(cè)結(jié)果(未加工數(shù)據(jù))存儲(chǔ)在文件服務(wù)器400內(nèi)，補(bǔ)修器300b可利用該數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)修作業(yè)，所以說(shuō)各設(shè)備之間實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)的共享。
但是，在第1實(shí)施例中，因檢測(cè)器300a與補(bǔ)修器300b在作業(yè)結(jié)束后不是把加工的數(shù)據(jù)保存在文件服務(wù)器400內(nèi)，而是直接傳送給檢測(cè)器服務(wù)器200a或補(bǔ)修器服務(wù)器200b，所以有可能發(fā)生以下問(wèn)題。即，當(dāng)檢測(cè)器300a與補(bǔ)修器300b向檢測(cè)器服務(wù)器200a或補(bǔ)修器服務(wù)器200b傳送已加工數(shù)據(jù)時(shí)，一但發(fā)生通信誤差，就沒(méi)有辦法恢復(fù)該數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的第2實(shí)施例是基于解決上述問(wèn)題而提出的。
如圖5所示，根據(jù)本發(fā)明的第2實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)包括多個(gè)設(shè)備800a、800b、800c、800d；與多個(gè)設(shè)備一對(duì)一連接的多個(gè)設(shè)備服務(wù)器700a、700b、700c、700d；存儲(chǔ)多個(gè)設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的文件服務(wù)器900；和，與主機(jī)1000相連接的、為了與工作人員相聯(lián)系用的用戶接口(interface)部1100。
在圖5中，在文件服務(wù)器900內(nèi)存儲(chǔ)的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)不僅有未加工數(shù)據(jù)而且還包含已加工數(shù)據(jù)。即，在本發(fā)明第2實(shí)施例中，多個(gè)設(shè)備800a、800b、800c、800d在完成各自的作業(yè)后，與第1實(shí)施例不同，它把已加工數(shù)據(jù)和未加工數(shù)據(jù)一起存儲(chǔ)到文件服務(wù)器900內(nèi)，向設(shè)備服務(wù)器700a、700b、700c、700d只傳送已經(jīng)向文件服務(wù)器900存儲(chǔ)了的事件(EVENT)。然后，設(shè)備服務(wù)器700a、700b、700c、700d就可以直接從文件服務(wù)器900中讀取上述已加工數(shù)據(jù)。
所以，從設(shè)備傳送信息給設(shè)備服務(wù)器時(shí)，即便產(chǎn)生通信誤差而沒(méi)能把信息傳送給設(shè)備服務(wù)器，也因?yàn)橐鸭庸?shù)據(jù)已經(jīng)存儲(chǔ)在文件服務(wù)器內(nèi)，所以，還可以用下面的方式傳送已加工數(shù)據(jù)給文件服務(wù)器。即，如果設(shè)備在作業(yè)完成后沒(méi)有傳送事件(EVENT)，工作人員通過(guò)與主機(jī)連接促使其發(fā)生事件(EVENT)，也就是說(shuō)，工作人員可在與主機(jī)連接的用戶接口部1100中產(chǎn)生事件(EVENT)，然后，設(shè)備服務(wù)器就會(huì)從文件服務(wù)器中讀取必要的已加工數(shù)據(jù)。
圖6是圖5的文件服務(wù)器的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖。
如圖6所示，各設(shè)備800a-800n是與各相應(yīng)文件服務(wù)器內(nèi)的一個(gè)磁盤910a-910n相連接的，另外，多個(gè)設(shè)備800a-800n共同與一個(gè)磁盤910n+1相連接。
各設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)與前面所述的相同，分為未進(jìn)行加工的未加工數(shù)據(jù)和進(jìn)行加工后以統(tǒng)計(jì)形式利用的已加工數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，上述未加工數(shù)據(jù)因容量大，所以存儲(chǔ)在各設(shè)備相對(duì)應(yīng)的磁盤內(nèi)，而上述已加工數(shù)據(jù)因容量不是很大，又考慮到管理的效率，所以存儲(chǔ)在各設(shè)備共享的磁盤910n+1內(nèi)。另外，對(duì)存儲(chǔ)容量非常大的數(shù)據(jù)，如，補(bǔ)修器的未加工數(shù)據(jù)中的不良圖像的數(shù)據(jù)，也可以配用另一磁盤存儲(chǔ)。
為了尋找數(shù)據(jù)的方便，將使用在文件服務(wù)器中的磁盤用設(shè)備名稱形成目錄。比如，當(dāng)?shù)?設(shè)備700a使用文件服務(wù)器的第1磁盤910a時(shí)，在目錄中是“/diskl/eqpid 1”，當(dāng)?shù)?設(shè)備700b使用文件服務(wù)器中的第n+1硬盤910n+1時(shí)，在目錄中是“/diskn+1/eqpid 1”。
所以，第1設(shè)備的未加工數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在“/disk 1/eqpid 1”內(nèi)，而第1設(shè)備的已加工數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在/disk n+1/eqpid 1”內(nèi)。
下面對(duì)根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)的控制方法進(jìn)行說(shuō)明。
圖7是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法的簡(jiǎn)單流程圖，在圖7中，為了說(shuō)明上的便利，把圖2至圖5中的設(shè)備服務(wù)器和主機(jī)視為控制部。下面對(duì)檢測(cè)及補(bǔ)修工作進(jìn)行說(shuō)明，在這里我們把第1設(shè)備視為檢測(cè)器，把第2設(shè)備視為補(bǔ)修器。
首先，判斷相應(yīng)于檢測(cè)器第1待作業(yè)所的第1端口是否可以使用S3，如果端口可以使用，那么檢測(cè)器向控制部發(fā)出要求提供盒的信息S6。
收到要求提供盒的信息的控制部，首先檢索自己的數(shù)據(jù)庫(kù)，查出需要作業(yè)的玻璃所處的盒的編號(hào)，然后指令自動(dòng)運(yùn)送裝置把檢索到的盒裝載到檢測(cè)器S9。
然后，自動(dòng)運(yùn)送裝置就會(huì)從儲(chǔ)料庫(kù)搬運(yùn)盒到相應(yīng)的檢測(cè)器待作業(yè)所。這時(shí)，在安裝在檢測(cè)器第1待作業(yè)所的條形碼閱讀器閱讀盒的編號(hào)后，向控制部報(bào)告盒已經(jīng)裝載完畢S12。在這里，向控制部報(bào)告的信息中包括盒的編號(hào)。
控制部根據(jù)盒的編號(hào)來(lái)判斷檢測(cè)器是否處于可作業(yè)狀態(tài)，如果是處于可作業(yè)狀態(tài)，就下達(dá)開始作業(yè)命今S15。這時(shí)，與開始作業(yè)命令同時(shí)下達(dá)作業(yè)所需的其他信息數(shù)據(jù)。
得到開始作業(yè)命令的檢測(cè)器，如果沒(méi)有正在進(jìn)行的作業(yè)，那么就馬上開始進(jìn)行作業(yè)，如果正在進(jìn)行其他作業(yè)，那么在作業(yè)完成后馬上開始進(jìn)行作業(yè)S18。檢測(cè)器對(duì)盒內(nèi)的各玻璃進(jìn)行檢測(cè)，把檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)(未加工數(shù)據(jù)或者已加工數(shù)據(jù))存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)。這時(shí)，檢測(cè)器可以每檢測(cè)完一個(gè)玻璃就把檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中，也可以檢測(cè)完全部的玻璃后，一次性地存儲(chǔ)到文件服務(wù)器。當(dāng)檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)全部存儲(chǔ)到文件服務(wù)器后，檢測(cè)器就向控制部報(bào)告已完成作業(yè)S21。
然后，控制部通過(guò)檢測(cè)器讀取存儲(chǔ)在文件服務(wù)器內(nèi)的未加工數(shù)據(jù)，并且為了統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)或者圖像數(shù)據(jù)而進(jìn)行多種方式的處理。然后，控制部向自動(dòng)運(yùn)送裝置下達(dá)卸去盒的命令S24。
得到卸去盒的命令的自動(dòng)運(yùn)送裝置從檢測(cè)器把已檢測(cè)完的盒運(yùn)走。當(dāng)從檢測(cè)器卸去盒的工作完成后，檢測(cè)器就向控制部報(bào)告已完成卸去工作S30。
然后，控制部就在自己的數(shù)據(jù)庫(kù)中記錄盒在檢測(cè)器中已完成作業(yè)的信息。在檢測(cè)器中完成作業(yè)的盒須移送到下一作業(yè)工序的補(bǔ)修器進(jìn)行補(bǔ)修工作，所以控制部就對(duì)自己的數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行訪問(wèn)，訪問(wèn)補(bǔ)修器內(nèi)的多個(gè)端口信息，如果查到補(bǔ)修器內(nèi)有空的可使用的端口(即，待作業(yè)所)，那么，控制器就會(huì)向自動(dòng)運(yùn)送裝置下達(dá)把盒運(yùn)送到補(bǔ)修器待作業(yè)所的命令。
然后，自動(dòng)運(yùn)送裝置就會(huì)把盒裝載到上述待作業(yè)所，而補(bǔ)修器如同檢測(cè)器一樣進(jìn)行作業(yè)。這時(shí)，補(bǔ)修器在開始作業(yè)前從文件服務(wù)器中讀取檢測(cè)器對(duì)盒的未加工數(shù)據(jù)(如，不良坐標(biāo)數(shù)據(jù)或不良內(nèi)容等)，然后對(duì)盒內(nèi)的不良玻璃進(jìn)行補(bǔ)修作業(yè)。補(bǔ)修器在完成作業(yè)后，把未加工數(shù)據(jù)(如，補(bǔ)修完的坐標(biāo)數(shù)據(jù)或補(bǔ)修內(nèi)容等)或已加工數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)。
下面，對(duì)上述控制部，分別就其設(shè)備服務(wù)器與主機(jī)的作用及信息交換進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
設(shè)備服務(wù)器具有對(duì)設(shè)備直接控制的程序，每當(dāng)設(shè)備發(fā)生事件時(shí)，它是以事件激勵(lì)(event-driven)方式驅(qū)動(dòng)的。另外，設(shè)備服務(wù)器把設(shè)備傳送來(lái)的包括盒的編號(hào)在內(nèi)的信息，以與主機(jī)預(yù)定的特定方式傳送給主機(jī)，而主機(jī)參照數(shù)據(jù)庫(kù)把相應(yīng)的盒的信息以預(yù)定的特定方式傳送給設(shè)備服務(wù)器。然后，設(shè)備服務(wù)器根據(jù)該信息再向設(shè)備下達(dá)指令。因?yàn)樵O(shè)備服務(wù)器是與文件服務(wù)器相連的，所以在必要時(shí)，既可以從文件服務(wù)器中讀取所需的數(shù)據(jù)，也可以把數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)。
設(shè)備服務(wù)器最重要的作用是，當(dāng)從設(shè)備得到作業(yè)完成信息時(shí)，與文件服務(wù)器連接，讀取作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)并進(jìn)行加工，然后傳送給主機(jī)。當(dāng)從主機(jī)得到特定的信息時(shí)，利用該信息對(duì)設(shè)備進(jìn)行遠(yuǎn)距離控制。
主機(jī)的作用是，第一，維持和管理玻璃(包括一批量)和盒的狀態(tài)，并對(duì)玻璃或一批量的作業(yè)過(guò)程進(jìn)行時(shí)間安排；第二，管理自動(dòng)運(yùn)送裝置的狀態(tài)，使內(nèi)有玻璃的盒能夠從設(shè)備到設(shè)備、從設(shè)備到儲(chǔ)料庫(kù)、從臨時(shí)保管處到設(shè)備、從儲(chǔ)料庫(kù)到儲(chǔ)料庫(kù)自由移動(dòng)；第三，管理包括設(shè)備內(nèi)多個(gè)端口在內(nèi)的各種狀態(tài)，和作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)等整個(gè)工程過(guò)程，所以，主機(jī)內(nèi)就需要有管理上述各機(jī)能的數(shù)據(jù)庫(kù)。
圖8a至圖8e是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法的局部流程圖。圖9是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法的信息流程圖。
下面還是用檢測(cè)器和補(bǔ)修器的作業(yè)過(guò)程來(lái)說(shuō)明。
檢測(cè)器首先判斷端口(待作業(yè)所)是否可以使用，S100，如果待作業(yè)所的盒已經(jīng)卸去，待作業(yè)所處于可以作用的狀態(tài)時(shí)，檢測(cè)器向檢測(cè)器服務(wù)器傳送要求把盒裝載到待作業(yè)所的盒裝載要求信息(CST_Reg_toEQsrv)S110。
收到要求把盒裝載到待作業(yè)所的盒裝載要求信息(CST_Req_toEQsrv)S115的檢測(cè)器服務(wù)器再向主機(jī)傳送盒裝載要求信息(CST_Req_toHost)S120。當(dāng)主機(jī)收到盒裝載要求信息(CST_Req_toHost)S125后，主機(jī)從自己的數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，找出需檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)的玻璃。然后，主機(jī)呼出自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器，向其下達(dá)把盒運(yùn)送到檢測(cè)設(shè)備的指令(Load_cmd)S135。
然后，自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器就會(huì)使自動(dòng)運(yùn)送裝置把盒從儲(chǔ)料庫(kù)中(或從其他設(shè)備)運(yùn)送到檢測(cè)器140。這時(shí)，自動(dòng)運(yùn)送裝置與檢測(cè)器通過(guò)無(wú)線通信聯(lián)系S145、S150，把盒裝卸到待作業(yè)所S155。
當(dāng)盒被搬上待作業(yè)所時(shí)，通過(guò)待作業(yè)所內(nèi)的自動(dòng)傳感器檢測(cè)到，并自動(dòng)固定S160，隨后，條形碼閱讀器閱讀盒的編號(hào)S165。這時(shí)檢測(cè)器自動(dòng)把盒裝載完的事件(Load_End_Event)傳送給檢測(cè)器服務(wù)器S170。
當(dāng)檢測(cè)器服務(wù)器收到裝載完的事件(Load_End_Event)時(shí)S175，檢測(cè)器服務(wù)器向主機(jī)傳送要求盒的數(shù)據(jù)的信息(CSTInfo_Rcq_toHost)，在主機(jī)的數(shù)據(jù)庫(kù)中更新設(shè)備狀態(tài)及端口信息S180。
實(shí)際上，這種設(shè)備狀態(tài)及端口信息的更新過(guò)程既可以經(jīng)檢測(cè)器服務(wù)器直接通過(guò)網(wǎng)絡(luò)執(zhí)行，也可以是主機(jī)從設(shè)備服務(wù)器得到更新信息后自己實(shí)行。即，因?yàn)樵O(shè)備服務(wù)器與主機(jī)是通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接的，所以，實(shí)際上主機(jī)上的數(shù)據(jù)庫(kù)既可以通過(guò)主機(jī)也可以通過(guò)設(shè)備服務(wù)器得到更新。只是主機(jī)內(nèi)的數(shù)據(jù)庫(kù)的訪問(wèn)權(quán)利是只給主機(jī)還是只給設(shè)備服務(wù)器的問(wèn)題，運(yùn)在于程序設(shè)計(jì)人員的選擇。
當(dāng)主機(jī)收到要求盒的數(shù)據(jù)的信息(CSTInfo_Req_toHost)時(shí)，主機(jī)通過(guò)利用盒的編號(hào)對(duì)上述所需要的數(shù)據(jù)在數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)進(jìn)行檢索S190。當(dāng)檢索完后，主機(jī)把相應(yīng)的數(shù)據(jù)以盒的數(shù)據(jù)應(yīng)答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)的形式向檢測(cè)器服務(wù)器傳送，S195。這個(gè)盒的數(shù)據(jù)應(yīng)答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中包括諸如當(dāng)前盒數(shù)據(jù)的、存儲(chǔ)于盒內(nèi)玻璃或一批量的數(shù)據(jù)；作業(yè)內(nèi)容；作業(yè)程序；玻璃或一批量在盒內(nèi)的位置；作業(yè)方法；數(shù)量等數(shù)據(jù)。
當(dāng)檢測(cè)器服務(wù)器收到盒的數(shù)據(jù)應(yīng)答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)后S200，檢測(cè)器判斷是否處于可進(jìn)行檢測(cè)作業(yè)狀態(tài)，即，檢測(cè)器服務(wù)器從盒的數(shù)據(jù)應(yīng)答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中得到有關(guān)盒的數(shù)據(jù)后，檢查該盒是否是能夠進(jìn)行檢測(cè)的正常的盒S205。如果盒的數(shù)據(jù)正常，那么從上述盒的數(shù)據(jù)應(yīng)答信息(CSTInfo_Ans_toEQsrvt)中獲得有關(guān)玻璃(一批量)的數(shù)據(jù)，檢查該數(shù)據(jù)是否正常S210。檢測(cè)器服務(wù)器得到的盒的數(shù)據(jù)如上所述，有可能只是盒的數(shù)據(jù)，也有可能是盒內(nèi)的玻璃或一批量的數(shù)據(jù)或作業(yè)內(nèi)容數(shù)據(jù)，所以檢測(cè)器服務(wù)器綜合上述各數(shù)據(jù)對(duì)檢測(cè)器狀態(tài)進(jìn)行判斷。這時(shí)，如果檢測(cè)結(jié)果是非正常，那么就會(huì)變成非常狀態(tài)(abort status)S245，如果是正常，那么就向主機(jī)傳送正常開始作業(yè)要求信息(TKIN_Req_toHost)S215。
當(dāng)主機(jī)收到正常開始作業(yè)要求信息(TKIN_Req_toHost)S220后，反復(fù)進(jìn)行對(duì)設(shè)備服務(wù)器進(jìn)行的驗(yàn)證過(guò)程。
這種在主機(jī)與設(shè)備服務(wù)器進(jìn)行反復(fù)驗(yàn)證是為了確保正確控制，必要時(shí)，設(shè)計(jì)人員可以只在主機(jī)或設(shè)備服務(wù)器中進(jìn)行驗(yàn)證。
如果認(rèn)為在主機(jī)中進(jìn)行驗(yàn)證的結(jié)果認(rèn)為是正常的，那么主機(jī)就會(huì)在數(shù)據(jù)庫(kù)記錄開始作業(yè)S225③，向檢測(cè)器服務(wù)器傳送正常作業(yè)開始應(yīng)答信息(TKIN_Ans_toEQsrv)S230 。
檢測(cè)器服務(wù)器在收到正常作業(yè)開始應(yīng)答信息(TKIN_Ans_toEQsrv)S235后，檢測(cè)器服務(wù)器判斷主機(jī)驗(yàn)證的結(jié)果是否正常S240，如果是非正常，則處理為非正常狀態(tài)S245，如果是正常，則為了向檢測(cè)器下達(dá)指令而對(duì)主機(jī)所下達(dá)的所有指令進(jìn)行綜合構(gòu)成S250。然后，檢測(cè)器服務(wù)器向檢測(cè)器下達(dá)開始作業(yè)的指令(Start_Cmd_toEQ)S255。這種開始作業(yè)的指令(Start_Cmd_toEQ)中包含檢測(cè)器應(yīng)如何進(jìn)行作業(yè)的詳細(xì)信息。即，主機(jī)向檢測(cè)器服務(wù)器傳送的作業(yè)指令都包括在開始作業(yè)的指令(Start_Cmd_toEQ)中而傳送到檢測(cè)器。這種作業(yè)指令中包括過(guò)去作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)在文件服務(wù)器中的位置信息、作業(yè)完成后應(yīng)如何存儲(chǔ)作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的信息、進(jìn)行不同作業(yè)的各玻璃的信息以及在檢測(cè)器中應(yīng)進(jìn)行作業(yè)的條件和參數(shù)設(shè)置等。
檢測(cè)器在得到開始作業(yè)指令(Start_Cmd_toEQ)S260后，檢查開始作業(yè)指令(Start_Cmd_toEQ)S260中是否含有作業(yè)所需的一切數(shù)據(jù)S265。這時(shí)，如果有遺漏的信息或者實(shí)際上檢測(cè)器處于無(wú)法啟動(dòng)狀態(tài)時(shí)，就使其處于非常狀態(tài)S270。當(dāng)檢查結(jié)果是正常時(shí)，如果沒(méi)有正在進(jìn)行的作業(yè)，那么，立即開始進(jìn)行作業(yè)S275，如果正處于作業(yè)狀態(tài)，那么就等到作業(yè)完后，開始進(jìn)行新作業(yè)。
作業(yè)開始后，檢測(cè)器綜合作業(yè)指令與玻璃編號(hào)或一批量編號(hào)，并與文件服務(wù)器連接S280，讀取以盒的編號(hào)(實(shí)際上盒的編號(hào)、一批量的編號(hào)、玻璃編號(hào)是相鏈接的)存儲(chǔ)的以前作業(yè)的結(jié)果數(shù)據(jù)，然后對(duì)盒內(nèi)的玻璃進(jìn)行作業(yè)S285④。如果檢測(cè)器認(rèn)為對(duì)盒內(nèi)的玻璃作完了檢測(cè)工作，那么檢測(cè)器就對(duì)作業(yè)指令和玻璃或一批量的編號(hào)相組合后再與文件服務(wù)器連接，把各自的未加工數(shù)據(jù)(不良坐標(biāo)數(shù)據(jù)，不良內(nèi)容)或已加工數(shù)據(jù)(發(fā)生不良特征的玻璃的數(shù)等)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中指定的位置S300。
當(dāng)檢測(cè)器結(jié)束對(duì)所有玻璃的作業(yè)后，向檢測(cè)器服務(wù)器傳送存儲(chǔ)完成報(bào)告信息(Save_End_toEQsrv)S305。檢測(cè)器服務(wù)器在得到上述信息后，檢測(cè)器服務(wù)器與文件服務(wù)器連接S315，讀取作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)(主要是已加工數(shù)據(jù))S320。在這里，作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)包括玻璃編號(hào)、設(shè)備編號(hào)、工序編號(hào)、作業(yè)開始時(shí)間或作業(yè)完成時(shí)間，對(duì)玻璃的不良信息或工序數(shù)據(jù)等。利用這種作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，檢測(cè)器服務(wù)器可以進(jìn)行對(duì)特定玻璃的拒絕、或?qū)袃?nèi)玻璃(一批量)位置的調(diào)整、或指示對(duì)特定玻璃的再作業(yè)，以及為分析數(shù)據(jù)而收集數(shù)據(jù)S325。
然后，檢測(cè)器服務(wù)器向主機(jī)傳送要求對(duì)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行加工的數(shù)據(jù)加工要求信息(Dcoll_req_toHost)S330。
當(dāng)主機(jī)收到該信息S335后，對(duì)上述數(shù)據(jù)進(jìn)行加工處理S340，然后向檢測(cè)器服務(wù)器傳送數(shù)據(jù)加工應(yīng)答信息(Dcoll_Ans_toEQsrv)S345。
檢測(cè)器服務(wù)器收到該信息S350后，判斷該數(shù)據(jù)的加工處理是否正常S355。在這過(guò)程中，如果主機(jī)對(duì)數(shù)據(jù)的加工處理是非正常，那么檢測(cè)器服務(wù)器就利用與主機(jī)相連的用戶接口部來(lái)等待工作人員輸入必要的數(shù)據(jù)S360。
當(dāng)檢測(cè)器完成所有作業(yè)時(shí)，檢測(cè)器向檢測(cè)器服務(wù)器傳送作業(yè)完成報(bào)告信息(Work_End_toEQsrv)，該作業(yè)完成報(bào)告信息(Work_End_toEQsrv)有可能比前述存儲(chǔ)完成報(bào)告信息(Save_End_toEQsrv)先傳送S370。
檢測(cè)器服務(wù)器在收到作業(yè)完成報(bào)告信息(Work_End_toEQsrv)S375后，向主機(jī)傳送正常作業(yè)結(jié)束要求信息(TKOUT_Req_toHost)S380。
在主機(jī)收到該正常作業(yè)結(jié)束要求信息(TKOUT_Req_toHost)后，主機(jī)對(duì)自己的數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行作業(yè)完畢的處理S390，然后向檢測(cè)器服務(wù)器傳送正常作業(yè)結(jié)束應(yīng)答信息(TKOUT_Ans_toEQsrv)S395。
檢測(cè)器服務(wù)器在收到該正常作業(yè)結(jié)束應(yīng)答信息(TKOUT_Ans_toEQsrv)S400后，判斷主機(jī)是否正確處理了作業(yè)完成S405，在這過(guò)程中，如果結(jié)果為非正常，那么就呼叫工作人員S415。
如果上述過(guò)程是正常，那么檢測(cè)器服務(wù)器就判斷是否已卸去S410。這樣檢查是否已卸去的原因是防止檢測(cè)器作業(yè)完成后，在檢測(cè)器服務(wù)器向主機(jī)傳送的正常作業(yè)結(jié)束要求信息(TKOUT_Req_toHost)與檢測(cè)器向檢測(cè)器服務(wù)器傳送的卸去要求信息(Unload_Req_toEQsrv)之間可能發(fā)生的互相顛倒。
如果還沒(méi)有卸去，那么檢測(cè)器服務(wù)器重新向主機(jī)傳送卸去要求信息(Unload_Req_toHost)，主機(jī)接收該信息S425后，向自動(dòng)運(yùn)送裝置發(fā)出運(yùn)送指令S450，檢測(cè)器向檢測(cè)器服務(wù)器傳送卸去要求信息(Unload_Req_toEQsrv)S430，解除對(duì)盒的固定S435。
檢測(cè)器服務(wù)器收到該信息(Unload_Req_toEQsrv)S440后，就卸去S445。然后，檢測(cè)器服務(wù)器執(zhí)行自己的程序，然后向主機(jī)傳送卸去要求信息(Unload_Req_toHost)。
得到該信息(Unload_Req_toHost)的主機(jī)把從檢測(cè)器得到的完成作業(yè)的信息存儲(chǔ)在自己的數(shù)據(jù)庫(kù)中，然后向自動(dòng)運(yùn)送裝置下達(dá)卸去(Unload_Cmd)的命令S450。
自動(dòng)運(yùn)送裝置重新移動(dòng)到檢測(cè)器S445，與檢測(cè)器的自動(dòng)傳感器通過(guò)無(wú)線通信聯(lián)系S460、S465，把檢測(cè)完的盒卸去S470。在檢測(cè)器通過(guò)自動(dòng)傳感器得知盒已被卸去后，便向檢測(cè)器服務(wù)器發(fā)出搬運(yùn)完成事件信息(Unload_End_Event)S475。
檢測(cè)器服務(wù)器收到該信息后，在主機(jī)內(nèi)的數(shù)據(jù)庫(kù)中記錄端口的狀況，即，更新裝備狀態(tài)S485。這個(gè)作業(yè)也可以通過(guò)檢測(cè)器向主機(jī)傳送更新要求信息使主機(jī)直接進(jìn)行。
在主機(jī)內(nèi)的數(shù)據(jù)庫(kù)中，以相應(yīng)的盒和玻璃等作業(yè)物的編號(hào)為準(zhǔn)，記錄有各自的連續(xù)作業(yè)程序，所以，上述盒在完成檢測(cè)器的作業(yè)后根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)提供的程序在補(bǔ)修器中與前一工序一樣進(jìn)行作業(yè)。
在本發(fā)明實(shí)施例中所使用的文件服務(wù)器可在UNIX、WINDOWS或NT等環(huán)境中運(yùn)行，但并不是局限于此。
另外，各設(shè)備與文件服務(wù)器之間的通信、文件服務(wù)器與設(shè)備服務(wù)器之間的通信和設(shè)備服務(wù)器與主機(jī)之間的通信是以網(wǎng)絡(luò)連接的，為了實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)的物理層(physical layer)，可以使用令牌網(wǎng)(token ring)、星形網(wǎng)(star)或ATM等方式，協(xié)議層(protocal layer)可以使用TCP/IP、IPX或netbeui方式，應(yīng)用層(applicaltion layer)可以使用網(wǎng)絡(luò)文件系統(tǒng)(network file system)、網(wǎng)件(netware)或WFWG(工作群窗，Window For Work Group)等。這里所涉及的所有驅(qū)動(dòng)方式并不只局限在上述方式。
另外，工作人員可以直接通過(guò)文件服務(wù)器來(lái)確認(rèn)作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)(如，不良內(nèi)容、不良圖像信息等)。這樣工作人員就可以在遠(yuǎn)離設(shè)備的地方(如，辦公室)，既可以通過(guò)直接確認(rèn)作業(yè)內(nèi)容，并通過(guò)主機(jī)對(duì)指定設(shè)備下達(dá)指令，也可以根據(jù)上述作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)形成多種統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
以上以檢測(cè)器和補(bǔ)修器為例對(duì)自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限在上述設(shè)備，在制造TFT-LCD時(shí)的其他設(shè)備(如，曝光設(shè)備，蝕刻設(shè)備，濺射設(shè)備等)理所當(dāng)然也可以使用。
根據(jù)檢測(cè)器存儲(chǔ)在文件服務(wù)器中的檢測(cè)結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)(特別是未加工數(shù)據(jù))，除補(bǔ)修器以外，還可以使用在如下肉眼檢測(cè)裝置。
如電子顯微鏡等的肉眼檢測(cè)裝置可以直接與文件服務(wù)器或主機(jī)連接，對(duì)檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)，特別是對(duì)不良坐標(biāo)數(shù)據(jù)等可以直接讀出其數(shù)據(jù)。如果上述不良坐標(biāo)數(shù)據(jù)輸入到上述肉眼檢測(cè)裝置，那么檢測(cè)裝置就可自動(dòng)移動(dòng)到相應(yīng)于上述坐標(biāo)的玻璃處，據(jù)此，工作人員可以通過(guò)肉眼檢測(cè)裝置直接觀察玻璃的不良內(nèi)容。
另外，本發(fā)明的實(shí)施例是以生產(chǎn)TFT-LCD過(guò)程說(shuō)明的，但是本發(fā)明并不局限在生產(chǎn)TFT-LCD時(shí)使用，在生產(chǎn)如半導(dǎo)體、等離子顯示板、印刷電路板等的其他微電子設(shè)備中使用也是理所當(dāng)然的，除此以外，只要是后一設(shè)備需要使用前一設(shè)備所執(zhí)行的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的一切領(lǐng)域(如，汽車、鋼鐵、石油、化工等)都可使用。
如上所述，不難看出本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)，根據(jù)本發(fā)明，工程所需要的各設(shè)備全都能與文件服務(wù)器相連接，使得設(shè)備之間可以共享各設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)。所以，后一設(shè)備可以利用前一設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行作業(yè)，同時(shí)也可以利用各種統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
權(quán)利要求
1．一種自動(dòng)化系統(tǒng)，包括多個(gè)設(shè)備，用于對(duì)作業(yè)物進(jìn)行相應(yīng)作業(yè)；一個(gè)以上的文件服務(wù)器，與所述多個(gè)設(shè)備通過(guò)網(wǎng)絡(luò)相連接，用于存儲(chǔ)各設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，并使其數(shù)據(jù)能夠讓各設(shè)備共享；多個(gè)設(shè)備服務(wù)器，與所述多個(gè)設(shè)備相連接，用于控制各設(shè)備；和主機(jī)，與所述設(shè)備服務(wù)器通過(guò)網(wǎng)絡(luò)相連接，具有所述設(shè)備作業(yè)所需的數(shù)據(jù)，并向設(shè)備服務(wù)器提供各設(shè)備作業(yè)所需數(shù)據(jù)。
2．根據(jù)權(quán)利要求1的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括用戶接口部，與所述文件服務(wù)器相連接，可使用戶直接利用文件服務(wù)器內(nèi)的數(shù)據(jù)。
3．根據(jù)權(quán)利要求1的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括自動(dòng)運(yùn)送裝置，受所述主機(jī)控制，能夠自動(dòng)把作業(yè)物運(yùn)送到各設(shè)備。
4．根據(jù)權(quán)利要求3的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器，與所述主機(jī)有線連接，用于從主機(jī)得到指令從而控制自動(dòng)運(yùn)送裝置。
5．根據(jù)權(quán)利要求3的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)有固有編號(hào)的容器，因?yàn)樽詣?dòng)運(yùn)送裝置在搬運(yùn)作業(yè)對(duì)象物時(shí)裝在一個(gè)容器內(nèi)搬運(yùn)，所以，為了便于識(shí)別容器而給容器設(shè)固有編號(hào)。
6．根據(jù)權(quán)利要求5的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于所述設(shè)備包括工作臺(tái)，用于進(jìn)行作業(yè)；多個(gè)待作業(yè)所，用于在開始進(jìn)行作業(yè)前或完成作業(yè)后放置作業(yè)物；和機(jī)器人，用于把作業(yè)物從待作業(yè)所搬到工作臺(tái)或從工作臺(tái)搬到待作業(yè)所。
7．根據(jù)權(quán)利要求6的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括通信裝置，用于在工作臺(tái)中閱讀作業(yè)物編號(hào)的第1閱讀器，用于在待作業(yè)所中閱讀搬運(yùn)容器編號(hào)的第2閱讀器，和用于與所述自動(dòng)運(yùn)送裝置聯(lián)系。
8．根據(jù)權(quán)利要求7的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)備還包括作業(yè)控制面板，用于使工作人員能夠直接觀察并控制設(shè)備。
9．根據(jù)權(quán)利要求8的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述作業(yè)物為晶片，所述搬運(yùn)容器為盒。
10．根據(jù)權(quán)利要求8的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述作業(yè)物為玻璃，所述搬運(yùn)容器為盒。
11．根據(jù)權(quán)利要求9或10的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)設(shè)備包括檢測(cè)器和補(bǔ)修器。
12．一種微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，包括包括檢測(cè)器的多個(gè)設(shè)備，用于檢測(cè)已形成圖形(pattern)的基片；一個(gè)以上的文件服務(wù)器，與所述多個(gè)設(shè)備通過(guò)網(wǎng)絡(luò)相連接，用于存儲(chǔ)所述各設(shè)備對(duì)基片進(jìn)行的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，并使其數(shù)據(jù)能夠讓各設(shè)備共享；包括檢測(cè)器服務(wù)器在內(nèi)的多個(gè)設(shè)備服務(wù)器，與所述各設(shè)備相連接，用于控制各設(shè)備；和主機(jī)，與所述設(shè)備服務(wù)器通過(guò)網(wǎng)絡(luò)相連接，具有自己的數(shù)據(jù)庫(kù)，并根據(jù)所述基片的固有編號(hào)，從數(shù)據(jù)庫(kù)中找出與其相對(duì)應(yīng)的設(shè)備作業(yè)時(shí)所需的數(shù)據(jù)，將其傳送給設(shè)備服務(wù)器。
13．根據(jù)權(quán)利要求12的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括用戶接口部，與文件服務(wù)器相連接，工作人員可使用該用戶接口部直接利用文件服務(wù)器內(nèi)的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)。
14．根據(jù)權(quán)利要求12的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括自動(dòng)運(yùn)送裝置，受所述主機(jī)的控制，并能夠把基片自動(dòng)地運(yùn)送到各設(shè)備。
15．根據(jù)權(quán)利要求14的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括自動(dòng)運(yùn)送裝置控制器，與所述主機(jī)有線連接，用于從主機(jī)得到指令從而控制自動(dòng)運(yùn)送裝置。
16．根據(jù)權(quán)利要求14的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)設(shè)備中包括根據(jù)檢測(cè)器的檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)對(duì)基片進(jìn)行補(bǔ)修作業(yè)的補(bǔ)修器。
17．根據(jù)權(quán)利要求16的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)器對(duì)基片完成檢測(cè)作業(yè)后，把檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器，所述補(bǔ)修器從文件服務(wù)器中讀取檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)，并根據(jù)其數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)修作業(yè)，完成補(bǔ)修作業(yè)后把其結(jié)果存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)。
18．根據(jù)權(quán)利要求17的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)器對(duì)基片完成檢測(cè)后，把對(duì)檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)未進(jìn)行加工的未加工數(shù)據(jù)以檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)的形式存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中，對(duì)檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行加工后的已加工數(shù)據(jù)則傳送給檢測(cè)器服務(wù)器。
19．根據(jù)權(quán)利要求17的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)器對(duì)基片完成檢測(cè)后，把對(duì)檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)未進(jìn)行加工的未加工數(shù)據(jù)和進(jìn)行加工后的已加工數(shù)據(jù)以檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)的形式存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中，并把所述檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)已存儲(chǔ)的事件傳送給檢測(cè)器服務(wù)器。
20．根據(jù)權(quán)利要求19的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述未加工數(shù)據(jù)是不良坐標(biāo)數(shù)據(jù)或不良內(nèi)容數(shù)據(jù)。
21．根據(jù)權(quán)利要求12的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，還包括肉眼觀測(cè)裝置，其利用檢測(cè)器存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中的數(shù)據(jù)，讓工作人員直接觀察基片檢測(cè)內(nèi)容。
22．根據(jù)權(quán)利要求21的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)結(jié)果數(shù)據(jù)只包括不良坐標(biāo)數(shù)據(jù)，所述肉眼觀測(cè)裝置可以自動(dòng)移到不良坐標(biāo)以便于工作人員進(jìn)行觀察。
23．根據(jù)權(quán)利要求12的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述多個(gè)設(shè)備與文件服務(wù)器、文件服務(wù)器與設(shè)備服務(wù)器、設(shè)備服務(wù)器與主機(jī)之間是分別通過(guò)TCP/IP方式連接的。
24．根據(jù)權(quán)利要求12的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)備與設(shè)備服務(wù)器是通過(guò)SECS通信方式連接的。
25．根據(jù)權(quán)利要求12至24中任何一項(xiàng)所述的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于所述基片是晶片。
26．根據(jù)權(quán)利要求12至24中任何一項(xiàng)所述的微電子裝置的自動(dòng)化系統(tǒng)，其特征在于所述基片是玻璃。
27．一種自動(dòng)化系統(tǒng)程控制方法，包括辨認(rèn)搬運(yùn)到第1設(shè)備的作業(yè)物的步驟；從控制部接收對(duì)作業(yè)物進(jìn)行作業(yè)的指令的步驟；從文件服務(wù)器中讀取該第1設(shè)備作業(yè)所需的以前設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的步驟，該文件服務(wù)器與包括第1設(shè)備在內(nèi)的多個(gè)設(shè)備聯(lián)機(jī)，并存儲(chǔ)有各設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)；利用以前設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)對(duì)作業(yè)物在第1設(shè)備進(jìn)行作業(yè)的步驟；和把第1設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器的步驟。
28．根據(jù)權(quán)利要求27的工程控制方法，其特征在于，所述以前設(shè)備是檢測(cè)器，所述第1設(shè)備是補(bǔ)修器。
29．根據(jù)權(quán)利要求28的工程控制方法，其特征在于，所述作業(yè)物是晶片。
30．根據(jù)權(quán)利要求28的工程控制方法，其特征在于，所述作業(yè)物是玻璃。
31．一種自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法，其中該自動(dòng)化系統(tǒng)包括對(duì)基片進(jìn)行相應(yīng)作業(yè)的多個(gè)設(shè)備、控制各設(shè)備的控制部、把基片自動(dòng)運(yùn)送到各個(gè)設(shè)備的自動(dòng)運(yùn)送裝置，所述控制方法包括第1步驟，把基片裝載到第1設(shè)備；第2步驟，在第1設(shè)備對(duì)基片進(jìn)行作業(yè)，并為了使各連網(wǎng)的設(shè)備共享該作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)而把該第1設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中；第3步驟，從第1設(shè)備把基片卸去；第4步驟，向第2設(shè)備搬運(yùn)基片，并把基片裝載到第2設(shè)備；第5步驟，在第2設(shè)備中開始作業(yè)前從文件服務(wù)器讀取第1設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，開始作業(yè)時(shí)利用該第1設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)對(duì)基片進(jìn)行作業(yè)，完成作業(yè)后把作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中；和，第6步驟，從第2設(shè)備卸去基片。
32．根據(jù)權(quán)利要求31的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法，其特征在于，所述第1步驟包括第1設(shè)備向控制部傳送信息、要求運(yùn)送基片的步驟；控制部檢索自己的數(shù)據(jù)庫(kù)，找出第1設(shè)備應(yīng)執(zhí)行作業(yè)的基片，并命令自動(dòng)運(yùn)送裝置把該基片裝載到第1設(shè)備的步驟；和當(dāng)基片裝載到第1設(shè)備后，第1設(shè)備閱讀基片的固有編號(hào)，并向控制部報(bào)告基片已裝載完畢的步驟。
33．根據(jù)權(quán)利要求32的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法，其特征在于，所述第2步驟包括控制部根據(jù)基片的固有編號(hào)信息判斷第1設(shè)備是否處于可作業(yè)狀態(tài)，如果處于可作業(yè)狀態(tài)，就向第1設(shè)備傳送作業(yè)所需數(shù)據(jù)，同時(shí)下達(dá)開始作業(yè)指令的步驟；和第1設(shè)備對(duì)基片進(jìn)行作業(yè)，在把作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器后，向控制部報(bào)告完成作業(yè)的步驟。
34．根據(jù)權(quán)利要求33的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法，其特征在于，所述第3步驟包括控制部從文件服務(wù)器讀取第1設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，加工該第1設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，并指令自動(dòng)運(yùn)送裝置把基片卸去的步驟；自動(dòng)運(yùn)送裝置把完成作業(yè)的基片從第1設(shè)備卸去的步驟；和卸去基片作業(yè)完成后，第1設(shè)備向控制部報(bào)告完成卸去基片作業(yè)的步驟。
35．根據(jù)權(quán)利要求34的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法，其特征在于，所第4步驟包括控制部把存儲(chǔ)在文件服務(wù)器內(nèi)的第1設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)的位置和第2設(shè)備執(zhí)行作業(yè)后把作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器內(nèi)的位置傳送給第2設(shè)備的步驟；和第2設(shè)備從文件服務(wù)器中讀取第1設(shè)備作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)，并進(jìn)行作業(yè)，作業(yè)完成后把作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到文件服務(wù)器中的步驟。
36．根據(jù)權(quán)利要求35的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法，其特征在于，所述第1設(shè)備是檢測(cè)器，第2設(shè)備是補(bǔ)修器。
37．根據(jù)權(quán)利要求36的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法，其特征在于，所述基片是晶片。
38．根據(jù)權(quán)利要求36的自動(dòng)化系統(tǒng)控制方法，其特征在于，所述基片是玻璃。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明的自動(dòng)化系統(tǒng)中，所有設(shè)備通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與文件服務(wù)器連接，使設(shè)備之間可以共享各設(shè)備的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)。一個(gè)設(shè)備(如，檢測(cè)器)所完成的作業(yè)結(jié)果數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在文件服務(wù)器中，而其他設(shè)備(如，保修器)可以利用存儲(chǔ)在文件服務(wù)器中的上述數(shù)據(jù)進(jìn)行作業(yè)。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1238481SQ9910519
公開日1999年12月15日 申請(qǐng)日期1999年4月27日 優(yōu)先權(quán)日1998年4月27日
發(fā)明者李相鉉, 邊圣埈 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社