曝光設(shè)備的光源模塊的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種曝光設(shè)備的光源模塊，包含基座、第一透鏡、光源單元、第二透鏡及第一調(diào)整件或第二調(diào)整件，基座具有容置槽；第一透鏡設(shè)置于基座的容置槽的開口上；光源單元設(shè)置于容置槽的底面，光源單元具有電路板及設(shè)置于電路板上的LED；第二透鏡設(shè)置于LED上，第二透鏡的面積小于第一透鏡；第一調(diào)整件連接第一透鏡與基座，第二調(diào)整件連接第二透鏡與基座；其中，光源單元的LED發(fā)出的光線經(jīng)由第二透鏡折射后再被該第一透鏡折射而呈平行光射出，進而使曝光平面上的曝光區(qū)域接收到均勻分布的光強度。
【專利說明】曝光設(shè)備的光源模塊

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種用于曝光設(shè)備中的光源模塊。

【背景技術(shù)】
[0002]在制造電路板的制程中，需采用光學(xué)微影蝕刻的步驟在電路板基板上形成電路圖案(pattern)，該光學(xué)微影蝕刻是在將電路板基板上涂布光阻層，并利用曝光設(shè)備曝光，再借由顯影、蝕刻的過程使電路圖案形成在該電路板基板上。其中，該曝光設(shè)備將光投射至曝光平面上而形成曝光區(qū)域，涂布有光阻層并設(shè)置有光罩的電路板基板對位放置于該曝光區(qū)域內(nèi)，借由激發(fā)光讓光阻感光來發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使得被曝光的光阻與被光罩遮避的光阻對顯影液具有不同的溶解度。該曝光區(qū)域內(nèi)有曝光均勻度的要求，即在該曝光區(qū)域的范圍內(nèi)任一點接收到的能量必須在一特定范圍內(nèi)，才能使該電路板基板上被曝光部分的光阻的溶解度一致。
[0003]現(xiàn)有曝光設(shè)備的光源模塊在多個LED前方各自對應(yīng)設(shè)置一透鏡,每一 LED發(fā)出的光線經(jīng)過該透鏡折射后形成錐狀光束投射至曝光平面上，每一 LED投射到該曝光平面的光強度會由中心朝邊緣遞減，即在鄰近中心位置所接收到的光強度較強，而遠離中心位置接收到的光強度較弱。因此，為了達成曝光區(qū)域內(nèi)的曝光均勻度的要求，必須依據(jù)投射到該曝光平面上的相鄰光束重疊的區(qū)域的光強度與投射到該曝光平面上的每一光束中心位置的光強度，來精密地調(diào)整這些LED之間的相對位置，以使所有LED共同投射到該曝光平面上所形成的曝光區(qū)域內(nèi)的光強度均勻。這樣，導(dǎo)致了現(xiàn)有曝光設(shè)備的光源結(jié)構(gòu)復(fù)雜，導(dǎo)致裝設(shè)、維護與校正困難及成本高昂等缺點。
實用新型內(nèi)容
[0004]為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實用新型的主要目的在于提供一種曝光設(shè)備的光源模塊，其可使射出的光線為平行光。
[0005]為達上述目的及其他目的，本實用新型提供一種曝光設(shè)備的光源模塊，包含基座、第一透鏡、光源單元、第二透鏡及第一調(diào)整件或第二調(diào)整件，該基座具有容置槽；該第一透鏡設(shè)置于該基座的容置槽的開口上；該光源單元設(shè)置于該容置槽的底面，該光源單元具有電路板及設(shè)置于該電路板上的LED ;該第二透鏡設(shè)置于該LED上，該第二透鏡的面積小于該第一透鏡；該第一調(diào)整件連接該第一透鏡與該基座，用于調(diào)整該第一透鏡與該第二透鏡間的距離，該第二調(diào)整件連接該第二透鏡與該基座，用于調(diào)整該第一透鏡與該第二透鏡間的距離；其中，該光源單元的LED發(fā)出的光線經(jīng)由第二透鏡折射后再被該第一透鏡折射而呈平行光射出。
[0006]上述的曝光設(shè)備的光源模塊，其中該第一透鏡朝向該第二透鏡的第一表面為平面，該第二透鏡朝向該LED的第二表面為平面。
[0007]上述的曝光設(shè)備的光源模塊，其中該第一調(diào)整件為墊片，該第二調(diào)整件為墊片。
[0008]上述的曝光設(shè)備的光源模塊，其中該LED為紫外光LED (UV-LED)。
[0009]上述的曝光設(shè)備的光源模塊,其中該LED發(fā)出的光線的波長為365nm。
[0010]上述的曝光設(shè)備的光源模塊，其中該光源單元具有設(shè)置于該電路板上的溫度傳感器。
[0011]上述的曝光設(shè)備的光源模塊，其中進一步包含一散熱件，其連接該電路板。
[0012]據(jù)此，本實用新型實施例的光源模塊可使該LED的光線呈平行光射出，而可使曝光平面上的曝光區(qū)域接收到均勻分布的光強度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型實施例的曝光設(shè)備的光源模塊的剖面示意圖。
[0014]圖2為本實用新型實施例的曝光設(shè)備的光源模塊的立體示意圖。
[0015]主要部件附圖標記:
[0016]I 光源模塊
[0017]10 基座
[0018]11 容置槽
[0019]20 第一透鏡
[0020]21 第一表面
[0021]30 光源單元
[0022]31 電路板
[0023]32 LED
[0024]33 溫度傳感器
[0025]40 第二透鏡
[0026]41 第二表面
[0027]50 第一調(diào)整件
[0028]60 第二調(diào)整件
[0029]70 散熱件

【具體實施方式】
[0030]為充分了解本實用新型的目的、特征及技術(shù)效果，茲由下述具體實施例，并結(jié)合附圖，對本實用新型做詳細說明，說明如下:
[0031]請參照圖1及圖2，本實用新型實施例的曝光設(shè)備的光源模塊的示意圖，該曝光設(shè)備的光源模塊I包含基座10、第一透鏡20、光源單元30及第二透鏡40，該基座10具有容置槽11 ;該第一透鏡20設(shè)置于該基座10的容置槽11的開口上；該光源單元30設(shè)置于該容置槽11的底面，該光源單元30具有電路板31及設(shè)置于該電路板31上的LED32 ;該第二透鏡40設(shè)置于該LED32上，該第二透鏡40的面積小于該第一透鏡20 ;其中，該光源單元30的LED32發(fā)出的光線經(jīng)由第二透鏡40折射后再被該第一透鏡20折射而呈平行光射出，以將平行光射出至曝光目標(例如電路板基板)所在的曝光平面上(圖未示)，而在該曝光平面上形成所需強度且均勻的照光區(qū)域，其中，該曝光平面與該光源模塊具有一預(yù)定距離。
[0032]如上所述，本實用新型的曝光設(shè)備的光源模塊利用LED32作為光源可具有諸多優(yōu)點。首先，在相同的亮度下，LED32較傳統(tǒng)汞燈消耗較少的電量，LED32約可節(jié)省65%的電費；另外，LED32照射時不含紅外線，因此LED32照射時的溫度穩(wěn)定，不會造成底片熱脹，而傳統(tǒng)汞燈照射時含紅外線，因此傳統(tǒng)汞燈的溫度難控制穩(wěn)定，容易造成底片熱脹；再者，在相同的使用環(huán)境下，LED32可使用30000小時以上，而傳統(tǒng)汞燈僅可使用約1200小時，因此LED32較傳統(tǒng)汞燈的壽命長，且無待機時間耗損；再者，LED32無待機時間，而傳統(tǒng)汞燈至少需20分鐘以上的待機時間，因此LED32省電、壽命長且可使整體的溫度較低；再者，LED32無任何有毒物質(zhì)或有毒氣體產(chǎn)生，而傳統(tǒng)汞燈會產(chǎn)生汞污染及有毒氣體(如齒元素)產(chǎn)生，且傳統(tǒng)汞燈報廢時需經(jīng)特殊處理；再者，由于LED32壽命長，因此不需經(jīng)常更換，而傳統(tǒng)汞燈由于壽命短，因此需經(jīng)常更換，且更換時需小心，以免縮短傳統(tǒng)汞燈的壽命；再者，LED32照射時溫度穩(wěn)定不會爆裂，而傳統(tǒng)汞燈照射時溫度難控制穩(wěn)定，若高溫爆炸時水銀會以霧化狀散開，造成人體危害；再者，本實用新型的曝光設(shè)備的光源模塊可模塊化，安裝維修更換容易。
[0033]如圖1所示，本實用新型實施例的曝光設(shè)備的光源模塊1中，該第一透鏡20朝向該第二透鏡40的第一表面21為平面，即該第一透鏡20為平凸透鏡，該第一透鏡20的第一表面21朝向該容置槽11及該第二透鏡40，該第一表面21為平面而可抵靠于該基座10的容置槽11開口邊緣或外加的固定板上，而有利于該第一透鏡20組裝至該基座10，該第二透鏡40朝向該LED32的第二表面41為平面，即該第二透鏡40亦為平凸透鏡，該第二透鏡
40的第二表面41朝向該光源單元30的電路板31及該LED32，該第二表面41為平面而可靠設(shè)于該基座10的容置槽11底面或外加的固定板上，而有利于該第二透鏡40組裝至該基座10。
[0034]該LED32的種類依該曝光目標采用的光阻劑而定，于本實施例中，該LED32以紫外光LED做為示例，該LED32發(fā)出的光線的波長為365nm。
[0035]如圖所示，該光源單元30可具有設(shè)置于該電路板31上的溫度傳感器33，該溫度傳感器33用于測量該LED32及該電路板31的溫度；且該光源模塊1可進一步包含一散熱件70，其連接該電路板31，用以將該LED32運作產(chǎn)生的熱能及累積在該電路板31上的熱能傳遞至外界，而可將溫度維持在該LED32的工作溫度范圍內(nèi)，以避免該光源單元30因溫度過高而影響該LED32的發(fā)光效能及導(dǎo)致組件損壞。
[0036]該第一透鏡20的第一表面21與該第二透鏡40的第二表面41間的距離D依據(jù)該第一透鏡20的焦距、該第二透鏡40的焦距、該曝光平面與該光源模塊1間的預(yù)定距離以及欲在該曝光平面上形成的所需強度等參數(shù)而定。
[0037]因此，本實施例的光源模塊1還可進一步包含第一調(diào)整件50，其連接該第一透鏡20與該基座10，用于調(diào)整該第一透鏡20與該第二透鏡40間的距離，即借由設(shè)置該第一調(diào)整件50可使該第一透鏡20的第一表面21與該第二透鏡40的第二表面41間的距離D改變。于本實施例中，該第一調(diào)整件50以墊片作為示例，借由增加墊片的數(shù)量或是借由設(shè)置不同厚度的墊片來調(diào)整該第一透鏡20與該第二透鏡40間的距離。然該第一調(diào)整件50不限于本實施例的墊片，只要可用來調(diào)整該第一透鏡20與該第二透鏡40間的距離的結(jié)構(gòu)均可應(yīng)用于本實用新型中，例如，該第一調(diào)整件50可為結(jié)合在該第一透鏡20上的套蓋，該套蓋套設(shè)在該基座10外，且該套蓋與該基座10可分別具有相配合的滑塊與滑軌及固定結(jié)構(gòu)，以使該套蓋可相對該基座10移動并固定相對位置，進而達成調(diào)整該第一透鏡20與該第二透鏡40間的距離的效果。
[0038]此外，本實施例的光源模塊1還可進一步包含第二調(diào)整件60，其連接該第二透鏡40與該基座10的容置槽11底面，用于調(diào)整該第一透鏡20與該第二透鏡40間的距離，即借由設(shè)置該第二調(diào)整件60可使該第一透鏡20的第一表面21與該第二透鏡40的第二表面
41間的距離D改變。于本實施例中，該第二調(diào)整件60以墊片作為示例，借由增加墊片的數(shù)量或是借由設(shè)置不同厚度的墊片來調(diào)整該第一透鏡20與該第二透鏡40間的距離。
[0039]因此，上述本實施例的光源模塊1，可依據(jù)所采用的該第一透鏡20的焦距、該第二透鏡40的焦距及該曝光平面與該光源模塊1間的預(yù)定距離等參數(shù)，借由該第一調(diào)整件50及該第二調(diào)整件60的其中一個或兩個來調(diào)整該第一透鏡20與該第二透鏡40間的距離，進而獲得欲在該曝光平面上形成的所需光形、強度及均勻度。
[0040]據(jù)此，本實用新型實施例的光源模塊1可使該LED32的光線呈平行光射出，而可使曝光平面上的曝光區(qū)域接收到均勻分布的光強度。
[0041]本實用新型在上文中已以較佳實施例揭露，然而本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實施例僅用于描繪本實用新型，而不應(yīng)解讀為限制本實用新型的范圍。應(yīng)注意的是，凡是與該實施例等效的變化與置換，均應(yīng)視為涵蓋于本實用新型的范疇內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍當以權(quán)利要求書所限定的內(nèi)容為準。
【權(quán)利要求】
1.一種曝光設(shè)備的光源模塊，其特征在于，包含: 基座，具有容置槽； 第一透鏡，設(shè)置于該基座的容置槽的開口上； 光源單元，設(shè)置于該容置槽的底面，該光源單元具有電路板及設(shè)置于該電路板上的LED ； 第二透鏡，設(shè)置于該LED上，該第二透鏡的面積小于該第一透鏡；以及第一調(diào)整件或第二調(diào)整件，該第一調(diào)整件連接該第一透鏡與該基座，用于調(diào)整該第一透鏡與該第二透鏡間的距離，該第二調(diào)整件連接該第二透鏡與該基座，用于調(diào)整該第一透鏡與該第二透鏡間的距離； 其中，該光源單元的LED發(fā)出的光線經(jīng)由第二透鏡折射后再被該第一透鏡折射而呈平行光射出。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備的光源模塊，其特征在于，該第一透鏡朝向該第二透鏡的第一表面為平面，該第二透鏡朝向該LED的第二表面為平面。
3.如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備的光源模塊，其特征在于，該第一調(diào)整件為墊片，該第_■調(diào)整件為塾片。
4.如權(quán)利要求2所述的曝光設(shè)備的光源模塊，其特征在于，該第一調(diào)整件為墊片，該第_■調(diào)整件為塾片。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的曝光設(shè)備的光源模塊，其特征在于，該LED為紫外光 LED。
6.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的曝光設(shè)備的光源模塊，其特征在于，該LED發(fā)出的光線的波長為365nm。
7.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的曝光設(shè)備的光源模塊，其特征在于，該光源單元具有設(shè)置于該電路板上的溫度傳感器。
8.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的曝光設(shè)備的光源模塊，其特征在于，進一步包含一散熱件，其連接該電路板。
【文檔編號】G03F7/20GK204086809SQ201420439465
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月6日
【發(fā)明者】周坤麟, 何立克 申請人:敘豐企業(yè)股份有限公司